Методика поверки «Методика поверки измерительных поляризационных компенсаторов и полярископов-поляриметров» (МИ 215-80)

ГОСУД^А^Р^С^Т^В^Е^ННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО CTjj^jPlAPI^A^M

1      С е> .     ’    НАУЧНОПРС^^'^ВС^/^С^^ВЕННОЕ ОБ1>ЕД>^НЕ

S                      ' «ВНИИМ им. Д. И. МЕНДЕЛЕЕВА»

ПОВЕРКИ ИЗМ^ЕРИТЕЛЬНЫХ ПОЛЯР1^:^.АЦИОННЫХ КОМПЕНСАТОРОВ И ПОЛЯРИСК^ПОВ-ПО^^$1РИМ^ЕТРОВ

с о X

•л

X

0

Москва

ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ

1981

Генеральный директор Т^^беев Ю. В.

"   Рукооодитель темы Налбандов Л. В.

Исполнители Буслаева В. Е, Сорокина И. С.

ПОДГОТОВЛЕНА К УТВЕГ^Р^^Е^^Ю Сектором законодательной метрологии НПО «ВНИИМ им. Д. И. Менделеева»

Начальник сектора Селиванов М. Н. Исполнитель Ба^^буха Н. А. *

УТВЕРЗЖДЕНА На'учно-техническим советом НПО «ВНИИМ им. Д. И. Ме^нд^е^ле^ева» 10 декабря 1979 г. (лротокол № 34)

МЕТОДИКА

ПОВЕРКИ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПОЛЯР^:^^ЦИОННЫХ КОМПЕНСАТОРОВ И ПОЛЯРИСКОПОВ-П^С^ЛЯРИ^МЕ^ТРОВ

МИ 215—80

Настоящая методика р^аспростраияется па поляризационные из- . мерительные компенсаторы (в дальнейшем—компенсаторы) и полярископы-поляриметры со следующими характ^еристиками:

компенсаторы Бабние типов КПБ-5, КПБ-10, КПБ-30 с преде- • лами измерений от 0 до ± (2750; 5500, ^^^500) нм с погрешностью измерений не более 10, 15, 30 им соответственно;        .

компенсаторы Солейля типа КС-5 с пределами измерений от 0 до ±^^750- нм с погрешностью измерений не более 2 нм;

компенсаторы Сенармона типа КРК с пределами измерений от о до 550 нм с погрешностью измерений не более 10 нм;

полярпскопы-по.пяриметры типов ПКС-125 и ПКС-250 с пределами измерений от 0 до 550 нм с погрешностью измерений не более 10 нм и устанавливает методы и средства н.х периодической поверки.

1.                 и С1>£^Е^СТВ^ВА П(^1^1^1^КИ

• 1.1. Припио^^;^<^нде иове|^1^^1 комке^^^^^(^|^ов^1ы пс^лияк^н ютера- " ции н применяют средства иосеnко, указанные в табл. 1-

Таблица I

Издательство стандартов, 1981

Поверку проводят в полузатемнеииом помещении, так чтобы общая освещспность не мешала глазу наблюдателя при адаптаи^ии к затемненному нолю зрения.

• 2.2. Перед нр опедеедем 1Ювпрве кы пс^лпяк^тсл едле^Щюз подготовительные работы.

• 2.2.1. .Для по вгяее кпмп^янгa^^аля я^ex■^^плп ов иг^«^п^як^тс[Лeци-альиую осентитепьную устаноеку, собранную и ялъюстпеяванпую в соотентствпп с геиложением 1.

  кон-

Для этого на рнльсн располагают источник белого света, рннсатор и ко.^плпматор. Добиваются осеещннпо диафрагмы ко-л-лпматяра в соотвнтствпп с геиляжением 1. Уc'^lанавпивают авто-кяллпматяе¹ на ннколяеом еасстоянпп от коллиматяра так, чтобы ягтическао ось аетокяллиматора совпадала с- осью пучка света, елхядощегя из кяплиматяеа, с погеошнястью не бопнн 3 мм. При этом автякяллпматяе еаспопагают таким образом, чтобы он ие мешал грдееденпю гяверки. Ус•ланаеливают на еепьсе гя.поризатор (см. грпложеппе 1), псгользуя авлякяллиматяр для кянтряля от-к•лянения рабочих пяверхнястнй по,порызатяеа от горпемрпку,пяе-нясти к огтпческой оси автоколлпматяра и, тем самым, к оси пучка сеета.

Исгользуо для кянтряло автоколлиматяр, устанавлпвают ком-пенсаляе на рельс так, чтобы поверхнясть кваецевяй ппастпнл у кямгенсатяеяе типа КС или поверхность аналпзаляра у компе^^^а-тоеяв тпгое КРК и КПБ была герген.рикукоена к оси пучка света, еышедшегя из кя.^плпматора, с гогеешнястью не бяпед 15'; при этом ось пучка свнта должна про.хс^.дить через центр го.пнястью осве-щниного в.хядного отвнестия комген^aтяеа с гягееншяслля не бо-лнн 3 мм. При Jlеявнденнн этой ягнеацпп окулое коMгенсаляра должен быть снят.

Для устаноекп гя.порпзаляеа в скенщеннон ^^.поженпе, при ко-тяеом его гпоскясть геягусканпо гее^^н,рпку,поена гляскослп про-гусканпо анализатяеа кямгннсатяеа, у кямгннcаторяв типа КРК, усланаелпеают аналпзаляе в го■^пожннпе, соолветслеующнн ялсчс-(^ но шкале компeнcатоеа. Пявоеачпвао гя.поеп.затяе в ягеаен, добпваютсо напбопьшнго залнмненпо гя.по зеннпо комгннсаляеа, при этом .затнмнннпн должно быть раеномнрным.

У комгннсатярое тпгяв КС и КПБ устанавливаюл пярвижнлй клин в гя.пожннпн, сяотвнтствующнн ятсчелу 30 мм по шкале ком-гннсатяра. Пявоеачпваюл пдпоепзатое в ягеавн до тех пор, пока поло зеннпо комгенсалоеа не гепмнт епд, .'^{^[^^кторный для гя.по-жннпо пуловой еазности хода для белого света: у компенсатоеов типа КС подвижный клин компонспеуот по всему полю зеонпя разность хода, созданную нопярвпжной спстомяй клип—пластпна, п наблюраотся равонствя нанмепыннх яекястей обеих полоеин поля зрения; у компенсаторов типа КПБ подвижный клип компенсирует только в центре поля зрения разность .хода, созданную неподвижным клином, и в центре поля зрения располагается черпая полоса, а симметрично в обе стороны от нее — цветные полосы. При этом поле зрения компенсаторов типа КС должно быть затемнено рав-li^j^t^IPiio; черная и цветные полосы в поле зрения у компенсаторов типа КПБ должны иметь одинаковую интенсивность окраски по своей высоте.

. При проведении этой операции окуляр у компенсаторов типов КС и КПБ должен быть поставлен на свое место. Снимать и ставить на место окуляр следует осторожно, чтобы не изменить положение компенсатора.

• 2.2.2. Для но.пярискоиов-цоляриметров должно быть проверено качество освещения и.х поля зрения. Центральная часть поля зрения диаметром не менее 40 мм должна быть равномерно освещена; допускается незначительное уменьшение освещениости по краям поля зрения. Равномериости освещеиности добиваются регулировкой положения источника света при помощи установочных' винтов.

• 2.2.3. Перед определением основной погрешности следует установить эллипсометрическую пластинку (см. приложение 2) в положение, при котором ее рабочие поверхности параллельны поверхностям кварцевой пластины у компенсаторов типа КС или поверх- • ностям анализатора у компенсаторов типов КПБ и КРК с погрешностью не более 15'. Для контроля правильности установки пластинки в это положение используют автоколлпматор; при этом

у ко-мпенсаторов типов КПБ и КС окуляр должен быть спят. Пластинка должна помещаться на скамье между поляризатором и компенсатором.

• 2.2.4. Эллипсометрическая пластинка перед измерением должна быть выдержана в иепосредствеиной близости от прибора не менее 30 мин.

3.                   П<^ВЕ1^1^1И

• 3.1. Внешний осмотр                         .

• 3.1.1. При проведении внешнего осмотра прибора устанавливают следующее:

наличие полного ко.мплекта в соответствии с паспортом;

наличие маркировки: типа прибора, товарного знака завода-изготовителя. заводского номера;

отсутствие дефектов и повреждений покрытий на наружных поверхностях, ухудшающих его работоспособность, и налетов, царапин и других дефектов на открытых поверхностях оптических деталей;

наличие четкой гравировки штрихов шкал, залитых краской, надписей и цифр.

• 3.2.                       ксзо^гтеген^тгс^о^с^в

• 3.2.1. При проверке взаимодействия подвижных частей компенсатора устанавливают соответствие их следующим требованиям:

окуляр у K^i^nHHcajjjpoB типов КПБ и КС должен цоворачнвать-ся легко и плавно при наведении на резкое изображение перекрестия или линии раздела по,ля зрения;

подвижный клин и связанная с ним шкала у компенсаторов типов кС и КПБ при вращении микрометрического винта должны перемещаться легко и плавно во всем диапазоне измерений;

переключатель . полутеневых устройств у компенсаторов типа КС должен устанавливать каждое из них так, чтобы линия раздела поля зрения располагалась вертикально и про.хо,дила через центр поля зрения;

анализатор и связанный с ним лимб у компенсатора типа КРК должен поворачиваться легко и плавно во всем диапазоне измерений;

оправа со светофильтром у компенсатора типа КРК при ее ьра^ении должна полностью вводить светофильтр и выводить его н;з пол-я зрения.

• 3.2.2. При проверке отсчетного устройства устанавливают, что лампы подсветки шкал освещают штрихи и индексы шкал и барабана с яркостью, достаточной для работы в полузат^^.мпенном помещении.

• 3.2.3. Проверку пределой измерения компенсаторов типов КПБ ii КС производят на специальной осветительной установке (см. приложение 1) с .моио.хроматнческнм нсточннком света. Вращая микрометрический винт, перемещают подвижный клин и жестко связанную с ним шкалу ко.мпенсатора на 30 мм в обе стороны от по-.южения нулевой разности хода и при этом считают число черных полос, прошедших в поле зрения через перекрестие у компе^^^^то-ров типа КПБ пли число затемнений у компе^^^аторов типа КС.

Число черных полос или зат^емнений в каждой стороне должно равняться числу интерфереиционны.х порядков ко.М1^^1н[^)^тора (не считая затемиеиия или полосы, соответствующих положению нулевой разности .хо,да).                                            •

• 3.3.1. Опредрлееие |разрознн отсч<^'^ч^1з, воотв1^^<^1^^;с1<^^ю< положениям нулевой разности .хода для белого и мооо.проматическо-10 света, у компенсаторов типов КПБ и КС ■ про^^^^водят на специальной осветительной установке (см. дроинжрнир I).

Освещают компенсатор .моIIOпро.мJатичрском светс^.м (см. проио-жрнир 1) й ус-танавливают по шкале компенсатора отсчет 30 мм. ' Наблюдая в окуляр и медленно поворачивая микромртричрской вонт, добиваются равенства оаомсиьшоп яркостей обеих поиовои поля зрриоя у компенсаторов типа КС (долутенрвыр пиастинко должны быть введены в поле зрания) иио устанавливают середину нулевой черной полосы на центр поля зрения у компенсаторов ти-

на КПБ. Производят не менее пяти наведеинн на это положение нрн подходе к нему со стороны болыннх значений шкалы и не менее пяти наведений                                             “

каждый раз снимая отсчет (аналс^гичным об|)азс^м, подходя с разных сторон шкалы, i------------------------ ■— -------------------

пов КС и КПБ). ■               ■

За отсчет соответствующий положению пулевой разности хода для монохроматического света, принимают среднее арифметическое из десяти отсчетов.

Заменяют ртутную лампу лампой накаливания и освещают компенсатор белым светом (см. приложение 1). Аналогичным образом определяют отсчет / о , соответствующий положению нулевой ра.з-пости хода для белого света.

Разность отсчетов |/®—/“ | не должна быть бол^ее 1 нм дли компенсаторов типа КС-5, 5 нм для компенсаторов типа КПБ-5, 7 нм для компенсаторов тина КПБ-10 и 15 нм для ко.мпенсаторов типа КпБ-30.                                              .

• 3.3.2. Определение погрешности градуировки у компенсаторов типов КПБ и КС производят на специальной 'осветительной установке (см. приложение 1) с монохроматическим источником све'та.

После определения положения нулевой разпости .хода для монохроматического света у комиепсаторов типа КПБ снач^.лгГ пере-• мощают подвижный клип в сторону бодыипх значений шкалы ком-пен^атора до по-ложения, соответствующего разности хода в одну длину волны, при котором середина первой (не считая нулевой) черной полосы сов.местится с центром перекрестия. Совмещение осуществляют подходя к этому положению не менее пяти раз со стороны меньших значений шкалы н не менее пяти раз со стороны больших значений, каждый раз снимая отсчет. На.ходят среднее значение I " из десяти отсчетов. Затем совмещают одну из черных полос в середине шкалы и последнюю черную полосу с центром нерскрсстня, что соответствует разности хода в / и .V длин волны, и определяют средние значения отсчетов / " и/ •!;' ,

где i— порядковый номер средней полосы (не считая нулевой);

М — число йнтерференционных порядков компенсатора.

Возвращают клин в положение нулевой разности .хода и, перемещая его в сторону меныннх значений шкалы компенсатора, логичным образом определяют средние значения отс^с^^с^^ /j _й / N •

. После определения положения ну.левой разности .хода для но.хроматического света у комnенсасоров типа КС сначала пере.ме-щают клин в сторону болыннх .значений шкалы компенсатора до положения, соответствующего равенству йайменщийх яркостей обе-и.х половин поля зрения при разности .хода в одну длину волн-ы. До-бпваются равенства яркостей обеих половин ноля зрения при подходе к этому положению не менее пяти раз со стороны меньших значений шкалы и не меиее пяти раз при подходе со стороны больших значений, каждый раз снимая отсчет. Находят среднее значение /" из десяти отсчетов.

Последовательно перемещают клип в сторону больших значений шкалы компенсатора до положений, соответствующих равенст^в ву наименьших яркостей обеих половин поля зрения при разности .хода в / и iV длин волны и аналогичным образом определяют сред- • пие зпачоиия отсчетов /" и /f" , где /=3 и N — 5.

Возвращают клип в по.ложение нулевой, разности хода и, пе-ре.м«^|^1ая его в сторону меньших значений шкалы компенсатора, аналогичным образом определяют средине значения отсчетов Г' ' I и / N .

Для компенсаторов обоих типов определяют значение перемещения клипа С в делениях шкалы, соответствующее разности хода .в рдну длину волны                   ‘

порядках:

С1= I'l-iО

Находят среднее С1, С| и Cn.

Разность между средним значепием С и любым Cl, Cl или C.N не должна превышать двух делений саторов типа КС-5, 10 делений для компенсаторов 15 делений для компенсаторов типа КПБ-10, 30 делений для компенсаторов типа КПБ-30.              ■

• 3.3.3. Ocиoвпyв) по грс^н^щ^снь комг^енсенэрт с^п редееде^т т а к отклопепне значепня спзпостн хода (внос^пмой эллнnсометрнческоH пластнпкой), пелучепнеге ссн изнеренин поверяемым консепсрто-ром, от зппчеппя, сснведенпего в саспосте на пластинку.

Перед опседелеппен еспевной согрешностн компенсаторов типов КПБ ii КС пееб,хедн.но найти цену одного деления шкалы ко.м-сепсатоса К = И/С, где К — цена одного деления шкалы ком-сенcатоса, нм/дел.; л — длина волны исполь.з:уемого мопех^o.м^ти-ческого светп, нм; С ■— сседпее зпачение перенещення клина, соот- ’ ьетствующее спзпестн .хода в одну длину волны, определепное в п. 3.3.2.                                    ■

Определепне осповпей согсешпостн компенсаторев про^^во.дят , на ссециальпой освcтнтельней установке (см. прнложенне 1) с ис-точпикамн нопо.хс'е.натнческего и белого света при помощи эллин-сометрическей nлпстнпкн (см. прнложение 2).

При опседелепнн есновной ^^грешности комnенсатеров типов КС и КПБ после выполнепня операций по п. 2.2.3 освещают ком-

пенсатор белым светом (см. приложение 1). Устанавливают подвижный клин в положение, которое соответствует действительному положению нулевой разности .хс^да для белого света. Наблюдая в окуляр, медленно поворачивают эллипсо.м1^трическую пластинку до тех пор, пока поле зрения компенсатора не примет вид, характерный для положения нулевой разности хода для белого света; при этом главные направления эллипсометрической пластпнки располагаются параллельно плоскостям пропускания по.аяризатора и анализатора (это положение в дальне^йшем — параллельное ^^-ложение эллипсометрической пластинки). Устанавливают эллипсометрическую пластинку в параллельное положение, подходя к не- , му не менее пяти раз по часовой стрелке и не менее пяти раз против часовой стрелки, каждый раз снимая отсчет по лимбу эллипсометрической пластинки. Находят среднее значение шо из десяти отсчетов и поворачивают пластинку от ^^.ложения, соответствующего этому отсчету, по часовой стрелке па угол, равный 45®.

Наблюдая в окуляр и перемещая по,движный клин, на.х(^,дят такое его положение, при котором разность .хода, внесенная пластинкой, скомпенсирована. При этом поле зрения компенсатора имеет вид, харак^т^е^рный для положения нулевой разности хода для белого света.

Для уточнения по.ложения клина при компсисацпп освещают

- компенсатор моно.хроматическим светом (с.м. приложение I) и небольшим перемещением клипа устанавливают черную полосу в центре перекрестия у компенсаторов типа КПБ пли добиваются уравнивания - ^^£^1имен^ших яркостей обеих половин поля зрения у компенсаторов типа КС. Определяют это положение, подходя к ше-му не менее пяти раз со стороны бблщних и не менее пяти раз со стороны меньших значений шкалы компенсатора (см. п. 3.3.1).

Находят среднее значение из десяти отсчетов Вычисляют разность х^(ода б" в нм, внесенную эллрпсометрнчсской пластинкой, по формуле б“= |/"—/ о 1 - К.

Зат^ем возвращают эллипсометрнческую пластинку в положение, соответствующее отсчету Шо, ^^^в^рачивают от него против часовой стрелки на угол, равный 45®. Анал^о^1^1;^^1^ым образом определяют разность хода б^, им, вносимую эллипсометрической пластинкой в этом положении.

Полученные значения разности .хода 6" п б" нс должны отличаться от значения, указ^^ного в паспорте на эллннсометрическую пластинку, более чем на 2 н.м для компенсаторов типа КС-5; более чем па 10 нм для ко.мпенсаторов типа КПБ-5; более че.м на 15 нм для компенсаторов типа КПБ-^^); более чем па 30 нм для компенсаторов типа кПБ-30.

При определении основной погрешности компенсаторов ^па КРК после выполнения операций по п. 2.2.3 освещают компенсатор монохроматическим светом и устанавливают анализатор в ш^.ло-жение, соответствующее отсчету (Р по шкале компенсатора.

8 .

Наблюдая за полем зрения компенсатора, медленно поворачивают эллппссметрическую пластинку до тех nqp, пока она не займет параллельного положения, при котором поле зрения максимально затемнено. Способом, аналогичным применяемому для компенсаторов типов КС и КПБ, определяют отсчет /По и поворачивают эллипсометрическую пластинку от положения, соответствующего этому отсчету, по часовой стрелке на угол, равный 45°. Поворачивая анализатор, добиваются наибольшего затемнения поля зрения. Под.\(^^ят к этому положению ие менее пяти раз но часовой стрелке и ие меиее иятч раз против часовой стрелки, каждый раз снимая отсчет по лимбу анализатора. Находят среднее 3Нс^>^ение ф из десяти от^четов и вычисляют разность .хода 6". нм, внесенную эллйпсометрнческой пластинкой, по' формуле

6" = -^-^-ф.

360"

где ф — среднее значение угла поворота анализатора, соответствующее наибольшему зат^емнению поля зрения с установленной эллипсометрической пластинкой, град: ),— длина волны используемого излучения, им.

Затем эллипсометрическую пластинку возвращают в положение, соответствующее отсчету то, и поворачивают от него против часовой стрелки на угол, равный 45°.                          •

Аналогичным образом определяют разность хода б-’’, вносимую эллипсометрической пластинкой в этом положении.

Полученные значения разности хода 6" и д'" ие должны отличаться от зиачеиия, указанного в паспорте на эллипсометрическую пластинку, более че.м на 10 нм.

• 3.4. Опробование полярисконов-поляриметров

  соответ-

  • 3.4.1. При опробовании прибора устанавливают его

ствие с,ледующим требованиям:                       ‘

движение всех подвижных частей прибора должно вляться легко, плавно, без скачков и заеданий;

фиксация положения измерительной головки должна кой и надежной;

нереключеипе одповолновой и четвертьволновой фазовых пластинок должно быть четким и надежным;

введение и выведение .зеленого светофильтра из поля зрения должно быть полным:

соедниение непо,движных частей должно быть жестким, без ощутимого перемещения.

• 3.5. Определение метрологических параметров полярископов-поляриметров.

  • 3.5.1. Проверку воспроизводимости скрещенного положения анализатора без четвертьволновой, фазовой пластинки и с ней производят с диафрагмой, ограничивающей диаметр пучка света, вы-

•   .холящего из поляризатора, до 40 мм; одиоволновая фазовая плас

тинка должна быть выведена из нучка света. •

Выводят четвертьволновую фазовую пластинку из поля зрения н устанавливают анализатор в положение, соответствующее наибольшему затемнению поля зрения, не менее пяти раз при по,цходе к этому положению но часовс^Л стрел^^. и не менее пяти раз при нод.ходе против часовой стрелки, кажд^ый раз снимая отсчет по • лимбу анализатора; при этом разность между наибольшим и наименьшим из десяти отсчетов не должна быть более 0,5°. Находят среднее значение из десяти отсчетов, которое соответствует скрещенному положению анализатора без четвертьволновой фазовой пластинки.

Вводят четвертьволновую фазовую пластинку в поле зрения и снова аналогичным образом не менее десяти раз определяют скрещенное ^^ложение анализатора; разность между наибольшим и наименьшим из десяти отсчетов не должна быть более 0,5°. Находят среднее значение <о, которое соответствует скрещенному положению анализатора с четвертьволновой фазовой пластинкой.

Разность между скреш^енными положениями анализатора с четвертьволновой фазовой таст^инкой и без нее |фс—н® должна быть более 0,3°.

• 3.5.2. Основную погрешность полярископа-поляриметра определяют как отклонение значения разности хода (вносимой эллипсометрической пластинкой), полученного при измерении поверяемым по,ляраскопо.м-поляраметром, от значения, приведенного в паспорте на пластинку.

Эллипсометрич^с^кая п.ластинка для поверки поляраскопов-п^.ляраметров

в юстировочном приспособленаа

типа ПКС-125

f

Рас. 1

/—слюдяная пластинка: 2—попнус; лимб; '^^п./^<Х'кое основание

I

Э.ллиш^(^1^егрическая пластинка для поверки полярископов-поляриметров типа Г1КС-250 в юстировочном приспособлении г

«

/—штифт; 2—линейка; 3—слюдяная пластинка; -/—лимб; 5—нэниус

Определение основной погрешности полярнскоиов-иоляриметров производят при помощи эллипсо,метрическнх пластинок, укрепленных в юстировочных приспособлениях (рнс. 1 и 2).

После определения скрещенного ^^.ложения анализатора с четвертьволновой пластинкой фо располагают эллипсометрическую пластинку, укрепленную в соответствующем типу ^^.лярископа-по-ляриметра приспособлении, так, чтобы она была в центре по.ля зрения прибора. Способом, аналогичным применяемому для компенсаторов типа КРК, находят параллельное положение эллипсометрической пластинки и определяют отсчет по. Поворачивают пластинку от положения, соответствующего отсчету т^о. по часовой стрелке на угол, равный 45”. Поворачивая анализатор, добиваются максимального зат^емнения по.ля зрения. Определяют это по.л^^^ке-ние анализатора ф так же, как в п. 3.5.1, мие фо.

360-^ф-~^о)’

где X — длина волны ис^^-льзуемого излучения, им;

ф— среднее значение угла поворота анализатора, соответствующее наибольшему затемнению поля зрения с установленной эллипсометрической пластинкой, град;

фо — среднее значение отсчета, соответствующее скрещенному по,ложенпю анализатора с четвертьволновой фазовой пластинкой.                                    ■

Затем возвращают эллипсометрическую пластинку в по.ложение, соответствующее отсчету то, и ^вворачивают от него против часовой стрелки на угол, равный 45”.

Аналогичным образом определяют разность хода 6", внесенную пластинкой в этом положении.

Полученные значения разнести хода 6" чаться от значения, указа^нIеге в паспорте пластинку, более чем на 10 нм.

4. ОФОРМЛЕНИЕ РЕ^;УЛЬТАТОВ

• 4.1. На компеисатрры и полярископы-поляриметры, удовлетворяющие требованиям настоящей методики, выдают свидетельство о государственной или ведомственной поверке по форме, установленной Госстандартом или ведомством соответственно.

• 4.2. Результаты поверки считаются отрицатель^ными, если при проведении поверки установлено несоответствие поверяемых компенсаторов и полярископов-поляриметров хотя бы одному из требований настоящей методики. При отрицательных результатах поверки выдают извещение о непригодности с указанием причин.

требования к специальной осветительной установке

Освитнтельиая установка должна состоять из источников света монохроматического (ртутная лампа низкого давления типа ДР^С-50 со стеклянным светофильтром по ГОСТ 8.239—77 или интерференционным светофильтром с полосой пропускания нс более 10 нм для выделения излучения с длиной волны 546,1 нм) и белого (лампа накаливания типа СЦ-62), конденсора (диаметром не менее > 30 мм с фокусным расстоянием от 80 до 150 мм), коллиматора (диаметром объектива не менее 30 м.м и фокусным расстоянием от 200 до 350 мм), поляризатора (поляроид по НО 271^3—58 диаметром не менее 30 мм), установленных и закрепленных па рельсе.                '

Установка должна быть отъюстирована таким образом, чтобы конденсор -проектировал светящееся тело источника света на входную диафрагму коллиматора и объектив коллиматора был равиомерио освещен; отклонение от параллельности лучей в пучке света, выходящем из коллиматора, не превышало 15'; рабочие поверхности по.яяризатора были перпендикулярны оси пучка света, вышедшего из коллиматора, с погрешностью не более U5'.

Поляризатор должен быть закреплен в оправе, позво;^)^к^щеГ' поворачивать его вокруг оси пучка света, вышедшего из коллиматора.

ТРЕБОВАНИЯ К ЭЛЛИПСО^Е^ТРИЧЕСКОЙ, ПЛАСТИНКЕ

Эллипсометрическая пластинка должна состоять из фазовой пластинки, оправы н лимба.

Фазовая пластинка должна быть укреплена в оправе в иеиапряжеииом состоянии.                                                                   '            .

Оправа должна допускать поворот пластинки в ее плоскости на 360° и быть жестко скреплеииой с виутреииее частью лимба или нониуса.

Внешняя часть лимба должна обеспечивать креплеиие эллипсометрическоё пластинки в различных юстировочиых-^J)и<:по^oбпеииях, позволяющих исп^ль:зовать пластинку для поверки компенсаторов и попяpи^^(^I^c^l^п^c^п^s^f^иметров всех типов.

Цена деления отсчетного устройства лимоа должна быть не менее 0,05°.

Погрешность аттестации эллипсометрической пластинки не должна превышать 1 им для п.ластинок, испo.пьзуемых при поверке компенсаторов типа КС, и 3 им для п.пастииок, используемых при поверке прочих компенсаторов и поля-рнскопов-поляр^и.метров всех типов.

Методика

!

поаерки измерительных поляризационных компенсатороя и полярнеколов-лоляриметров

ми 215—80

Редактор Т. Ф. Писарева Технический редактор Л. Б. Семенова Корректор Э. В. Митяй

Сдано в наб. 12.09.80 Поди, в печ. 0.3.07.§1 Т—22i>09 формат 60X90','и Бумага типографская Л! 2 Литературная гарнитура Высокая печать 1.0 усл. п. л. 0,90 уч.-изд. л. Тир. 3000 Заказ 4896 IJteiia 5 коп. Изд. .Ма 6641/4

Ордена <3нпк Почета» Издательстпо стандартов. Москва Д-657. Повонрсснсиский пер., а. 3. Вильнюсская типография Издательства стандартов, ул. iMiiiiaayro. 12/П, Зак. 4896

¹

Поле зренш! автоколлиматора должно быть не менее 1® цена деления—не более 5'.