Номер по Госреестру СИ: 52088-12
52088-12 Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой
(JSPM 5400)
Назначение средства измерений:
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 (далее - микроскоп) предназначен для измерений параметров микрорельефа поверхности конденсированных сред с атомарным разрешением.
Внешний вид.
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 141822
ID в реестре СИ - 364222
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
ЩШЦ, ШЦ-II,
Производитель
Изготовитель - Фирма "JEOL Ltd."
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Справочник действующих аттестованных эталонов единиц величин является копией соответствующего реестра ФГИС «АРШИН» (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/11) и содержит сведения о действующих государственных и частных аттестованных эталонах единиц величин.
Для удобства использования справочника все эталоны разделены по видам измерений в зависимости от вида измерений государственного первичного эталона, к которому осуществляется прослеживаемость. Справочник содержит более 110 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 3
Усредненный год выпуска СИ - 2014
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой (JSPM 5400)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "JEOL Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48090-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM-100CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48091-11 |
Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями, JEM-2100 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48409-11 |
ЯМР-спектрометры, JEOL JNM Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52088-12 |
Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой, JSPM 5400 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52315-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, JEM 200CX Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
52316-12 |
Микроскоп электронный сканирующий, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
60728-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60730-15 21.05.2020 |
Масс-спектрометры, JMS (мод. JMS-Q1050GС, JMS-T100LP, JMS-GCMATE II) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
60731-15 21.05.2020 |
Микроскопы электронные растровые, JSM IT300x (мод. JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
63062-16 |
Микроскоп электронный растровый, JSM-6490LV Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
71032-18 11.05.2024 |
Микроанализаторы электронно-зондовые, JXA-8230 Фирма "JEOL Ltd." (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет "ET_3 Аттестованные эталоны единиц величин" состоит из 7 графиков и одной сводной таблицы. Все графики являются интерактивными, имеют функции экспорта и масштабирования. Источником данных для построения отчета являются два реестра ФГИС АРШИН: реестр "Эталоны единиц величин" и реестр "Государственные первичные эталоны Российской Федерации".
Отчет содержит как общую статистику по аттестованным эталонам единиц величин: кол-во эталонов, кол-во организаций-владельцев, среднее кол-во эталонов на организацию, кол-во частных и государственных эталонов, так и более сложную аналитику.
График "У кого сколько эталонов единиц величин" имеет несколько уровней вложенности. На первом уровне доступна информация об организациях-владельцах эталонов и количестве эталонов, находящихся у них на балансе. На втором уровне можно посмотреть состав эталонной базы в разрезе видов измерений.
На графиках "Распределение эталонов по видам измерений и годам" приводятся столбчатые диаграммы распределения эталонов по видам измерений и годам (в штуках и процентном соотношении). Наименования видов измерений присваиваются в зависимости от ГЭП к которому прослеживается каждый конкретный эталон.
График "Возраст парка эталонов единиц величин" представляет информацию по возрасту (дате производства) и количеству аттестованных эталонов единиц величин.
На графике "Распределение эталонов по видам измерений" приводится столбчатая диаграмма распределения эталонов по видам измерений. Наименования видов измерений присваиваются в зависимости от ГЭП к которому прослеживается каждый конкретный эталон.
График "Прослеживаемость к первичным эталонам" служит для оценки измерительных возможностей организаций-владельцев эталонов. По оси OX откладывается информация о количестве эталонов в организации, а по оси OY - кол-во первичных эталонов к которым прослеживаются эталоны организации.
В конце отчета приводится сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации.
Кто поверяет Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой (JSPM 5400)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "ДУКС" (RA.RU.311966) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| АО"СОЛИКАМСКИЙ ЗАВОД "УРАЛ" (RA.RU.312531) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | |||
| АО "НПО "ЭЛЕКТРОМАШИНА" (RA.RU.310558) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой (JSPM 5400)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
WinSPMII |
V2.06. 070203.0 |
328858B259237FD96 B23B39DE33E0D18E 8ЕВ1В6Е51300ВС5В 665FF1A3FF876EA |
по ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится в виде наклейки на основание микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМетоды измерений изложены в Техническом паспорте «Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой JSPM 5400 фирмы JEOL Ltd., Япония».
Лист № 3 всего листов 3
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу зондовому сканирующему атомно-силовому JSPM 5400
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по ГОСТ Р 8.630-2007 «ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Заявитель
Федеральное государственное унитарное предприятие «Центральный научноисследовательский институт химии и механики» (ФГУП «ЦНИИХМ») Адрес: 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, д. 16а.Телефон (495) 611-51-29. Факс (499) 782-23-21. E-mail: mail@cniihm.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10. Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа основан на измерении силы, действующей на острие микрозонда со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет получить трехмерное изображение микрорельефа поверхности.
Микроскоп состоит из ПЗС-камеры, системы увеличения изображения на штативе, колпака для стабилизации атмосферы, объектного столика, основания микроскопа, стола на воздушной подушке, источника лазерного излучения, системы визуализации изображения, блока управления, ПЭВМ, системы визуализации технических характеристик и блока управления осветителем.
Рисунок 1. Общий вид микроскопа зондового сканирующего атомно-силового JSPM.
приведены в Таблице 2. Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0 до 20 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 3 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % |
±5 |
|
Разрешение в плоскости XY, нм, не менее |
10 |
|
Разрешение по оси Z, нм, не менее |
от 1 до 2 |
|
Перемещение держателя образца по горизонтали, мм |
±3 |
|
Перемещение держателя образца по вертикали, мм |
±5 |
|
Геометрические размеры исследуемых образцов (длина х ширина х высота), мм, не более |
25х25х5 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-22 |
|
Потребляемая мощность, кВА |
1,5 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС |
20 ± 5 |
|
- атмосферное давление, мм рт. ст. |
от 730 до 800 |
|
- относительная влажность воздуха, % |
65±15 |