ДЛЯ ГОСУДАРСТВЕННОГО РЕЕСТРА СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ

С.Пункевич

2010 г.

?ель ГЦИ СИ, директор нверсия»

Изготавливаются по технической документации фирмы «Bruker Optik GmbH», Германия

Фурье-спектрометры CryoSAS (далее - Фурье-спектрометры) предназначены для измерения оптических спектров пропускания в дальнем и среднем ИК диапазонах, определения концентрации различных веществ в твёрдой исследуемых образцов в следующих областях: качественный и количественный анализ примесей в полупроводниках. Фурье-спектрометры применяются в качестве отдельных автономных приборов в научно-исследовательских, учебных и производственных организациях.

Фурье-спектрометры CryoSAS представляют собой стационарные автоматизированные приборы.

Основой Фурье-спектрометров является двухлучевой интерферометр, в котором при перемещении одного из зеркал происходит изменение разности хода между интерферирующими лучами. Для уменьшения влияния внешних воздействий интерферометр построен по схеме с зеркалами в виде уголковых светоотражателей. Спектр (в шкале волновых чисел) получается после выполнения специальных математических расчетов (обратное преобразование Фурье) интерферограммы.

Движение зеркала в интерферометре осуществляется линейно с помощью прецизионного механизма. Точное положение зеркала (разность хода в интерферометре) определяется с помощью референтного канала с лазером. Нулевое значение разности хода (основной максимум интерферограммы) определяется расчётным путём.

Для исключения влияния внешних воздействий (наличие паров воды в атмосфере и двуокиси углерода) применяется продувка спектрометра сухим воздухом или азотом.

В интерферометре осуществлена автоматическая настройка с использованием дополнительного подстраивающего зеркала, прибор оборудован стабильной оптической скамьей и двумя отсеками хранения светоделителей. Спектрометр укомплектован Не криостатом замкнутого цикла для охлаждения образцов.

Полностью цифровой прибор оборудован детекторами со встроенными предусилителями сигнала и АЦП, вследствие чего нет влияния на прибор электромагнитных излучений.

Конструктивно Фурье-спектрометры выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказам приборы оснащаются широким набором дополнительных устройств и принадлежностей, приставок и держателей образцов, что дает возможность работать в различных режимах отражения и пропускания. Приборы могут комплектоваться портами входа и выхода излучения для использования дополнительных внешних источников излучения и дополнительных внешних детекторов.

Управление процессом измерения осуществляется от внутреннего контроллера и совместимого компьютера (модель не ниже Pentium) с помощью программного комплекса CryoSAS. Программный комплекс CryoSAS - это пакет программ, предназначенных для качественного и количественного спектрального анализа примесей в полупроводниках.

Комплект поставки определяется заказом и отражается в спецификации.

• -  детектор ИК-излучения

• -  источник ИК-излучения

• -  кюветное отделение

• -  интерферометр

• -  блок электроники

• -  блок питания

• -  вакуумный насос

• -  криостат

Компьютер

Принтер

Соединительные кабели

Комплект инструментов

Программное обеспечение

Руководство по эксплуатации (на русском языке) Методика поверки.

Дополнительное оборудование, поставляемое по заказу:

Детекторы

Панель ввода-вывода цифровых и аналоговых сигналов

Оборудование высокого разрешения и быстрого сканирования

Устройство для продувки прибора

Телескопический объектив

Источник ИК излучения