Методика поверки «Эллипсометр ЛЭФ-3М-1» (Код не указан!)

Date of tfi

Ж

S3

. СОГЛАСОВАНО

зам.ешйожвля пржпршж .

П/1 В-8534

. . А . И. ТШ!Л! ШБ

__       193 г.

МКГ0Ж1ЕСК! IE УКАЗА! Ш

Эллипсометр ЛЭп-31-1

Методика поверки.

Нач*. стае ла      .

предприятия п/я В-8584

................В< И, Кузнецов.

Ведущий иижнер предприятия п/я В-8584

...... feUO.Бочарова,

■ Зам.главного жонера

Предприятия п/я A-7I3T

. ; А.ГеКуКСОВ.

Главной метполог предприятия п/я A-7I37

_ А. Л. Шахов „ .

-            ,8 Г. ; : S Я?’          ~ г ' И ’ ■’ •• Г „'У Т И

М?Г ' -Г И

;                .       'Л’.'Х / □■:.■ ■■■:.’ /'■

.■;•■■■ ...•• •           ! О?* • ;.••■ •.'• ■..’■■• •■?’■ .

Г.         у-\                < Ч

1989г.

■ : .'Настойдае методические указаны^ распространяются на эллипсометры ЛЭФ-Ш-1 ТУЗ-З«2109-88 и устанавливают методику их первичной и периодической поверок.

// /;. б

. . . I.I, При проведении поверки. эллипсометра должны быть выполнены следующие операции и Щшмененн средства пове рки, указанные в таблице*

Наименование операции .{Номер пункта метода-{Наименование образце-'■ {носких указаний. . {вого средства измерений .       ’                      / основные метрологнчесв

. ;.' а; ТРЕБ01ШВ1 ВЕ30ПА.СН0СТИ.

• ■ ^: 2,1. Электронная аппаратура эллипсометра в части требований безопасности должна соответствовать ГОСТ 22261-82 и ГОСТ

'■ IWI2.W7.0-75.  /

. 2.2. Эллипсометр должен быть надежно заземлен, во время, работы кожухи электронной аппаратуры должны быть закрыты.

"2.3. Присоединение кабелей, связи и .замену предохранителей производить до включения прибора в сеть.

• 2.4. Устано®ленные предохранители доджа соответствовать

• маркировке на панелях эллипсометра.

• ■ 2.5. Запрещается вскрывать и переставлять составные части эллипсометра при включенных кабелях питания.

. 2.6. При использовании в качестве источника монохроматического излучения лазера необходимо пользоваться светофильтрами .

■ ГОСТ 94II-8IE, руководствоваться экспуадационной документацией на лазеры и "Санитарными нормами и правилами устройства и эксплуатации лазеров/’ утверзденными минздравом СССР от 21.04.81г.   2392-81.

<            УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ПОДГОТОВКИ К НЕЙ. .

■ . При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

температура окружающего воздуха, °C. / .. . ._: .. .

колебания температуры на время измерения пароетров 4 ■ в четырех зонах,°C не более                :   ..   ,, ,

относительная влажность воздуха,$ не более ,

напряжение сети,В                ........,, _ „               220222

ча ст ота сети, Гц ,    .......... ,,     _            ,        ,   50-0,5

Электронные блоки эллипсометра перед началом работы необхошвю прогреть в течение времени, указанногов паспорте па прибор.

4. -ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ.

• 4.1. Внешний осмотр.

4.1 Д. При внешнем осмотре должно бить установлено соответствие эллипсометра следующим требованиям: наличие полного комплекта прибора в соответствии с паспортом;        ;

наличие маркировки типа прибора, товарного знака предприятия-изготовителя, заводского номера, года выпуска;

наличие четкой гравировки штрихов, надписей и 1щфр; отсутствие дефектов и повреждений наружных поверхностей, влияющих на его егххлуа-тациошшэ характеристики и ухудшающие внешний вид.

• 4.2. Опробование.

• 4.2.1. При опробовании необходимо убедиться в том, что плечи поляризатора и анализатора подшшются и опекаются плавне* без скачков и заеданий. Проверить плавность линейного перемете:® и надежность фиксации предметного столика вокруг вертикальной о:ч на 360°, пределы его перемещения в даух взашжо-перпеншпсулярыыи направлениях и механизм качания столика в горизонтальной плосеэст.

• 4.2.2. Вращение поляризационных элементов должно быть плавным, без рывков и заеданий.

• 4.2.3. Проверить возможность визуальной индикации светсво цучка на экране для чего:

включить электронный блок эллипсометра и источник питания лазер* з сеть. Убедиться, что на предметном столике появляетен.световое' ж но; и при нажатии кнопки ВО электронного блока загораете* лампа пел-снетки шкалы 'индикатора' интенсивности пучка излучения*

Эллипсометр считается опробованным, если появляется световое пятно и загарается лампа подсветки. ■

• 4.3. Определение метрологических характеристик.

■■■/4*3,.I. Перед, определением метрологических харшстериспж эллипсометра.нвобходашо .провести измерение нулевых параметров прибора А_о> для .этого:. ' ?

4.3.2» Установить на. прежетны.1 столик эллипсометра. юотировоштую пластшу из кокшлокта прибора,

■ ■      4,3.3* Механизмом подъема плеч .установить угол

падения 2^ ₽140°.     ■

'■ .- ?-4*3*4*. Вращением поляризатора/ анализатора и х^омпеп-оатора, добитьед мташаданого эна.чения шгенсояости света на выходе анализатора, и за^пссировать соответствующие углы Рр Ар. Ср

4*3;5...Перевести анализатор из положения Aj в положение A^AjiQO⁰*?. ' ..' .. '

_: 4*3.6. Вращением поляризатора и. компенсатора добиться гашения. света, на'выходе анализатора. Зафиксировать азимутальные УГЖ Pg И. Cg.

■ /' 4*3.7.^:.Перевеоти поляризатор в ■полошпхе 'Р^Р^-ЭО⁰.

'       ■ 4*3.8. Вращением анализатора и компенсатора получить

минимум интенсивности, света на выходе анализатора, зафиксировав при этом азимутальные углы Ag и Cg. '

.? .?. 4.3.9* Повторить пункты 4*3.4.М.3.7* » каждый раз фиксируя- значения азимутальных углов * С л до тех пор, пока значения Р_{л t} А_п> С_ине будут отличаться от значения Ри -^2, Ап- 2, С fl- I болев, чем на цену деления лимба угломерного устройства.

. 4.3.10. Установить угол падения пучка излучения/ равный углу Брюстера для материала, из которого изготовлена юстировочная пластина ( приложение I), равеый 56°40® .

4*3*11. Установить на жлбах поляризатора , и компенсатор; значения Р_н иС_и -. Еоеи гашение света наблюдается при любом положении, анализатора-» то P_h ®Р₀» С н^о® п” А* Рож гашение света наблюдается при определешюм положении анализатора ( А^), то Р_Н*Р_О»- » С_о#         Пример определения нулевых параметров при

водится в приложении 3. \.

4*3*12* Поверка эллипсометра осуществляется посредства/ определения поляри.задаошш углов у/^4. образцовой элздшеометричоож призмы ( приложение 2

4.3*13. Поместить призму на прежеттшй столик и ого перемещениями и мехашу^иом.подъема идем 1фивести1физму в рабочее полотше: . палаwiil луч попадает в цещде экрана призмы» проходит ciwo3b передано-отражается от .-основания и выйдя из призмы, попадает в центр приемной части эллипсометра* Отраженный от nepew грани луч должен попасть в центр диафрагмы плева поляризатора.

4*3 Д4.'Механизмом подъема' плеч установить угол надопия рабочего пуш йз.лучепия,^;'у1сазашш11 в сжпе£ехь»г$’

" о.....мбгрологической аттостада . образцовой зйпоомотрйческсЗ 'цризш.

Убедиться» W призма находится -в рабочем пожкешш, в гролпзнш • случае добиться итого регулировкой.рабочего столика.

4,3.15. Произвести измерения азимутов голярнзатора Р и. анализатора А в полошпш теш при задаяшх ;'»олокекжх • компенсатора в каздой из четцрех ЖморптеА^шх. вж' ояхжоыетра согласно Тедаческому описанию- на .приборе ( раздел.ПК.

Повторить пункт 4.3.15. десять paj, при

образцовой злжпсометрической датами дожило оставаться ■ ж?»®» ../5. 01ЖШТКЛ W^TA№’Ш4ИМС'• .

• 5.1. Вычислить значения полярнзахдада: углов и в кожой из четырех пзмерите.лыт зон по формулам:/

^«(A^)'/ './Ц

где, ApA^A^A^Pp Р₂,Р₃»Р4*“ значения азадтов• ейалиш^а. я поляризатора вйолошпш гашения в соотпотствующж зонах, ш-раненные в угловых градусах ( из щ4*3.15,. А₀,Р₀- юстирав-оч^е' параметры изп.КЗ.П.К             . '

. -.5.2. Вычислить уерелношшё. по чотыхш измерптешш зонам значения■ поляризажошшх. углову/по формулам;

. 5.3. Вычислить средда^рри^етическое' значение десяти измерений долйризажонннх- углов чр и' Д .ж формулой

—6~~. . ■ ■

• 5.4. Допускаемая основная. абсолютная погрешность

. определения■ поляриза'ционгшх углов вычисляется по формулам:

($д// - {р -                        (9)

•'/  ': 5Д *                               (ICJ

• ■ w J м/>“ номиналы»© значения поляризационных углов образцовой тфизмы* занесенные в свидетельство при ее метро логической аттестации. '

• ■  5.5. Поверяемый эллипсометр сшттается годным# если

" определенные, в й.5.4# значения cfy #яУ/1 не превшпают допускаемых Основных абсолютшх-погрешностей# указанных в паспорте на прибор ' (i 0*08° и £0Д°).

6. ОФОВДЕШЕ РЕЗУЛЬТАТОВ 1ЮВЕЖИ.

• 6.1. Полоясггельшв результаты первичной поверки эллипса

• ■ метра -оформляются записью в паспорте..

• ■   6.2. Положительные результаты периодической поверки эллипсометра * проведенной метрологической службой оформляются в установленном порядке.

.6.3, При отрицательных результатах поверки эллипсометр к выпуску в обращение и применение не допускается и видается

■ язведежа о его непригодности#

c-»

Ппихоьешш. 2.   .  "■/

•■(Ш                                  ■ л

X. Тешпесйсйе требования.

LI,                    npns&a 0 52.005.CO. CO с ост опт

• ■ из стеклхдпюй. призмы с'метаплншуопшпмз' оснош^см .' ■.

• • Э52*005.00.01 и' Ойновз1ШЯ,.р52*0С5.С0.С2 с ■ окракоц'.

:'. 352* 005.00*03, цредй^ШЖй&т от ловре whew' рабочей ■■■.'■ ПОВётрШОСТИ.' .

1*2; Стекшпшая призма долша ■ вапрепйчться па основат-иж в. 1юяа1фяпшш(хл оостоянии* ■

. 1*3. При измерении завещается тесаться призми рзбсчпи поверхности элптшешетрпчеокой пртадг»

и 1.4.Рабочие ооверхности зи^жажржзекои imsss пгхц

■ .■ пзцерешй&и очндать от пции е tmorw обдува ■ эоззухш из , резиновой- ipyszs*.

2. маржрожа, упаковка, транспортппошпие в пудисиво/

■ ■ 2.Х. .Оилинсоистричсская призма менту •пзморсяпдгп сог.гз бить всегда прикрыта крышкой 352.СС5.С0,Си п пежина $  • ■,.

.’•.'.футляр' 352.OCG.00.Ш.

• 2,2. На футляре дожзш бить паиесеш: обозначения пастоглюб йетодщчеахпх указаний, номер образцовойзлмпюомстр!

• ■ ческой призмы. ■ .

и.а. Образцовые элхшпеометрпчеокие ьривш моих г Tpaxi-

• ■ сиортироваться жэбкм ждом крытого- трапспорта при уодовзи

'.. прелояранеж ни от воздействия зжос^рж ос-а.~:св, .2*4. Образцовое -эдпппсогэетхчесчио ирезми поя.п-ы-

" храхшьсых'в-сух^ .отаплзваешз; пшещенкяд при тендера¹ воздуха от .10 до 35^с‘С и относительной вжи-постн не бо 80£. Воздух в поженил не должен содержать цржгзеой агрес сиплых паров и газов.

Справочное.