Номер по Госреестру СИ: 52315-12
52315-12 Микроскоп электронный просвечивающий
(JEM 200CX)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров фазовых и структурных составляющих металлов и сплавов, композиционных и полимерных материалов, порошков, микрокристаллов, локального микрорентгеноспектрального анализа, определения параметров кристаллических решеток.
Внешний вид.
Микроскоп электронный просвечивающий
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскоп электронный просвечивающий
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскоп электронный просвечивающий
Рисунок № 3
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющих программ:
-
- Digital Micrograph предназначено для обработки изображений, получаемых от микроскопа;
-
- INCA Energy TEM-250 предназначено для накопления спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования на просвет, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам.
Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
Digital Micrograph |
Gatan Digital Micrograph ES500W |
3.11.1 |
629D02634F701E39E38 5D957B81F714A |
MD5 |
INCA Energy TEM-250 |
The Microanalysis Suite Issue 17 a |
4.08.0017 |
419736A2691245673F48 5D525FCA30DA |
MD5 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений«Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX. Руководство по эксплуатации», раздел 7 «Работа с образцами».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному просвечивающему JEM 200CXТехническая документация JEOL Ltd, Япония.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу: «Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX. Методика поверки № МП 66.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 15 марта 2011 г.
Основные средства поверки:
-
1 Мера периода рельефная S106
Основные метрологические характеристики:
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений - 0,463 мкм
Предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры -
± 0,020 мкм.
-
2 Мера рельефная графитовая S140
Основные метрологические характеристики:
Номинальное значение периода кристаллической решетки меры - 0,314 нм.
Предел допускаемой абсолютной погрешности периода кристаллической решетки -
± 0,05 нм
Изготовитель
JEOL Ltd, Япония
6-38 Musashino 2-chorme,
Akishima-Shi, 196-0021
Tel.: 042-543-1111
www.jeol.co.jp
Заявитель
Государственный научный центр Российской Федерации - федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов» (ГНЦ ФГУП «ВИАМ»)Адрес: Россия, г. Москва, 105005, ул. Радио д.17
Телефон: (495) 263-87-25
Факс: (495) 267-86-09
E-mail: admin@viam.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений федерального
государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат аккредитации государственного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия микроскопа основан на использовании электронного пучка с длиной волны, значительно более короткой, чем световая.
В состав микроскопа входят:
-
- вакуумная система;
-
- источник электронов;
-
- источник высокого напряжения для ускорения электронов;
-
- набор электромагнитных линз и электростатических пластин для управления и контроля электронного пучка;
-
- экран, на который проецируется увеличенное электронное изображение;
-
- энергодисперсионный детектор с пакетом программного обеспечения INCA Energy TEM-250 для проведения элементного анализа с высокой локальностью измерений.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX
Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа электронного
просвечивающего JEM 200CX
Перечень основного и дополнительного оборудования приведен в таблице 3.
Таблица 3
Наименование |
Количество, шт. |
Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX |
1 |
Блок питания |
1 |
Высоковольтный блок |
1 |
Форвакуумный насос |
1 |
Воздушный компрессор |
1 |
Руководство по эксплуатации |
1 |
Методика поверки № МП 66.Д4-11 |
1 |
Микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX приведены в таблице 2.
Таблица 2
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Разрешающая способность при ускоряющем напряжении 160 кВ, нм |
0,5 |
Разрешение локального микрорентгеноспектрального анализа, нм |
20 |
Диапазон измерений геометрических расстояний, мкм |
0,05 - 10 |
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 160 кВ, % |
±0,1 |
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
80 - 200 |
Увеличение (кратность), крат |
600 - 330000 |
Номинальное напряжение трехфазной сети питания, В |
380 ± 22 |
Потребляемая мощность, кВт, не более |
6 |
Габаритные размеры, мм |
1600 х 1300 х 3000 |
Масса, кг, не более |
1200 |