Номер по Госреестру СИ: 63062-16
63062-16 Микроскоп электронный растровый
(JSM-6490LV)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.
Внешний вид.
Микроскоп электронный растровый
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 154238
ID в реестре СИ - 376638
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV,
Производитель
Изготовитель - Фирма "JEOL Ltd."
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
В условиях ограничения доступа к иностранным рынкам измерительной техники, обусловленного внешним санкционным давлением, информация об отечественных средствах измерений, аналогичных средствам измерений импортного производства, является чрезвычайно востребованной.
В рамках Плана мероприятий по реализации Стратегии обеспечения единства измерений в Российской Федерации до 2025 года с 2018 года Росстандартом на основании сведений, предоставляемых отечественными изготовителями измерительной техники подготовлен и ежегодно актуализируется Перечень средств измерений отечественного производства, аналогичных средствам измерений импортного производства.
Перечень средств измерений отечественного производства, аналогичных средствам измерений импортного производства, предназначен для информирования потребителей о возможностях соответствующей замены импортных средств измерений на отечественные. Перечень подготовлен на основании предложений отечественных изготовителей измерительной техники и носит рекомендательный характер. При использовании информации из данного перечня для практического применения необходимо проведение детального сравнительного анализа метрологических и технических характеристик средств измерений, установленных при утверждении типов средств измерений, по результатам которого осуществляется принятие решения о возможности/невозможности замены средства измерений импортного производства отечественным.
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№56 от 2016.02.03 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронный растровый (JSM-6490LV)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "JEOL Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48090-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-100CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48091-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями, JEM-2100 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48409-11 |
ЯМР-спектрометры, JEOL JNM Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52088-12 |
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой, JSPM 5400 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52315-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM 200CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52316-12 |
Микроскоп электронный сканирующий, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
60728-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60730-15 21.05.2020 |
Масс-спектрометры, JMS (мод. JMS-Q1050GС, JMS-T100LP, JMS-GCMATE II) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60731-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
63062-16 |
Микроскоп электронный растровый, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
71032-18 11.05.2024 |
Микроанализаторы электронно-зондовые, JXA-8230 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
CREATE TABLE `foei_poverka` (`poverka_id` int(11) NOT NULL, `poverka_row` text NOT NULL) ENGINE=InnoDB DEFAULT CHARSET=utf8 ROW_FORMAT=COMPRESSED;
poverka_id - порядковый номер поверки в ФГИС АРШИН
poverka_row - данные о поверке в формате json
Данные в колонке poverka_row хранятся в HEX виде и для получения рабочего массива json их необходимо преобразовать из HEX в строку, приведенной ниже функцией.
function hexToStr($hex){
$string='';
for ($i=0; $i < strlen($hex)-1; $i+=2){
$string .= chr(hexdec($hex[$i].$hex[$i+1]));
}
return $string;
}
$arr =json_decode($homepage, true);
В случае, если архив дамп MySQL имеет приставку _bin, для преобразования следует использовать стандартную функцию hex2bin(), которая преобразует шестнадцатеричные данные в двоичные.
В разработке
Кто поверяет Микроскоп электронный растровый (JSM-6490LV)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 4 | 0 | 3 | 0 | 2 | 0 | 2 |
Стоимость поверки Микроскоп электронный растровый (JSM-6490LV)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющей программы SEM Control User Interface.
Программное обеспечение SEM Control User Interface снабжено уникальной системой навигаторов, которые направляют пользователя на всех этапах процесса микроанализа, начиная с создания нового проекта и заканчивая созданием готового к печати отчета.
Система имеет три основных навигатора:
-
- Анализатор (позволяет проводить накопление спектра с участка образца, облучаемого электронным пучком);
-
- Point & ID (позволяет проводить накопление с участков образца, отмеченных на изображении, облучаемых сфокусированным электронным пучком в режиме сканирования);
-
- Картирование (позволяет проводить накопление спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам).
Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
SEM Control User Interface |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
8.3 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
778E9E83424AF495FBAB43664B156384 |
|
Алгоритм хэширования |
MD5 |
Уровень защиты программного обеспечения от преднамеренных и непреднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 средний.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийРуководство по эксплуатации «Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV», раздел 6.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному растровому JSM-6490LV1 ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
2 Техническая документация фирмы-изготовителя
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 013.М1-15 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 10.03.2015 г.
Основные средства поверки:
Мера периода и высоты линейные TGZ1 (№ г.р. 41678-09)
Основные метрологические характеристики: номинальное значение шага шаговой структуры меры 3 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм ± 0,01.
Изготовитель
Фирма «JEOL Ltd.», Япония1-2 Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan Телефон 042-542-2187
Факс +44 (0)1223 401 501
E-mail: www.jeol.co.jp
Заявитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшегопрофессионального образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» (НИУ МИЭТ)
Адрес: 124498, г.Москва, г.Зеленоград, проезд 4806, д.5
Тел.: 8(499) 731 44 41
Факс: 8(499) 71022 33
E-mail: netadm@miet.ru, http://miet.ru/
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») 119361, г. Москва, ул. Озерная, 46
Тел./факс: +7 (495) 437-56-33; 437-31-47
Е-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип работы микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп укомплектован системой электронной литографии Xenos XeDraw 2, которая позволяет прорисовывать нужные конфигурации на поверхности чувствительного к элементному облучению резита, а так же системой энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200 для определения количественного и качественного состава образца.
Места
пломбирования
Место нанесения маркировки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного растрового JSM-6490LV с указанием мест пломбирования и мест нанесения маркировки
Место нанесения знака поверки
Место нанесения маркировки
Рисунок 2 - Микроскоп электронный растровый! SM-6490LV (вид сзади) с указанием мест
нанесения маркировки и знака поверки
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV |
1 |
|
Система электронной литографии Xenos XeDraw 2 |
1 |
|
Система энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200 |
1 |
|
Блок электронно-оптической колонны |
1 |
|
Блок управления |
1 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
CD-диск с ПО |
1 |
|
Масляно-ротационный насос |
2 |
|
Виброизолятор |
1 |
|
Набор инструментов |
1 |
|
Комплект принадлежностей для установки и транспортировки |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 3 до 100 |
|
Диапазон показаний линейных размеров, мкм |
от 0,03 до 1000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мкм: - в диапазоне от 3 до 100 мкм |
±0,1 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более |
120 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В |
220±5 |
|
частотой, Гц |
50 ± 10 |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
0,3 - 30 |
|
Габаритные размеры основных составных частей, мм, не более блок электронно-оптической колонны |
750x960x1480 |
|
операционный блок |
1150x900x700 |
|
масляно-ротационный насос |
460x175x255 |
|
виброизолятор |
270x200x200 |
|
Масса основных составных частей, кг, не более блок электронно-оптической колонны |
400 |
|
операционный блок |
170 |
|
масляно-ротационный насос |
23 |
|
виброизолятор |
10 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей сред, ° С |
20 ± 3 |
|
- относительная влажность воздуха, % не более |
80 |
|
-атмосферное давление, кПа |
100 ± 4 |