Методика поверки «Эллипсометр ЛЭФ-3М-1» (Код не указан!)

Методика поверки

Тип документа

Эллипсометр ЛЭФ-3М-1

Наименование

Код не указан!

Обозначение документа

п/я В-8584

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Date of tfi

Ж

S3

. СОГЛАСОВАНО

ГконтрЗл ьный ЭКЗЕМПЛЯР .

зам.ешйожвля пржпршж .

П/1 В-8534

. . А . И. ТШ!Л! ШБ

__       193 г.

МКГ0Ж1ЕСК! IE УКАЗА! Ш

Эллипсометр ЛЭп-31-1

Методика поверки.

Нач*. стае ла      .

предприятия п/я В-8584

................В< И, Кузнецов.

Ведущий иижнер предприятия п/я В-8584

...... feUO.Бочарова,

■ Зам.главного жонера

Предприятия п/я A-7I3T

. ; А.ГеКуКСОВ.

Главной метполог предприятия п/я A-7I37

_ А. Л. Шахов „ .

-            ,8 Г. ; : S Я?’          ~ г ' И ’ ■’ •• Г „'У Т И

М?Г ' -Г И

;                .       'Л’.'Х / □■:.■ ■■■:.’ /'■

.■;•■■■ ...•• •           ! О?* • ;.••■ •.'• ■..’■■• •■?’■ .

Г.         у-\                < Ч

1989г.

■ : .'Настойдае методические указаны^ распространяются на эллипсометры ЛЭФ-Ш-1 ТУЗ-З«2109-88 и устанавливают методику их первичной и периодической поверок.

// /;. б

. . . I.I, При проведении поверки. эллипсометра должны быть выполнены следующие операции и Щшмененн средства пове рки, указанные в таблице*

Наименование операции .{Номер пункта метода-{Наименование образце-'■ {носких указаний. . {вого средства измерений .       ’                      / основные метрологнчесв

Внешний осмотр.: .■

Л 4.Г.

Опробование/

4.2.

Определение метрологических характеристик

4.3.

Образцовая эллипсометрическая призма(приложение 2)

. ;.' а; ТРЕБ01ШВ1 ВЕ30ПА.СН0СТИ.

  • : 2,1. Электронная аппаратура эллипсометра в части требований безопасности должна соответствовать ГОСТ 22261-82 и ГОСТ

'■ IWI2.W7.0-75.  /

. 2.2. Эллипсометр должен быть надежно заземлен, во время, работы кожухи электронной аппаратуры должны быть закрыты.

"2.3. Присоединение кабелей, связи и .замену предохранителей производить до включения прибора в сеть.

  • 2.4. Устано®ленные предохранители доджа соответствовать

• маркировке на панелях эллипсометра.

  • ■ 2.5. Запрещается вскрывать и переставлять составные части эллипсометра при включенных кабелях питания.

. 2.6. При использовании в качестве источника монохроматического излучения лазера необходимо пользоваться светофильтрами .

■ ГОСТ 94II-8IE, руководствоваться экспуадационной документацией на лазеры и "Санитарными нормами и правилами устройства и эксплуатации лазеров/’ утверзденными минздравом СССР от 21.04.81г.   2392-81.

<            УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ПОДГОТОВКИ К НЕЙ. .

■ . При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

температура окружающего воздуха, °C. / .. . .: .. .

колебания температуры на время измерения пароетров 4 ■ в четырех зонах,°C не более                :   ..   ,, ,

относительная влажность воздуха,$ не более ,

напряжение сети,В                ........,, _ „               220222

ча ст ота сети, Гц ,    .......... ,,     _            ,        ,   50-0,5

Электронные блоки эллипсометра перед началом работы необхошвю прогреть в течение времени, указанногов паспорте па прибор.

4. -ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ.

  • 4.1. Внешний осмотр.

4.1 Д. При внешнем осмотре должно бить установлено соответствие эллипсометра следующим требованиям: наличие полного комплекта прибора в соответствии с паспортом;        ;

наличие маркировки типа прибора, товарного знака предприятия-изготовителя, заводского номера, года выпуска;

наличие четкой гравировки штрихов, надписей и 1щфр; отсутствие дефектов и повреждений наружных поверхностей, влияющих на его егххлуа-тациошшэ характеристики и ухудшающие внешний вид.

  • 4.2. Опробование.

  • 4.2.1. При опробовании необходимо убедиться в том, что плечи поляризатора и анализатора подшшются и опекаются плавне* без скачков и заеданий. Проверить плавность линейного перемете:® и надежность фиксации предметного столика вокруг вертикальной о:ч на 360°, пределы его перемещения в даух взашжо-перпеншпсулярыыи направлениях и механизм качания столика в горизонтальной плосеэст.

  • 4.2.2. Вращение поляризационных элементов должно быть плавным, без рывков и заеданий.

  • 4.2.3. Проверить возможность визуальной индикации светсво цучка на экране для чего:

включить электронный блок эллипсометра и источник питания лазер* з сеть. Убедиться, что на предметном столике появляетен.световое' ж но; и при нажатии кнопки ВО электронного блока загораете* лампа пел-снетки шкалы 'индикатора' интенсивности пучка излучения*

Эллипсометр считается опробованным, если появляется световое пятно и загарается лампа подсветки. ■

  • 4.3. Определение метрологических характеристик.

■■■/4*3,.I. Перед, определением метрологических харшстериспж эллипсометра.нвобходашо .провести измерение нулевых параметров прибора Ао> для .этого:. ' ?

4.3.2» Установить на. прежетны.1 столик эллипсометра. юотировоштую пластшу из кокшлокта прибора,

■ ■      4,3.3* Механизмом подъема плеч .установить угол

падения 2^ ₽140°.     ■

'■ .- ?-4*3*4*. Вращением поляризатора/ анализатора и х^омпеп-оатора, добитьед мташаданого эна.чения шгенсояости света на выходе анализатора, и за^пссировать соответствующие углы Рр Ар. Ср

4*3;5...Перевести анализатор из положения Aj в положение A^AjiQO0*?. ' ..' .. '

: 4*3.6. Вращением поляризатора и. компенсатора добиться гашения. света, на'выходе анализатора. Зафиксировать азимутальные УГЖ Pg И. Cg.

■ /' 4*3.7.:.Перевеоти поляризатор в ■полошпхе 'Р^Р^-ЭО0.

'       ■ 4*3.8. Вращением анализатора и компенсатора получить

минимум интенсивности, света на выходе анализатора, зафиксировав при этом азимутальные углы Ag и Cg. '

.? .?. 4.3.9* Повторить пункты 4*3.4.М.3.7* » каждый раз фиксируя- значения азимутальных углов * С л до тех пор, пока значения Рл t Ап> Сине будут отличаться от значения Ри -^2, Ап- 2, С fl- I болев, чем на цену деления лимба угломерного устройства.

. 4.3.10. Установить угол падения пучка излучения/ равный углу Брюстера для материала, из которого изготовлена юстировочная пластина ( приложение I), равеый 56°40® .

4*3*11. Установить на жлбах поляризатора , и компенсатор; значения Рн иСи -. Еоеи гашение света наблюдается при любом положении, анализатора-» то Ph ®Р0» С н^о® п” А* Рож гашение света наблюдается при определешюм положении анализатора ( А^), то РНО»- » Со#         Пример определения нулевых параметров при

водится в приложении 3. \.

4*3*12* Поверка эллипсометра осуществляется посредства/ определения поляри.задаошш углов у/^4. образцовой элздшеометричоож призмы ( приложение 2

4.3*13. Поместить призму на прежеттшй столик и ого перемещениями и мехашу^иом.подъема идем 1фивести1физму в рабочее полотше: . палаwiil луч попадает в цещде экрана призмы» проходит ciwo3b передано-отражается от .-основания и выйдя из призмы, попадает в центр приемной части эллипсометра* Отраженный от nepew грани луч должен попасть в центр диафрагмы плева поляризатора.

4*3 Д4.'Механизмом подъема' плеч установить угол надопия рабочего пуш йз.лучепия,;'у1сазашш11 в сжпе£ехь»г$’

" о.....мбгрологической аттостада . образцовой зйпоомотрйческсЗ 'цризш.

Убедиться» W призма находится -в рабочем пожкешш, в гролпзнш • случае добиться итого регулировкой.рабочего столика.

4,3.15. Произвести измерения азимутов голярнзатора Р и. анализатора А в полошпш теш при задаяшх ;'»олокекжх • компенсатора в каздой из четцрех ЖморптеА^шх. вж' ояхжоыетра согласно Тедаческому описанию- на .приборе ( раздел.ПК.

Повторить пункт 4.3.15. десять paj, при

образцовой злжпсометрической датами дожило оставаться ■ ж?»®» ../5. 01ЖШТКЛ W^TA№’Ш4ИМС'• .

  • 5.1. Вычислить значения полярнзахдада: углов и в кожой из четырех пзмерите.лыт зон по формулам:/

' . 41 .'^WAP .'  4 ^^рср s

^«(A^)'/ './Ц

(5Л.)

где, ApA^A^A^Pp Р23»Р4*“ значения азадтов• ейалиш^а. я поляризатора вйолошпш гашения в соотпотствующж зонах, ш-раненные в угловых градусах ( из щ4*3.15,. А00- юстирав-оч^е' параметры изп.КЗ.П.К             . '

. -.5.2. Вычислить уерелношшё. по чотыхш измерптешш зонам значения■ поляризажошшх. углову/по формулам;

У? - V * 4z 4 /д, ^4с    ^>2          (s.6.)

. 5.3. Вычислить средда^рри^етическое' значение десяти измерений долйризажонннх- углов чр и' Д .ж формулой

■  - ■   7 г> ? . 4. ■     2 . /1 ■

—6~~. . ■ ■

  • 5.4. Допускаемая основная. абсолютная погрешность

. определения■ поляриза'ционгшх углов вычисляется по формулам:

($д// - {р -                        (9)

•'/  ': 5Д *                               (ICJ

  • ■ w J м/>“ номиналы»© значения поляризационных углов образцовой тфизмы* занесенные в свидетельство при ее метро логической аттестации. '

  • ■  5.5. Поверяемый эллипсометр сшттается годным# если

" определенные, в й.5.4# значения cfy #яУ/1 не превшпают допускаемых Основных абсолютшх-погрешностей# указанных в паспорте на прибор ' (i 0*08° и £0Д°).

6. ОФОВДЕШЕ РЕЗУЛЬТАТОВ 1ЮВЕЖИ.

  • 6.1. Полоясггельшв результаты первичной поверки эллипса

  • ■ метра -оформляются записью в паспорте..

  • ■   6.2. Положительные результаты периодической поверки эллипсометра * проведенной метрологической службой оформляются в установленном порядке.

.6.3, При отрицательных результатах поверки эллипсометр к выпуску в обращение и применение не допускается и видается

■ язведежа о его непригодности#

Справочное*

Подарпэадаондай угол^ -*42C'ty    (» где /$р/,/$4*   '

отноденж аштуд кодсбашШ электрического. вектора отрайдагй подхш ic ошиазгуде палашей вовш, коляризовашпге соответстздада э плоскости

лпдатуде пададаеп

•давя и иеупеюшкужрно ей*.

Иожфизадошш^

> -W .^з-СЖ-Ш5, гфетерпешеже при' отражении соодастсдае ~ кшиопеитаай дадададаеоког? few эра спотовой в К-

К..1

угловое дадаавлопие пропускайся »■        *г- -<•>_» ;*ь X"         •-■■ •'.,<■•**» •\'(, «' у- <;-'•;

■i~j           йс-./..у 's..;'i:.j.*;лл

Ао- угловое ленда даодаекапда

совпадает

Yt/ч ** A'' ■* да * * ■ ■-. ■LJ, M/aV      x A I ,i 4,.к

С0ШПЩ102

подардавтсра, о ппсскостьг

ШОДИСаТОрЗД

C ПЛОСКОСТЬЮ

рун кеторда еда падем: гл удадада

ИЗдаЧЖЖК

■ Со-■угловое дадададаопда и едадазеторда» да: через нолда-нзатор' в пояршш Ро1 при да да-

кашонсатора, уедадаодадада дапату ■ котором даодадада гадада \ ж:, ддадсдада черев поллдаижш в ноло;еениз ?0, дададатор . i дада Уж90°; при ©Том глапдае оси кодаенсагора ссйдадада | с плоское®)' падения рабочего пудаа излучения и плоскостью дададаэддаИ исП ей*

Yi -

/л,

рГг J. V

полотодао

Угод Вреодара - угол дагдада. светодапе дача етрапедашй от ддададарикз спет подаосж? поляриз*-где да-* кодададаль даедадкн-да отдал» ст которой

/s-v'4 .4 А* inWl Х1;>У X'A/is^T.-GpL-Xp; Ь КОл^рО.*: pclt^Xlt/

дадаесж падашм - плоскость, еодеудадая в се ж.г луч и нормаль к давдадаосда, да которую. гда

c-»

Ппихоьешш. 2.   .  "■/

•■(Ш                                  ■ л

X. Тешпесйсйе требования.

LI,                    npns&a 0 52.005.CO. CO с ост опт

  • ■ из стеклхдпюй. призмы с'метаплншуопшпмз' оснош^см .' ■.

• • Э52*005.00.01 и' Ойновз1ШЯ,.р52*0С5.С0.С2 с ■ окракоц'.

:'. 352* 005.00*03, цредй^ШЖй&т от ловре whew' рабочей ■■■.'■ ПОВётрШОСТИ.' .

1*2; Стекшпшая призма долша ■ вапрепйчться па основат-иж в. 1юяа1фяпшш(хл оостоянии* ■

. 1*3. При измерении завещается тесаться призми рзбсчпи поверхности элптшешетрпчеокой пртадг»

и 1.4.Рабочие ооверхности зи^жажржзекои imsss пгхц

■ .■ пзцерешй&и очндать от пции е tmorw обдува ■ эоззухш из , резиновой- ipyszs*.

2. маржрожа, упаковка, транспортппошпие в пудисиво/

■ ■ 2.Х. .Оилинсоистричсская призма менту •пзморсяпдгп сог.гз бить всегда прикрыта крышкой 352.СС5.С0,Си п пежина $  • ■,.

.’•.'.футляр' 352.OCG.00.Ш.

  • 2,2. На футляре дожзш бить паиесеш: обозначения пастоглюб йетодщчеахпх указаний, номер образцовойзлмпюомстр!

  • ■ ческой призмы. ■ .

и.а. Образцовые элхшпеометрпчеокие ьривш моих г Tpaxi-

  • ■ сиортироваться жэбкм ждом крытого- трапспорта при уодовзи

'.. прелояранеж ни от воздействия зжос^рж ос-а.~:св, .2*4. Образцовое -эдпппсогэетхчесчио ирезми поя.п-ы-

cypo

v-

" храхшьсых'в-сух^ .отаплзваешз; пшещенкяд при тендера1 воздуха от .10 до 35с‘С и относительной вжи-постн не бо 80£. Воздух в поженил не должен содержать цржгзеой агрес сиплых паров и газов.

Справочное.

ЙПЖЙКАЯ ЖГ1Ф0ВКА.

( Пример определения нулевых

параметров),

л   р

Л с

А А

180°00

359°42

94°12

81°02

8°46    ■ • : •

184°12

171°02

■ ■ 8°46

П6°58

37°24

321°53   .

206°58

1’27°24

.    322°09   .

165°15

187°03.

352°35

■   75°15

97°03

352°28

358°1С

182°И

.     357°27     ; ■

■■8'ЗШ

92°П

.   . 357°27

■ оО.

181°32 ■.

358°06

■      90°00 ’

9Т°32.

358°С6      ■   ■

0°Х4

181°25

358°OS

■ 90°00

91°32

358°06 -■

0°14

181°25 '

358°13

9С°14 '

91°25 ■■

.358°13   '

0°16

18Х°26

358°13 ■

90°16

91°26  ■

. 358°13    .

. о°1б; ■

181°26

.     358°13   ‘

■ . 90°16

РО^181°26

СО=358°13 ' ;

Ао=0°16

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель