Методика поверки «ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МАНОМЕТРИЧЕСКИЕ ПММ-46» ( ОТМ3.472.008 Д 11, МИ 1480-86)

РАЗРАБОТАНЫ: ОКБМ при заводе "Токамак”

JCllQttllMTl'UDI: Куревлова В. Е.

Золотарева Л.С.

УТВЕРЖДЕНЫ: НПО "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева"

16. 05. /986 Г 0TM3.472.U08 Д 11-ШУ

СОГЛАСОВАНЫ: НИИВТ юл. С.А.Векшинского

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ М/и1ОЖТРИЧЕС^<?

1BN-46,

Методика поверки

0ТМ3.472.008 Д II

(МИ 1480-86)

Настоящие ?летодические указания распространяются на п^еобра-

ч                    $            (lifaswedutefif ггрес#рш&>7&»        <&

к

X

ч

зователЬ манометрический ПММв'и устанавливают методику их первичной и периодической поверки-. ®

Преобразователь предназначен для преобразования сигнала давления в электрический сигнал в диапазоне давлений от I.I0”¹¹ до 1.10^_1Па.

Перед началом поверки необходимо ознакомиться с техническим описанием на преобразовательПАИМЗ.472.008 ТО. ®

Периодичность поверки не реже I раза в год.

I. ОЛЕРАЩИ ПОВЕРКИ

Таблица I

t Нойер пункта i НТД по по—

j верке

Обязательность поведения опеца-

; , ции при__________*_______________'

’выпуске из произ- ! эксплуатации и !водства ! хранении

Продолжение табл. S

Примечание. Допускается применение приборов,имеющих параметры

не хуже указанных в настоящем перечне.

• 2.2. Все рабочие средства измерения,применяемые при поверке,должны быть аттестованы органами Госстандарта или ведомственной метрологической службой, образцовые - только органами Госстандарта.

• 3. Условия поверки и подготовка к ней

  • 3.1. Манометрические преобразователи,представленные на повер-

    

    0ТМ3.472.008 ДИ

    ftod/i и да r a вз&н             faS* /7адп и damp

    ММ t&u<f~ 4 04 №J.

ку, должны быть укомплектованы и снабжены техническим описанием, формуляром и настоящими методическими указаниями.

• 3.2. При проведении поверки, должны соблюдаться следующие условия :

температура окруаащей средн +20 °C +5 °C ;

относительная влажность 65 % + 15 % при температуре +20^оС^5°С; атмосферное давление I •1041а + d’lcAla

• 3.3. При проведении поверки расстояние от поверяемых преобразователей до магнитных материалов должно быть не менее 100 мм.

• 3.4. Поверяемые преобразователи, образцовый вакуумметр и вспомогательную аппаратуру подготавливают к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.

• 4. Проведение поверки

  • 4.1. Перед проведением поверки проверяется отсутствие забоин и вмятин на зубе фланца преобразователя, а такие наличие маркировки с порядковым номером и годом выпуска преобразователя.

  • 4.2. Проверку исправности спирали анода проводить путем проверки целостности его электрической цепи с помощью комбинировшшо-

/5 Ф

го прибора Ц431а.

• 4.3. Проверку магнитной индукции в центре зазора магнита проводить измерителем магнитной индукции типа ПП-8.

Магнитная индукция измеряется в центре магнита, снятого о преобразователя, зондом "С"

Магнитная индукция в центре магнита должна быть

0,18 Тл + 0,005 Тл.

• 4.4. Проверку сопротивления изоляции катодного и анодного вводов проводить тераомметром типа E6-I3A на шкале 100 В.

Отсчет показаний при измерении сопротивления изоляции проводить через одну минуту после подачи измерительного напряжения

1000 В на испытуемый ввод преобразователя.

Сопротивление изоляции вводов испытельных камер и соедини

тельных проводов должно быть по крайней мере в 10 раз выше измери-•J

релыюго или должны применяться схемы с охрани ими электродами •

Сопротивление изоляции должно быть,:

* а) между вводом катода и корпусом не менее 1*Ю¹³ Ом ;

б) между вводом анода и корпусом не менее ЫО⁹ Ont.

Прп неудовлетворительных результатах допускается протирка изоляторов ш^ет^ном марки Ч ГОСТ 2603-79 и этиловым спиртом ГОСТ 18300-72. После протирки преобразователь просушить и произвести

повторные измерения.

• 4.5. Отклонения индивидуальных точек градуировки от типовой градуировочной характеристики следует проводить на высоковакуум

  и дв/по                        /7ддл ху Ja/пд

  эЪ'Рээ %Са<с/' 4 С4//              _____

ной установке, позволяющей получать и плавно регулировать давление

Q         Т

азота в диапазоне 7*10  - 1*10”^хПа.

Требуемое значение давления по образцовому вакуумметру НИО-1 следует устанавливать с помощью натекателя при непрерывной откачке насосами градуировочной камеры, в которой производятся измерения.

Скорость откачки высоковакуумных насосов должна быть но менее W _мз_/0 ®

Проводимость коммуникаций от насосов до градуировочной каморы должна быть не менее 4’КГ³ м³/с.

Форма и размеры градуировочной камеры - цилиндрическая или сферическая, диаметр не менее 0,1 м и объем не менее Э’Ю^м³.

Образцовые и поверяемые пребразователи долями размещаться па градуировочной камере симметрично.                                 £

Принциниальная-охема -вакуу?.сгсй-установют— предотавлена-на-рие.-1-~

• 4.6. Образцовый и поверяемые преобразователи герметично присоединяются к градуировочной камера Герметичность присоединения

  •X
  ///л;	fat'!.	л '' J!)<’//>?

  0ТМ3.472.008 Д11

проверяется течоис1сатслем ПТИ-IO в соответствии с методикой .изло

женной в OCT II 293.031-81.

Для получения давления 7.I0"⁹ Па вакуумную установку и преобразователи прогроть внешней печью при температуре 350 °Ci 50 °C. Время прогрева - не менее 3 ч.

Время повышения те?лпературк - не менее I ч.

Давление в градуировочной камере при прогреве должно быть не выше 1.ПГ³ Па.

• 4.7. Через I ч после окончания прогрева произвести обезгажи-вание электродных систем образцового и испытуемого преобразователей при давлении в градуировочной камере не выше I.I0”⁴ Па.

Обезгаживание образцового преобразователя ПМИ-39-2 проводить согласно инструкции по эксплуатации 0TN3.475.0O3 ТО.

Обезгаживаиие поверяемого преобразователя-ПММ-46 проводится следующим образом.

Схема прогрева анода преобразователя

I - блок выносной вакуум?,сетра ПЛИМЗ.554.001

2- амперметр 3527.

3 - преобразователь                      О*

Рис. 2

Схема прогрева электродной системы электронной бомбардировкой

Л - источник высоковольтных напряжений ВС-23

• 2 - киловольтметр С196

• 3 - преобразователь        пО&С/>№"*>'*-'' ®

• 4 - миллиамперметр 3523

Рис. 3

Схема включения поверяемого манометрического преобразователя -HMtf=4e в рабочий режим

Рис. 4

• 1 - катод (коллектор ионов);

• 2 - корпус;

• 3 - анод;

• 4 - балластное сопротивление, 2,0 МОм +0,1 МОм;

• 5 - киловольтметр CI96;

• 6 - источник высоковольтных напряжений типа ВС-23;

• 7 - измеритель постоянного тока:

а) ампервольтметр цифровой ФЗО;

б) электрометрический усилитель постоянного тока

типа У5-9

балластное сопротивление в цепи анод преобразователя- выпрямитель 2,0 МОм *0,1 МОм ;

катод соединен со входом усилителя постоянного тока и находится под нулевым потенциалом.

4.9. Градуировку можно начинать, если давление в градуировочной камере но превышает 7*10“%1а.

Для проведения градуировки следует с помощью натекателя установить по образцовому вакуумметру наименьшее требуемое давление ЫО"⁸ Па газообразного азота.

При градуировке проводится одновременное считывание сигналов образцового и поверяемого манометрическое преобразователя в диапазоне Ы0“⁸ - I-ПГ¹ Па.                               I

Отсчет сигнала поверяемого преобразователя проводится по соответствующему измерительному прибору (усилителю постоянного тока, микроамперметру, миллиамперметру).

V 4.10. Запись показаний образцового вакуумметра и поверяемого

.3

градуировочной образцового

• 5. Обработка результатов градуировки

  5.1. Отклонение индивидуальных точек градуировки

  • 5.1. Отклонение индивидуальных точек градуировки от типовой

поверяемого &           0

градуировочной характористики^прсобразователя *ПЖ=46 определяется

по формуле :

б = -^Ри-^спр~ ^?обР • 100 %, где

обр

ОТО.472.008 ДИ

^робр." давление, отсчитанное до образцовому вакууммотру ВЙО-Г; ^рисп.“ давление, замеренное испытываемым преобразователем 4М11-Ю-/ отсчитанное по типовой градуировочной: характерислтке, приведенной в формуляре 0ТМ3.472.008 ФО.                *

• 5.2. жч УС$> экспериментальных точек градуирбвГш^пр’оббразош-теля 4ЙЙЙ-46* отклонение индивидуальных точек градуировки от типовой градуировочной характеристики не должно превышать:

в диапазоне Г10~²... 1‘1С“^гПа минус 45$...+90$;

в диапазоне I’lO"⁸...1’ГСГ² 11а минус 3$...+50%.

• 6. Оформление результатов поверки

  

  • 6.1. Результаты проведенных измерений и наблюдений заносят в журнал измерений (приложение I).

  • 6.2. В формулярах поверяемых преобразователей, удовлетворяющих вышеуказанным требованиям, делается отастка Госповерщтеля или ведомственной поверки.

  • 6.3. Преобразователи, не удовлетворяющие требованиям настоящих методических указаний, к применению не допускаются.

0,18 + 0,005 Тл

1-Ю¹³0м

I-I0⁹ См

Лап.

Лист регистрации изменений

:•' ;о]!Л1()

.-.юмора

1зм

Мла •■./.

ИЛИ/Щ

Подпись

J

изъятых

я ДОКуМ.

Входящий

К* сопрово дательного докум. к дата

//ХА

Всего

ЛИСТОН (страши 0 в докум.

Т