Методика поверки «ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МАНОМЕТРИЧЕСКИЕ ПММ-46» ( ОТМ3.472.008 Д 11, МИ 1480-86)

Методика поверки

Тип документа

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МАНОМЕТРИЧЕСКИЕ ПММ-46

Наименование

ОТМ3.472.008 Д 11, МИ 1480-86

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

РАЗРАБОТАНЫ: ОКБМ при заводе "Токамак”

JCllQttllMTl'UDI: Куревлова В. Е.

Золотарева Л.С.

УТВЕРЖДЕНЫ: НПО "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева"

16. 05. /986 Г 0TM3.472.U08 Д 11-ШУ

СОГЛАСОВАНЫ: НИИВТ юл. С.А.Векшинского

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ М/и1ОЖТРИЧЕС^<?

1BN-46,

пнн-bto

Методика поверки

0ТМ3.472.008 Д II

(МИ 1480-86)

%

«<■ к ч-

Настоящие ?летодические указания распространяются на п^еобра-

ч                    $            (lifaswedutefif ггрес#рш&>7&»        <&

к

X

ч

зователЬ манометрический ПММв'и устанавливают методику их первичной и периодической поверки-. ®

Преобразователь предназначен для преобразования сигнала давления в электрический сигнал в диапазоне давлений от I.I0”11 до 1.10_1Па.

*

6

X

X

Перед началом поверки необходимо ознакомиться с техническим описанием на преобразовательПАИМЗ.472.008 ТО. ®

Периодичность поверки не реже I раза в год.

*

.4.

I fat ЙУГ

/Ш1 сУУ

///V7£W

ilCuuf.

Vacuif'

/у//>

fyifO

OW. 472.008 Ш

^ео^озоеоге^ R"

ГГРОв " faju&f __. ~    t

!wom/>e6>

I/                    '                                                   J,

м                     ЛММ'4ь\

Пн*

указанна ъ I

I. ОЛЕРАЩИ ПОВЕРКИ

Таблица I

t Нойер пункта i НТД по по—

j верке

Обязательность поведения опеца-

; , ции при__________*_______________'

’выпуске из произ- ! эксплуатации и !водства ! хранении

I.I. При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в табл. I.

  • 1. Si емкий осмотр

  • 2. Проверка исправности спирали анода

  • 3. Определение магнитной индукция в центре магнита

  • 4. Определение сопротивления изоляции вводов преобразователя

  • 5. Определение отклонения индивидуальных точек градуировки от типовой градуировочной характеристики

О

- в диапазоне давлений от 1.10”° до

I.I0"1 Па

  • 4.1

  • 4.2

  • 4.3

  • 4.4

  • 4.5

Да да

да

да

да

да

да

да

да

Примечание: 3 соответствии с ГОСТ 8.513-84 допускается при выпуске из производства осуществлять выборочную первичную поверку преобразователей. Объём выборки по ГОСТ 18242-72: уровень контроля А-3, нормальный вид контроля, приёмочный уровень

2,5 двухступенчатой контроль.Результата поверки распространяются на всю партию.

2. СРВДСТВА ПОВЕРКИ

2.1. При проведении поверки должны применяться средства поверки, у казанные в табл. 2.

Таблица 2

JStf ’Наименование и п/п!обозначение ’средства поверки

! !

Т“7

’Наименование и

!обозначение

’метрологяческой

!характеристики

ь

!Нормированное !Номер

’значение мет- ’пункта !При-

!рологической !раздела ’ме ча-! характеристики! *' Прове— ! ние .’дсние по4-J__________________!верки" !

»!6

2

3

I.

Вакуумметр ионизационный образцовый, Пр, ВИО-1

Диапазон измеряемых давлений,Па Погрешность вое-

7.10"?..I.I0"1

4.5

ОТО. 475.003 ТУ

произведения единицы давления, %

а) в диапазоне от 1.10"7до I.IO^IIa

б) л диапазоне от

± 10

7.10"у до 1.10“7Пе

г      ± 30

2.

Течеискатель ПТИ-10 Минимальный

EX2.832.0I5 ТУ

регистрируемый поток гелия,

7.10"/2

мгПа/с

4.6

3.

Установка све₽^"

Минимальное остат<

зч-

вакуумной откачки

04.255.000.00 ПС

ное давление, Па

7.I0”9

4.5

4.

Измеритель маг-

Магнитная индук-

нитной индукции

Ш1-8

ТУ4 ЕХ2.733.0О4 ТЗ

ция, Тл

Г

0,01 - 0,3

4.3

5.

Тераомметр E6-I3A

Сопротивление

10... Ю14

ЯЫ2.722.014 ТУ

изоляции, 0м

4.4

6.

Комбинированный прибор Ц

4.2

ТУ25-04-3300-77

OIW3.472.008 ЛК

1

$

3

.1

(IAI ISMу

ТТПЪ

s/.*/юл-ум

Продолжение табл. S

I

2

3

4        ’

5

6

7.

Источник высоковольтных напряжений ВС-23,АЭ3.219.002ТУ

Напряжение,кВ

0-10

4.8

8.

Киловольтметр CI9G

ТУ2 5-04-130-73

Напряжение, кВ

0-30

4.8

9.

Лмпервольтомметр цифровой ФЗО

Ток, А

4.8

10.

Электрометрический усилитель У5-9 Т22.002.006 ТУ

Ток, А

4.9

II.

Блок выносной

ПАИМЗ.554.001

4.7

12.

Амперметр Э 527

ТУ25-04-3716-79

Ток, А

4.7

13.

Миллиамперметр Э 52.

ТУ25-04-3716-79

Ток, мА

4.7

Примечание. Допускается применение приборов,имеющих параметры

не хуже указанных в настоящем перечне.

  • 2.2. Все рабочие средства измерения,применяемые при поверке,должны быть аттестованы органами Госстандарта или ведомственной метрологической службой, образцовые - только органами Госстандарта.

  • 3. Условия поверки и подготовка к ней

    • 3.1. Манометрические преобразователи,представленные на повер-

      0ТМ3.472.008 ДИ

      ftod/i и да r a вз&н             faS* /7адп и damp

      ММ t&u<f~ 4 04 №J.

ку, должны быть укомплектованы и снабжены техническим описанием, формуляром и настоящими методическими указаниями.

  • 3.2. При проведении поверки, должны соблюдаться следующие условия :

температура окруаащей средн +20 °C +5 °C ;

относительная влажность 65 % + 15 % при температуре +20оС^5°С; атмосферное давление I •1041а + d’lcAla

  • 3.3. При проведении поверки расстояние от поверяемых преобразователей до магнитных материалов должно быть не менее 100 мм.

  • 3.4. Поверяемые преобразователи, образцовый вакуумметр и вспомогательную аппаратуру подготавливают к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.

  • 4. Проведение поверки

    • 4.1. Перед проведением поверки проверяется отсутствие забоин и вмятин на зубе фланца преобразователя, а такие наличие маркировки с порядковым номером и годом выпуска преобразователя.

    • 4.2. Проверку исправности спирали анода проводить путем проверки целостности его электрической цепи с помощью комбинировшшо-

/5 Ф

го прибора Ц431а.

  • 4.3. Проверку магнитной индукции в центре зазора магнита проводить измерителем магнитной индукции типа ПП-8.

Магнитная индукция измеряется в центре магнита, снятого о преобразователя, зондом "С"

Магнитная индукция в центре магнита должна быть

0,18 Тл + 0,005 Тл.

  • 4.4. Проверку сопротивления изоляции катодного и анодного вводов проводить тераомметром типа E6-I3A на шкале 100 В.

Отсчет показаний при измерении сопротивления изоляции проводить через одну минуту после подачи измерительного напряжения

:>

Ту

HCwjT-

'/и

Л/Г

f/odrr

Лот

ОТМ.3.472.008 ДИ

1000 В на испытуемый ввод преобразователя.

Сопротивление изоляции вводов испытельных камер и соедини

тельных проводов должно быть по крайней мере в 10 раз выше измери-•J

релыюго или должны применяться схемы с охрани ими электродами •

Сопротивление изоляции должно быть,:

* а) между вводом катода и корпусом не менее 1*Ю13 Ом ;

б) между вводом анода и корпусом не менее ЫО9 Ont.

Прп неудовлетворительных результатах допускается протирка изоляторов ш^ет^ном марки Ч ГОСТ 2603-79 и этиловым спиртом ГОСТ 18300-72. После протирки преобразователь просушить и произвести

повторные измерения.

  • 4.5. Отклонения индивидуальных точек градуировки от типовой градуировочной характеристики следует проводить на высоковакуум

    и дв/по                        /7ддл ху Ja/пд

    эЪ'Рээ %Са<с/' 4 С4//              _____

ной установке, позволяющей получать и плавно регулировать давление

Q         Т

азота в диапазоне 7*10  - 1*10”хПа.

Требуемое значение давления по образцовому вакуумметру НИО-1 следует устанавливать с помощью натекателя при непрерывной откачке насосами градуировочной камеры, в которой производятся измерения.

Скорость откачки высоковакуумных насосов должна быть но менее W мз/0 ®

Проводимость коммуникаций от насосов до градуировочной каморы должна быть не менее 4’КГ3 м3/с.

Форма и размеры градуировочной камеры - цилиндрическая или сферическая, диаметр не менее 0,1 м и объем не менее Э’Ю^м3.

Образцовые и поверяемые пребразователи долями размещаться па градуировочной камере симметрично.                                 £

Принциниальная-охема -вакуу?.сгсй-установют— предотавлена-на-рие.-1-~

  • 4.6. Образцовый и поверяемые преобразователи герметично присоединяются к градуировочной камера Герметичность присоединения

    •X

    ///л;

    fat'!.

    л '' J!)<’//>?

    0ТМ3.472.008 Д11

проверяется течоис1сатслем ПТИ-IO в соответствии с методикой .изло

женной в OCT II 293.031-81.

Для получения давления 7.I0"9 Па вакуумную установку и преобразователи прогроть внешней печью при температуре 350 °Ci 50 °C. Время прогрева - не менее 3 ч.

Время повышения те?лпературк - не менее I ч.

Давление в градуировочной камере при прогреве должно быть не выше 1.ПГ3 Па.

  • 4.7. Через I ч после окончания прогрева произвести обезгажи-вание электродных систем образцового и испытуемого преобразователей при давлении в градуировочной камере не выше I.I0”4 Па.

Обезгаживание образцового преобразователя ПМИ-39-2 проводить согласно инструкции по эксплуатации 0TN3.475.0O3 ТО.

Обезгаживаиие поверяемого преобразователя-ПММ-46 проводится следующим образом.

о § ч

I г ’s О

ч

*

*

I

% § *

1

Анод преобразователя (. 5,0 i 1,0 ) A й течение рис. 2.

/

При снятом магните и

прогреть прямым пропусканием тока

30 мин. Прогрев производить по схеме

надетом приспособлении для обезгаживания на анод преобразователя подается напряжение минус 2000 В i 200 В и при токе эмиссии ( 10 i 2 ) мА по схеме рис. 3. Электродная сис-

тема преобразователя прогревается электронной бомбардировкой в тече1гие 30 мин при давлении в каморе не выше I.I0"4 Па.

4.8, Образцовый манометрический преобразователь включается в рабочий режим.

На испытуемый преобразователь       надевается магнит и пре

образователь включается в рабочий режим по схеме рис.4:

напряжение на аноде плюс 5500 В i НО В ;

I

£

£

Л

у/.а/с

ОТМЗ.472.008 ДИ

✓/7

Схема прогрева анода преобразователя

I - блок выносной вакуум?,сетра ПЛИМЗ.554.001

2- амперметр 3527.

3 - преобразователь                      О*

Рис. 2

Схема прогрева электродной системы электронной бомбардировкой

Л - источник высоковольтных напряжений ВС-23

  • 2 - киловольтметр С196

  • 3 - преобразователь        пО&С/>№"*>'*-'' ®

  • 4 - миллиамперметр 3523

Рис. 3

МмИ/'

ПОЛЯ

ОМ. 472.008 ДИ

Схема включения поверяемого манометрического преобразователя -HMtf=4e в рабочий режим

Рис. 4

  • 1 - катод (коллектор ионов);

  • 2 - корпус;

  • 3 - анод;

  • 4 - балластное сопротивление, 2,0 МОм +0,1 МОм;

  • 5 - киловольтметр CI96;

  • 6 - источник высоковольтных напряжений типа ВС-23;

  • 7 - измеритель постоянного тока:

а) ампервольтметр цифровой ФЗО;

б) электрометрический усилитель постоянного тока

типа У5-9

tK/n

1

1 {inini)

uli

I ,Vv JlWH

/Ып

JIllXKI

балластное сопротивление в цепи анод преобразователя- выпрямитель 2,0 МОм *0,1 МОм ;

катод соединен со входом усилителя постоянного тока и находится под нулевым потенциалом.

4.9. Градуировку можно начинать, если давление в градуировочной камере но превышает 7*10“%1а.

Для проведения градуировки следует с помощью натекателя установить по образцовому вакуумметру наименьшее требуемое давление ЫО"8 Па газообразного азота.

При градуировке проводится одновременное считывание сигналов образцового и поверяемого манометрическое преобразователя в диапазоне Ы0“8 - I-ПГ1 Па.                               I

Отсчет сигнала поверяемого преобразователя проводится по соответствующему измерительному прибору (усилителю постоянного тока, микроамперметру, миллиамперметру).

V 4.10. Запись показаний образцового вакуумметра и поверяемого

манометрического преобразователя производят не менее чем в ^градуировочных точках на каждом порядке величин давления.

Распределение точек по каждому диапазону должно быть равномерным.

Показания записываются при постоянном давлении в камере, что устанавливается по неизменности показаний вакуумметра и градуируемого преобразователя.

.3

градуировочной образцового

  • 5. Обработка результатов градуировки

    5.1. Отклонение индивидуальных точек градуировки

    • 5.1. Отклонение индивидуальных точек градуировки от типовой

поверяемого &           0

градуировочной характористики^прсобразователя *ПЖ=46 определяется

по формуле :

б = -Ри-спр~ ?обР • 100 %, где

обр

/i'kiVwR /7

UH-)

/fotJfi

4"'и

ОТО.472.008 ДИ

робр." давление, отсчитанное до образцовому вакууммотру ВЙО-Г; рисп.“ давление, замеренное испытываемым преобразователем 4М11-Ю-/ отсчитанное по типовой градуировочной: характерислтке, приведенной в формуляре 0ТМ3.472.008 ФО.                *

  • 5.2. жч УС$> экспериментальных точек градуирбвГш^пр’оббразош-теля 4ЙЙЙ-46* отклонение индивидуальных точек градуировки от типовой градуировочной характеристики не должно превышать:

в диапазоне Г10~2... 1‘1С“гПа минус 45$...+90$;

в диапазоне I’lO"8...1’ГСГ2 11а минус 3$...+50%.

  • 6. Оформление результатов поверки

    • 6.1. Результаты проведенных измерений и наблюдений заносят в журнал измерений (приложение I).

    • 6.2. В формулярах поверяемых преобразователей, удовлетворяющих вышеуказанным требованиям, делается отастка Госповерщтеля или ведомственной поверки.

    • 6.3. Преобразователи, не удовлетворяющие требованиям настоящих методических указаний, к применению не допускаются.

т

l/fti'l 6 ЬН

I'KuU1/-

ITv

7^1

Vito*

s/sw'/t.

0TM3.472.U08 ДН

А/

/%jrfn L/darro

Аза*

и дота

4 sn

Т6Т

Еурнал измерений

ПЖОНШИЕ I

Наименование поверяемой величины

!

! Величина по ТУ

t

!

— !

i Дата i

; к____г

j n     п

Внешний осмотр

Исправность анода

!

! -------------------

!

!

Отсутствие забоин и вмятин на зубе фланца

Целостность электрической цепи анода.

магнитная индукция в зазоре магнита

Сопротивление изоляции вводов:

а) катод - корпус

б) анод - корпус Относительная погрешность измерения давления:

в диапазоне

в диапазоне ЫО"°...I

минус 45%...+90%

минус 30%

0,18 + 0,005 Тл

1-Ю13

I-I09 См

’ Факти-! ЗамериДФакти-’ Заме- ’ Факти-’ Зоде-!ческая!(под- !ческая!сил   !ческая!рил

’вели- ’пись) ’вели- ’Хпод- ’вели- Цпод-!чяна !!чина ! пись)!чина ! пись)

Лап.

Лист регистрации изменений

:•' ;о]!Л1()

.-.юмора

1зм

Мла •■./.

ИЛИ/Щ

Подпись

J

изъятых

я ДОКуМ.

Входящий

К* сопрово дательного докум. к дата

//ХА

Всего

ЛИСТОН (страши 0 в докум.

Т

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель