Методика поверки «ГСИ. Системы лазерные измерительные серии SJ6000» (МП 2511/0006-2019)
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
![Методика поверки. ГСИ. Системы лазерные измерительные серии SJ6000. ОЕИ Аналитика](mp_html/1141149679658a2bbabd725_files/1141149679658a2bbabd725-1.jpg)
Ь17
2017
УТВЕРЖДАЮ ФГУП Менделеева» Пронин А.Н.
Государственная система обеспечения единства измерений
Системы лазерные измерительные серии SJ6000
Методика поверки
МП 2511/0006-2019![Методика поверки. ГСИ. Системы лазерные измерительные серии SJ6000. ОЕИ Аналитика](mp_html/1141149679658a2bbabd725_files/1141149679658a2bbabd725-2.jpg)
(подпись)
оводитель отдела
герМетрических измерений
Н.А. Кононова
Санкт-Петербург 2019 г.
1. Общие положения1.1 Настоящая методика распространяется на системы лазерные измерительные серии SJ6000 (далее системы), изготовленные компанией «Chotest Technology Inc.», Китайская Народная Республика, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.
-
1.2. Интервал между поверками - 1 год.
-
2.1. При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1
Наименование операции |
№ п. МП |
Проведение операции при поверке | |
Первичной |
Периодической | ||
Внешний осмотр |
4.1 |
+ |
+ |
Опробование |
4.2 |
+ |
+ |
Подтверждение соответствия программного обеспечения |
4.3 |
+ |
+ |
Определение длины волны в вакууме лазерного излучения |
4.4 |
+ |
+ |
Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных перемещений |
4.5 |
+ |
+ |
Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений угловых перемещений* |
4.6 |
+ |
+ |
* - Только для систем с комплектом оптических элементов для измерений угловых перемещений
Допускается проведение поверки в неполном объеме в зависимости от комплектации системы.
Методикой поверки предусмотрена возможность проведения поверки для меньшего числа измеряемых величин.
-
2.2. При проведении поверки системы должны применяться средства измерений, указанные в таблице 2.
Таблица 2
Номер пункта методики поверки |
Наименование эталонного средства измерения или вспомогательного средства поверки, номер документа регламентирующего технические требования, метрологические и основные технические характеристики |
4.4 |
Государственный первичный эталон единицы длины - метра ГЭТ 2-2010. |
4.5 |
Государственный первичный эталон единицы длины - метра ГЭТ 2-2010. |
4.6 |
Стол поворотный цифровой СПЦ-383, регистрационный номер в ФИФ по ОЕИ 56458-14. |
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
-
2.3. Требования безопасности.
При проведении поверки необходимо соблюдать требования безопасности, приведенные в эксплуатационной документации на средства поверки и поверяемую систему.
-
2.4. Условия поверки.
-
2.4.1. При проведении поверки должны соблюдаться условия, соответствующие рабочим условиям эксплуатации эталонных и поверяемых средств измерений.
-
3.1. Перед проведением поверки необходимо ознакомиться с технической документацией компании «Chotest Technology Inc.», Китайская Народная Республика.
-
3.2. Выдержать систему и средства поверки не менее 3 часов при условиях, указанных выше.
-
3.3. Подготовить систему к работе в соответствии с требованиями эксплуатационной документации.
-
3.4. Подготовить средства поверки к работе в соответствии с эксплуатационной документацией на них.
-
4. Проведение поверки
При внешнем осмотре должно быть установлено следующее:
-
- комплектность систем соответствует руководству по эксплуатации;
-
- отсутствуют механических повреждения, влияющие на правильность функционирования и метрологические характеристики;
-
- маркировка соответствует руководству по эксплуатации.
При опробовании проверяют функционирование систем в соответствии с требованиями, изложенными в руководстве по эксплуатации.
Для этого собирают оптическую схему системы, подключают ноутбук с программным обеспечением и блок измерений параметров окружающей среды. Включают питание системы и проверяют наличие лазерного излучения. Включают компьютер, запускают программное обеспечение ChotestLaser SJ6000. Проводят юстировку в соответствии с руководством по эксплуатации, а затем в рабочем окне программы запускают процесс измерений. Плавно перемещая отражатель вдоль оси измерения, проверяют, что в рабочем окне программы изменяется значение измеряемого перемещения.
4.3. Подтверждение соответствия программного обеспеченияДля идентификации программного обеспечения (далее ПО) систему включают в соответствии с руководством по эксплуатации. Идентификацию ПО проводят по номеру версии во вкладке «Версия ПО» окна «Управление системой».
Идентификационные данные ПО должны соответствовать приведенным в таблице 3.
Таблица 3
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
Встроенное ПО |
Автономное ПО | |
Номер версии (идентификационный номер) ПО* |
2.0 |
1.0 |
* Номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице. |
Длину волны в вакууме лазерного излучения определяют с помощью He-Ne/h лазера, стабилизированного по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127, и установки для измерения разности частот источников лазерного излучения из состава Государственного первичного эталона единицы длины - метра ГЭТ 2-2010 (далее ГЭТ 2-2010).
Для этого лазерный блок устанавливают на оптический стол, включают оборудование в соответствии с эксплуатационной документацией и проводят юстировку согласно схеме системы гетеродинирования, приведенной на рисунке 1.
![Методика поверки. ГСИ. Системы лазерные измерительные серии SJ6000. ОЕИ Аналитика](mp_html/1141149679658a2bbabd725_files/1141149679658a2bbabd725-3.jpg)
1 - He-Ne/h лазера, стабилизированного по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127; 2 - лазерной блок поверяемой системы; 3 - полупрозрачное зеркало; 4 - зеркало; 5 - фотоприемное устройство; 6 - частотомер; 7 - анализатор спектра
Рисунок 1 - Схема системы гетеродинирования
После включения и юстировки необходимо выдержать оборудование во включенном состоянии в течение времени, указанного в эксплуатационной документации, но не менее 30 минут.
После прогрева источников лазерного излучения в режиме стабилизации частоты добиться при помощи юстировки положения зеркал наибольшего значения амплитуды сигнала разностной частоты на экране анализатора спектра. Провести измерения разностной частоты А/»снимая показания с частотомера.
Значение частоты лазерного излучения системы определяют по формуле
/... = /»,+АГ. О)где - значение частоты источника лазерного излучения из состава.
Длину волны в вакууме лазерного излучения системы Лпов вычисляют по формуле
А».-у-. (2)
J нов
где с=299792458 м/с - скорость света в вакууме.
Длина волны лазерного излучения должна соответствовать значению, указанному во вкладке «Параметры системы» окна «Управление системой».
4.5. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных перемещенийАбсолютную погрешность измерений линейных перемещений определяют с помощью компаратора лазерного интерференционного тридцатиметрового из состава ГЭТ 2-2010. Для этого необходимо выполнить следующие операции.
-
4.5.1. Лазерный блок установить на неподвижном основании компаратора лазерного интерференционного тридцатиметрового, входящего в состав 2-2010 (далее компаратора), таким образом, чтобы излучение лазерного блока проходило вдоль оси компаратора.
-
4.5.2. Подвижный отражатель (для линейных перемещений) закрепить на каретке компаратора.
-
4.5.3. В соответствии с руководством по эксплуатации, собрать оптическую схему и подготовить систему для выполнения измерений линейных перемещений.
-
4.5.4. Провести одновременно, при помощи компаратора и системы, измерения перемещений в следующих точках диапазона или близким к ним: 0,1; 0,5; 1; 5; 10; 20; 30 м.
-
4.5.5. Определить абсолютную погрешность измерений линейных перемещений Ду для каждого из значений, указанных в п. 4.5.4, по формуле
дх = О)
где Хиз.» - значение линейного перемещения, измеренное системой;
Хэт - значение линейного перемещения, измеренное компаратором.
Абсолютная погрешность измерений линейных перемещений не должна превышать ±(0,02+0,5 L) мкм, где L - измеренное перемещение, м.
4.6. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений угловых перемещенийАбсолютную погрешность измерений угловых перемещений определяют с помощью стола поворотного. Для этого необходимо выполнить следующие операции.
-
4.6.1. Закрепить подвижный отражатель системы на столе поворотном.
-
4.6.2. Лазерный блок установить на неподвижном основании на расстоянии (1±0,1) м от оси стола поворотного.
-
4.6.3. В соответствии с руководством по эксплуатации собрать оптическую схему и подготовить систему для выполнения угловых измерений.
-
4.6.4. Провести одновременно, при помощи стола поворотного и системы, измерение угловых перемещений в следующих точках диапазона измерений или близким к ним: ±2°; ±4°; ±6°; ±8°; ±10°.
-
4.6.5. Определить абсолютную погрешность измерений угловых перемещений Да для каждого из значений, указанных в п. 4.6.4, по формуле
д« (4)
где аизм- значение углового перемещения, измеренное системой;
азт- значение углового перемещения, измеренное с помощью стола поворотного.
Абсолютная погрешность измерений угловых перемещений не должна превышать ±(0,002 Я+0,1+0,25 •£)", где L - расстояние от лазерного блока до отражателя, м, R - измеренное перемещение, секунды.
5. Оформление результатов поверкиРезультаты поверки системы оформляются протоколом установленной формы (приложение А). В случае положительных результатов выдается свидетельство о поверке. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
В случае отрицательных результатов по любому из вышеперечисленных пунктов система признается непригодной к применению. На нее выдается извещение о непригодности с указанием причин.
Приложение А Форма протокола поверки (рекомендуемая)
Протокол №__________
Система лазерная измерительная серии SJ6000, зав. №________________________
Дата поверки___________________________________________________________
Методика поверки_______________________________________________________
Средства поверки Наименование средств поверки, заводские номера___________________________
Условия проведения поверки
Температура окружающего воздуха________________________________________
Относительная влажность воздуха__________________________________________
Атмосферное давление________________________________________________
Результаты поверки
-
1. Внешний осмотр___________________________________________________
-
2. Опробование______________________________________________________
-
3. Результаты идентификации ПО
Номер версии ПО___________________________________
-
4. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных перемещений
Таблица 1. Результаты поверки
Поверяемая точка диапазона, м |
Абсолютная погрешность измерений линейных перемещений, мкм |
0-0,1 | |
0-0,5 | |
• • • | |
0-30,0 |
5. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений угловых перемещений
Таблица 2. Результаты поверки
Поверяемая точка диапазона, градусы |
Абсолютная погрешность измерений угловых перемещений, угловые секунды |
+10 | |
+8 | |
• • • | |
-8 | |
-10 |
Система лазерная измерительная серии SJ6000, зав._____________________
(годен, не годен, указать причины)
Поверитель__________________________________ _____________
(фамилия, имя, отчество) (подпись)
6