Номер по Госреестру СИ: 79641-20
79641-20 Анализаторы полупроводниковых приборов
(В1500А)
Назначение средства измерений:
Анализаторы полупроводниковых приборов В1500А (далее - анализаторы) предназначены для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, измерений электрической емкости, а также воспроизведения импульсных сигналов при определении параметров полупроводниковых приборов.
Внешний вид.
Анализаторы полупроводниковых приборов
Рисунок № 1
Внешний вид.
Анализаторы полупроводниковых приборов
Рисунок № 2
Внешний вид.
Анализаторы полупроводниковых приборов
Рисунок № 3
Программное обеспечение
Анализаторы имеют встроенное программное обеспечение (ПО). ПО предназначено для управления работой анализаторов. ПО работает под управлением операционной системы Microsoft Windows 7. Программа заносится изготовителем на жесткий диск встроенного в анализаторов компьютера и не может быть изменена пользователем.
Уровень защиты ПО «низкий» в соответствии с Р50.2.077-2014.
Таблица 1- Идентификационные данные (признаки) ПО
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
EasyEXPERT |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже A.05.04.2013 0328 |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель анализаторов в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализаторам полупроводниковых приборов В1500АТехническая документация изготовителя
Поверка
Поверкаосуществляется по документу 651-20-017 МП «Анализаторы полупроводниковых приборов В1500А. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 15 мая 2020 г.
Основные средства поверки:
-
- мультиметр 3458A, регистрационный номер 77012-19 в Федеральном информационном фонде;
-
- меры емкости образцовые Р597, регистрационный номер 2684-70 в Федеральном информационном фонде;
-
- частотомер 53230А, регистрационный номер 51077-12 в Федеральном информационном фонде;
-
- осциллограф 86100D c модулем 86112A, регистрационный номер 58479-14 в Федеральном информационном фонде;
- меры электрического сопротивления однозначные Р3030, регистрационный номер 18445-99 в Федеральном информационном фонде;
- катушки электрического сопротивления измерительные Р4010, Р4020; регистрационный номер 2195-66 в Федеральном информационном фонде;
- аттенюатор 8493С с опцией 020, регистрационный номер 60766-15 в Федеральном информационном фонде;
- аттенюатор 8493С с опцией 030, регистрационный номер 60766-15 в Федеральном информационном фонде.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых анализаторов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска пове-рительного клейма.
Изготовитель
Компания «Keysight Technologies Malaysia Sdn. Bhd.», МалайзияАдрес: Bayan Lepas Free Industrial Zone, 11900, Bayan Lepas, Penang, Malaysia
Телефон (факс): + 1800-888 848; +1800-801 664
Web-сайт: http://www.keysight. com
E-mail: tm_ap@keysight.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Кейсайт Текнолоджиз»(ООО «Кейсайт Текнолоджиз»)
ИНН 7705556495
Адрес: 113054, г. Москва, Космодамианская наб., 52, стр. 3
Телефон (факс): +7 (495) 797-39-00; +7 (495) 797-39-01
Web-сайт: http://www.keysight.com
E-mail: tmo_russia@keysight.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений»(ФГУП «ВНИИФТРИ»).
Адрес: 141570, Московская обл., Солнечногорский район, г. Солнечногорск, рабочий поселок Менделеево, промзона ВНИИФТРИ
Телефон (факс): +7 (495) 526-63-00
Web-сайт: www.vniiftri.ru
E-mail: office@vniiftri.ru
Анализаторы полупроводниковых приборов представляют собой проектно-компонуемые устройства модульной конструкции, состоящие из базового блока и встраиваемых сменных модулей.
Принцип работы анализаторов основан на измерении силы тока (напряжения) на электродах тестового полупроводникового прибора при формировании на них последовательности значений напряжения или силы тока. Формируемая величина рассматривается в качестве аргумента, а измеряемая величина в качестве функции полученной вольтамперной характеристики (ВАХ) в координатах «напряжение-ток» или «ток-напряжение». ВАХ служит основой для определения или расчета интересующих параметров тестируемого полупроводникового прибора. Графическое отображение ВАХ формируется путем линейной аппроксимации ее значений в промежутках между измеренными точками.
При наличии у тестируемого полупроводникового прибора управляющего (база, затвор) и/или вспомогательного (подложка) электродов, прибор обеспечивает измерение семейства ВАХ по значениям одного или двух параметров, каждый из которых может быть задан в виде последовательности значений токов или напряжений формируемых на электродах тестируемого полупроводникового прибора.
Анализаторы имеют возможность формировать/измерять ток в диапазоне ниже 1 нА (погрешность не нормируется).
В зависимости от выполняемых задач и для расширения функциональных возможностей анализаторы могут комплектоваться следующими сменными модулями:
-
- В1510А (модуль HPSMU) - источник/измеритель большой мощности;
-
- В1511А (модуль MPSMU) - источник/измеритель средней мощности;
-
- В1511В (модуль MPSMU) - источник/измеритель средней мощности;
-
- В1514А (модуль MCSMU) - источник/измеритель среднего тока;
-
- В1517А (модуль HRSMU) - источник/измеритель с высоким разрешением;
-
- В1520А (модуль MFCMU) - измеритель электрической емкости;
-
- В1525А (модуль HV-SPGU) - генератор высоковольтных импульсов;
-
- В1530А (модуль WGFMU) - генератор сигналов произвольной формы и измеритель;
-
- В1542А - модуль для проведения импульсных измерений ВАХ (требуется дополнительное оборудование);
-
- В1588А (модуль ASU) - усилитель/переключатель малых токов.
Анализаторы имеют встроенный компьютер, работающий на платформе MSWindows 7. Компьютер оснащен встроенным накопителем на жестком диске; приводом DVD; интерфейсами GPIB, USB, LAN. Управление анализаторами осуществляется с помощью сенсорного дисплея или подключаемых клавиатуры и манипулятора типа «мышь».
Конструктивно анализаторы размещены в закрытом корпусе настольного исполнения, позволяющему их установку в стандартную 19-дюймовую стойку.
На передней панели анализаторов расположены выключатель питания, сенсорный графический дисплей, функциональные кнопки, поворотно-нажимная ручка управления (энкодер), порты USB для подключения внешней клавиатуры и манипулятора типа «мышь», привод DVD, светодиодные индикаторы состояния.
На задней панели анализаторов расположены разъем питания; вентиляторы обдува; порты интерфейсов GPIB, USB, LAN; выход VGA; гнезда для установки сменных модулей.
Для предотвращения несанкционированного доступа к внутренним частям анализаторов один из винтов крепления корпуса пломбируется.
Общий вид анализаторов с указанием места нанесения знака утверждения типа, место пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунках 1 и 2.
KEYSIGHT biw«
Рисунок 1 - Общий вид анализатора. Вид спереди
Место нанесения знака утверждения типа
Место пломбировки
Рисунок 1 - Общий вид анализатора. Вид сзади
Таблица 4 - Комплектность анализаторов
Наименование |
Обозначение |
Количество. |
1 Анализатор полупроводниковых приборов |
В1500А |
1 шт. |
2 Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
3 Методика поверки |
651-20-017 МП |
1 экз. |
4 Компакт диск с ПО |
- |
1 шт. |
5 Переключатель |
N1258A |
в соответствии с заказом |
6 Устройство подключения для испытаний мощных устройств |
N1259A |
в соответствии с заказом |
7 Тройник смещения высокого напряжения |
N1260A |
в соответствии с заказом |
8 Адаптер защиты |
N1261A |
в соответствии с заказом |
9 Магазин сопротивлений |
N1262A |
в соответствии с заказом |
Таблица 2- Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
В1510А Модуль источника/измерителя большой мощности (HPSMU) | |
Диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока, В |
от -200 до +200 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -2 до +2 В включ. от -20 до +20 В включ. от -40 до +40 В включ. от -100 до +100 В включ. от -200 до +200 В включ. |
±(0,00018^U+440-4)* ±(0,00018^U+3 40-3) ±(0,00018^U+640’3) ±(0,00018^U+1540-3) ±(0,00018^U+3040’3) |
Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В |
от -200 до +200 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -2 до +2 В включ. от -20 до +20 В включ. от -40 до +40 В включ. от -100 до +100 В включ. от -200 до +200 В включ. |
±(0,000PU+1,440-4) ±(0,00009^U+940’4) ±(0,000PU+140-3) ±(0,00012^U+2,540’3) ±(0,00014^U+2,840-3) |
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, А |
от -1,0 до +1,0 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока в диапазонах, А: от -1 до +1 нА включ. от -10 до +10 нА включ. от -100 до +100 нА включ. от -1 до +1 мкА включ. от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. от -1 до +1 А включ. |
±(0,001-1+5 •IO-13)** ±(0,00bI+540’12) ±(0,0005^I+540-11) ±(0,0005^+540-10) ±(0,0005^I+540-9) ±(0,00035^I+3,540-8) ±(0,0004^I+3,540-7) ±(0,0004^I+3,540-6) ±(0,00045^I+3,540-5) ±(0,004^I+540-4) |
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений силы постоянного тока, А |
от -1,0 до +1,0 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока в диапазонах, А: от -1 до +1 нА включ. от -10 до +10 нА включ. от -100 до +100 нА включ. от -1 до +1 мкА включ. от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. от -1 до +1 А включ. |
±(0,001-1+4 •IO-13) ±(0,001-I+3-10-12) ±(0,00051+440-п) ±(0,00054+3Л0-10) ±(0,00041+440-9) ±(0,00031+2,340-8) ±(0,00031+2,640-7) ±(0,00031+2,240-6) ±(0,00041+2,640-5) ±(0,004-I+3,5-10-4) |
В1511А/В Модуль источника/измерителя средней мощности (MPSMU) | |
Диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока, В |
от -100 до +100 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -0,5 до +0,5 В включ. от -2 до +2 В включ. от -5 до +5 В включ. от -20 до +20 В включ. от -40 до +40 В включ. от -100 до +100 В включ. |
±(0,00018-U+1,5-10-4) ±(0,00018-U+4-10-4) ±(0,00018-U+7,5-10-4) ±(0,00018-U+3-10-3) ±(0,00018-U +6-10-3) ±(0,00018-U +15-10-3) |
Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В |
от -100 до +100 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -0,5 до +0,5 В включ. от -2 до +2 В включ. от -5 до +5 В включ. от -20 до +20 В включ. от -40 до +40 В включ. от -100 до +100 В включ. |
±(0,0001-U+1,2-10-4) ±(0,0001-U+1,4-10-4) ±(0,00009-U+2,5-10-4) ±(0,00009-U+9-10-4) ±(0,0001-U+1-10-3) ±(0,00012-U+2,5-10-3) |
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, А |
от -0,1 до +0,1 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока в диапазонах, А: от -1 до +1 нА включ. от -10 до +10 нА включ. от -100 до +100 нА включ. от -1 до +1 мкА включ. от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. |
±(0,001-1+4-10-13) ±(0,001-I+4-10-12) ±(0,0005-I+4-10-11) ±(0,0005-I+4-10-10) ±(0,0005-I+4-10-9) ±(0,00035-1+2,5-10-8) ±(0,0004-I+2,5-10-7) ±(0,0004-I+2,5-10-6) ±(0,00045-1+2,5-10-5) |
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений силы постоянного тока, А |
от -0,1 до +0,1 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока в диапазонах, А: от -1 до +1 нА включ. от -10 до +10 нА включ. от -100 до +100 нА включ. от -1 до +1 мкА включ. от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. |
±(0,001-1+3 •io-13) ±(0,001-I+2-10-12) ±(0,0005-I+3-10-11) ±(0,0005-I+2-10-10) ±(0,0004-I+3-10-9) ±(0,0003^1+1,3Л0-8) ±(0,0003-1+1,6-10-7) ±(0,0003-I+1,2-10-6) ±(0,0004-1+1,6-10-5) |
В1514А Модуль источника/измерителя для токов среднего уровня (MCSMU) | |
Диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока, В |
от -30 до +30 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -0,2 до +0,2 В включ. от -2 до +2 В включ. от -20 до +20 В включ. от -30 до +30 В включ. |
±(0,0006-U+1,4-10-4) ±(0,0006-U+6-10-4) ±(0,0006-U+3-10-3) ±(0,0006-U+3-10-3) |
Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В |
от -30 до +30 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -0,2 до +0,2 В включ. от -2 до +2 В включ. от -20 до +20 В включ. от -30 до +30 В включ. |
±(0,0006-U+1,4-10-4) ±(0,0006-U+6-10-4) ±(0,0006-U+3-10-3) ±(0,0006-U+3-10-3) |
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, А |
от -1 до +1 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока в диапазонах, А: от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. от -1 до +1 А включ. |
±(0,0006-I+5-10-9) ±(0,0006-I+5-10-8) ±(0,0006-I+5-10-7) ±(0,0006-I+5-10-6) ±(0,0006-I+5-10-5) ±(0,004-I+5-10-4) |
Диапазон измерений силы постоянного тока, А |
от -0,1 до +0,1 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока в диапазонах, А: от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. от -1 до +1 А включ. |
±(0,0006-I+5-10-9) ±(0,0006-I+5-10-8) ±(0,0006-I+5-10-7) ±(0,0006-I+5-10-6) ±(0,0006-I+5-10-5) ±(0,004-I+5-10-4) |
Наименование характеристики |
Значение |
В1517А Модуль источника/измерителя c высоким разрешением (HRSMU) | |
Диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока, В |
от -100 до +100 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -0,5 до +0,5 В включ. от -2 до +2 В включ. от -5 до +5 В включ. от -20 до +20 В включ. от -40 до +40 В включ. от -100 до +100 В включ. |
±(0,00018^U+1,540-4) ±(0,00018^U+440-4) ±(0,00018^U+7,540-4) ±(0,00018^U+340-3) ±(0,00018/U + 640-3) ±(0,00018/U + 1540-3) |
Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В |
от -100 до +100 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока в диапазонах, В: от -0,5 до +0,5 В включ. от -2 до +2 В включ. от -5 до +5 В включ. от -20 до +20 В включ. от -40 до +40 В включ. от -100 до +100 В включ. |
±(0,0000U+1,240-4) ±(0,0000U+1,440-4) ±(0,00009^U+2,540-4) ±(0,00009^U+940-4) ±(0,0000U+140-3) ±(0,00012^U+2,540-3) |
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, А |
от -0,1 до +0,1 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока в диапазонах, А: от -1 до +1 нА включ. от -10 до +10 нА включ. от -100 до +100 нА включ. от -1 до +1 мкА включ. от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. |
±(0,001-1+4 • 10-13) ±(0,0014+440-12) ±(0,00054+440-11) ±(0,00054+440-10) ±(0,00054+440-9) ±(0,000354+2,540-8) ±(0,00044+2,5Л0-7) ±(0,00044+2,540-6) ±(0,000454+2,540-5) |
Диапазон измерений силы постоянного тока, А |
от -0,1 до +0,1 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока в диапазонах, А: от -1 до +1 нА включ. от -10 до +10 нА включ. от -100 до +100 нА включ. от -1 до +1 мкА включ. от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. от -100 до +100 мА включ. |
±(0,001-1+3 •io-13) ±(0,0014+240-12) ±(0,00054+340-11) ±(0,00054+240-10) ±(0,00044+340-9) ±(0,00034+1,340-8) ±(0,00034+1Д10-7) ±(0,00034+1,240-6) ±(0,00044+1,640-5) |
Наименование характеристики |
Значение |
В1520А Модуль измерителя емкости( M |
FSMU) |
Диапазон измерений электрической емкости, нФ |
от 0,00001 до 100 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, %: | |
- при частоте тестового сигнала 1 кГц, в зависимости от | |
диапазона: | |
от 1 до 100 пФ включ. |
±0,92 |
св. 100 пФ до 1 нФ включ. |
±0,18 |
св. 1 до 10 нФ включ. |
±0,11 |
св. 10 до 100 нФ включ. - при частоте тестового сигнала 10 кГц, в зависимости |
±0,1 |
от диапазона: | |
от 1 до 100 пФ включ. |
±0,18 |
св. 100 пФ до 1 нФ включ. |
±0,11 |
св. 1 до 10 нФ включ. |
±0,1 |
св. 10 до 100 нФ включ. - при частоте тестового сигнала 100 кГц, в зависимости |
±0,1 |
от диапазона: | |
от 0,1 до 10 пФ включ. |
±0,18 |
св.10 до 100 пФ включ. |
±0,11 |
св.100 пФ до 1 нФ включ. |
±0,1 |
св.1 до 10 нФ включ. - при частоте тестового сигнала 1 МГц, в зависимости |
±0,1 |
от диапазона: | |
от 0,01 до 1 пФ включ. |
±0,26 |
св.1 до 10 пФ включ. |
±0,11 |
св.10 до 100 пФ включ. |
±0,1 |
св.100 пФ до 1 нФ включ. - при частоте тестового сигнала 5 МГц, в зависимости |
±0,1 |
от диапазона: | |
от 0,01 до 1 пФ включ. |
±0,61 |
св.1 до 10 пФ включ. |
±0,32 |
св.10 до 100 пФ включ. |
±0,29 |
св.100 пФ до 1 нФ включ. |
±0,32 |
Диапазон установки частоты тестового сигнала, Гц |
от 103 до 5406 |
Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты тестового сигнала, % |
±0,008 |
В1525А Модуль высоковольтного полупроводникового импульсного генератора (HV- | |
SPGU) | |
Диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока, В: |
от -20 до +20 |
при нагрузке 50 Ом в режиме холостого хода |
от -40 до +40 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, В |
±(0,005^U+540"2) |
Диапазон установки частоты следования импульсов, Гц |
от 0,1 до 33 406 |
Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты следования импульсов, % |
±1 |
Наименование характеристики |
Значение |
Выброс на вершине импульса при нагрузке 50 Ом, В, не более |
(0,05^U+240-2) |
Диапазон установки длительности импульсов, с |
от 10-8 до 9,99999999 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности импульсов, с |
±(0,03^т+240-9)*** |
Длительность фронта и среза импульсов, нс, не более: при U< 10 В при U<20 В при и>20В |
20 30 60 |
В1530А Модуль генератора сигналов и быстродействующего измерителя (WGFMU) | |
Диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока, В |
от -10 до +10 |
Диапазон воспроизведения напряжения в режиме воспроизведения импульсов , В: при нагрузке 50 Ом в режиме холостого хода |
от -2,5 до +2,5 от -5 до +5 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, В |
±(0,001-U+1 -10-2) |
Диапазон установки частоты следования импульсов, Гц |
от 0,1 до 106 |
Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты следования импульсов, % |
±1 |
Диапазон установки длительности импульсов, с |
от 540-8 до 5-10-2 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности импульсов, с |
±(0,03^т+240-9) |
Выброс на вершине импульса при нагрузке 50 Ом, В, не более |
±(0,05^U+240-2) |
Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В |
от -10 до +10 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, В |
±(0,001-U+1 -10-2) |
Диапазон измерений сила постоянного тока, мА |
от -10 до +10 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока, А: от -1 до +1 мкА включ. от -10 до +10 мкА включ. от -100 до +100 мкА включ. от -1 до +1 мА включ. от -10 до +10 мА включ. |
±(0,00VI+2^10-9) ±(0,00VI+2^10-8) ±(0,00VI+2^10"7) ±(0,00VI+2^10-6) ±(0,00bI+240-5) |
* где U - измеренное (воспроизводимое) значение напряжения, В. ** где I - измеренное (воспроизводимое) значение силы тока, А. *** где т- длительность импульсов, с. |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В: |
от 100 до 240 |
- частота переменного тока, Гц |
от 48 до 63 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С |
от +15 до +35 |
- относительная влажность окружающего воздуха, %, не более |
80 |
Масса, кг, не более: | |
- анализатор В1500А |
20 |
- модуль В1510А |
2 |
- модуль В1511А, В1511В |
1 |
- модуль В1514А |
1,3 |
- модуль В1517А |
1,2 |
- модуль В1520А |
1,5 |
- модуль В1525А |
1,3 |
- модуль В1530А |
1,3 |
Габаритные размеры, мм, не более: | |
- высота |
575 |
- ширина |
330 |
- длина |
420 |