Сведения о средстве измерений: 60731-15 Микроскопы электронные растровые

Номер по Госреестру СИ: 60731-15
60731-15 Микроскопы электронные растровые
(JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA))

Назначение средства измерений:
Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Микроскопы электронные растровые, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы электронные растровые
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 21.05.2020
Номер записи - 151634
ID в реестре СИ - 374034
Тип производства - серийное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

Производитель

Изготовитель - Фирма "JEOL Ltd."
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Отчет - P_5 Наполнение реестра СИ АРШИН по областям измерений (производитель, год, страна, кол-во)
Отчет в графической и табличной форме показывает по годам наполнение ФГИС ФРШИН новыми типами СИ в разрезе областей измерений, стран и производителей СИ.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№597 от 2015.05.21 Об утверждении типов средств измерений (ГР 60673-15 - 60745-15)

Наличие аналогов СИ: Микроскопы электронные растровые (JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA))

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель		 ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "JEOL Ltd."

№ в реестре
cрок св-ва 		Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
48090-11

 Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-100CX
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
1 год
48091-11

 Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями, JEM-2100
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
1 год
48409-11

 ЯМР-спектрометры, JEOL JNM
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
1 год
52088-12

 Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой, JSPM 5400
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
1 год
52315-12

 Микроскоп электронный просвечивающий, JEM 200CX
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
1 год
52316-12

 Микроскоп электронный сканирующий, JSM-6490LV
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
1 год
60728-15
21.05.2020
 Микроскопы электронные растровые, JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA)
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
МП 		1 год
60730-15
21.05.2020
 Масс-спектрометры, JMS (мод. JMS-Q1050GС, JMS-T100LP, JMS-GCMATE II)
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
МП 		1 год
60731-15
21.05.2020
 Микроскопы электронные растровые, JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA)
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
МП 		1 год
63062-16

 Микроскоп электронный растровый, JSM-6490LV
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
МП 		1 год
71032-18
11.05.2024
 Микроанализаторы электронно-зондовые, JXA-8230
Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) 		ОТ
МП 		1 год

Кто поверяет Микроскопы электронные растровые (JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA))

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические

Стоимость поверки Микроскопы электронные растровые (JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA))

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Программное обеспечение

Управление микроскопами осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатора

ПО

IT300 GUI

SemMain.exe

ver. 2.0

955CEDE128AC51177367471

4030DE71BD2F9D4C75B286

3554A76879CE82F6F1B

По ГОСТ Р

34.11-94


Знак утверждения типа

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.


Сведения о методиках измерений

Сведения о методиках (методах) измерений

Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA). Руководство по эксплуатации.


Нормативные и технические документы

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным растровым JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA)

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

Поверка

осуществляется по документу МП 60731-15 «Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) фирмы JEOL Ltd., Япония. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 06 апреля 2015 г.

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр № 33598-06), островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM 1501.


Изготовитель


Фирма JEOL Ltd., Япония
Адрес: 1-2 Musachino 3-chome Akishima Tokyo 196-8558 Japan.

Заявитель


ООО «ТОКИО БОЭКИ (РУС)»
Адрес: 127055, г. Москва, ул. Новолесная, д. 2
Тел.: (495)223-40-00. Факс: (495)223-40-01. E-mail: main@tokyo-boeki.ru

Испытательный центр

ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1.
Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru

Принцип получения изображения в микроскопах заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором при синхронном с монитором сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопов.

В состав микроскопов входят электронно-оптическая система (колонна), камера объектов с механизмом перемещения объектов, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумная система, видеоконтрольное устройство, блок питания.

Микроскопы обеспечивают работу в режимах регистрации вторичных и обратно рассеянных электронов.

Стандартный режим работы микроскопов - режим высокого вакуума (остаточное давление в камере образцов от 1,3-10-4 до 1,3-10’3 Па). В ряде модификаций предусмотрен режим низкого вакуума (остаточное давление в камере образцов от 10 до 100 Па). Некоторые модификации могут быть оснащены встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС) и (или) рентгеновским спектрометром с дисперсией по длине волны.

Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.

Отличие модификаций:

  • - JSM IT300 - работает только в режиме высокого вакуума;

  • - JSM IT300A - работает только в режиме высокого вакуума и комплектуется встроенным ЭДС (возможна опция со спектрометром с дисперсией по длине волны);

  • - JSM IT300LV - работает как в режиме высокого так и низкого вакуума;

  • - JSM IT300LA - работает как в режиме высокого так и низкого вакуума и комплектуются встроенным ЭДС (возможна опция со спектрометром с дисперсией по длине волны);

При работе микроскопов обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопов не превышает 1 мкЗв/ч.

Внешний вид микроскопов приведен на рисунке 1.

Внешний вид. Микроскопы электронные растровые (JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA)), http://oei-analitika.ru

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов JSM IT300x.


В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый IT300x, комплект ЗИП, техническая документация фирмы-изготовителя.


Основные метрологические и технические характеристики микроскопов для всех модификаций приведены в таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение характеристики

Пространственное разрешение в режиме регистрации вторичных электронов (высокий вакуум) при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм, не более

3

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,03 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %

± 10

Габаритные размеры (ширинахвысотахглубина), мм, не более:

  • - консоль с колонной и вакуумной системой

  • - видеоконтрольный блок

750x1000x1400

800x1200x800

Масса (без ЗИП и упаковки), кг, не более

360

Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С

от 15 до 27

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50/60 ± 1) Гц, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, В •А, не более

2500

Рабочие условия эксплуатации:

  • - температура окружающей среды, °С

  • - относительная влажность воздуха при температуре, %, не более

  • - атмосферное давление, кПа

от 15 до 27

60

от 84 до 107


Настройки внешнего вида
Цветовая схема
Ширина
Левая панель