Методика поверки «Рекомендация ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки». » (МИ 140-89 )

'" УТьЕРЗДАЮ

Зам^. ген^е^р^^в ного .директора н^1^             им . ,.ц'1И. 14в1де8д^э^е>ва^"

У' , 1988 г. Д/

Государственная система обеспечения единства измерений вакуумметры Методика поверки

Ш '\Н^^ в^

Государственный комитет СССР по стандартам

1У88 г.

РйК0;лЩЦ^^1

ГОСУДАРСГЬй^1НАЯ СИСТ^1^;4А ОББЗИене^НИЯ йОДИНЛ’цА ИЗМЙРйШИИ

аА^^ЖШЛРЫ

Дата введения

Of. (9 ?. $3 -

Настоящая рекомендация распространяетея на вакуумметры по ГОСТ 277bci, а также на вакуумметрические преобразователи давления (далее - преобразова^тели^) и устанавливают методику их первичной и периодической повер^о»^.

Поверку вакуумметров проводят комплектно и, в обоснованных случаях, поэлементн^о. Индивидуальная градуировка вакуумметров должна производиться комплев^с^н^c^.

• 1.               пов<^з^]^1и

• 1. : . Пр]я 1ф>о&еп^^ш«1 1^(^]изр]^и е^скикно (^{н^ь бы^г^одв^с^ш! <^е^€^ду1лце^е операци^и^:

внешний осмотр Са.Ь.1.);

опробование (п.6.2.);

проверка техноческох параметров (п.6.3.);

определение метродогоческих характеристик (ппЬ.Ь.).

• 2. Средства поверки

  • 2.I. 1фи ^^0п^.^<^нии пиве^рке ;вoджны бит ь пьии<^]^1^]ел <^]^дcтвaс указанные в табл^. I.

Таблица I

Наименование средств поверки и их нормативно-техничесвие характеристики

Средства иэмерени^я^, указанные в технической документации (Т^) к вакуумметрам

То же

Образцовые вакуу1мметры I -го и 2-го разряда образцовые вакyyмметроческие установки

I и 2 разрядов б соответствои с luCT о.107

2

• 2.2. Образцовая вак^мметрическая установка должна удовлетворять требованиями, указанным в приложении I.

• 3. Требования к квалификации поверителей

• 3.1. К проведению измерений при поверке и обработке их результатов допускают лиц^, подучивших квалификацию поверителя в ЗИСЛ

и (или) прошедших необходимое обучение в головной или базовой организации Госстандарта СССР или в ведомственной метрологической службе (по разрешению Госстандарта ССОР^).

• 4.1. фри проведении поверки должны соблюдаться требования безопасности^, содержащиеся в ТД на поверочную аппаратуру и поверяемые вакуумметры ^^образовател^и^).

• 5. Условия поверки и подготовка к ней

• 3.1. фри проведении поверки должны быть соблюдены условия, соответствующие требованиям ГОСТ 8.335

о .с. Зеред проведением поверки должны быть выполнены подготовительные работы в соответствии с ТД на поверяемый вакуумметр (преобразов^те^^ь).

• 5. ^. фос^^еэр^ить состояние и комплектность эксплуатационных документов к поверяемому вакуумметру (преобразователях^).

0.4.           выполнение предложений и замечаний по вмгяхне-

мию заключению предыдущей поверки (по свидетельств^у^).

• 6. фро:п^д^<^н^не поверки

  • 6.1. шН(МЦД^й осмотр

фри внешнем осмотре должно быть установлено соответствие поверяемого средства измерений следующим требовани^^м^.

• 6.1.1. Отсутствие механических повреждений и дефектоЕ^, влияющих на работу вакуумметра ((преобразователе).

• 6.1.2. Комплектность вакуумметра (преобразователям) в соответствии с эксплуатационной доку'ментацией.

6.1.2^. Соответствие маркировки вакуумметра ;првобр^а^:^с^]^!1твля» требованиям ТД^.

6.1.4^. Правильность обозначений на шкалах и органах управления вакуумметра в соответствии с его ТД^.

6.1.6^.     несоответствии требованиям п - п. 6.1.1. - 6.1.4L.

вакуумметр (преобразовате.вь) к дальнейшей проверке не допускается^.

• 6.2. Оп^роббввани

фри опробовании должна быть проверена возможность выполнения следующих действ^и^й, соответствующих его -ккш^в^fi^^^тац^<^]^iной доку-

ментац^ии^.

• 6.2.1. Работоспособность средства измерений при подаче электропитания для всех рабочих режимов^.

• 6.2.^. Работоспособность органов управления и регулирования реж^имов^, а также прочность их креплениям, фиксация и коммутация их положен^ий^.

0.2.3. Работоспособность и правильность защитной ь аварийной сигнализациями.

6.2.4^. фри несс^с^т^виГ^^гвии требованиям пл^. 6.2.1. - 6.2.3. вакуумметр                      (гпрэсбразова^тел^ь^) к дальнейшей провер

ке не допускае^т^ся^.

6.3^. 1]р^]М^е}ка техмхически^ ппраает^ров

• 6.3.1. При 1^0 в<^^ке кеxн]ичe<cкиx парамаетрот вввe]вя<^мoгo срвд-р ства измерений должно быть установлено соответсрвие птртметовв режимов измерений (э.^вкрpических напряжени^й^, тоавв, свповтивле-ний, магнитных индукций, нтвояженносрей полей и т.д.) и втотмер-ров блокиоовочных^, зощитны^х^, сигнализирующих и др. устоойсрв роебовтн^и^лм^, зтдовтемым к вткуумметоу

Oтзовотевx^) . Свдеожание и воследовотельность опертций повеоаи^, необходимые СИ^, всвомоготельные соедсрва измерений и схемы их

4 соединений определяется в ТД к вакуумметру (преобразователЕ^). фри неудовлетворительных результатах проверки вакуумметр (^]^^образова-тель) к дальнейшему проведению проверки не допуске^ется^.

6.4.                 Jr р аб оте пове]^.^^]шый и о бра;^^ош^1о ыш y^а'K^(^*^]^IЕ jb

соответствии с их экспл:уатационной документ^ц^^ей, включая необходи-л

мую настойку ((каяибровку) приборо^в^.

6.0. Определение метрологических характеристик - диапазона измерения (преобра^зования^) давлений и основной относительной погрешности измерения (преобразованиям). фри определении метрологических характеристик поверяемого средства измерений должны бить выполнены следующие операции^.

• 6.5.1.                   пьо^^.^|^1ляп 1ы^ео^]^<^(ва^^<^.^1ь 1К обрам^!^!^]^^^ в^-

куумметрической устан^охк^е^, обеспечивающей получение остаточного давления в соответствии с п.6.5.^. и регулирование давлений в пределах диапазона измерений поверяемого вакуумметра^. Закрытый преобразователь следует присоединить к камере возможно более короткой трубкой с поперечным сечением не менее, чем у штенгеля преобразоват^еля^, и проводимостью не менее 3. 10'* м*/с. Ориентация преобразователя в пространстве должна учитывать указаниям, имеющиеся в соответствующей Тд^. проверить герметичность присоед^ине^нш^я^.

6.0.б. ^феоб.^1азоват^!^ (^(^]ибз1Ц(^.а^^ и i^o жны быть ртсположени на ктмеае симметрично относительно ее откачи-втющз^1'с^* отверст^и»^.

. В технически обоснованных случаях допусктзтся иное взаимное расположение вккуумшеяаав оBатзцових и рабочих вакуумметров (nр^<^<^]атзовттелей), оBзсnечивающее необходимую точность поверк^и^.

6.5^.3^« Уст^^^маж^мвль^в |ыз К1абе]^е la^ ojб]^(^;^(^]т^^(в^и д^с^лжны ь (^<^да-лены друг от друга настолько, чтобы создаваемые в них электри еск^е^, магнитные и даугие поля не воздействовали заметно друг на дауга^:

b

при отключении каждого из преобразователей от измерительного блока сигналы любых других средств измерений не изменяются^.

Общее число одновременно поверяемых вакуумметров не ог-если соблюдается требование п.З приложения I и пп. 6.5.2,

Откачать измерительную камеру образцовой вакуумметриче-ской установки до предельного остаточного давления Р^, связанного с нижним пределом Р диапазона измерения (преобра^зования) поверяемого (градуируемого^) вакуумметра (преобразова^тел^я^) соотноше-“““    Рв-<^Р/.^а..

где U - коэффициен^т, значение которого выбирается по таблице 2 .

Таблица 2

хредвл допускаемой основной относительной погрешности поверяемого (гроду-ируемог^о^) вакуумметра ^пре^о^бразователя),    %

I

I

>^1

d необходимых случаях измерительную камеру и преобразователь следует прогрева^ть. Способы и режимы прогрева должны быть указаны в ТД установки и вакуумметра (преобразователям).

С помощью натекателя осуществить регулируемого подачу газа в измерительную камеру. 6 диапазоне давлений Р - Р миу. ( Р max ’ верхний предел диапазона измерений (или преобразованная^) поверяемого (градуируе^о^г^с^) вакуумметра (преобразовател^я^) дискретно устанавливать поверочные (г]радуировочн^е^) точки, располагая

их в порядке возрастания давления с интенсивностью не менее трех точек - при поверке и пяти точек - при индивид^’зльной градуировке в пределах каждой декады давлений диапазона измерения (1п^вобразо-вания^). Поверку (градуиров^ку^) вакуумметров Ц^преобразовател^е^й^) изводить во всем диапазоне измерени^й.

• 6.Ь^.7. Поверку вакуумметров^, не воздействующих на давление состав остаточного газ^ (например^, тепловых и деформационных куумметрс^£^) при давлениях выше 1.10“ Па допускается производить в статическом реж^име, т.е. без откачки камеры в момент установления измеряемого давления. J остальных случаях поверку следует выполнять в динамическом режим^е^, т.е^. при непрерывной откачке камерь^.

  ва-

После установления в каждой поверочной <градуировс^^^^с^й) точке постоянства давления, фиксируемого по неизменности ( в пределах, не превышающих 0,5 относительной nсгрешнссти^) показаний образцового ваку^^мметра в течение 30jc - при поверке и мин - при индивидуальной градуиро^Е^ке^, зарегистрировать одновременно показания обоих прибор^с^Е^. Измерения производить в соответствии с указа^н^и^ям^и^, содержащимися в ТД к ним^. ф^и поверке многоканжльнсго ваку^-мметра отсчитывать показания по всем каналам последсватель^н^с^. фри лоьер-в^уумметр^в^, метрологические характеристики котсрогс нсрмирсва-

по аналоговому выходу^, показания отсчитывать по соответствующевнешнему прибору, подключенному к данному выходу.

6.6,У. ф^и индивидуальной градуировке вакуумметров, воздействующих на состав и давление остаточного газа (например, ионизационных и маг^{иторазрядних вакуумметров^), в комплекте с закрытыми преобразователями перед измерением следует контролировать газодинамический баланс в объеме преобразова^те^л^я^. Для определения быстроты га-зовуделения или гааологлощения следует межд^' преобразователем и камерой поместить "сухой" вакуурный кран, работающий без сма^зки^, на-примера, магнитный затвор (^(^1ко1ме1нцуемая конструкция приведена в при-

1 лженли 2) и после закрытия его регистрировать изменение давления А Р (по изменение сигнала преобразователям) за измеряемый промеж^'-ток времени hi в секунда^х^. Быстроту S следует вычислять по фор-где S - быстрота гащовыделения или гаэоп^о^г^л^сш^е^!^!^/^^ й^/с ,

Y - объем преобразователя до кренам, мР ,

Р0 - начальное дарение в объеме Ч ,

S< м3/с выполнять измерения по п.ь.С^.с^.

фри 5 >10^^ м3/с следует выполнять необходимые технологические операции (прогрев, кратковременные импульсы повышения давления и т.д.) и вновь определить знаиение Р .

• 7.             рез;^^ьтатов иэ1^<^]еэний

  • 7.1. фри поверке преобразователя иди вакуумметра без непосредственного отсчета давлений перевести его показания^, полученные по п. t.b.d, в значения давления Рд^в j в соответствии с указан^ияыи^, содержащимися в их ТД^.

  • 7.2. Пзрзвесаи показания образцового вакуумметра иди образцовой ва^^гмметрической устан^ов^й^»^, подученные по п. 6.Ь.£^., в значения давления Рдбр [ в соответствии с указаниями, содержащимися в их сви-дзазльсавах об аттестации (поверке^) и в их ТД^.

7.^. Определение $i

Основная относительная погрешность в процентах вычисляет-ея .0 ^^рмул^з            _^Рпов I - ^роб^р i . ^[0,.

^робр I

Основная относительная погрешность не должна превышать предела допускаемой основной относительной погрешности S • приведенной в ТД на поверяемое средство измерений ( в специа^но оговариваемых в Тд на средства поверки случаях - для определенного процента гра-д^'ировочных точеи^).

• 8. Оформление результатов поверки

  • 8.1. фэи/d/z^J* вакуумметр (греобразова^те^ь) признают годным к применению, на него выдают свидетельство о поверке и (или) ставят клеймо. В паспорте вакуумметра ^^еобразователя^) делают отметку о поверке и указывают срок следующей поверки^.

  • 8.2. фри jd/l>S свидетельство о поверке а^нулиру^т^, клеймо гасят и выдают изв^ение о непригодности с указанием причина.

8.3^. При индивидуальной градуировке вакуумметра (пр^образова^теля^) зависимость между его показаниями или значениями Рпов и давлениями Po6p следует выразить в табличной,ферме графической или аналитической фор^е^. Для линейного вида указанной зависимости допускается вычислять соответствующие частные значения чувствит^ности ^^и-веденной чувствительн^^ст^и^) или постоянной средства измерений и среднее арифметическое этих значен^и^й^, фэи сопоставлении его с номинальным (]паспортны^) значением чувствительности или постоянной относительное отклонение межд^' ними не должно превышать заданного в ТД предела допускаемых относительных отклонений этих велич^ин^.

8.4^. а свидетельстве о поверке, выдаваемом на индивидуальна градуированный вакуумметр, помимо результатов градуировки по о п. 8.3^. должны быть указаны условия градуироЕ^в^и^.

Справочное

Требования к образцовой вакуумметрической установке . Бакуумметрическая установка должна удовлетворять следующим требованиями.

• 1. Состав и взаимное расположение основных элементов установки должны соответствовать приведенным на схеме.

• 2. Измерительная камера установки должна иметь форму сферы иди цилиндра с диаметром не менее 0,1 м и отношением длины к диаметру 0,7 -i,t). Примечание. В технически обоснованных случаях допускается использовать камеры с иными формами и геометрическими соотношениями^.

о. Объем измерительной камеры должен быть не менее,мем в 1С раз больше суммарного объема всех присоединенных к ней преобразователей ( для закрытых преобразователей - вместе с присоединительными трубками), но не менее 2.10“* м*.

4. Откачными средствами образцовой вакуукае^т^р^ич^е^ской установки должны служить любые вакуумные насосы и агрега^ты^, обеспечивающие как тре-буе^дые лЕредельные давления (см. п. б.Ъ.Ь^.), так и стабильные равновесные давления в пределах диапазона измерений поверяемого вакуумметра (см. п. 6.0.6.). Д^олжны быть приняты меры по предотвращению проникновения паров и частиц рабочих веществ насосов в измерительную камеру.

о. Быстрота откачки камеры должна быть не менее С,о^.^0'~' м*/с -для давлений выше 1.10"° - i.IO Ufii и не менее 1.10 ■’^рм*/с - для

р         т

давлений ниже         1.10“А Ла.

6. Подача газа ^^;у^ого воздух^а^, азотам) из натекателя в камеру должна производиться через рассеивающее устройст^во, форма и расположение которого показаны на схем^е^.

насос, 2 - клапан, 3 - образцовый ва

I - вакуугмный

4 - измерительная камера^, 5 - натекатель, 6 - резервуар с газом

7 - рассеивающее устройство, 6 - поверяем^тй закуз’мметр *

МАГНИТНЫЙ ЗАТВОР

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

• I. РАЗРАБОТАНА И ВНЕСЕНА Государственным комитетом СССР по

стандартам

ИСПОЛНИТЕЛИ

С.М.Бородицкая (руководитель темы)

Б.Б. Кузьмин , к.т.н.

• 2. УТВЕРЖДЕНА НПО "ВНИИМ им.Д.И.Менделеева”

• 3. ЗАРЕГИСТРИРОВАНА ЩЩЩС 4. ВЗАМЕН МИ 140-77

А.Д.Щелкин

ii.Ih. Селиванов

.Н.ГоробеЙ

С.ХББ(0]^оди!Цкая

С.И.Бородицкая

Н.£^. Кузьмин

Начальник сектора законодательной метрологии

Р^^к. темы Исполн^ител^н^: