Номер по Госреестру СИ: 52316-12
52316-12 Микроскоп электронный сканирующий
(JSM-6490LV)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения масштабного коэффициента видеоизображения при помощи получения изображения поверхности объекта с высоким пространственным разрешением, а также для элементного анализа и элементного картирования при малых увеличениях.
Внешний вид.
Микроскоп электронный сканирующий
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскоп электронный сканирующий
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 142089
ID в реестре СИ - 364489
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV, JSM-6490LV,
Производитель
Изготовитель - Фирма "JEOL Ltd."
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Простой и наглдяный отчет, дающий представление о специализации организации-поверителя и ее измерительных возможностях. Отчет строится по данным о поверках, переданных в ФГИС АРШИН за последний год (365 дней) и состоит из таблицы с функцией поиска и сортировки по любой из колонок и круговой диаграммы, визуализирующей данные, представленные в таблице.
Таблица может вклчать до нескольких десятков тысяч строк (для больших ЦСМ).
Таблица включает данные о наименовании и типе СИ (с ссылкой на гос. реестр) по которым проводились поверки, количество выполненных поверок и наименование предприятия-изготовителя средства измерений.
В таблице по каждой из организаций за выбранный временной интервал представлена следующая информация:
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1086 от 2018.06.01 О переоформлении, продлении срока действия свидетельства об утверждении типа средства измерений № 52316 "Весы электронные ICS" и внесении изменений в описание типа
№147 от 2023.01.26 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Пожарная безопасность" (ТК 274)
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронный сканирующий (JSM-6490LV)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "JEOL Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48090-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-100CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48091-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями, JEM-2100 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48409-11 |
ЯМР-спектрометры, JEOL JNM Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52088-12 |
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой, JSPM 5400 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52315-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM 200CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52316-12 |
Микроскоп электронный сканирующий, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
60728-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60730-15 21.05.2020 |
Масс-спектрометры, JMS (мод. JMS-Q1050GС, JMS-T100LP, JMS-GCMATE II) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60731-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
63062-16 |
Микроскоп электронный растровый, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
71032-18 11.05.2024 |
Микроанализаторы электронно-зондовые, JXA-8230 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Исследование "Анализ рынка поверки Приволжского федерального округа" предоставляет исчерпывающую информацию об организациях, оказывающих услуги поверки на востоке европейской части Российской Федерации, Приуралья и Нижней Волги.
Параметры исследований:
- фильтр по работающим в округе организациям-поверителям по данным ФСА и ФГИС АРШИН
- объемы первичных и периодических поверок за период 2017г. по н.в.
- фильтр по местам осуществления деятельности
- предоставление информации в графическом и табличном видах
- детальное рассмотрение деятельности каждой из организаций округа по годам
- анализ в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений
- количество поверок по типам СИ в динамике по годам
- индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей
- анализ цен на поверку СИ по Фед. округу
Кто поверяет Микроскоп электронный сканирующий (JSM-6490LV)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ОАО "НИЦПВ". (01.00317-2011) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронный сканирующий (JSM-6490LV)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющей программы INCA Energy 450.
Программное обеспечение INCA Energy 450 снабжено уникальной системой навигаторов, которые направляют пользователя на всех этапах процесса микроанализа, начиная с создания нового проекта и заканчивая созданием готового к печати отчета.
Система имеет три основных навигатора:
- Анализатор (позволяет проводить накопление спектра с участка образца, облучаемого электронным пучком);
- Point & ID (позволяет проводить накопление с участков образца, отмеченных на изображении, облучаемых сфокусированным электронным пучком в режиме сканирования);
- Картирование (позволяет проводить накопление спектра с выделенного участка об -разца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам).
Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
INCA En ergy 450 |
The Microanalysis Suite Issue 17a P/N 51-MACD08.06 |
4.08.0017 |
419736A2691245673 F485D525FCA30DA |
MD5 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
«Сканирующий электронный микроскоп JSM-6490LV с системой энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450. Руководство по эксплуатации», раздел 6 «Работа с микроскопом».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному сканирующему JSM-6490LVГОСТ Р 8.631-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки»
Поверка
Поверкаосуществляется по документу: «Микроскоп электронный сканирующий JSM6490LV.
Методика поверки № МП 73.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 15 марта 2011 г
Основные средства поверки:
Рельефная мера ширины и периода нанометрового диапазона специальная МШПС-2.0К. Основные метрологические характеристики:
Значение величины проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a) - 400 нм;
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера (a) не более ± 1 нм.
Изготовитель
JEOL Ltd, Япония
1-2 Musashino 3-chome, Akishima-Shi, Tokyo,196-8558
Тел.: 042-542-2187 www.jeol.co.jp
Заявитель
Государственный научный центр Российской Федерации - федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов» (ГНЦ ФГУП «ВИАМ»)Адрес: Россия, г. Москва, 105005, ул. Радио д.17 Телефон: (495) 263-87-25, Факс: (495) 267-86-09 E-mail: admin@viam.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат аккредитации № 30003-08 от 30.12.2008 г. Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с исследуемым веществом. Поверхность образца сканируется электронным лучом, и образующиеся при этом обратнорассеянные электроны, несут информацию о топографии поверхности, а также физических и химических свойствах образца. Эти электроны, несущие вышеуказанную информацию, летят с различных направлений и детектируются полупроводниковыми элементами, расположенными симметрично относительно оптической оси. При этом количественные изменения детектируемых электронов в процессе сканирования преобразуются в электрические сигналы. Два сигнала от детекторных элементов усиливаются предусилителем и поступают в операционный усилитель. Операционный усилитель дополнительно усиливает эти сигналы и одновременно производит их сложение и вычитание. Суммарный сигнал используется в качестве видеосигнала для формирования композиционного изображения, а разностный сигнал служит видеосигналом для формирования топографического изображения. Детектирование обратнорассеянных электронов, несущих информацию о неоднородности поверхности образца и распределении на ней составных элементов, позволяет наблюдать изображение поверхности образца.
В состав микроскопа входят:
-
- система энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450
-
- электронно-оптическая система, которая позволяет получать изображения с минимальным увеличении х8 при рабочем расстоянии (WD) 48 мм;
-
- 5-ти осевой моторизованный объектный столик;
-
- объектная камера, конструкция которой позволяет вместить образцы высотой до 80мм;
-
- электронный детектор;
-
- дисплейная система;
-
- операционная система;
-
- вакуумная система;
-
- устройства для защиты от падения вакуума, отключения воды, напряжения и короткого замыкания.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного сканирующего JSM-6490LV
Место нанесения маркировки
Место пломбирования
Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа электронного сканирующего JSM-6490LV
Перечень основного и дополнительного оборудования приведен в таблице 3. Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт. |
|
Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV |
1 |
|
Система энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450 |
1 |
|
Блок электронно-оптической колоны |
1 |
|
Блок управления |
1 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
Программное обеспечение |
1 |
|
Масляно-ротационный насос |
1 |
|
Виброизолятор |
1 |
|
Циркуляционный водоохладитель |
1 |
|
Набор инструментов |
1 |
|
Комплект принадлежностей для установки и транспортировки |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
Микроскопа электронного сканирующего JSM-6490LV приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Разрешающая способность при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм | |
|
в режиме высокого вакуума |
3 |
|
в режиме низкого вакуума |
4 |
|
Перемещение объекта по осям Х, Y, Z, мм | |
|
Ось X |
-125 |
|
Ось Y |
-100 |
|
Ось Z: | |
|
диапазон эксцентричных перемещений WD |
5 - 80 |
|
диапазон фокусировки WD |
5 - 48 |
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон наклона объекта (Т),... ° |
от -10 до +90 |
|
Поворот объекта (R),.° |
360 |
|
Масштабный коэффициент видеоизображения (m), нм/пиксель, не более |
1,07 |
|
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения масштабного коэффициента видеоизображения, % |
±0,1 |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
0,3 - 30 |
|
Увеличение (кратность), крат |
8 - 300000 |
|
Электропитание осуществляется от трехфазной сети переменного | |
|
тока | |
|
с напряжением, В |
100 ± 10 |
|
частотой, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
3 |
|
Габаритные размеры основных составных частей, мм, не более блок электронно-оптической колонны |
750x960x1480 |
|
операционный блок |
1150x900x700 |
|
масляно-ротационный насос |
460x175x255 |
|
виброизолятор |
270x200x200 |
|
циркуляционный водоохладитель |
354x384x851 |
|
Масса основных составных частей, кг, не более блок электронно-оптической колонны |
400 |
|
операционный блок |
170 |
|
масляно-ротационный насос |
23 |
|
виброизолятор |
10 |
|
циркуляционный водоохладитель |
41 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, °С |
15 - 25 |
|
Относительная влажность, % |
60 |