Методика поверки «ГСИ. Установки вакуумметрические эталонные 2-го разряда УВЭ-3» (МП 231-0039-2017)

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»

ФГУП «ВНИИМ им.Д.И.Менделеева»

УТВЕРЖДАЮ

Директор

Государственная система обеспечения единства измерений

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП 231-0039-2017

И.о. руководителя НИО

Р.А. Тетерук

Чернышенко

Санкт-Петербург 2017 г.

• 1.1 Настоящая методика поверки (далее по тексту МП) распространяется на установки вакуумметрические эталонные 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту - установка УВЭ-3) изготовленные в срок с 01 июля 2016 г., и устанавливает методику первичной и периодической поверок.

• 1.2 Интервал между поверками - 1 год.

2.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 2.1.

Таблица 2.1

• 2.2 При периодической поверке представляются на поверку только ионизационный вакуумметр AIGX с контроллером TIC, и деформационно-термопарный эталонный вакуумметр ВДТО-3 с преобразователем ПДДТО-1, входящие в состав установки. Предоставляются протоколы согласно пп. 8.1 - 8.2, 8.3.1, а так же протоколы калибровки вакуумметров сопротивления APG и теплового CVM211. Поверка вакуумметров AIGX и ВДТО-3 осуществляется по методике поверки МИ 140-89 «Рекомендация ГСП. Вакуумметры. Методика поверки».

• 2.3 Поверка прекращается при получении отрицательного результата по п. 8.1, 8.2 или

• 8.3.1 настоящей методики. Вакуумметры возвращаются представителю эксплуатационной службы с изложением причин возврата для проведения мероприятий по их устранению и повторного предъявления.

• 3.1 При проведении поверки должны применяться средства измерений, указанные в таблице 3.1

Таблица 3.1

Таблица 3.

• 3.2 Средства измерений, применяемые при поверке, должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке. Испытательное оборудование должно быть аттестовано и иметь действующий аттестат.

Допускается применение средств поверки, не приведенных в перечне, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

• 4.1 Поверка проводится квалифицированным персоналом лабораторий, аттестованных в установленном порядке.

• 4.2 К поверке допускаются лица, аттестованные в качестве поверителей, прошедшие инструктаж по безопасности труда и ознакомленные с эксплуатационной документацией на эталонные и поверяемые средства измерений.

• 5.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования документа «Правила устройств электроустановок», а также требования безопасности, изложенные в эксплуатационных документах эталонных и поверяемых средств измерений.

• 6.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

  • •  температура окружающего воздуха, °C.............................................................20±2

  • •  относительная влажность воздуха, %.................................................................60±15

  • •  атмосферное давление, кПа.......................................................................от 84 до 106,7

  Измеряемая среда - сухой воздух или азот.

Вибрация, тряска, удары, магнитные поля, кроме земного, влияющие на работу и метрологические характеристики установки и эталонных вакуумметров, должны отсутствовать.

Скорость изменения температуры в помещении не должна превышать 0,5 °С/ч.

• 7.1 Проверьте наличие свидетельства о предыдущей поверке установки (при периодической поверке).

• 7.2 Проверьте наличие руководства по эксплуатации поверяемой установки.

• 8.1 Внешний осмотр

  • 8.1.1  При внешнем осмотре должно быть установлено:

• -  отсутствие механических повреждений и следов коррозии, влияющих на правильность функционирования и метрологические характеристики установки;

• -  отсутствие повреждений маркировки.

• 8.1.2 Установка, не удовлетворяющая требованиям п.8.1.1 настоящей методики, не подлежит поверке до устранения неисправностей и несоответствий. После их устранений внешний осмотр проводят в полном объеме.

• 8.2 Опробование

  • 8.2.1  При опробовании проверяют эксплуатационные свойства установки:

• - возможность включения, выключения и функционирования установки в соответствии с документацией;

• - работоспособность органов управления и регулирования;

• - функционирование всех средств измерений и оборудования, входящих в состав установки.

• 8.3 Определение метрологических характеристик

  • 8.3.1  Определение предельного остаточного давления

    • 8.3.1.1 Определение значения предельного остаточного давления проводят следующим образом. Подготавливают установку к работе согласно п. 2.2.2 ее руководства по эксплуатации. В соответствии со схемой, приведенной в приложении А настоящей методики, присоединяют к фланцу клапана VA1 измерительной камеры установки вакуумметр ионизационный AIGX. На остальных фланцах измерительной камеры установки должны быть установлены заглушки.

    • 8.3.1.2 Откачайте измерительную камеру установки до предельного остаточного давления, выполнив операции пп. 2.3.2-2.3.13 руководства по эксплуатации установки. Значение остаточного давления в камере контролируют по показаниям вакуумметра ионизационного AIGX.

    • 8.3.1.3 Результаты испытаний заносятся в протокол.

  • 8.3.2 Определение диапазона измерений и относительной погрешности

    • 8.3.2.1 Определение диапазона измерений и относительной погрешности измерений давления установки проводят методом сличения показаний ионизационного вакуумметра AIGX и деформационно-термопарного вакуумметра ВДТО-3, входящих в состав установки, с действительными значениями давления, контролируемыми по показаниям эталонных СИ: вакуумметра мембранно-емкостного Баратрон, входящего в состав ГЭТ 49-80 (далее по тексту эталонный вакуумметр Баратрон) и установки эталонной вакуумметрической редукционной ВОУ-1 (далее по тексту ВОУ-1).

    • 8.3.2.2 Выдержите поверяемые вакуумметры ионизационный AIGX и деформационнотермопарный ВДТО-3, и, эталонный вакуумметр Баратрон и ВОУ-1 при температуре, указанной в п.6.1, не менее 3 ч.

    • 8.3.2.3  Далее поверка проводится в соответствии с п.6.5 МИ 140-89.

    • 8.3.2.4 Результаты измерений занесите в протокол. Рекомендуемая форма протокола приведена в приложении Б.

    • 8.3.2.5 Рассчитайте относительную погрешность 5/ для каждой точки во всем диапазоне измерений по формуле

5 = Ри^Рэ. ₁₀₀

Рэ

где р_и - измеренное значение давления в камере установки, зафиксированное по показаниям вакуумметров ВДТО-3 и AIGX, входящих в состав установки;

р_э - действительное значение давления, контролируемое по эталонному вакуумметру Баратрон или ВОУ-1, в зависимости от диапазона измерений.

• 8.3.2.6 Результаты поверки считаются положительными, если относительная погрешность в диапазоне измерений от 10‘⁵ до 10‘² Па не превышает ±15 %, в диапазоне от 10‘² до 10³ Па не превышает ±10 %.

• 8.3.2.7 Выключите эталонный вакуумметр Баратрон, ВОУ-1 и отсоедините поверяемые вакуумметры ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

• 9.1 По результатам поверки ионизационного вакуумметра AIGX и деформационнотермопарного вакуумметра ВДТО-3, представленных протоколов согласно пп. 8.1 - 8.2, 8.3.1 данной методики, протоколов калибровки вакуумметров сопротивления APG и теплового CVM211, при положительных результатах, на установку оформляют свидетельство о поверке установленной формы. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

• 9.2 При отрицательных результатах поверки установку к применению не допускают, выдают извещение о непригодности с указанием причин.

Приложение А. Вакуумная принципиальная схема установки УВЭ-3

Р1

1 !

насос пЕХТ 300, Р1 - индикаторный тепловой вакуумметр CVM 211, Р2 - вакуумметр деформационно-термопарный эталонный 2-го разряда ВДТО-3, РЗ - вакуумметр ионизационный 2-го разряда AIGX, Р4 - индикаторный вакуумметр сопротивления APG, VF - высокоточный натекатель, VA1-VA7 - вакуумные клапаны, 1 и 2 - порты для присоединения дополнительного оборудования (приборов контроля герметичности, дополнительных откачиваемых объемов и откачных средств, и т.д.)

Приложение Б

(рекомендуемое)

Дата:________________

Заводской номер_____________

Температура окружающей среды:________________, °C

Относительная влажность воздуха:_______________, %

Атмосферное давление:_________________________, кПа

Результат поверки_________________________________________

Поверитель_____________________________(ФИО)