Модель прибора

SJ-500

SV-2100

SV-3100

SV-3000CNC

Привод

+

+

+

+

Датчик

+

+

+

+

Блок управления

+

+

-

-

Установочная мера шероховатости

+

+

+

+

Стойка

-/+

+

+

+

Гранитная плита

-/+

+

+

+

ПК

-

+

+

+

ПО Formtracepak

-/+*

+

+

+

Стол

-

-

-

+

Руководство по эксплуатации

+

+

+

+

Методика поверки

+

+

+

+

Модель

SJ-500

SV-2100

M4

SV-2100

S4

SV-2100

H4

SV-2100

W4

Диапазон перемещения

щупа

ось Х

От 0 до 50 мм

От 0 до 100 мм

Разрешение

ось Х

0,05 мкм

Диапазон

измерений/Разрешение

ось Z1

От 0 до 800 мкм/0,01 мкм; от 0 до 80 мкм/0,001 мкм; От 0 до 8 мкм/0,0001 мкм

Пределы допускаемой относительной погрешности по параметру Ra

О/

%

±2

Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения по оси Х

ось Х

0,2 мкм/50 мм

0,15 мкм/100 мм

Метод измерения

ось Х

Керамические направляющие/линейная шкала

ось Z

Индуктивный датчик

ось Z2

-      |               Шкала ABS

Щуп

угол 60°, радиус 2 мкм (угол 90°, радиус 5 мкм)

Измерительное усилие

мН

0,75 (4)

Измеряемые параметры

Ra, Rc, Ry, Rz, Rmax, R3z, Rt, Rp, Rv, Rq, RPc, Sm, S, Pc, mr©, 5c, mr, tp, Htp, Lo, Lr, Ppi, HSC, Аа, Aq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, Xa, Xq, R, AR, Rx, W, AW, Wx, Wte (43 параметра)

Фильтры

Гаусс, 2CR75, PC75

Отсечка шага

Xc, мм

0,025; 0,08; 0,25; 0,8; 2,5; 8; 25; 80

Xs, мкм

0,25; 0,8; 2,5; 8; 25;80; 250; без отсечки

Диапазон вертикального перемещения

ось Z2,

мм

От 0 до 350

От 0 до 550

Разрешение

ось Z2

-

-

1 мкм

Размеры плиты, не более -длина;

-ширина

мм

-

600

450

1000

450

Габаритные размеры, не более

-ширина,

-глубина

-высота

мм

425

94

160

716

450

863

766

482

966

766

482 1166

1166

482

1176

Масса, не более

кг

6,7

1

0

150

220

Модель

SV-3100

S4

SV-3100

H4

SV-3100

W4

SV-3100

S8

SV-3100

H8

SV-3100

W8

Диапазон перемещения

щупа

ось Х

От 0 до 100 мм

От 0 до 200 мм

Разрешение

ось Х

0,05 мкм

Диапазон измерений/ Разрешение

ось Z1

От 0 до 800 мкм/0,01 мкм; от 0 до 80 мкм/0,001 мкм; от 0 до 8 мкм/0,0001 мкм

Пределы допускаемой относительной погрешности по параметру Ra

О/

%

±2

Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения по оси Х

ось Х

(0,05+0,001L) мкм, где L длина перемещения в мм

0,5 мкм/200 мм

Метод измерений

ось Х

Керамические направляющие/линейная шкала

ось Z1

Индуктивный датчик

ось Z2

Шкала ABS

Щуп

угол 60°, радиус 2 мкм (угол 90°, радиус 5 мкм)

Измерительное усилие

мН

0,75 (4)

Измеряемые параметры

Ra, Rc, Ry, RyDIN, Rz, RzDIN, Rmax, R3z, R3y, Rt, Rp, Rv, Rq, RPc, Sm, S, Pc, mr©, 5c, mr, mrd, tp, Htp, Lo, Lr, Ppi, HSC, Aq, Ku, Sk,

Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, Xa, Xq, R, AR, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, Rx, W, AW, Wx, Wte, NW, SW, SAW

Фильтры

Гаусс, 2CR75, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50

Отсечка шага

Xc, мм

0,0025; 0,08; 0,25; 0,8; 2,5; 8; 25; 80

Xs, мкм

0,25; 0,8; 2,5; 8; 25;80; 250; без отсечки

Диапазон вертикального перемещения

Ось Z2,

мм

От 0 до

300

От 0 до 500

От 0 до

300

От 0 до 500

Разрешение

ось Z2

1 мкм

Размеры плиты, не более -длина;

-ширина

мм

600

450

1000

450

600

450

1000

450

Габаритные размеры,

-ширина,

-глубина

-высота

мм

756

482

966

756

482 1166

1156

482

1176

756

482

966

756

482 1166

1156

482

1176

Масса, не более

кг

140

150

220

140

150

220

Модель

SV-3000CNC-S                SV-3000CNC-H

Диапазон перемещения щупа

Ось Х

От 0 до 200 мм

Разрешение

Ось Х

0,05 мкм

Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения

Ось Х

0,5 мкм/200 мм

Диапазон перемещений

Ось Z2

От 0 до 300 мм        |        От 0 до 500 мм

Разрешение

Ось Z2

0,05 мкм

Диапазон измерений/ Разрешение

Ось Z1

От 0 до 800 мкм/0,01 мкм; от 0 до 80 мкм/0,001 мкм; от 0 до 8 мкм/0,0001 мкм

Пределы допускаемой относительной погрешности прибора по параметру Ra

%

±2

Диапазон перемещений

Ось Y

От 0 до 200 мм

-

От 0 до 200 мм

Разрешение

Ось Y

-

0,05 мкм

-

0,05 мкм

Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения

Ось Y

-

0,5мкм/200 мм

-

0,5мкм/200 мм

Пределы допускаемой погрешности перемещения

Ось Y,

мкм

-

±(2+2L/100), где L -расстояние между двумя точками, мм

-

±(2+2L/100) , где L -расстояние между двумя точками, мм

Размеры стола, не более -длина;

-ширина

мм

200

200

200

200

Диапазон наклона

а

0 - 45° (против часовой стрелки), 0 - 10° (по часовой стрелке)

Разрешение

а, °

0,000225

Щуп

угол 60°, радиус 2 мкм (угол 90°, радиус 5 мкм)

Измерительное усилие

мН

0,75 (4)

Измеряемые параметры

Ra, Rc, Ry, RyDIN, Rz, RzDIN, Rmax, R3z, R3y, Rt, Rp, Rv, Rq, RPc, Sm, S, Pc, mr, 5c, mr, mrd, tp, Htp, Lo, Lr, Ppi, HSC, Aq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, Xa, Xq, R, AR, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, Rx, W, AW, Wx, Wte, NW, SW, SAW

Фильтры

Гаусс, 2CR75, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50

Отсечки шага

Хе, мм

0,0025; 0,08; 0,25; 0,8; 2,5; 8; 25; 80

Xs, мкм

0,25; 0,8; 2,5; 8; 25;80; 250; без отсечки

Размеры плиты, не более -длина;

-ширина

мм

750

600

Габаритные размеры, не более

-ширина,

-глубина

-высота

мм

800

620 1000

800

620

1200

Масса, не более

кг

240

250

Модель

SJ-500

SV-2100

SV-3100

SV-3000CNC

Диапазон рабочих температур, °C

От 15 до 25

от

5 до 25

Диапазон температур при хранении, °C

от-10 до 50

Допустимая влажность воздуха при

измерении, %

от 20 до 80

Допустимая влажность воздуха при

хранении, %

от 5 до 90

Источник питания

Напряжение, В

от 100 до 240

от 100 до 120, от 200 до 240

Частота, Гц

50 - 60

Мощность, В^А

75

140

500