Методика поверки «ГСИ. ГОЛОВКИ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРУЖИННЫЕ МАЛОГАБАРИТНЫЕ МИКАТОРЫ» (МИ 1790-87)

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МИ 1?И-87

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

ГОЛО8КМ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРУЖИННЫЕ МАЛОГАБАРИТНЫЕ. ААИКАТОРЫ

езсдамяа

;S- Настоящие методические указания распространяются на измерительные пружинные малогабаритные головки (далее — ыикато,-ры.) по ГОСТ 14712—79 ^.устанавливают методику их первичной и периодической поверок.

Т. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

I.I. При проведении поверки доданы быть выполнены операнда

i применены средства поверки с характеристиками, указанными в табл,Т.

Таблица I

осмотр

•'пробование

^.Определение

18й»£2^{ггч5ск:ах}

^^терастак

Стбйка С-П з кронш-•?51ы с присоединительном- диаметоов 8Н8 по . :«Т .10197-70

-ОНЗЁТгЛЬНОСТь

■z

Определение грешности гатора

3 .

Средства поверки и их нормативно-технические характеристики

По ГОСТ 11007-66; лупа 2,5х

Плоскопараллельные концевые меры длины 0,5 и 2,5 мм класса точности 3 по ГОСТ 9038-83;

стойка С-П и кронштейн : присоединительным диаметром 8Н8 по ГОСТ 10197-70

Весы для статического взвешивания по хОСТ 23676-7"г с ценой деления 2 г и наизг-льшим пределом взвешивания 2 кг;

стойка С-П и кронштейн : присоединительным диаметром 8Н8 по ГОСТ 70197-70

Граммометр 10-50 по ТУ 25-0$.021301-78;

стойка С-П и кронштейн с присоединительным диаметрох 8Н8 по ГОСТ 10197-70

Образцы шероховатости поверхности по ГОСТ 9378-75 или детали с параметрами рохсватости Ра=0,63 мкм

меры длины 2-4-го раэ-

,хв по МИ 1604-87;

стойка С-1 или С-П и кос-штейн с присоединительным диаметром 8Н8, стол со сфе- -рической вставкой и движ для концевых мер по ГОСТ 10197-70;

установка для определ погрешности в горизонтальном положении (приложения

’ Операцию Лры>о5яг^вы^-й[яяо я

2. ТРЕБОВАНИЯ БЕМТаСНОСТИ

• 2.1. При подготовке к проведении тсверки следует собл ..„л, травила пожарной безопасности, усыновленные для работы с лег-ковоспламе.няющимиса жидкостями < которым относится бензин, используемый для промывки мнкатшь а плоскопараллельных концевых мер длины (далее — концевы; мер длины).

2.2 В помещении, где проводят пюмывку. должны быть предупредительные знаки н сигнальные шета по ГОСТ 12.4.026—76; запрещено пользоваться открытым от!», применять электробытовые приборы.

■ 3; УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ И ПОДГОТОВКА К НЕЙ

• 3.1. При проведений поверки долкны быть соблюдены следующие условия.;.

температура окружающего возгущ з помещении (20=3) °C;

изменение температуры окружающего воздуха в течение 0,5 ч ярн поверке мнкатора ценой дележи 0.2 мкм — 0,2°С. ценой де леппя 0,5; 1 и 2 мкм 0,5°C;

атмосферное давление (101,3±4 »Па.

• 3.2. Перед проведением поверки казанные наружные части ми-ка.торов it концевые меры длины ле.жяы быть промыты бензином по ГОСТ 1012—72 или бензином-пасасснтелем по ГОСТ 443— 76, или моющими растворами с пассив-торами, вытерты фланелевой салфеткой по ГОСТ 7259—77 и вьеьзжзны на рабочем месте не менее 3 ч.

4. ПРОВЕДЕНИЕ ТОВЕРЯИ

4.1, При внешнем осмотре доли:;.» быть установлено соответствие мнкатсров ГОСТ 14712—79 в ч.стм комплектности (наличие наконечника, арретира, передвижки' /чазатсля пределов поля допуска и паспорта) и внешнего вид:

Hpit внешнем осмотре должно. также проверено: четкость и правильность-нанесения штрихог • ьяфр на шкале, цвет шкалы, отсутствие дефектов на стекле и ш чааужных поверхностях мика-торов, препятствующих отсчету ил| 'хядшаюших внешний вид, наличие антикоррозионного покрыли юавнльность нанесения маркировки. •' •      7. 7

..    1 w опробован ил проверяю- щавность перемещения стрел-

**-Щ ^ви.^сотУ р.асполр'жёнпя .ст{>елк; кщ шкалой, перекрытие стре^' ^гой коротких штрихов, передвижент стрелки по всей шкале и нр^е' ••ел регулирования нулевой ус-ровхщ установленные ГОСТ 14712—79.. -Sfc

Л&кС-с J?' ..<*•

ё-. '■ coBMemsitfr скуловой отметкой шкалы. Затем поворотом

у. >-70В.Ср11ТСл ИЗ М QH;J ЮТ Hdlip'aomviiuv iiuv*nv/4,vnr./:

определяют изменение показаний микатора, Которое lie

• превышать одного деления шкалы.

• 4.3. Определение метрологических ха

_#. . . рп? Т В. к- --f

^■1. ' <-.3.1 Проверка измерительных наконечников                 _ь;

Ярй выпуске из производства наконечники мнкаторов* должцТ; О ^поверяться- методами и средствами поверки, предусмотренный ГОСТ-1; 007-66. •        '                                    I

|    .....Наконечники должны . соответствовать треб&ваЪням пёрврй^:

класса по ...ГОСТ 11007—66.

, . При проверке после ремонта и при периодической позёрке прГ ■-вер.‘->!ст. отпуустгиб;-дефектов'на измерительных пдвёрхйосТЯх (еке | ..~.шов,.41арг.ийн и заметиы.х при 2,5^х увеличении следов износа). (•

4.3.2.-;Обший ход'измерительного стержня микаторов определи ’тг-'-..ют■ коицевими мерами длины. Для этого поверяемый мнкатор зб Закрепляют 'в стойке С-11. Установив стрелку на начальное показан® шкалы, поднимают арретиром измерительны:" стержень и опрс-дк ля ют возможность введения концевой меры длины размером 0,5 м| хглхаюров-с ценой делен ня 0.2 мкм и 2,5 мм у мнкатороз с ш.-иу ю и‘деления-0,5; 1 и 2 мкм. Концевые меры длины должны свобод;?-С.' . пуо эди*ь между .наконечником микатора и столиком стойки.

■-4.3.3. Измерительное усилие микаторов определяют на вп-Г ...< ... дл.ч ст; ’.чёского взвешнванпя при контакте пзмериТгл.Виого паку

- печника- с верхней поверхностью площадки весов. Опуская при nJ?

1 • мош;: та-йкн микатрр, закрепленный в стойке, ко шкале весов опр*-: Т деляют '.дмери-тельиое- усилие в начальном и конечном' значений шкалы при прямом н обратном ходе измерительного стержня.

'. . ^Раз-. ’.-сть между наибольшим и наименьшим усилиями при npfl ' мом и обратном ходе характеризует колебание измерительного, ус?? ’^ЛНЯ‘                                                            - I

г? ■: . Измерительное-уенлпе-и его колебание должны соответствовав | . значениям,,"указанным в ГОСТ 14712—79.

( • .   4.3.4 Изменение показаний микатора при боковом нажатии й?

а| нэуер^гтС-ьньф стержень в направлении, перпендикулярном к. ос|; В ' определ!=_:от- граммометррм. Нажимая наконечником _граммом.етру Й.- ■после^сФ'аТельнО* 'Счстырёх’ взаимно перпендикулярных сторон нзмер.чтсл.Чный стержень микатора, закрепленного в стойке С-113 усилием - в соответствии с ГОСТ 14712—.75 и наблюдая за_ стрс|| кой. -рё.;вардц;.£ль.но установленной на* пулевую., отметку, отсчит^ *'• .ьают .нз.мснеЙЙе показаний микатора по каждому из четырех пол^ ЖСНИЙ.                                                      В

I

За изменение показаний мнкатора при боковом нажатии лринк-мают наибольшее значение из четырех измерений.

Изменение показаний не должно превышать значенна, предус-мотренных ГОСТ 14712—79.

• 4.3.5. Параметр шероховатости поверхности наружной гильзы определяют визуально сравнением с образцами шероховатости поверхности или образцовыми деталями с параметром шероховатости /?л = 0,63 мкм.

• 4.3.6. Определение погрешности микатора

• 4.3.6. L Погрешность мнкаторов с ценой деления 0,2 мхи опре-дсляю.т в вертикальном положении (наконечником вниз).

Мичаторы. изготовляемые по заказу потребителя для работы в любом положении, из предусмотренных ГОСТ 14712—79, должны проверяться, в вертикальном положении (наконечником ваиз) в тех случаях, если они предназначены для работы под углсн .не более 45° (относительно вертикального положения), или з горизонтальном положении (шкалой вверх) для работы под углом 45° и более (относительно вертикального положения).

4.3.6.2 Погрешность мнкаторов с ценами деления 0,5; I н 2 мкм определяют в вертикальном (наконечником вниз) и горизонтальном положениях (шкалой вверх).

• 4.3.6.3. Мнкаторы следует проверять при помощи одеого из образцовых средств поверки (прибора или концевых мер длжиы), при- i веденных в табл. 2.

Та блиц* 2I

*• Число «арТ^Ьнцеаых иер ллчиы про проверке а првлелал =30 деле» < я«ли- .. •• Число «и> концевых «ср длины при ароаерле • пределле свыше лелен»!

4 3.6.4. Погрешность микатооов следует проверять на отметках шкалы, указанных в табл. 3, начиная с нуля влево и вправо.

Та б л ица 3

ж 4.3.6.5. Для-проверки погрешности мпкаторов в вертикальном i положении кикяторы с ценой деления 0,2 и 0,5 мкм закрепляют & .интерферометре ИДГ-1 или з стойке С-1, а с ценой деления ' и • '2 мкм — в Стоике С-И’,;.

Погрешность микзторов в горизонтальном положении определяют на интерферометре ИДГ-1 или в установке для проверки погрешности в горизонтальном положении (см. приложения i и 3).

Г При проверке ‘погрёшйости в установке микатор выставляют и . закрепляют в кронштейне 2 (см. приложение 2) или в кронштейне i 2 (см. приложение 3) при помогли приспособления (см. яриложе- ; нне4).

• 43,6.6. При проверке -микаторез на интерферометре ИДГ-1 используют плоский наконечник интер&ерометра. Вначале поверяемый микатор и интерферометр ИДГ-1 устанавливают ла нулевую отметку. Поренещая каретку интерферометра до-соответствующей проверяемой' отметки мйкатора, снимают показания -пптерферомет-,ра и вычитают их из показаний мйкатора.

Результаты-пс-веркн заносят в протокол (см. приложение 6).

Погрешность мйкатора*’не должна .превышать значении тказан-ных в ГОСТ 14752—79: ■

.т 4.3.G.7. При-покерке мик а торс is по образцовым концевым ыерам Длины парным- методом меры, из которых-составляют пары, долж-. ны иметь разность размеров, .равную значению проверяемой от-« метки. При йрЬверке микатороз пеной деления 0,2 мкм й» стэдет-

• -  ках ±6 мкм иепойьзуют'Отметку. ~4 мкм.и составляют папы мер с

.разностью размеров ц- 2 .мкм (свложение 7). Пр.ч проверке 'кикаторов'с                       йа'отметках ±15 :i ±25 мкм

ИспользуюттГдоп длительно проверепшйе стмет-

³¹ ±20 мкм наоставляют пару ме; с. разностью размеров е 5*мкм

• - Дем. цриложение'-SJ:' Парьгсоставляют так, чтобы вторая мера пре-. Дыдушёи аа’р.й являлась первой мерой .. последующей пары. При

••Проверке иикатбр'^’в'кёртик&льгкм полджеинц,на .ребристый стол, ео сфёрФгескоТ!'Зста^гой' помета ют движок с двумя мерами, образующими пару.

Под измерительный наконечник подводят первую меру и устанавливают стрелку мпкатора на нулевую отметку нлн отметки ±4, ± 10 и ±20 мкм в указанных выше случаях. После трехкратного арретирования среднее значение из трех отсчетов принимают за отсчет при установке первой меры. После этого проводят измерение по нторрн мере и снимают отсчет. Далее повторяют измерения на последующих парах мер, каждый раз настраивая нг нулевую отметку по второй мере предыдущей пары мер и снимая отсчет по второй мере своей пары.

Погрешность мнкаторов на' проверяемой отметке шкалы вычисляют по формуле

п-

где А; - • ■ Погрешность мпкатора на проверяемой отметке шкалы, мкм;

L_n >'       действительные размеры (по свидетельству) край

ни?: образцовых концевых мер длины, мм;

Г/ — разность показаний микатора для каждой пары концевых мер длины, мкм;

п ■■- ‘.дело образцовых концевых мер длины.

Результат измерений заносят в протокол поверки (см. приложения 7 и 8).                         —ад

Так же определяют погрешность микатора в горизонтальном положении, устанавливая те же концевые меры длины между измерительными наконечниками микатора и пиноли установки (см. приложения 2 и 3).

Погрешность микатора не должна превышать значений, указанных в ГОСТ J47I2—79.

• 4.3.7. Размах показаний определяют на нулевой и двух крайних

числовых отметках шкалы в тех же положениях микатора, что и при определении погрешности по я. 4.3.6. На каждой отметке шкалы проводят по десять арретирований по одной н той же точке концевой меры длины, установленной на стол стойки С-1 или С-П, по измерительной поверхности прибора ИДГ-1 или по измерительному наконечнику пиноли установки. Стойку С-1 используют при поверке микаторов с ценами деления 0,2 и 0,5 мкм, стойку С-П — ^с ценами деления 1 и 2 мкм.                               ’         ■

За размах показаний по одной отметке принимают разнося» между наибольшим и наименьшим показаниями при арретирования на данной отметке шкалы, а за размах показаний микатооа — нан-большнй р'эамах из трех отметок шкалы.

Разках показаний не должен превышать значений, указанны* ⁸ ГОСТ ;4712-79.

• 4.3.8. Вариацию показаний микаторов определяют на нулево* «-двух крайиих^исловых отметках шкалы, отстоящих от коек^08-'

шкалы на 10 делений, в тех же положениях микатора, что и при ог редсленин погрешности по п. 4.3.6.

Для определения вариации показаний в вертикальном положе кии микатор закрепляют в интерферометре ИДГ-1 или в установи (см. приложение 5).

Для определения вариации показаний в горизонтальном поло женин микатор закрепляют в интерферометре ИДГ-1 или в уста новке (см. приложения 2 и 3). В кронштейн 7 (см. приложение 2 или в кронштейн 2 (см. приложение 3) установки вставляют опти катор, на гильзу которого закрепляют установочное прнспособле ;• ине 6 (см. приложение 5).

:   Для микаторов с ценой Деления 0,2 мкм применяют оптнкатор

/типа 01П;                -

для микаторов с ценой'дед^ния 0,5 мкм — 02П;

^;г для микаторов с ценами деления i и 2 мкм — 05П.

| Оптнкаторы и интерферометр используют с плоским наконечником.                        >

Стрелку микатора подводят к проверяемой отметке последовательно с двух сторон с соседних числовых отметок (10 делений) н снимают показания .интерферометра ИДГ-1 или оптикатора. Вычисляют разность показаний¹ При подходе к проверяемой отметке с двух сторон. Проверку на каждой отметке повторяют пять раз и среднее арифметическое значение из пяти разностей принимают за вариацию показаний на данной'отметке шкалы.

Вариация показаний на каждой проверенной отметке шкалы не должна превышать, значений, предусмотренных ГОСТ 14712—79.

5. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

' *

5.1. Положительные результаты первичной поверки микаторов предприятие-изготовитель оформляет отметкой в паспорте, заве ренной поверителем.

® 5.2. На микаторц, признДнйЙе годными при государственной пе-фнодическои‘поверке, выдают свидетельство по форме, установленной Госстандартом СССР.

; .5.3 Результаты периодической ведомственной поверки оформляют отметкой‘в документе, составленном ведомственной метрологической службой. .         ,-А-      - “

5.4. Микаторы, не удовлетворяющие требованиям ГОСТ —79, ж применению fee Допускаются, и на них выдают извещение о непригодности с указанием причин.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТМСИ ИНТЕРФЕРОМЕТРА ИДГ-1

Диапазон измерений интерферометра 100 мкм; общий ход измерительной кареткк;50 мм;

предел допускаемой погргешности^?"±0Д)7 мкм вг участке 100 мис дискретность отсчета 0,01 мкм;

диаметр отверстия код поверяемую головку 8Н8 « 28Н8; изменение положения липни измерения до 360°.

. ; .,-лЯА

. -- * >- - ,

■      'г

УСТАНОВКА ДЛЯ ПРОВЕРКИ ПОГРЕШНОСТИ головки В ГОРИЗОНТАЛЬНОМ ПОЛОЖЕНИИ

/—pt.лованне с направляющей; кронштеЯн : посадочным jatt-мстром ЬЬЭ: 3—поверяемая галЪвка;-4—концевые лепы дляаы; 5—стог б--П1Рирль; 7—кропщтеЛу с посадочным деыетэом 28 Н 8 а<ё^-¹

УСТАНОВКА ДЛй ПРОВЕРКИ ПОГРЕШНОСТИ ГОЛОВКИ

В ГОРИЗОНТАЛЬНОМ ПОЛОЖЕНИИ

ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ МИКАТОРА

■ ■

УСТАНОВКА для проверки вариации показания МИКАТОРОВ В ВЕРТИКАЛЬНОМ ПОЛОЖЕНИИ

Черт. 4

Установка -состоит из стойки С-1 иля С-ll по ГОСТ 10197—70. дололнителъ ,_>-иого кронштейна 2 с присоединительным диаметром 8Н8 и установочного способленяя 6, которое закрепляется на гильзе опгикатора 8.

На колонку стоики I следует установить дополнительный кронштейн 2 кронштейн 5 ..диаметром присоединительного отверстия 28 мм повернуть на 180^;

• 4 i: закрепить ьцитом 9. В кронштейне 5 закрепить оптнкатор 8 наконечником

• 5 при чомо>Ц1-:;.<1жимиого винта 7; На гильзе оптнкатора закрепить,-установочное '^приспособление 6. иозьрлщощее перемещать измерительный стержень

'•«и устанавливать, его з требуемые положения.

5'кронштейне 2 закрепить поверяемый микатор 4 наконечником вниз.

/—стейка. г—дополнлтельиый крок-idTrfcir; 3, 7, S— зажииаой винт; 4—популярный ииггтор: 5—кронштейн: 8—ус-та;да»очное приопособлеиче 8—оптнкатор О:п или О2П. «яи О6П по ГОСТ 10593—74

в.;?."

ЗАКЛЮЧЕНИЕ. Мккатор годен.

и на отметках +40 н ^0 делеии^ие ^{0,3 ЯеЛ}л"^{ня шхалы}-

н —чи делений не превмшает 0,3 деления шкалы.

ПРИЛОЖЕНИЕ 8

Справочное

I.

ФОРМА И ПРИМЕР ЗАПИСИ ПРОТрНОЛА ПОЗЕРКИ

430.2!

7-30.174-30,06

+ 10.15

+ 9,90

+ 10,21

Наибольшая погрешность микатора в пределах от 0 до +30 делена! равна ~(+0,05+0,06)=+0,11 мкм, от 0 до -30 делений (-0,05-0,05)= =-0,10 мкл, в пределах +30 делений не превышает +0,12 мюл.

Наибольшая погрешность гжкатора: в пределах от +30 до +50 дел< ний - +0,2$Рмкм, от -30 до -50 делений -0,23 мки, в пределах свыше +30 делений, не превышает +0,25 мкм.

Размах показаний. до нулевой и двух крайних отметках шкалы не

-     -

превышает 0;3 деЛЙшя шкалы.'

Вариация показаний на нулевой и на отметках +40 в -40 делений +>

............