Стандарт «ГСИ. ПЛАСТИНЫ ПЛОСКИЕ СТЕКЛЯННЫЕ ДЛЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ» (ГОСТ 8.215-76)

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

ПЛАСТИНЫ ПЛОСКИЕ СТЕКЛЯННЫЕ ДЛЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ

МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

ГОСТ 8.215-76

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СТАНДАРТОВ СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР

Маски

РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Все со tenным научно-неследодатепьским институтом метрологической службы [ВНКИМС]

Дирен юр В. й, Сыче»

Рук?и □ Дкгяпь и исполнитель темы Т. £. Jt«]'6yiJ*HB

ПОДГОТОВЛЕН К УТВЕРЖДЕНИЮ Управлением приборостроения, средств автоматизации и систем управление Госстандарта СССР

Ндчвл ьхдк I'fipaiJl егий И, А, Аплчнтал

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 27 июли 1974 г. № 18ffr

УДК (31.71S.                                                    Трупы ИВ.4

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

Г«ГА4РСТКНН₽!1 CHClt^li flfitCnBWMMl ЕД-йИСТЕ* H±M.epchrfM

ПЛАСТИНЫ ПЛОСКИЕ СТЕКЛЯННЫЕ ДЛЯ ИЙТЁРФЕ ЛЕКЦИОННЫМ ИЗМЕРЕНИЙ Методы н сргдОм пйзоркн

State system Гог ensuring the uniformity of jntiisujimtnis. GJaw pl^ks foi ii'[rr Induce Wflsurrmtnts Меч ns and nidhods oi verifies lion

ПрСТ&МОВАйННем Гмудлр^таеняйгс камНтвтй с/йкНййрГйг СпигТа МмНнЕТрсм Сеер См IT Mrtna 1SJJ Г. N9 1й]Ь сроч ДРИСТОНЛ yCTJWClftPH

t O1.DJ.t?7& Tl дс           т.

Настоящий стандарт распространяется па Ял м к не стекля геи ыс пластины дли цнтер^н-р^пцюинык измерений По ГОСТ 292:1-75 и ГОСТ 5.(784—7.\ а Такж? на плоение стекли иные пластины, выпущенные до ь&едений ГОСТ 2923--г 5. к я годящиеся а эксплуатации, и устанавливает методы н средства их лорвичной и периодической поверок.

1. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

• 1.3. При проведении поверки .'ю.чjkjji.i быть выполнены опора-11Е!И и применены средства, указанные п табл. 1.

т Й г? ,1 Н U II ]

Издчние ефнцнагиной                             Пер*а#чатн* ч^спре^м*

■^Иад^тель^тао стандартов, 1976

■Должен быть аттеетотчп органами Госудэрегити^ метро.™ гкческой л:.^жСм

ПрпдОАЖ&Ше та£л. /

].2. ДоЕзускается применять другие, вилкь разработанные ндн и а ходя щи е>сн в примсЕгенни средства поверки, прошедшие метрологическую аттестацию ь оргяйзк Государствен ной метрологической службы и удовлетворяющие по точности трсбоивиннм, vпаза иным BUJJ1C.                                                       '

3- условна пойени и подготовка к Ней

• 2.1. Температура помещения, н котором проводят поверку, должна быть 20t3 С. Скорость изменения температуры не додики а превышать 0.5'С в чае.

• 3.2. Рабочие поверхности плоской стеклянной пластины промывают спирт ом по ГОС! J8JOC —72 и протирают чистой ллоттча-тобумажиой салфеткой по ГОСТ JE68O—76 или 6aiнсгочий но ГОСТ 12530—67.

Перед наложением пластин друг па друга их рабочие поперх-пости еше раз протирают батистовой салфеткой для ул ал синя пылинок и ворсинок.

• 2.3. Плоские стекли иные пластины должны быть выдержаны не менее 10 ч в помещении, в котором проводят поверку.

• 2.4. Время выдержки перг-д поверкой на рабочем месте для пластин диачетро.ч ди 80 мм ею менее 30 инн, диаметром 100 ми — ис иенее -10 мин, а длачетром 120 нм — не менее 60 МИН.

• 2.5. При поверке пластины следует брать руками и хлопчато-бумяжных или капроновых перчатках или салфеткой. Изменение на пр а влей Fra интерференционных полос производить нажимом из соответствующую пластину рукой в перчатке.

Стр. 4 ГОСТ ядн—н

к ПОДВЕДЕНИЕ ПОВЕДИ

• 3.1. Вне ш н н й ОС М (I гр

3.1 I. Пр], нн^игкгм осмотре должно быть ycTaHPaJctLio смтсет’ стане пластин требованиям ГОСТ Й923—75 в части комплектности и маркировки.

• 3.2. Определение размеров пластин

• 3.2. J. Диаметр и толщину пластин проверяют штангенциркулем. Ширину фаскЕ1 пласт и й проверяют с помощью измеритель’ ной лупы.

Размеры пластин должны соответствовать ГОСТ 2923—"5.

• 3.3. Qn pent лени с угла скоса верхних л ласти и

• 3.3.1. У юл скоса верхних Пластин определяют угломером. У юл скоса должен соответствовать требованиям ГОСТ 2923- -75.

• 3.4. Определение качества плоских поверхностей и ласт и н.

• 3.4.1, Качество плоских поверхностей пластин: наличие выкидок, матовых точек, вскрытых Есуаырей н царапни определяют про-■см а тр Иван нем плоских поверхностей пластин невооружпннум глазом па фоке черного экрана при боковом освещен ни.

Размеры дефектов уцени на ют виэуальЕЕо или сравниванием с набора леи измеренных образцов царапин, точек и выколок. Когда размеры их близки к пределу допустимою значения, проверку ■проводят на инструментальном микроскопе.

Качество плоских рабочих поверхностей пластин, напускаемых из производства должно соответствовать требованиям ГОСТ 2923- -75 и ГОСТ 5.17Я4-73.

Качество рабочих н нерабочих новпрхЕгостей пластин после ремонта и находящихся в эксплуатации должно соответствовать требованиям, указанным н табл. 2.

Таблица 2

ГОСТ B.I1J—Г4 Стр. 5

Пр£>долж^ни( табл. 2

СО 5 Т

ШШ

Стр. 6 ГОСТ 1.111—Tt

^Определение и е п а р 8 л л ел ьиости плоских поверхностей

3.7J. Непардллсльностъ плоскид поверхностей пластин опреде-лнют индикатором часового типа, укрепленным □ стойке.

Пластину устанавливают на столике так, чтобы наконечник индикатора касался рабочей поверхности пластины на расстоянии 0,5—1 мм от фаски, и, перемещал си в трек диаметральных ка-пранлениях, отсчитывают показания по нндикагиру-

Непараллельность плоских пан^рхчастей пластин определяют как максимальную разность показаний индикатора в двух диаметрально расположенных точках.

Псплраллельность плоских поверхностей пластин должна соот-APTi ’HDBAih требованиям ГОСТ 2^3—75.

3.8. О л р е д е л е н fe е и е га л о с к о с т и о с г и нерабочих п Л о с н и х пеззерхиосте П

3.8 1. Нсилоскостность нерабочих плоских поверхностен определяют лекальной лииейкдй, острое ребро которой Накладывают на нерабоч^ ю плоскую пгзнерхность пл истины в трет ди а мет рал ь-геых направлениях, раниомерЕно растияожпнимх ли ниверхности пластины.

Отклонение пт плоскостности определяют визуально по ширине просвета между ребром лекальной линейки и нерабочей нонррх-i[ocii.Kj нлдст и few, сравнивав его с wop Я НН. ом нро<акгл».

Юбр.игц c:pi>CRC!TJi * IIQ.JVI.IKJT притирая К рабочий rrjнер.чнО-стп плоской стекляjEiinii нлзстнееы длинным ребрам параллельно друг к другу три концевые меры длины: две одинаковой номинальной длиной по краям, а третыи между ними поиинзльееой длиной на 0,003 мн меньше крайних

При наложении ребра лекальной линейки параллельно коротко игу ребру коеенснык мер ллепнч образуется «образен просвета», нетстпу ю I ш | й Ц]1 гд<\| у до п ус к с е м о й н е11 л ос к оспiости,

111¹ ПЛОСКОСТНОСТЬ Нерябочих ПЛОСКИХ Поверхностей НЛЯСТНН НС должна превышать 2.7 мкм {|0 интерференционных полос).

3.0. Определение и в п л о с к о с т н о с т и р а б о ч п х. Л Л а СТ И н Jl л а с с а I

• 3.9.1. Н?плос каст ноет ь рабочих понерх₽гостей нлястш! класса L определяют ннгерфергнцяуниым метода^ на интерферометре с отсчетным устройством [[ли м стадом. <трех плоскостей» на нЕЕтер-ферелцжлпгеш устаЕЕОдке с линейным нолем зрения на 5—10 мм более диаметра поверяемой пластины и с отсчетным устройством (см. справочное npii.TOjJtcjjire 1)

Ноплоскостпость рабочих поверхносгей пластин определяют пока гибу интерференционной полосы н долях полосы, □ двух дшмет-рялыЕых направлениях пластин, расположенных под углом 90*

Стр. В ГОСТ SJll—76

Друг к другу с примененной сисктрздъной рту-ГНУll ЛЭМПЫ n CBk-тофнлътра, выделяющего зеленую л пикет ртути (X * U_?5l6l чкч).

Примечание, Допуск яегел прячмиии щгиЧ|ц|.и и л .■i>i;i с л-т:ш<1^ч iiC-ih (J,jJ -0.53 мкя.

Изгиб ннтЕрфереКщгоилой полосы в кольцсеюй зоне шириной 2 мм or края рабочей поверхности не учитывают.

• 3.9.2. При поверие пластик на кптерфсри метре поверяемую пластину устанавливают пл егояни рабочей ПФЩ'рЛ'ностью к пластине ИЕГтсрферометрз. Регул ее ров кой винтов столика добиваются четного изображения 4  5 интерференционных полос так, чтобы

одна из (сна проводила через центр [[ластЕшьи

Направление интерференционных полос устанавливают перпендикулярно вубрянЕЕому днаме триллиону направлению /—/ (черт. 1).

/

Черт. Е

Одну из нитей Л Л перекрестия отсчетного >с1райслш рясис-л ага ют тэк, чтобы он я проводила через середину концов центральной интерференционной (темной) полосы.

Проводят десять еегчмереннй ннгибч п иитрр<|ьерслц1]онкой полосы и расстояния 2j между серединами трех смежных темных НО’ дос и определяют средние значения й_?р и &_ср десяти измерений.

Неплоскостность А- определяют по формуле

■

гост          Стр> 9

Подобным же образом определяют пеилзскостность но птзром лне1 мс:г]'?|лEiii-:jn? нйПранльчп'т: //—II (см черт. I), установив ннтер-ф?|!?.и:з ночные полосы пери*- иди к ул я риг. этому направлению

Выпуклой ii:jhv?^h:h:th приписывают знак плюс, л ВОГНУТОЙ — ЗНАК MllJIVC.

Знак неплпскостиости определяют по расположению интсрфе-резшпониых полос относительно ребра воздушного клина: если выпуклость нлтерферечпкошгык полое еей правде ня в сторону ребра воздушного K.Hiiifk то поверхность пластины вогнута, если в llp0TI!niHK]J!O?kHyi:i сторожу, ТО llKJHf ОЯНОСТЬ ЪЫНУЙЛЯЯ.

Положение ребра воздушного к л ина _г образованного рабочими поверхностями пласгич (верхней) интерферометра и поверяемой лласгиЕгы (пи rKMC-fi |. определяют тю расширению или сужению интерфер ей пышных полос при легком нажатии на край С или О пластины.

Ддя горизонтального положения гюлпс (см. черт, I) при прямом и обратном (слева пап рано) изображении объекта ребро воздушного клика располагается ft месте нажатия, если при нажатпн на край верхней пластины снизу ккерх иля на край нижней ji.ii-стиееы сверху вниз полосы расширяются^ ребро клипа располагается в г; рот и поп сложной от мести нажатия стороне, когда полосы Суживдтся.

Если при иажатни На k|i.h'i в-нрхной. пластины сысрху ин из цлн на край нижней пластины снизу виерк полосы расширяются, то ребро воздушного клина располагается в противоположной от места нажатия стороне, когда полосы сужаются — в месте нижзтмн.

Для вертикального положения полос при обратном (слана яа-правхН изобрамсенин объекта знак кеплоскосгностм изменяют на противоположный.

I

П

В

Z

Чсрг. Э

Стр, ю tact 4,311-76

Henлосместность определяют по егзн больше му отклонению для^: одного пз дну л диаметральных направлений.

Одновременно в каждом ни :г im митральных направлений определяют местную не плоскостность по изгиба интерференционной полосы Да (черт. 2.1 .

Олпу из ИЕСтей АВ перекрестия отсчетного устройства располагают так, чтобы 01 га про^рдггла через серили ну концов центральной ин те рферен q hoi i по i'i i тем 111 л 4 i io. juc ы.

Проводят десять [имергикп изгиба Ад интерференционной поло си

Местную и с пл изноет плеть определяют по формуле

3.V.J. Поверку пластин ня интерференционной установке (си. Приложение 1} проводят Методик «трек плоскостей», при котором поверяемые гтластнны I, 11, 11! пипарно накладывают друг на друга в следующих комбинациях:

1-U. 3 —111 и Н-—НЕ,

Одну из поверяемых пластин илгньанлпнрюг на столик и и тер-фсренЕ[нонной устаынькц, нтор>к> — ц ььрхнюю обоймх¹.

Усгаконку интерференционных полос II определение с у кг мар* ногу С-ГКАОЛЮЧГЯ 07 ПЛОСКиСГНЦСТЦ ДНЧД НОВеряемЫХ СЕЛ Я СТИН проводят как указано в л. 3.9.2.

Для каждой на комбинаций поверяемых гтласгнн on pt дем я ют суммарную неплоскоеггюсгь (соответственно Л|₊ Л_и и jV₃'i пи и** гибу централкой )п 1терф ирей цноп его й полосы и долях полосы с Г1; ответСТНу ЮЩИм 311 а ком.

Н^ллоскостиость А\, .V_b н V., соответственно пластин /, // ][ Ш. вычисляют для каждого из выбраны их диаметральных направлений по результата _ч измерения суммарной неплоекостности тред комбинаций пластин ни формилом:

(■')

НеплоСКОСТЛОСТЦ каждой 11 j 1КМ!1:р1ПГ.1ЫХ- пластин ОПрСДСЛЯЮТ гю наибольшему отклонению для одного tri да ух диаметральных направлений

OjiEOUpCML'IIKJ Е каждом НН ДНД НСТ |1ZI JI Ы I! J > !IJ>. 11 ]) 3 АЛСИ И И tlllpH-деляют суммарную местную ниллоскогтиость для каждой из комбинаций поверяемых ллаегин по н. 3 9.2 <гм. черт. 2) с соответствующим злаком.

Местную пелласкостпость iiV_x? J.V^ A.V_T соответственно пла-■стнн /, ff, HI вычисляют по вышеприведенным формулам |'.< 4, 5).

Пендос косепость в микрометрам равна

(fil

ГДЫ -V— НСПДОСКС-ПГНОСТИ В ДОЛЯХ ПОЛОСЕ^!

?.— длина HiJ.IJlhl, !кКМ .

Л сП ь'ЮС KQCT ЯфсTh |: а.б<:¹111.4 1 KJ F! Г р XI! ОСТ С И i I JI iiC - ИII Кл ACCfl I ДО.1 -жна слотногстьонати требапаиннм ГОСТ 2923—75.

3.L 0. Определение ее е плоскост те ост в рабочих поверхностей пластин класса 2 л верхних гг л а с тм н

3.10.1, Нс плоскостность рабочих поисрхносгей пластин кл.те-еа 2 й верхних пластин определяют плоской стеклянной пластиной класса I ИЕ1тсрфсреии|ц?ийым методом на пптеофере^ц^иниой установке {см. приложение LI ii.jh бея псе с .монохроматическим или белым источником света.

Диаметр пластины класса I должен быть ис менее диамстрз иовЕ’ряемой пластины.

3.10.3. Плэстину класса I уставав линяют ца столик установки {см. приложение J)_h а поверяемую—п верхнюю обойму л л л не-посредствеЕщо на рабочую поверхность пластины кд асе а I.

Установку шгтерференцнонЕЕЫх полос производят как сказано в п 3.9.2.

Нить /1/3 ПСрЕКреСГИЯ отсчетного устройства VCTillrJ ЛЛ ива ют так, чтобы она lljjciходили ипре.ч середин^ концов центральной ин-терфереиционмой полосы {см. черт. lj.

Определяют изгиб интерфереЕ^гвиовной полосы .а визуально а ДОЛАХ ТЮЛОСЬТ С ссюгветствую111[[м ЗЕЕ ВЕСОМ.

.Дей^огег’греп определяют изгиб Е:алгх'Ы во втором диаметральном няправленни ti — fl.

Если изгиб полое: нс превышает 0_н2 полосы, поверяемую пластину отчосйт к классу 2. При изгибе полос более 0,2 полосы ке-плосностпость iV поверяемой пластины определяют по формуле

где О — ИДТИ б интерференционной ПОЛОСЫ в долях полосы; Л¹₃— mjnj; ос кисти ость пластины класса 1 в долях полосы.

П |1 II к 7 Ч И |Ч Я Г Допуск Н^Т-СЙ Нк H!l Ju КАТЬ КЕПЛССКМТНМТЬ ПЛЗЕТНИИ ИЛЭО сэ h «?игк она н« щнвышяет ■/& доцусквчмаго знчпченчч: пС ГОСТ       75.

Стр. L3 ГОС! &.11S—74

При нсггддьзиванин ггластЕ1.чы класса ] диамигрои Больше дна-метра [Еонерясмой пласгоны учитывают нсплоскостпость iV_PJ пла-CTFfUjj класса 1 на участке ггоасрхнйстн равном диаметру поверяемой nniacTHFtu 1). которую вычисляют по формуле где .V| — неплоскостность пластины класса J ь долях полосы;

— диаметр пластины класса ]. мм;

D— диаметр поверяемой пластины, ми.

Определяют местную неплоскостность Лл (см. черт. 21 ичзуаль-но а Долях полосы.

• 110.3. При поярке Пластин без установки па рабочую поверхность пластиды класса I накладывают поверяемую пластику и легким нажимом на поиерясмую пластину до Г: имеются появления 4—5 11нтерферешЕгюиных полос.

Определяют изгиб и еетер ференп ноееи&й полосы а (см. черт. 1} И Дд (СИ- черт. 2) вязуальЕЕО в двух диаметральных направлениях I—S к H—/I в долях полосы с еоответствующЕЕМ знаком.

Неллоекостноеть пластины класса 1 учитывают как указано в п. 3,10.2.

Класс ЕЕластнны уста Eia ели воют по наибольшему отклонению для одного пэ двух диамстральЕЕЫ! направлений.

Неллоскостчость должна соответствовать требованиям ГОСТ 2923—75.

t. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ГЮВЕМШ

■1.]. На плоские-стеклянные пластины класса 1, признанные годными при поверке органами Госстандарта СССР, выдают евн-Летелрч:тво о Государственной поверке по форме, уста но н.п е пион Госстандарты СССР.

На оборотной стороне свидетельства о государственной поверке пластин класса L указывают действительное ЗЕсаченне незлое-частности в обоих диаметральных направлениях с соответствующим знаком (обязательное приложение 2),

4-2- На плоские Стеклянные пластины класса 2. признанные годными при поверке органа мм Госстандарта СССР, выдают свидетельство о государственной поверке по форме, усга нов ленной Госстандартом СССР, плее результат поверки оформляют записью класса власти ее а паспорте, заверенной поверителем с нанесением оттиска повер«тельного клейма.

• 1.3. Результаты первичной поверки предприятием-изготовителем заносят в паспорт,

<4. Результаты ведомственной поверки пластик заносят и зкс-плуатагптанный Гаспорт (илк документ его заменяющий) и намеряют в порядке, установлен ею м ведомственной метрологической службой и согласила и Егоы с органами Госстандарта СССР.

4.5. Плоские стеклякЕЕые пластины, не уддвлетворяюише требованиям настоящего стандарта, к выпуску и применению не до-[[ускаются.

Оттиск поощрительного клейма и другие отметки, удостоверяющие положительный результат предыдущей поверки, гаСят и ни-двют извещение о няпрпЕОДПости с указанием причины непригож мости.

ПРИЛОЖЕНИЕ I

Справочная

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ УСТАНОВКА

Назначение к mhobiiиг тонические карактеракхндо

Установил шнЛпОзпи'Ейи^ для наблюдении а наши рематическом cncts ни-гер4»РС1111ипн!1ыт лаягс равной толщины и 1гэисвенйЧ Пэпгб* ннтарфервнцновяш ПОлОс и нм. ширины.

Установка аилжла иметь:

йтсчетнм устройство С ЯА'НЛЙ ДН.ЬннНА ИЙ tftMM 0Л1 мм "I f□ ]JL":..lL!. 1 зМИ НаИЕ-рення нс менее в мм;

лняейное поли зрения не менее 12Е- мм;

столик г рнятзия для pervanровни 1г;ы^лйиа одной на пластин;

р (чапЕстве источника «вег* — епЕкгральиуш ртутную лампу;

СЛГТП||:|Г-ЬГЧ ЙЫДе.ЧЯЮШИЙ ЭСЛеИТ1й .■I'llJIHIO ртути !'■■ = 0,5461 mkmJ

CD 5 Т

ШШ

Q Q 5 T ГОСТ 8.215-76, Государственная система обеспечения единства измерений. Пластины плоские стеклянные для интерфереционных измерений. 1ЧЛ«1 State system for ensuring the uniformity of measurements. Glass plates for interference measurements. Means and methods of verification

¹

A'l.iTnavc тпэкин всяиыгые п^аырн и u-прпттииы не должны выгь соспело-тччсны и идний ч^тв^рти UCiLT: к II DC III: ПЛЗСТНЦЫ. Спор СДСТО«НЛ^ ^ефйНТПЙ В СД-lEOli. 4CIdt®Tjl ПйВирХ1КгТи jIC ДОЛЖНО Tl PCBLiUI illb 0.3 JOUVCKHCHUTO КОЛИЧССТЬП ДОЛСК-ТЛВ.

²

• 2. Вскрытые Пузыри □ ГП-ЧЧН 1ГСПР<1Л]1.1ЪЕЮЙ фпдМЫ Y’j:iftJiiJi4rtCll но Ыкибнль-iiiesiy Du^irepy

• 3.5. О н р е де .1 е н л е качества р е: б р з скоса нерх-13 ИХ ПЛЗ С ТИЛ

• 3.5.1, Качестью psjtpa скоса верхних пластин определяют пл ] 111 игру м c-fi ta д h 11 i>n: м и КрОСКО ПС.

Качество ребра скоса верхних пластгги, нипчскагмых из про-илюдства и после ремонта, должно cci-j-rneictfniuоtl требованиям ГОСТ 2923-75.

Для верхних плистин, к и холящихся и эксплуатации, на ребр« счпса допускаются выколки ......ле точек диаметром до 0,1 мм в

количестве не болге пяти с каждого края ребра скоса.

• 3.6. О II р L Д С .1 L' Н И Е UI И р ИНЫ [U Т р И X О В И КА Ч С С Тв а и х н а и е с с и и я

• 3.6.1. Качество папесс л ин штрихов и их ширину определяют на инструментальном микроскопе,

Качество нанесения штрихов и их ширЕма должны соответствовать требованиям ГОС1 2924-75,