Методика поверки «Микроскоп конфокальный лазерный LEXT OLS 4100» (Код не указан!)

УТВЕРЖДАЮ

kbu.

□<«ницпс

В.Д. Войтко

ИО генерального директора

АО «НИЦПВ»

Микроскоп конфокальный лазерный

LEXT OLS 4100

Методика поверки

2016 г.

Настоящая методика распространяется на микроскоп конфокальный лазерный LEXT OLS 4100 , зав. № OLK41137, производитель Olympus, Япония (далее - микроскоп) и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

Настоящая методика разработана в соответствии с РМГ 51-2002 «Документы на методики поверки средств измерений. Основные положения».

Интервал между поверками -1 год.

• 2.1 Операции поверки

• 2.1.1 При проведении поверки выполняются операции, указанные в таблице 1. __________ Таблица 1

  Наименование операции	Номер пункта методики	Проведение операции при поверке
  		первичной	периодической
  Внешний осмотр и проверка комплектности	2.8.1	да	да
  Проверка работоспособности микроскопа, подтверждение идентификации ПО	2.8.2	да	да
  Определение погрешности измерений линейных размеров по оси Z	2.8.3	да	да
  Определение погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY	2.8.4	да	да

• 2.2 Средства поверки

• 2.2.1 При проведении поверки должны быть применены средства измерений, приведенные в таблице 2.

Таблица 2

• 2.2.2 При поверке могут использоваться другие средства измерений не приведённые в перечне (таблица 2), но обеспечивающие определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью. Все средства измерений должны иметь действующие свидетельства о поверке.

• 2.2.3 Перечисленные средства поверки должны работать в нормальных для них условиях, оговоренных в соответствующей нормативной документации.

• 2.3 Требования безопасности

• 2.3.1 При проведении поверки должны быть выполнены все требования безопасности, указанные в РЭ на микроскоп, меры, эталоны и средства измерений.

• 2.3.2 Все работы с микроскопом должны производиться техническим персоналом, прошедшим инструктаж по технике безопасности при работе с электроустановками до 1000 В.

• 2.3.3 Эксплуатация средств измерений при поверке микроскопа должна производиться в соответствии с «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок, «Электромагнитные поля в производственных условиях».

• 2.4 Требования к помещению

• 2.4.1 В помещении, в котором проводится поверка, не должно быть источников электрических и магнитных полей, а также механических вибраций, которые могут повлиять на результаты измерений.

• 2.5 Требования к квалификации поверителей

• 2.5.1 К проведению поверки допускаются лица:

• - прошедшие обучение и имеющие соответствующую профессиональную подготовку;

• - изучившие руководство по эксплуатации поверяемого микроскопа и методику его поверки.

• 2.5.2 Для проведения поверки необходимо дополнительно ознакомиться с эксплуатационными документами на меру ширины и периода специальную МШПС 2.ОК, меры концевые плоскопараллельные, объект-микрометр ОМ-О.

  • 2.6 Условия поверки

    • 2.6.1 При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

• - температура окружающей среды, °C                            20 ± 3;

• - относительная влажность воздуха, %,                            от 40 до 60;

• - атмосферное давление, кПа                                   101 ±4;

• - напряжение питающей сети переменного

тока частотой (50 ± 1) Гц, В                                     220 ±22.

• 2.7 Подготовка к поверке

  • 2.7.1 Подготовку микроскопа к работе проводят в соответствии с его руководством по эксплуатации.

  • 2.7.2 Перед проведением поверки необходимо выполнить следующие подготовительные работы:

• - клеммы заземления микроскопа соединить с шиной заземления;

• - подготовить средства поверки и вспомогательное оборудование, применяемые при поверке, в соответствии с их эксплуатационной документацией;

• - соединить шнуры питания элементов микроскопа с питающей сетью.

• 2.7.3 Выдержать микроскоп включенным в течение 10 минут.

• 2.8 Проведение поверки

• 2.8.1.1 При проведении внешнего осмотра и проверке комплектности должно быть установлено соответствие микроскопа следующим требованиям:

• - наличие товарного знака изготовителя, порядковый номер, год изготовления;

• - прочность закрепления, плавность действия и обеспечение надежности фиксации всех органов управления;

• - соответствие функциональному назначению и четкость всех надписей на органах управления и индикации;

• - наружная поверхность не должна иметь следов механических повреждений, которые могут влиять на работу микроскопа;

• - чистота и целостность разъемов;

• - соединительные провода должны быть исправными;

• - комплектность микроскопа: микроскоп конфокальный лазерный LEXT OLS 4100, руководство по эксплуатации, методика поверки.

• 2.8.1.2 Результаты внешнего осмотра и проверку комплектности микроскопа считать положительными, если выполняются все вышеперечисленные требования.

• 2.8.2.1 При определении работоспособности микроскопа необходимо соблюдать требования мер безопасности при работе с микроскопом. После включения микроскопа проверяется его общая работоспособность в соответствии с Руководством по эксплуатации.

• 2.8.2.2 На рабочем столе ПЭВМ нажать на иконку программного обеспечения (ПО) микроскопа, при этом откроется активное окно управления микроскопом.

• 2.8.2.3 После запуска аппаратной части и ПО производится автоматическая проверка функциональных узлов и программной части системы. При возникновении каких-либо ошибок работы ПО или неполадок в аппаратной части, ПО выдает сообщение об ошибке с указанием аппаратного узла или программного компонента, имеющего сбой. В случае отсутствия таковых сообщений система находится в исправном состоянии и готова к работе.

• 2.8.2.4 Используя алгоритм вычисления цифрового идентификатора (по ГОСТ Р 34.11-94), определить общую контрольную сумму файла «LEXT-OLS4.exe»

Результат поверки является положительным, если полученная контрольная сумма соответствует сведениям, приведенным в описании типа на прибор

(2el38cl2a2d305402d5b51c4ad73495b682667f53b234a2147e61433418e37a2).

Определение погрешности измерений линейных размеров по оси Z осуществляется методом прямых измерений с использованием меры ширины и периода специальной МШПС-2.0К и набора мер длины концевых плоскопараллельных по ГОСТ 9038-90.

• 2.8.3.1 Последовательно установить меру МШПС-2.0К и концевую меру (номинальное значение линейного размера 0,5 мкм) на предметный столик микроскопа и произвести не менее 10 измерений высот каждой меры.

• 2.8.3.2 Определить абсолютную погрешность измерений высоты меры по формуле:

ДЯ = Ином - Hi,                                 (1)

где Ином - номинальное значение высоты (линейного размера) установленной меры; Н; - результат i-ro измерения высоты меры, мкм.

Результаты измерений и расчетов занести в протокол.

Результаты поверки считать положительными, если значения абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z находятся в диапазоне ± 0,1+ — (L - измеряемая длинна, мкм).

Определение погрешности измерений линейных размеров по осям сканирования X и Y осуществляется методом прямых измерений с использованием объект-микрометра ОМ-О.

• 2.8.4.1 Необходимо установить объект-микрометр на предметный столик микроскопа.

• 2.8.4.2 Последовательно провести измерения номинальных размеров объект-микрометра, указанных в таблице 3, вдоль осей сканирования X и Y. Объектив для проведения измерений конкретных номинальных размеров необходимо использовать согласно таблице 4.

Таблица 3. Характеристики объективов

• 2.8.4.3 Определить относительную погрешность измерений линейных размеров по осям сканирования X и Y (для каждого размера) по формуле: где Lhom - номинальное значение размера объект-микрометра, указанное в таблице 3;

  AL

  = _{х 1О}о%,

  Lhom

  (2)

Li - результат i-ro измерения размера объект-микрометра, мкм.

Результаты измерений и расчетов занести в протокол.

Результаты поверки считать положительными, если значения относительной погрешности измерений линейных размеров по осям сканирования X и Y находятся в диапазоне ±5%.

3 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

• 3.1 Результаты поверки оформляются протоколом, в котором указывается соответствие метрологических характеристик предъявляемым требованиям. Протокол хранится в организации, проводившей поверку. Форма протокола приведена в Приложении.

• 3.2 Микроскоп, удовлетворяющий требованиям настоящей методики, считается пригодным для применения. При положительных результатах поверки оформляется свидетельство о поверке установленной формы и наносится знак поверки на корпус микроскопа.

• 3.3 При отрицательных результатах поверки применение микроскопа запрещается и выдаётся извещение о его непригодности.

Младший научный сотрудник

АО «НИЦПВ»

Д.А. Карабанов

Приложение

(рекомендуемое)

ПРОТОКОЛ ПОВЕРКИ №

«____»__________20__г.

Микроскоп конфокальный лазерный LEXT OLS 4100, заводской №________

Принадлежит___________________________________________________

Предприятие-изготовитель: «Olympus Corporation», Япония.

1. Условия поверки:

по оси Z

линейных

5.4 Определение погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY

Вывод:__________________________________________________________________

Микроскоп конфокальный лазерный LEXT OLS 4100, заводской номер______

соответствует, не соответствует предъявленным требованиям (нужное подчеркнуть).

Поверку проводил

8