Методика поверки «ГСИ. Установки для измерения импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT» (МИ AmCAD-2016)

Методика поверки

Тип документа

ГСИ. Установки для измерения импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT

Наименование

МИ AmCAD-2016

Обозначение документа

ВНИИМС

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

внии^с

119361 Москва, ул. Озерная. 46

Федеральное государственное унитарное предприятие

”Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы”

Тел : (095)437 5577                  Факс:(095)437 5666

E-mail: Office@ vnnms.rij        Office.vniims@g23.relcom.ru

http: \ www vniims.ru

УТВЕРЖДАЮ

Заместитель директора ФГУП «ВНИИМС»

метрологии

Н.В. Иванникова

2016 г.

Государственная система обеспечения единства измерений

Установки для измерения импульсных вольг-ампсрных характеристик

AmCAD BILT

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

МП AmCAD-2016 x/.b.GMWA'lfe

г. Москва

2016

Настоящая методика поверки распространяется на установки для измерения импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT (далее - установки) компании “Amcad Engineering”, Франция, и устанавливает методы и средства их поверки.

Интервал между поверками - 1 год.

1 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции поверки

Наименование операции

Номер пункта методики

Проведение операции при поверке

первичной

периодической

1

Внешний осмотр

6.1

Да

да

2

Подготовка к поверке

62

да

да

Опробование, идентификация и

' конфигурация

4

! Определение погрешности измерения напряжения зондами затвора

7.3

да

да

5

Определение погрешности измерения ; силы тока зондами затвора

7.4

да

да

6

Определение погрешности измерения i напряжения зондами стока

7.5

да

да

7

; Определение погрешности измерения i силы тока зондами стока

7.6

да

_

да

ПРИМЕЧАНИЕ: указанные в таблице 1 операции выполняются для зондов, входящих по заказу в комплект поставки установки, по заявке пользователя установки.

2 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
  • 2.1 Для поверки следует применять средства поверки, указанные в таблице 2.

Таблица 2 - Средства поверки

Наименование №     средства

поверки

Номер пункта

Требуемые технические характеристики

Рекомендуемый тип средства поверки, примечания

1 2

3

4

5

Эталонные средства измерений

1  \ Измеритель

■    7.3

Относительная погрешность

Мультиметр цифровой

постоянного

7.4

измерения напряжения в

Keysight 34410А;

I напряжения и

7.5

диапазоне от 0.1 до 1000 V

Госреестр № 33921-07

'      силы

7.6

не более 1 • 10'4,

' постоянного

относительная погрешность

; тока

измерения силы тока в диапазонах от 1 до 100 mA не более 6-10’4,

в диапазоне 1 А не более 1.2-10’3,

в диапазоне 3 А не более 1.7-10'3

Продолжение таблицы 2

1

2

3

4

5

Вспомогательные средства поверки и аксессуары

1

Набор резисторов нагрузки

7 А, 7.6

0.3O/4W 6Q/4W 24 Q /1 W 100Q/1 W

1 kQ / 0.25 W

В зависимости от комплектации измерительными зондами по операциям 7.4, 7.6. Указания по выводным клеммам даны в пункте 2.4

2

Компьютер с клавиатурой и мышью

все

Интерфейс USB, операционная система не ниже Windows ХР

3

Конвертер интерфейсный

все

USB-GPIB с кабелем USB длиной 1 - 2.5 m

National Instruments

GPIB-USB-HS p/n 778927-01

5

Кабель ВЧ

7.3,7.5

BNC(m)-BNC(m)

-

6

Адаптер

7.3-7.6

BNC(f)-banana(m-m)

7

Адаптер

7.4-7.6

BNC(m)-banana(m-m)

-

8

Кабель соединительный

7.4-7.6

banana(m-m), 3 шт.

-

9

Блок коммутации

7.5, 7-6

для зонда АМ241

AM249-1 либо AM249-2 с кабелем SHV- banana(m,m)

Программное обеспечение

1

Программа управления

6.2

7.2-7.6

Передача команд по интерфейсу GPIB

National Instruments NI-MAX

N1-488.2, версия 14.0 и выше

  • 2.2 Вместо указанных в таблице 2 средств поверки разрешается применять другие аналогичные средства поверки, обеспечивающие требуемые технические характеристики.

ПРИМЕЧАНИЕ: Для выполнения операций 7.3 - 7.6 могут быть использованы также другие приборы, поддерживаемые программным обеспечением установки AmCAD BILT:

  • - Agilent/Keysight 34401 А, 34411А, L4411А;

  • - Tektronix DMM4040, DMM4050.

  • 2.3 Применяемые средства поверки должны быть исправны, поверены и иметь документы о поверке.

  • 2.4 Резисторы нагрузки 24 Q, 100 Q и 1 kQ должны с обеих сторон иметь соединители banana(m).

Резисторы нагрузки 6 Q и 0.3 Q должны иметь с одной стороны соединитель типа banana(m), а с другой стороны клеммный соединитель тип “U” 6,4 мм.

3 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ

К проведению поверки допускаются лица с высшим или среднетехническим образованием, и имеющие практический опыт в области электрических измерений.

4 УСЛОВИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ ПРИ ПОВЕРКЕ

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия окружающей среды:

  • - температура воздуха (23 ~ 5) °C;

  • - относительная влажность воздуха от 30 до 70 %;

  • - атмосферное давление от 84 до 106.7 kPa.

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 5.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности в соответствии с ГОСТ 12.3.019-80.

  • 5.2 Во избежание несчастного случая и для предупреждения повреждения установки и поверочного оборудования необходимо обеспечить выполнение следующих требований:

  • - подсоединение оборудования к сети должно производиться с помощью сетевых кабелей, предназначенных для данного оборудования;

  • - заземление оборудования должно производиться посредством заземляющего контакта сетевого кабеля;

  • - запрещается производить подсоединение кабелей к контактам оборудования или отсоединение от них, когда на входах и выходах оборудования имеется напряжение;

  • - запрещается работать с установкой при обнаружении ее повреждения.

  • 6 ВНЕШНИЙ ОСМОТР И ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

6.1 Внешний осмотр
  • 6.1.1 При проведении внешнего осмотра проверяются:

  • - чистота и исправность разъемов блока управления и измерительных зондов;

  • - отсутствие механических повреждений корпуса установки;

  • - комплектность установки согласно эксплуатационной документации.

  • 6.1.2 При наличии дефектов или повреждений, препятствующих нормальной эксплуатации установки, ее следует направить в сервисный центр или к официальному поставщику для выполнения ремонта.

6.2 Подготовка к поверке
  • 6.2.1 Перед началом выполнения операций необходимо изучить руководство по эксплуатации установки, а также руководства по эксплуатации применяемых средств поверки.

  • 6.2.2 До начала операций поверки выдержать установку и эталонный мультиметр во включенном состоянии в соответствии с указаниями руководств по эксплуатации.

Минимальное время прогрева установки 30 min.

  • 6.2.3 Если на компьютер не были установлены программы МТ930 IVCAD (входит в комплект поставки установки) и XI-MAX ХТ-488.2 (доступна на сайте http://www.ni.com), выполнить их установку, следуя указаниям установщика программ.

  • 6.2.4 Выполнить соединение интерфейсных разъемов GPIB установки и мультиметра с интерфейсным разъемом USB компьютера, используя кабель GPIB и конвертер USB-GPIB с кабелем USB.

  • 6.2.5 Используя адаптер SMB-BXC из комплекта установки, соединить кабелем ВХС(ш)-ВХС(т) разъем “Pulse Trig Out” (“Trig 1 Out”) на передней панели установки с разъемом “Ext Trig” на задней панели мультиметра.

  • 7 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

7.1 Общие указания по проведению поверки
  • 7.1.1 Операции поверки выполняются в импульсном режиме, при этом мультиметр запускается передним положительным фронтом импульсов от внутреннего триггера установки.

Для того, чтобы обеспечить измерение нормированных метрологических характеристик измерительных зондов установки, ширина импульса выбирается равной 600 pis, а скорость отсчетов мультиметра - 10000/s. Отсчеты мультиметра и установки производятся внутри импульса выходного напряжения, формируемого измерительным зондом.

Временная диаграмма измерений представлена на рисунке 7.1.

На рисунке показано, что задержка импульса выходного напряжения относительно переднего фронта внутреннего триггера установки равна 300 ps, а длительность импульса составляет 600 ps. При этом значения задержки триггера и продолжительности временного строба для измерений выбраны равными 400 ps для того, чтобы измерительные отсчеты мультиметра и установки находились внутри импульса с запасом 100 ps относительно переднего и заднего фронтов импульса (во избежание влияния выбросов на начале вершины).

  • 7.1.2 Для проведения поверки необходимо иметь как минимум один зонд затвора и один зонд стока, которые должны быть подключены к блоку управления.

Программа сделана таким образом, что необходимо производить конфигурацию параметров на обоих зондах, несмотря на то, что измерения по настоящей методике проводятся только на одном из них. Например, в операции 7.4 сила тока на выходе зонда затвора задается путем подачи сформированного на зонде затвора напряжения на резистор нагрузки, измеряется внутренним измерителем силы тока установки, и сравнивается со значением силы тока, измеренным мультиметром. При этом для правильной работы программы необходимо произвести также конфигурацию на зонде стока (формирователя напряжения и виртуального измерителя напряжения).

  • 7.1.3 В процессе выполнения операций результаты измерений заносятся в протокол поверки. Полученные результаты должны укладываться в пределы допускаемых значений, которые указаны в таблицах настоящего раздела документа. При получении отрицательных результатов по какой-либо операции необходимо повторить операцию. При повторном отрицательном результате установку следует направить в сервисный центр или поставщику для проведения регулировки и/или ремонта.

7.2 Опробование, идентификация и конфигурация
  • 7.2.1 Запустить программу IVCAD на компьютере.

В процессе загрузки будет индицироваться ярлык программы, и после загрузки появится главное окно программы IVCAD.

Открыть окно Help, About.

Записать индицируемые идентификационное наименование и номер версии в таблицу 7.2. Вернуться главное окно программы IVCAD.

  • 7.2.2 Выполнить определение подключенного оборудования, для чего:

  • - открыть вкладку Measurement system-Tools, выбрать Instrument Scanner (рисунок 7.2.1);

  • - кликнуть на Instrument Scanner.

    ед* IVCAD

    ..... .     . 7, ^.7^          j r-i

    1 Fite Took Views Help

    ...............................................................................................i  i

    Pfag -ms

    .-.■J      Plug-ins

    ■■ ■■ Measurement system t Measurement

    ♦ Hardware control

    * ».a X i | Imti'WWfcHt jtannti           :     7 : д         ........ ......■; . ■.   77/......j: i?.:, 7 ш

    'ij ;    Grckon "Scan1 to check at connected instruments...

    7-7 :;..:.:<Г7:-77<-7:Й77777:77^77'7Й%^                 7 . 7              > .7 1       1 j j::' J: ’           1 j |

    • Tools

    ч Driver Wizard

    Ji.

    JI

    Hi !

    8iBSS3

    Tuner characterization

    Visualization

    toolbox

    ■+; Modeling

    :-i? Scripting

    if Other

    1 ■

    Illi

    111

    1 I"!

Рисунок 7.2.1 - Окно Instrument Scanner

В результате поиска должен отобразиться список в правом окне:

  • - мультиметр с указанием типа и адреса GPIB

  • - установка AmCAD BILT с указанием типа и адреса GPIB.

Записать результат определения подключенного оборудования в таблицу 7.2.

  • 7.2.3 Открыть в главном окне программы IVCAD вкладку Measurement system -Measurement - Setup & measurement, в появившемся окне Setup & measurement нажать клавишу New (рисунок 7.2.2), появится окно New setup (рисунок 7.2.3), в котором нужно выбрать I-V Measurement, в результате чего окно конфигурации примет вид блок-схемы измерений, показанный на рисунке 7.2.4.

Параметры конфигурации, используемые при выполнении операций поверки, задаются в окне блок-схемы I-V Power supplies.

  • 7.2.4 В окне блок-схемы измерений (рисунок 7.2.4) выбрать IV Power Supplies.

Далее в окне Setup> IV power supplies (рис. 7.2.5) будет производиться конфигурация приборов, участвующих в измерениях.

В окне конфигурации измерений Setup > IV power supplies (рисунок 7.2.5) снять метку Same input and output measurement instrument для того, чтобы было возможно использовать разные приборы для измерения напряжения и силы тока на входе и выходе.

При этом окно Setup & measurement, Setup > IV power supplies примет вид, показанный на рисунке 7.2.6.

< it

File Tools Views Help

Hug-ins

- к* Pbg-tns

:    •-• Measurement system

-j Measurement

; у-ЖМЯНВМ

\         Sweep plan (multi-setup)

:+; Hardware control

i          +} Tools

;          Visualization

!+• Toolbox

:    •+; Modeling

■.          Scripting

=         Other

* — О х У' Setup & measurement

'“I

•SH2?

Shutdown her

Рисунок 7.2.2 - Главное окно IVCAD, вкладка Setup & measurement

IVCAD

hie Tools -.’iews Help

Pbg-ms

* - OX

Plug-ins

-> Measurement system

•- Measurement

* SSSSE^SI

: ;         Sweep plan (multi-setup)

:♦ Hardware control

У Setup & measurement j_; New Open X

Li.......J.........1..1............1.......:...........I.....L:.......

=+ Toote

♦> visualization

+; Toolbox '+■ Modeing

Г Scnptng

+.- Other

New setup

\ Select measurement type:

gSS Data sources

*-DX

эисунок 7.2.3 - Главное окно IVCAD, вкладка Setup & measurement, New setup

Рисунок 7.2.4 - Окно блок-схемы измерений (IVCAD, Setup & Measurement)

*.        4.0WC

&

M*» AV Jjj Cisse '-e          (И WW.t Jen’X*             ■-

>₽«> Имикч» • £<ri»«q-?W-'

■'’•'>■’ ^^enj^ir4» SW»w»S«r *>e*e^e* Ы&иЬа*

ф • ««- /ЧТ- » 4r««~

- ‘■Лякя'уя

5

W>/< *<■ Z* W           »

KSjin'»"-’ ->'««/ r- ‘ wr ’4-i f.r. i

■Wm> ' - £*>•*<' t*^4**s

ШЙ*

MW*>

3*&sp&,e

W*ki***Tt

Z 4*0*’'        ЪГ<&*ГЯЛ>

• : • Zii v'         <«»«>s8fmS-z

к. :

Aw* -i

Aw* *

«4Н

H*-.*                                                         :     ;

/ ?-•’ ’*o**'’ >■-      u^tses»

** .A^wto-s £

А ■*!.*-. ■

A^»fes>0 ,t

*

? 1

^as#    *

ч MFuA * waww*

Рисунок 7.2.5 - Окно Setup & measurement, Setup > IV power supplies

Рисунок 7.2.6 - Окно Setup & measurement, Setup > IV power supplies, метка Same input and output instruments снята

В процессе конфигурации не должно появиться сообщений об ошибках. Записать результат конфигурации измерительной схемы в таблицу 7.2.

Таблица 7.2 Опробование и идентификация

Операция          '

Результат проверки

Критерий проверки

Идентификация ПО

МТ930 IVCAD

Проверка номера версии ПО

Номер версии 3.5 и выше

Определение оборудования

Мультиметр с адресом GPIB AmCAD BILT с адресом GPIB

Конфигурация

Нет сообщений об ошибках

7.3 Определение погрешности измерения напряжения зондами затвора

Общие указания по выполнению операции:

Сформированное на выходе зонда затвора напряжение измеряется внутренним измерителем напряжения затвора установки и сравнивается со значением напряжения, измеренным мультиметром.

  • 7.3.1 Выполнить соединения для измерения напряжения зондом затвора по схеме, показанной на рисунке 7.3.1:

  • - присоединить зонды затвора (Gate Probe) и стока (Drain Probe) к соответствующим разъемам установки;

  • - используя кабели и адаптеры (таблица 2), соединить выходной разъем BNC зонда затвора с гнездами “Input HI”, “Input LO” на передней панели мультиметра, соблюдая полярность (центральный провод BNC нужно соединить с гнездом “Input HI” мультиметра).

Generic multimeter

Рисунок 7.3.1 - Схема соединений для измерения напряжения зондом затвора

  • 7.3.2 В окне Setup, Power supplies (рисунок 7.2.6), снять метку Link I-V справа в строке Output, при этом окно приобретет вид, показанный на рисунке 7.3.2.

В данном окне будет выполняться конфигурация параметров для измерения напряжения и силы тока зондом затвора.

  • 7.3.3 Задать параметры формирования и измерения напряжения.

    • 7.3.3.1 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Input (рисунок 7.3.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Input generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда затвора, как указано в пункте П1 Приложения.

  • 7.3.3.2 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Output (рисунок 7.3.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Output generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда стока, как указано в пункте П2 Приложения.

Рисунок 7.3.2 - Окно Setup > IV power supplies, конфигурация для измерения напряжения и силы тока зондом затвора

  • 7.3.3.3 Нажать клавишу Undefined на пересечении Input /Voltage measurement/Current measurement (рисунок 7.3.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Input measurement.

Сконфигурировать измеритель напряжения и силы тока на зонде затвора, как указано в пункте ПЗ Приложения.

  • 7.3.3.4 Нажать клавишу Undefined на пересечении Output / Voltage measurement (рисунок

  • 7.3.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output voltage measurement.

Сконфигурировать измеритель напряжения на зонде стока как указано в пункте П4 Приложения.

  • 7.3.3.5 Нажать клавишу Undefined на пересечении Output / Current measurement (рисунок

  • 7.3.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output current measurement.

Сконфигурировать измеритель силы тока на зонде стока как указано в пункте П5 Приложения.

После конфигурации окно Setup > IV power supplies примет вид, показанный на рисунке 7.3.3.

Рисунок 7.3.3 - Окно Setup > IV power supplies после конфигурации

7.3.4 Выполнить измерения.

Вернуться в главное окно IVCAD, Setup&measurement (рисунок 7.2.2). Выполнить действия, указанные в пункте П6 Приложения.

Диапазоны и шаги напряжения на затворе указаны в таблице 7.3а.

Таблица 7.3а - Диапазоны и шаги напряжения на затворе

Тип зонда

Диапазон напряжения

Шаг напряжения

'      АМ212, АМ213

от - 2 до - 2 V

0.5 V

от - 20 до ~ 20 V       .

5.0 V

  • 7.3.5 Записать отсчеты напряжения установкой (Vin) и мультиметром (Vout) в столбцы 2 и 3 таблицы 7.3, рассчитать значения погрешности и записать их в столбец 4 таблицы 7.3.

  • 7.3.6 Выполнить действия по пунктам 7.3.4 - 7.3.5 для второго диапазона напряжения.

  • 7.3.7 Деактивировать выход установки, для чего в главном окне IVCAD нажать на клавишу Shutdown bench.

    Таблица 7.3.

    - Погрешность измерения напряжения зондом затвора /

    lM212

    Установленное значение, V

    Измеренное установкой значение (Vin)

    Измеренное мультиметром значение (Vout)

    Абсолютная погрешность (Vout - Vin)

    Пределы допускаемых значений,V

    1

    2

    3

    4

    5

    Диапазон ± 2 V

    -2

    1 '

    ±0.00160

    - 1.5

    ±0.00135

    -1.0

    ±0.00110

    -0.5

    ± 0.00085

    0.0

    ± 0.00060

    0.5

    ± 0.00085

    1.0

    ±0.00110

    1.5

    ±0.00135

    2.0

    1:-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

    ±0.00160

Диапазон ± 20 V

-20

±0.0143

- 15

±0.0118

- 10

± 0.0093

-5

± 0.0068

0

± 0.0043     ;

;                 5

± 0.0068 !

10

± 0.0093

15                                                  i i ±0.0118

20         i                      !i i ±0.0143

Таблица 7.3.2 - Погрешность измерения напряжения зондом затвора АМ213

Установленное значение, V

Измеренное установкой значение Vin

, Измеренное мультиметром значение Vout

Абсолютная

: погрешность (Vout - Vin)

Пределы допускаемых i значений,V

1

2

3

4

5

Диапазон = 2 V                                                                      ;

. -2

±0.00190

- 1.5

= 0.00165     !

- 1.0

= 0.00140

-0.5

±0.00115

0.0

= 0.00090    ■

0.5

= 0.00115     :

1.0                                                                    = 0.00140

1.5___’;_________________________     = 0.00165

2Т)                                                              ______= 0.00190

Диапазон = 20 V

-20 '

= 0.0143

-15

= 0.0118

- ю

± 0.0093

-5

± 0.0068

о               :

= 0.0043

5

= 0.0068

10

= 0.0093

15

= 0.0118

20

= 0.0143

7 А Определение погрешности измерения силы тока зондами затвора

Общие указания по выполнению операции:

Сила тока на выходе зонда затвора задается путем подачи сформированного на зонде затвора напряжения на резистор нагрузки. Значение силы тока, протекающего в цепи резистора, измеряется внутренним измерителем силы тока установки и сравнивается со значением силы тока, измеренным мультиметром.

  • 7.4.1 Выполнить соединения для измерения силы тока зондом затвора по схеме, показанной на рисунке 7.4.1:

  • - присоединить зонды затвора и стока к соответствующим разъемам установки;

  • - используя кабели и адаптеры (таблица 2), соединить выходной разъем зонда затвора и контакты резистора нагрузки с токовыми гнездами “Input I”, “Input LO” на передней панели мультиметра, соблюдая полярность (центральный провод BNC нужно соединить с гнездом “Input I” мультиметра).

Резистор выбрать в соответствии с таблицей 7.4а.

Рисунок 7.4.1 - Схема соединений

для измерения силы тока зондом затвора

Таблица 7.4а

- Значения диапазонов напряжения на затворе и сопротивлений резисторов

Тип зонда затвора

Диапазон установки напряжения на затворе

Расчетные значения диапазонов силы тока

Сопротивление резистора нагрузки

' 1

2 .

3

4                  .

АМ212

от-0.8 Удо -0.8 V

от - 0.8 mA до - 0.8 mA

1 kQ / 0.25 W

: АМ212, АМ213

АМ212

от - 8 V до - 8 V от - 8 V до - 8 V

от - 8 mA до - 8 mA от - 80 mA до - 80 mA

1 kQ / 0.25 W

100Q/1W

i AN4212, АМ213

от-20 Удо-20 V ;

от - 800 mA до - 800 mA

;      24 Q /1 W      ;

  • 7.4.2 В окне Setup, Power supplies (рисунок 7.2.6) снять метку Link I-V справа в строке Output (рисунок 7.3.2).

  • 7.4.3 Задать параметры формирования и измерения напряжения.

  • 7.4.3.1 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Input (рисунок 7.3.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Input generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда затвора, как указано в пункте П1 Приложения.

7А.3.2 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Output (рисунок 7.3.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Output generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда стока, как указано в пункте П2 Приложения.

  • 7.4.3.3 Нажать клавишу Undefined на пересечении Input / Voltage measurement/Current measurement (рисунок 7.3.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Input measurement.

Сконфигурировать измеритель напряжения и силы тока на зонде затвора, как указано в пункте ПЗ Приложения.

  • 7.4.3.4 Нажать клавишу Undefined на пересечении Output / Voltage measurement (рисунок

  • 7.3.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output voltage measurement.

Сконфигурировать измеритель напряжения на зонде стока, как указано в пункте П5 Приложения.

  • 7.4.3.5 Нажать клавишу Undefined на пересечении Output / Current measurement (рисунок

  • 7.3.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output current measurement.

Сконфигурировать измеритель силы тока на зонде стока как указано в пункте П4 Приложения.

После конфигурации окно Setup > IV power supplies примет вид, показанный на рисунке 7.4.2.

Рисунок 7.4.2 - Окно Setup > IV power supplies после конфигурации

  • 7.4.4 Выполнить измерения.

Вернуться в главное окно IVCAD, Setup&measurement (рисунок 7.2.2).

Выполнить действия, указанные в пункте П6 Приложения.

Диапазоны и шаги напряжения на затворе указаны в таблице 7.4Ь.

  • 7.4.5 Записать отсчеты силы тока установкой (Iin) и мультиметром (lout) в столбцы 3 и 4 таблицы 7.4, рассчитать значения погрешности и записать их в столбец 5 таблицы 7.4.

ПРИМЕЧАНИЕ: возможно, первое из измеренных в диапазоне значений силы тока окажется за пределами допусков, в этом случае данный отсчет можно проигнорировать.

Таблица 7.4b - Диапазоны и шаги напряжения на затворе

Сопротивление резистора

Диапазон установки напряжения на затворе

Шаг по напряжению

Расчетные

1 значения диапазонов

i       силы тока

Тип зонда затвора

1

2                  i

3

:                      4

5

1000 Q

от-0.8 Удо+ 0.8 V '

0.2 V

от - 0.8 mA до + 0.8 mA

АМ212

1000 Q

от - 8 V до + 8 V

2.0 V

от - 8 mA до + 8 mA

АМ212, АМ213

100 Q

от - 8 V до + 8 V

2.0 V

; от - 80 mA до + 80 mA

АМ212

24 Q

от - 20 V до + 20 V

5.0 V

от - 800 mA до + 800 mA

АМ212, АМ213

7.4.6 Выполнить действия по пунктам 7.4.4 - 7.4.5 для остальных диапазонов силы тока в соответствии параметрами, указанными в таблицах 7.4а и 7.4Ь.

7.4.7 Деактивировать выход установки, для чего в главном окне IVCAD нажать на клавишу Shutdown bench.

АМ212

Таблица 7.4.1 -

силы тока зондом

:ть

Установленное значение напряжения, V

Расчетное Измеренное значение    установкой

силы тока, 1 значение Iin, mA   i   mA

Измеренное мультиметром значение lout, mA

Абсолютная

i погрешность : (lout - Iin), mA

Пределы допускаемых значений, mA

I

2         \         3

4

_

5

6

Диапазон ± 1 mA, резистор нагрузки 1 kQ

-0.8

-0.7     i

'■ ±0.0108

-0.6

-0.5     :

±0.0100

-0.4

-0.35    :

i                      ± 0.0094

-0.2

-0.17

± 0.0087

0.0

0.0

= 0.0080

0.2

0.17

.                      = 0.0087

0.4

0.35

± 0.0094

0.6

0.5        ’

’ ±0.0100

0.8

0.7

i                    ±0.0108

Диапазон ~ 10 mA, резистор нагрузки 1 kQ

-8

-8

± 0.044

-6

-6

= 0.036

-4

-4

= 0.028

-2

-2

= 0.020

0

0

= 0.012

2

2

= 0.020

4

4

= 0.028

6

6

= 0.036

8

8

= 0.044

Диапазон = 100

mA, резистор нагрузки 100 Q

-8

-80

= 1.12

-6

-60

= 1.04

-4

-40

= 0.96

-2

-20

±0.88

0

0

= 0.80

2

20

±0.88

4

40

= 0.96

6

60

J

± 1.04

8

80

!

= 1.12

Продолжение таблицы 7.4.1

1

2

3

4

5

6

Диапазон ± 1 000 mA, резистор нагрузки 24 Q

-20

-800 1

1 |

±5.20

- 15

-600

±4.20

-10

-400    !

■ .                   —<

±3.20

-5

-200 ;

±2.20

0

0

| ± 1.20

5

200

, ± 2.20

ю

400

;      ± 3.20

15

600

:      ± 4.20

20

800

:      ± 5.20

Таблица 7.4.2 - Погрешность измерения силы тока зондом затвора АМ213

Установленное значение напряжения, V

Расчетное значение силы тока, mA

Измеренное установкой значение Iin, mA

Измеренное мультиметром значение lout, mA

Абсолютная погрешность (lout - Iin), mA

Пределы допускаемых значений, mA

1

2

3

4

5

6

Диапазон = 10 mA, резистор нагрузки 1 kQ

-8

-8

± 0.036

-6

-6

;     ± 0.032

-4

-4

i     ± 0.028

-2

-2

± 0.024

0

0

± 0.020

2

2

± 0.024

4

4

± 0.028

6

6

= 0.032

8

8

= 0.036

Диапазон - 1000 mA, резистор нагрузки 24 Q

-20

-800

± 1.80

- 15

-600

= 1.40

- 10

-400

± 1.00

-5

-200

= 0.60

0

0

= 0.20

5

200

= 0.60

10

400

= 1.00

15

600

= 1.40

20

800

= 1.80

7.5 Определение погрешности измерения напряжения зондами стока

Общие указания по выполнению операции:

Сформированное на выходе зонда стока напряжение измеряется внутренним измерителем напряжения стока установки и сравнивается со значением напряжения, измеренным мультиметром.

  • 7.5.1 Выполнить соединения для измерения напряжения зондом стока по схеме, показанной на рисунке 7.5.1.

Присоединить зонды затвора (Gate probe) и стока (Drain probe) к соответствующим разъемам установки;

Используя кабели и адаптеры (таблица 2), соединить выходной разъем зонда стока с гнездами “Input HI”, “Input LO” на передней панели мультиметра, соблюдая полярность (центральный провод BNC нужно соединить с гнездом “Input HI” мультиметра).

Для высоковольтного зонда стока АМ241 использовать блок коммутации из комплекта установки. На блоке коммутации должен быть установлен замыкатель Interlock.

Generic multimeter

Рисунок 7.5.1 - Схема соединений для измерения напряжения зондом стока

Для блока коммутации АМ249-1 (рисунок 7.5.1а) соединить гнездо “Power Out” с гнездом “Input HI” мультиметра, гнездо “Power GXD” с гнездом “Input LO” мультиметра.

Для блока коммутации АМ249-2 (рисунок 7.5.lb) присоединить на высоковольтный разъем “Power Out” кабель SHV-banana(m,m), соблюдая полярность (центральный провод SHV нужно соединить с гнездом “Input HI” мультиметра).

Рисунок 7.5.1а- панель блока коммутации АМ249-1

Рисунок 7.5.lb - панель блока коммутации АМ249-2

  • 7.5.2 В окне Setup, Power supplies (рисунок 7.2.6), снять метку Link I-V справа в строке Input (рисунок 7.5.2).

  • 7.5.3 Задать параметры формирования и измерения напряжения.

  • 7.5.3.1 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Input (рисунок 7.5.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Input generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда затвора, как указано в пункте П1 Приложения.

  • 7.5.3.2 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Output (рисунок 7.5.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Output generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда стока, как указано в пункте П2 Приложения.

Предельные значения напряжения и силы тока задавать согласно таблице 7.5а.

Рисунок 7.5.2 - Окно Setup > Power supplies, конфигурация для измерения напряжения и силы тока зондом стока

Таблица 7.5а - Предельные значения напряжения и силы тока зондов стока

Параметр

Значение

AM221

AM222

AM232

AM231

AM223

AM241   i

Bias voltage limit

0 Vto 120 V

0 Vto 120 V

0 Vto 120 V

-5 Vto 15 V

0 Vto 120 V

Pulse voltage limit

0 V to 250 V

0 Vto 120 V

0 V to 120 V

-5 Vto 15 V

0 Vto 1000 V :

Absolute current limit

10 A

30 A

10 A

0.2 A

30 A

  • 7.5.3.3 Нажать клавишу Undefined на пересечении Input / Voltage measurement (рисунок 7.5.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output voltage measurement.

Сконфигурировать измеритель напряжения на зонде стока, как указано в пункте П4 Приложения.

  • 7.5.3.4 Нажать клавишу Undefined на пересечении Intput / Current measurement (рисунок 7.5.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output current measurement.

Сконфигурировать измеритель силы тока на зонде стока, как указано в пункте П5 Приложения.

  • 7.5.3.5 Нажать клавишу Undefined на пересечении Output / Voltage measurement/Current measurement (рисунок 7.5.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Input measurement.

Сконфигурировать измеритель напряжения и силы тока на зонде затвора, как указано в пункте ПЗ Приложения.

7.5.4. Выполнить измерения.

Вернуться в главное окно IVCAD, Setup&measurement (рисунок 7.2.2). Выполнить действия, указанные в пункте П6 Приложения.

Диапазоны и шаги напряжения на зонде стока указаны в таблице 7.5Ь.

Тип зонда

Диапазон напряжения

Шаг напряжения

АМ221

от 0 до 25 V

5 V

от 25 до 250 V

25 V

АМ222, АМ231, АМ232

от 0 до 12 V

2.0 V

от 0 до 120 V

20 V

АМ223

от - 5.0 до 15.0 V

2.5 V

от 0 до 40 V

4 V

АМ241

от 20 до 200 V

20 V

от 200 до 920 V

80 V

  • 7.5.5 Записать отсчеты напряжения установкой (Vin) и мультиметром (Vout) в столбцы 2 и 3 таблицы 7.5.

  • 7.5.6 Выполнить действия по пунктам 7.5.4 - 7.5.5 для остальных диапазонов, указанных в таблицах 7.5а, 7.5Ь.

  • 7.5.7 Деактивировать выход установки, для чего в главном окне IVCAD нажать на клавишу Shutdown bench.

    Таблица 7.5.1 - Погрешность измерения напряжения зондом стока AV

    1221

    _.                 Измеренное

    Установленное

    ,.       установкой

    значение, V                 , т.

    значение Vin

    Измеренное

    i мультиметром значение Vout

    Абсолютная погрешность (Vout - Vin)

    Пределы допускаемых значений,V

    1 2

    3

    4

    5

    Диапазон от 0 до 25 V

    0

    = 0.050

    5.0

    = 0.060

    10.0

    = 0.070

    15.0                                                         !

    = 0.080

    20.0 ;

    = 0.090

    25.0

    = 0.100

    Диапазон от 25 до 250 V

    25

    = 0.550

    50

    ± 0.600

    75

    = 0.650

    100

    = 0.700

    125

    = 0.750

    150

    = 0.800

    175

    = 0.850

    200

    = 0.900

    225

    = 0.950

    250

    = 1.000

    Установленное значение, V

    Измеренное установкой значение Vin

    Измеренное !

    < мультиметром > значение Vout

    Абсолютная погрешность (Vout - Vin)

    Пределы допускаемых значений, V

    1

    2

    :               3

    4

    5

    Диапазон 12 V (только АМ231)

    0

    \                       i       ± 0.024

    2

    ;                         i                         I ± 0.028

    4                     ,                                             :

    ± 0.032

    6|i

    ± 0.036

    8 ? '

    ± 0.040

    Ю              i                                 i                                 <

    ± 0.044

    12                    !                                             '                                             i

    ± 0.048

    Диапазон 120 V

О             !                            ;                             !                            '         = 0.24

20 ; ± 0.28

;--'-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

40             i                               |

±0.32

60 - !

= 0.36

80 ;

±0.40

100 1

= 0.44

120             !                                 i                                 ,

±0.48

Таблица 7.5.3 - Погрешность измерения напряжения зондом стока АМ223

Установленное значение, V ;

Измеренное установкой значение Vin

Измеренное i мультиметром значение Vout

Абсолютная погрешность (Vout-Vin)

1    Пределы

; допускаемых значений, V

7                   1

2

3                !

4

'                     5                     '

-5.0

= 0.040

-2.5

= 0.035      :

0.0

= 0.030

2.5

= 0.035

5.0

= 0.040

7.5

= 0.045

10.0

= 0.050

12.5

= 0.055

15.0

= 0.060

Установленное значение, V

Измеренное установкой значение Vin

Измеренное мультиметром значение Vout

Абсолютная погрешность (Vout - Vin)

Пределы допускаемых значений,V

1

2

3

4

5

Диапазон 40 V

0

:      ± 0.040

4

± 0.044

8

,      ± 0.048

12

1      ± 0.052

16

i      ± 0.056

20

± 0.060

24

± 0.064

28

х 0.068

32           !

х 0.072

36           i

± 0.076

40 i

х 0.080

Диапазон 200 V

20             i                               i

±0.44

40 1 i

х 0.48

80           i

±0.52

120 ;

±0.56

160

! ± 0.60

200

±0.64

240        j

х 0.68

280 :

±0.72

320

±0.76

360

±0.80

400

± 1.60

Диапазон 1000 V

200

±2.40

280

±2.56

360

±2.72

440

х2.88

520

±3.04

600

±3.20

680

хЗ.Зб

760

х3.52

840

±3.68

920

х3.84

7.6 Определение погрешности измерения силы тока зондами стока

Общие указания по выполнению операции:

  • 1) Сила тока на выходе зонда стока задается путем подачи сформированного на зонде стока напряжения на резистор нагрузки. Значение силы тока, протекающего в цепи резистора, измеряется внутренним измерителем силы тока установки и сравнивается со значением силы тока, измеренным мультиметром.

  • 2) При значениях силы тока свыше 3 А применяется потенциометрический метод с использованием эталонной меры сопротивления, включенной последовательно в цепь резистора нагрузки. Напряжение на потенциальных выводах меры сопротивления измеряется мультиметром в режиме постоянного напряжения. Резистор нагрузки Rh следует выбирать в соответствии с таблицей 7.6а.

  • 7.6.1 Выполнить соединения для измерения силы тока зондом стока по схеме, показанной на рисунках 7.6.1.1 и 7.6.1.2.

Резисторы нагрузки выбирать по таблице 7.6а.

Присоединить зонды затвора и стока к соответствующим разъемам установки.

Для высоковольтного зонда стока АМ241 использовать блок коммутации АМ249-1, или блок коммутации АМ249-2 с кабелем SHV-banana(m,m). На блок коммутации должен быть установлен замыкатель Interlock.

При измерении силы тока до 3 А (рисунок 7.6.1.1):

Используя кабели и адаптеры (таблица 2), соединить выходной разъем зонда стока и контакты резистора нагрузки с токовыми гнездами “Input I”, “Input LO” на передней панели мультиметра, соблюдая полярность (центральный провод BNC нужно соединить с гнездом “Input I” мультиметра).

Для зонда стока АМ241 с блоком коммутации АМ249-1 (рисунок 7.5.1а) гнездо “Power Out” должно быть соединено с гнездом “Input HI” мультиметра.

Для зонда стока АМ241 с блоком коммутации АМ249-2 (рисунок 7.5.lb) присоединить на высоковольтный разъем “Power Out” кабель SHV-banana(m,m), соблюдая полярность (центральный провод SHV нужно соединить с гнездом “Input HI” мультиметра).

Рисунок 7.6.1.1 - Схема соединений для измерения силы тока до 3 А зондом стока

При измерении силы тока свыше 3 А (рисунок 7.6.1.2):

Включить последовательно с резистором нагрузки RH токовые клеммы L и L эталонной меры сопротивления Ro, потенциальные клеммы U i и LT2 меры сопротивления соединить с гнездами “Input HI”, “Input LO” на передней панели мультиметра, соблюдая полярность (центральный провод BNC должен быть соединен с выводом резистора нагрузки).

Для зонда стока АМ241 с блоком коммутации АМ249-1 (рисунок 7.5.1а) гнездо “Power Out” должно быть соединено с выводом резистора нагрузки.

Для зонда стока АМ241 с блоком коммутации АМ249-2 (рисунок 7.5. lb) присоединить на высоковольтный разъем “Power Out” кабель SHV-banana(m,m), центральный провод SHV соединить с выводом резистора нагрузки.

Рисунок 7.6.lb - Схема соединений для измерения силы тока свыше 3 А зондом стока

  • 7.6.2 В окне Setup, Power supplies (рисунок 7.2.6), снять метку Link I-V справа в строке Input (рисунок 7.5.2).

  • 7.6.3 Задать параметры формирования и измерения напряжения.

7.6.3.1 1 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Input (рисунок 7.6.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Input generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда затвора, как указано в пункте П1 Приложения.

Таблица 7.6а - Значения диапазонов напряжения на стоке, сопротивления резисторов нагрузки и номинала меры сопротивления

Тип зонда затвора

Диапазон установки напряжения на стоке

Расчетные значения диапазонов силы тока

Схема соединений

Сопротивление / мощность резистора нагрузки

1

2

3

4

5

АМ223

от 0 до 20 V

от 0 до 20 mA

1 Ш / 0.25 W

от 2 до 20 V

от 20 до 200 mA

Рисунок 7.6.1а

100Q/1 W

АМ221

от 0 до 24 V

от 0 до 1 А

24 Q /1 W

АМ231

от 4 до 60 V

от 0.5 до 8 А

Рисунок 7.6.lb

6Q/4 W

АМ222

от 0 до 20 V

от 0 до 3 А

Рисунок 7.6.1а

6Q/4 W

АМ232

от 2 до 22 V

от 2 до 20 А

Рисунок 7.6.lb

0.3 Q/4 W

от 0 до 30 V

от 0 до 30 mA

1 kQ / 0.25 W

от 3 до 30 V

от 30 до 300 mA

Рисунок 7.6.1а

100 QJ1 W

A1V1Z4-1

от 0 до 20 V

от 0 до 3 А

6Q/4 W

от 2 до 22 V

от 2 до 20 А

Рисунок 7.6.lb

0.3Q/4W

R

Setup > IV power supplies gj Enabled

IV power supply

Resistive network

V Input: [

«undefined»

II Edlt I

V Output: 1

«undefined»

i |        Edit         |

Aux 1:

.......uudefi-ud»

Eclt

i Aux 2:

- u -

Ed:’

Aux 3:

undefined»

Edit

’ Aux 4:

undefined >

'            -V:        ■

Same input and output measurement instrument

Power off after measurement

/ Wait between IV power supplies switch, wait time: 100.0

Voltage measurement Current measurement

[     < unde fined»     [ [ «undefined» | LinkiM

[ «undefined» [               [Vi Link I-V

■'.•undefined:■         •                      ( : Link I-V

< undefined ■                           Link i -v

-undefined» ■               ' Unkl-V

Power ON sequence (power OFF is the opposite):

Input (Output (Auxiliary 1 (Auxiliary 2 (Auxiliary 3 (Auxiliary 4

I close I' » I

.............................ТГ"""" 'J

Рисунок 7.6.2 - Окно Setup > Power supplies, конфигурация для измерения напряжения и

силы тока зондом стока

7.6.3.2 Нажать клавишу Undefind на пересечении IV power supply / Output (рисунок 7.6.2), при этом появится окно Setup>Power supplies>Output generator.

Сконфигурировать формирователь напряжения импульсного генератора зонда стока, как указано в пункте П2 Приложения

Значения предельных напряжений зонда задать равными от 0 до 100 V для постоянных значений и от 0 до 250 V для импульсных значений,

Предельное значение силы тока задать в соответствии с таблицей 7.6Ь.

Параметр

Значение

АМ221

АМ222

АМ232

i

АМ231

1

АМ223

АМ241

Absolute current limit

10 А

30 А

'    10 А

0.2 А

30 А

Для измерения силы тока до 3 А

  • 7.6.3.3 Нажать клавишу Undefined на пересечении Intput/Voltage measurement (рисунок

  • 7.6.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Input voltage measurement.

Сконфигурировать измеритель напряжения и силы тока на зонде затвора как указано в пункте П5 приложения.

  • 7.6.3.4 Нажать клавишу Undefined на пересечении Intput / Current measurement (рисунок

  • 7.6.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Input current measurement.

Сконфигурировать параметры измерения силы тока мультиметром, как указано в пункте П4 Приложения.

  • 7.6.3.5 Нажать клавишу Undefined на пересечении Outtput / Voltage measurement/Current measurement (рисунок 7.6.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output measurement.

Сконфигурировать параметры измерения установкой, как указано в пункте ПЗ Приложения.

  • 7.6.4 Выполнить измерения.

Вернуться в главное окно IVCAD, Setup&measurement (рисунок 7.2.2).

Выполнить действия, указанные в пункте П6 Приложения.

Диапазоны и шаги напряжения на затворе указаны в таблице 7.6с.

  • 7.6.5 Записать отсчеты силы тока установкой (Пп) и мультиметром (lout) в столбцы 2 и 3 таблицы 7.6.

  • 7.6.6 Выполнить действия по пунктам 7.6.4 - 7.6.5 для остальных диапазонов, указанных в таблицах 7.6а, 7.6с.

Таблица 7.6с - Значения диапазонов и шага по напряжению, сила тока до 3 А

Диапазон установки Расчетные значения

Номинал

ПТаг по

Тип зонда затвора

! напряжения

диапазонов

резистора

напряжению

■       на стоке

силы тока

нагрузки

: 1

: 2

3

3

4

АМ223

•    от 0 до 20 V

от 0 до 20 mA

1 kQ / 0.25 W

2.0 V

i    от 0 до 20 V

от 0 до 200 mA

100 О /1 W

2.0 V

АМ221, АМ231

от 0 до 24 V

от 0 до 1 А

24 Q /1 W

2.4 V

АМ222, АМ232

от 0 до 30 V

от 0 до 3 А

6Q/4 W

3.0 V

от 0 до 30 V

от 0 до 30 mA

1 Ю / 0.25 W

3.0 V

АМ241

от 3 до 30 V

от 30 до 300 mA

100Q/1 W

3.0 V

от 0 до 20 V

от 0 до 3 А

6Q/4W

2.0 V

  • 7.5.7 Деактивировать выход установки, для чего в главном окне IVCAD нажать на клавишу Shutdown bench.

7.6.3. Нажать клавишу Undefined на пересечении Intput / Voltage measurement (рисунок

  • 7.6.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Input voltage measurement.

Сконфигурировать параметры измерения напряжения мультиметром, как указано в пункте П4 Приложения.

  • 7.6.3.4 Нажать клавишу Undefined на пересечении Intput / Current measurement (рисунок

  • 7.6.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Input current measurement.

Сконфигурировать параметры виртуального измерителя, как указано в пункте П5 Приложения.

  • 7.6.3.5 Нажать клавишу Undefined на пересечении Output / Voltage measurement/Current measurement (рисунок 7.6.2), при этом появится окно Setup>IV power supplies>Output measurement.

Сконфигурировать параметры измерения установкой, как указано в пункте ПЗ Приложения.

  • 7.6.4 Выполнить измерения.

Вернуться в главное окно IVCAD, Setup&measurement (рисунок 7.2.2).

Выполнить действия, указанные в пункте П6 Приложения.

Диапазоны и шаги напряжения на затворе указаны в таблице 7.6d.

Результаты измерений следует отобразить в осях Vout [V] / Iin [А].

Таблица 7.6d - Значения диапазонов и шага по напряжению, сила тока свыше 3 А

Тип зонда затвора

Диапазон установки напряжения на стоке

Расчетные значения j диапазонов силы тока

Номинал резистора нагрузки

Шаг по напряжению

1

2

3

3

4

АМ221, АМ231

от 4 до 60 V

от 0.5 до 8 А

6Q/4W

8.0 V

АМ222, АМ232

от 2 до 22 V

от 2 до 20 А

0.3 Q/4 W

2.0 V

АМ241

от 2 до 22 V

от 2 до 20 А

0.3 Q/4 W

2.0 V

  • 7.6.5 Записать отсчеты силы тока установкой (Iin) и мультиметром (lout) в столбцы 2 и 3 таблицы 7.6.

Значение силы тока по показаниям мультиметра следует рассчитывать по формуле lout = Vout / Ro; Ro = 0.1 Q.

lout [A] = 10-Vout [V]

  • 7.6.6 Выполнить действия по пунктам 7.6.4 - 7.6.5 для остальных диапазонов, указанных в таблицах 7.6а, 7.6d.

  • 7.5.7 Деактивировать выход установки, для чего в главном окне IVCAD нажать на клавишу Shutdown bench.

Установленное

Расчетное

Измеренное

Измеренное

Абсолютная

Пределы

значение

значение

установкой

мультиметром

погрешность

силы тока,

значение Iin,

значение lout,

допускаемых

напряжения, V

mA

mA

mA

(lout - Iin), mA

значений, mA

1

2

3

4

5

6

Предел диапазона 20 mA, резистор нагрузки 1 kQ / 0.25 W, без меры сопротивления

0

0

± 0.040

2

2

I

± 0.044

4

4

± 0.048

6

6

± 0.052

8

8

± 0.056

10

10

± 0.060

12

12

± 0.064

14

14

± 0.068

16

16

± 0.072

18

18

± 0.076

20

20

_

± 0.080

Предел диапазона 200 mA, резистор нагрузки 100 О /1 W, без меры сопротивления

0

0

±0.40

2

20

1

±0.44

I             4

40

:                                                                                                                                                                              i

±0.48

' 6

60

±052

! 8

80

I                                                                                                                                                                              :

±0.56

10

100

= 0.60

12

120

■ '

±0.64

14

140

±0.68

16

160

= 0.72

18

180

±0.76

20

200

= 0.80

Таблица 7.6.2 - Погрешность измерения силы тока зондами стока АМ221, АМ231

Установленное Расчетное

Измеренное

Измеренное

Абсолютная

Пределы

значение     значение

■ установкой

мультиметром

погрешность :

напряжения, i силы тока,

: значение Iin,

значение lout,

(lOUt - КП), ;

дину иКиимых значений,А

V        А

. А

А

А

1 2

3

4

5

6

Предел диапазона 1 А, резистор нагрузки 24 Q /1 W, без меры сопротивления

0.0 0.0

= 0.0010

2.4              0.1

= 0.0011

4.8             0.2

= 0.0012

7.2              0.3

= 0.0013

9.6             0.4

= 0.0014

12.0            0.5

= 0.0015

14.4            0.6

= 0.0016

:       16.8              0.7

±0.0017

19.2             0.8

= 0.0018

21.6            0.9

= 0.0019

24.0            1.0

= 0.0020

МП AmCAD-2016. 24.06.2016

стр. 29 из 42 ,

Продолжение таблицы 7.6.2

1

2

3

4

5

6

Предел диапазона 10 А, резистор нагрузки 6Q/4 W, мера сопротивления 0.1 Q

4

0.5        i

1

± 0.042

12

2.0

± 0.048

20

3.0

± 0.052

28

4.0         '                        \

± 0.056

36

5.0          !                          !

± 0.060

44

б.о                                 !                          i

± 0.064

52

7.0

;                                                                                                                                                                              1

!                                                                                                                                                                              г

± 0.068

60

8.0

± 0.072

Таблица 7.6.3 - Погрешность измерения силы тока зондами стока АМ222, АМ232

Установленное значение напряжения, V

Расчетное значение силы тока, А

Измеренное установкой значение Iin, А

Измеренное мультиметром значение lout, i        А

Абсолютная погрешность (lout - Iin), А

Пределы допускаемых значений, А

1

2

3

'            4

5

6

Предел диапазона 3 А, резистор нагрузки 6 Q / 4 W, без меры сопротивления                 :

0.0

0.0

± 0.0090     |

2.0

0.3

i

_

± 0.0096

4.0

0.6

!

±0.0108     i

6.0

0.9

i

±0.0117     ;

8.0

1.2

!

±0.0126 ;

10.0

1.5

±0.0135     ;

12.0

1.8

±0.0144     ‘

14.0       i       2.1       |__________________;____________________:____________________■      ±0.0153

16.0       ;            i                 '                   ■                   ;      =0.0162

18.0

2.7         i                                                   ;

±0.0171

20.0

з.о                                    :                             ;

±0.0180

Предел диапазона 30 А, резистор нагрузки 0.3 Q/4 W, мера сопротивления 0.1 Q

2.0

2.0 j

■                  i      ±0.162

4.0

4.0       1

'     ±0.174

6.0

6.0

= 0.186

8.0

8.0

= 0.198

10.0

10.0 ;

±0.210

12.0

11.5      ;

i     =0.219

14.0

13.0

= 0.228

16.0

15.0

■                       = 0.240

18.0

16.5

= 0.249

20.0

18.0

= 0.258

22.0

20.0 ;

= 0.270

Таблица 7.6.4 - Погрешность измерения силы тока зондом стока АМ24?

Установленное значение напряжения, V

Расчетное значение силы тока, mA

Измеренное установкой значение Iin, mA

Измеренное мультиметром значение lout, mA

Абсолютная погрешность (lout - Iin), mA

Пределы допускаемых значений, mA

1

2

3

4

5

6

Предел диапазона 30 mA, резистор нагрузки 1 kQ / 0.25 W, без меры сопротивления

0.0

0.0

± 0.060

3.0

3.0

± 0.066

6.0

6.0

± 0.072

9.0

9.0

± 0.078

12.0

12.0

i

± 0.084

15.0

15.0

± 0.090

18.0

18.0

± 0.096

21.0

21.0

:                                                                                                                                                                              i

±0.102

24.0

24.0

,i

±0.108

27.0

27.0

i                                                                                                                                                                              1

±0.114

30.0

30.0

S                   |                   |       ±0.120

Предел диапазона 300 mA, резистор нагрузки 100 Q /1 W, без меры сопротивления

3.0

30.0

±0.66

6.0

60.0

±0.72

9.0

90.0

±0.78

12.0

120.0

±0.84

15.0

150.0

±0.90

18.0

180.0

±0.96

21.0

210.0

i       ± 1.02

24.0

240.0

± 1.08

27.0

270.0

i      ±1-14

30.0

300.0

:      ±1.20

Предел диапазона 3 А, резистор нагрузки 6 Q / 4 W. без меры сопротивления

0.0

0.0

± 0.0090

2.0

0.3

:     ± 0.0096

4.0

0.6

±0.0108

6.0

0.9

±0.0117

8.0

1.2

■ ±0.0126

10.0

1.5

:     ±0.0135

12.0

1.8

= 0.0144

14.0

2.1

= 0.0153

16.0

2.4

' =0.0162

18.0

2.7

= 0.0171

20.0

3.0

' ±0.0180

Продолжение таблицы 7.6.4

/

2

3

4

5

6

Предел диапазона 30 А. резистор нагрузки 0.3 Q / 4 W. мера сопротивления 0.1 Q

2.0

2.0

±0.162

4.0

4.0

±0.174

6.0

6.0

±0.186

8.0

8.0

X 0.198

10.0

10.0

±0.210

12.0

11.5

±0.219

14.0

13.0

± 0.228

16.0

15.0

± 0.240

18.0

16.5

± 0.249

20.0

18.0

± 0.258

22.0

20.0

± 0.270

  • 8 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

8.1 Проюко.т поверки

При выполнении операций поверки оформляется протокол в произвольной форме с указанием следующих сведений:

  • - полное наименование аккредитованной на право поверки организации;

  • - номер и лага протокола поверки

  • - наименование и обозначение поверенного средства измерения, установленные опции;

  • - заводской (серийный) номер:

  • - обозначение документа, по которому выполнена поверка;

  • - наименования, обозначения и заводские (серийные) номера использованных при поверке средств измерений, сведения об их последней поверке;

  • - температура и влажность в помещении;

  • - полученные значения метрологических характеристик;

  • - фамилия лица, проводившего поверку.

8.2 Свидетельство о поверке

При положительных результатах поверки выдается свидетельство о поверке и наносится знак поверки в соответствии с 11риказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.

8.3 Извещение о непригодности

При отрицательных результатах поверки, выявленных при внешнем осмотре, опробовании, или выполнении операций поверки, выдается извещение о непригодности в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.

Начальник отдела 209 ФГУП «ВНИИ.МС»

Заместитель генерального директора ГАО «АКТИ-Мастер» по метрологии

ПРИЛОЖЕНИЕ. Инструкции по установке параметров

П1 Конфигурация формирователя импульсного напряжения зонда затвора (окно Setup, Power supplies, Input generator)

П1.1 Во вкладке Hardware (рисунок П1а) выбрать в пунктах:

  • - Mode: Pulsed;

  • - Driver : из списка выбрать AMCAD PIV System;

  • - VISA library: из списка имя программы, установленной на компьютере;

  • - Command: Voltage.

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки.

Рисунок Ша - Окно Setup, Power Supplies, Input generator, вкладка Hardware

П 1.2 Во вкладке Setup (рисунок П1Ь) задать параметры зонда затвора:

  • - значения предельных напряжений зонда задать равными -20 V и + 20 V, предельное значение измеряемой силы тока 1 А;

  • - временные параметры импульсов в соответствии с таблицей 7.3.1.

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки. Нажать Close.

Setup > IV power supplies > Input generator

Enabled

Mode: Pulsed

Hardware; Setup |

Sas voltage limit:

-20

V

to 20          V

Bias absolute current limit:

1

A

Pulse voltage limit:

-20

V

to 20          V

Pulse absolute current limit:

1

A

, j Invert polarity

Pulse delay:

300

ps

Pulse width:

600

MS

Pulse period:

10

ms

Trigger:

IMIIMIII ’             i

i

Transition:

Medium

’’’ ;

| Cbse j

»

Рисунок 7.3.3.1b - Окно Setup, Power Supplies, Input generator, вкладка Setup

Таблица П1 - Временные параметры импульсов

Параметр

Значение

Pulse delay

300 ps

Pulse width

600 ps

Pulse period

20 ms

П2 Конфигурация формирователя импульсного напряжения зонда стока (окно Setup, Power supplies, Output generator)

П2.1 Во вкладке Hardware (рисунок П2а) выбрать в пунктах:

  • - Mode: Pulsed;

  • - Driver : из списка выбрать AMCAD PIV System;

  • - VISA library: из списка имя программы, установленной на компьютере;

  • - Command: Voltage.

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки.

Setup > IV power supplies > Output generator

: ' Enabled

Mode: Pulsed                   ▼

i Hardware I

Driver

Driver:

AMCAD PIV System

-1®

Address:

GPIBO::5::INSTR

p

Options:

; on ‘Edt' to configure additional options -> '

VISA library:

Default

-

Command tsneout:

5000      ms

Command delay:

0         ms

| Test connection 1

Output:  ЯНИВВШШ ▼

Command: Voltage

Close ]

Рисунок П2а - Окно Setup, Power supplies, Output generator, вкладка Hardware

П2.2 Во вкладке Setup (П2Ь) задать параметры зонда стока:

  • - значения предельных напряжений и силы тока зонда задать, как указано в соответствующем пункте методики поверки;

  • - временные параметры импульсов в соответствии с таблицей П1.

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки. Нажать Close.

Setup > IV power supplies > Output generator

■ Ert-sbied

Mode: Pulsed                  ▼

1 Hardware I Setup ]

Biasvoltagelknit:            0

V

to 100

V

§

Bas absolute current limit: 10

A

Pulse voltage limit:            0

V

to 250

V

: Pulse absolute current limit: 10

A

J Г] Invert polarity

■Pulse delay:                300

ps

1 Pulsewidth:                600

ps

■ Pulse period:                  10|

: ms

! Trigger:                        Interna!

\ Transition:                   Medkjrn

| Close j

»

1

Рисунок П2Ь - Окно Setup, Power supplies, Output generator, вкладка Setup

ПЗ Конфигурация измерений на зонде затвора / стока (окно Setup, Power supplies, Input / Output measurement)

П3.1 Во вкладке Hardware (рисунок ПЗа) выбрать в пунктах:

  • - Mode: Pulsed;

  • - Driver : AMCAD PIV System;

  • - VISA library: из списка имя программы, установленной на компьютере;

  • - Voltage channel: Channel 1 (Probe: Auto-detection);

  • - Current channel: Channel 1 (Probe: Auto-detection).

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки. Нажать Close.

Setup > IV power supplies > Input measurement

(I Setup > IV power supplies > Output measurement

Enabled

Mode: Pulsed

Driver

Address:

Options:

Setup

AMCAD PIV System

GPIBO:: 5: :INSTR

Click on "Edit to configure additional options ->

Mode:

: Hardware i Setup:

Driver

Driver:

Address:

Options:

AMCAD PIV System

GPIB0::5::INSTR

Click on 'Edit' to configure additional options ■>

VISA library:

Default

; VISA library:

Default

Command timeout:

5000

ms

Command timeout: 5000

ms

Command delay:

ms

Voltage channel/probe: Channel 1

Current channel/probe: Channel 1

Auto-detection

i Command delay: 0

Voltage channel/probe:

i Current channel/probe:

ms

Channel 2

Channel 2

Auto-detection

Auto-detection

Close

Рисунок ПЗа - Окно Setup, Power supplies, Input / Output Measurement, вкладка Hardware

П3.2 Во вкладке Setup (ПЗЬ) задать параметры импульсов:

  • - Measurement delay 400 ps. Measurement width 400 ps;

  • - Trace points: 2;

  • - Trace definition: 0.0 to 2000.0 ps.

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки. Нажать Close.

Рисунок ПЗЬ - Окно Setup, Power supplies, Input / Output Measurement, вкладка Setup

П4 Конфигурация мультиметра для измерения напряжения / силы тока (окно Setup, Power supplies, Input I Output voltage / current measurement)

П4.1 Во вкладке Hardware установить параметры, как показано на рисунке П4а:

  • - Mode: Pulsed;

  • - Driver : Generic Multimeter;

  • - VISA library: из списка имя программы, установленной на компьютере;

  • - Channel/Probe : Channel 1 (Probe : Direct)

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки.

Рисунок П4а - Окно Setup, Power supplies, Input / Output voltage I current measurement, вкладка Hardware

П4.2 Во вкладке Setup (П4Ь) задать параметры измерения:

  • - Measurement delay 400 ps, Measurement width 400 ps;

  • - Trigger: External positive edge;

  • - Trace points: 2;

  • - Trace definition: 0.0 to 2000.0 ps.

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки, Нажать Close.

Setup > IV power supplies > Output voltage measurement

Setup > IV power supplies > Output current measurement

S3.

Mode: Pulsed

Mode:

Hardware, Setup

Averaging:

Correction factor:

1.0

Correction offset:

0.0

Trigger:

External positive edge

Hardwarei Setup

Averaging:

Correction factor:

Correction offset:

Trigger:

1.0

0.0

External positive edge

Invert polarity

Invert polarity

Trace def.:

ps to 2000|      ; ps

Trace def.:

0.0

ps to 2000.0 ps

Trace points:

Trace points:

Measurement window:

Custom window

Measurement window:

Custom window

Measurement delay:

<10

ps

Measurement delay:

400.0

ps

Measurement width:

400

PS

Measurement width:

400.0 ps

Рисунок П4Ь - Окно Setup, Power supplies, Input I Output voltage I current measurement, вкладка Setup

П5 Конфигурация виртуального измерителя напряжения I силы тока (окно Setup, Power supplies, Input I Output voltage / current measurement)

П5.1 Во вкладке Hardware установить параметры, как показано на рисунке П5а:

- Mode: Pulsed;

  • - Driver : Virtual Instrument;

  • - VISA library: из списка имя программы, установленной на компьютере;

  • - Channel/Probe : Channel 1 (Probe : Direct)

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки.

Рисунок П5а - Окно Setup, Power supplies, Input I Output voltage I current measurement, вкладка Hardware

П5.2 Во вкладке Setup (рисунок П5Ь) задать параметры виртуального измерителя:

  • - Measurement delay 400 ps, Measurement width 400 ps;

  • - Trigger: External positive edge;

  • - Trace points: 2;

  • - Trace definition: 0.0 to 2000.0 ps.

Остальные поля заполнены по умолчанию и не требуют специальной настройки. Нажать Close.

Рисунок П5Ь - Окно Setup, Power supplies, Input / Output voltage I current measurement, вкладка Setup

П6 Выполнение измерений

П6.1 В главном окне IVCAD, Setup&measurement нажать клавишу «Initialize bench», при этом появится всплывающее окно IVCAD, DUT biasing с вкладкой Bench initialized, показанное на рисунке Пба.

Нажать клавишу ОК.

П6.2 Войти в окно Setup&measurement, открыть вкладку Measurement (рисунок П6Ь) для задания параметров измерения:

  • - задать имя и расположение файла с данными измерений в окне Output;

  • - в окне DC sweep выбрать параметр свипирования Input/Output sweep;

  • - выбрать Custom step для задания нужных значений напряжений;

  • - задать диапазон и шаг напряжения в соответствии с параметрами, указанными в соответствующем пункте методики поверки;

  • - убрать все флажки во вкладке DUT reference plane, как показано на рисунке Пбс.

П6.3 Запустить измерения клавишей Start (в правом верхнем углу на рисунке П6Ь), при этом появится окно IV Sweep measurement (рисунок Пбб) с вопросом о включении источников питания.

Нажать Yes для включения источников.

IVCAD                                          .

hie Tcois VieAj Help

* .QX

\         Plug-ins

i       Measurement system

Measurement

у» 22SB2

:         Sweep plan (multi-seajpJ

T’ Hardware control

-1 Tods

Driver Wizard e Instrument scanner

Tuner Characterization

:t> Visualization

I    4: TOOfcOX

i    4? Modeing

i      +}  Scriptina

: ф Power ON I j Apply levels

IV power suppies

IV power supply: Input

IV power supply: Output

Quiescent voltage:

Pulse voltage:

Г j DUT reference plane

Meas, quiescent voltage: Meas, quiescent current: Meas, pulse voltage:

Meas, pulse current:

0.0: v

- A

Quiescent current: Pulse current

= J DUT reference plane

0.0 A

0.0 A

  • - V

  • - A

■ ¥

Meas. Quiescent voltage: Meas, quiescent current: Meas, pulse voltage: Meas.

Рисунок Пба - Окно IVCAD, DUT biasing

Рисунок П6Ь - Установка параметров измерений (окно Setup&measurement<Measurement)

тт

DUT reference plane

I 1 kout, until Vm = j

Infinity

V

Г] Vm, until Vm =

Infinity

V

Frequency Sweep

4

Рисунок Пбс - Установка параметров измерений (фрагмент окна Setup&measurement<Measurement)

Quick measurement IV Sweep measurement 1

Quescent bias pant:

Name

Value

» X:

V;

rZ Autoscale

VinO

i'inO.....................

Input power

VoutO

ioutO

Output power

11

10

Value

Мп ifin

Input power !Vout

! ilout

-

5 ^Output power

Delay

Width

i

Tuning settings:

5

4

4

-sr

-6

-7

r> CN

Рисунок II6d - Сообщение о включении источников напряжения после запуска измерений

П6.4 В результате измерения в окне программы Setup & measurement будет отображен показанный на рисунке Пбе график. Оси для правильного отображения результатов измерений следует выбрать в соответствующих вкладках X и Y так, как обозначены величины в соответствующей таблице настоящей методики поверки.

П6.5 Файл результатов измерений в табличной форме (*.mes) можно просмотреть, выполнив следующие действия:

  • - открыть файл *.mes с помощью программы Блокнот;

  • - файл с данными можно представить и сохранить в формате Excel, для чего нужно загрузить его в ПО IVCAD (правой кнопкой мыши нажать на файл, выбрать меню «Открыть с помощью < IVCAD»), название файла появится в нижнем левом углу вкладки Data source (рисунок Пбб). Нажать правой кнопкой по файлу и выбрать Export, затем выбрать нужный формат *.csv.

Рисунок Пбе - Результаты измерений (Окно Setup & measurement)

JVCAD             :

File Took Hefp

Plug те

Measurement svsterr:

,       - Measurement

> SSSSS

i                  snreepptan -лЛ-setup)

; ii Hecswearo»

l    't  vsuffizatcr

:    *  TootlOX

  • ■     >■  -tocdr-g

  • ■    4  Sup ting

’     •  Other

ПК

: V' Setup & measurement

Setuj ^ремдеггслН Sweep Plan

So*"1**- ; Chronogram ■ CWmaxc sroteges < C^bratcn t Meastremcnt option» i Fae manager

Vector Network Analyser

trigger Source

Prober

Рисунок n6d - Вкладка IVCAD Data source

МП AmCAD-2016. 24.06.2016

стр. 42 из 42

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель