Методика поверки «ГСИ. Системы лазерные измерительные XM-60, XM-600» (МП 2511-0004-2020)

Методика поверки

Тип документа

ГСИ. Системы лазерные измерительные XM-60, XM-600

Наименование

МП 2511-0004-2020

Обозначение документа

ВНИИМ им. Д.И. Менделеева

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

директора . Менделеева» А.Н.

УТВЕРЖДАЮ

г.

Государственная система обеспечения единства измерений Системы лазерные измерительные ХМ-60, ХМ-600

Методика поверки

МП 2511-0004-2020

Руководитель отдела геометрических измерений

________Н.А. Кононова

(подпись)

Ведущий инженер отдела геометрических измерений

З.В. Фомкина

Санкт-Петербург

2020

1. Общие положения

1.1 Настоящая методика распространяется на системы лазерные измерительные ХМ-60, ХМ-600 (далее системы), изготовленные компанией «Renishaw pic.», Великобритания, и устанавливает методы и средства их первичной и периодической поверок.

2. Операции поверки
  • 2.1. При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

Наименование операции

№ п. МП

Проведение операции при поверке

Первичной

Периодической

Внешний осмотр

4.1

+

+

Опробование

4.2

+

+

Подтверждение соответствия программного обеспечения

4.3

+

+

Определение длины волны лазерного излучения

4.4

+

+

Проверка диапазона и определение абсолютной погрешности измерений линейных перемещений

4.5

+

+

Проверка диапазона и определение абсолютной погрешности измерений угловых перемещений (тангаж, рысканье)

4.6

+

+

Проверка диапазона и определение абсолютной погрешности смещения относительно продольной оси (угла поворота)

4.7

+

+

Методикой поверки предусмотрена возможность проведения поверки для меньшего числа измеряемых величин.

  • 2.2. При проведении поверки системы должны применяться средства измерений, указанные в таблице 2.

Таблица 2

Номер пункта методики поверки

Наименование эталонного средства измерения или вспомогательного средства поверки, номер документа регламентирующего технические требования, метрологические и основные технические характеристики

4.4

Государственный первичный эталон единицы длины - метра ГЭТ2.

4.5

Государственный первичный эталон единицы длины - метра ГЭТ2.

4.6

Государственный первичный эталон единицы плоского угла ГЭТ 22.

4.7

Государственный первичный эталон единицы плоского угла ГЭТ 22.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

  • 2.3. Требования безопасности.

При проведении поверки необходимо соблюдать требования безопасности, приведенные в эксплуатационной документации на средства поверки и поверяемую систему.

  • 2.4. Условия поверки.

    • 2.4.1. При проведении поверки должны соблюдаться условия, соответствующие рабочим условиям эксплуатации эталонных и поверяемых средств измерений.

3. Подготовка к проведению поверки
  • 3.1. Перед проведением поверки необходимо ознакомиться с технической документацией компании «Renishaw pic», Великобритания.

  • 3.2. Выдержать систему и средства поверки не менее 3 часов при условиях, указанных выше.

  • 3.3.  Подготовить систему к работе в соответствии с требованиями эксплуатационной документации.

  • 3.4. Подготовить средства поверки к работе в соответствии с эксплуатационной документацией на них.

  • 4. Проведение поверки

4.1. Внешний осмотр и проверка комплектности.

При внешнем осмотре должно быть установлено следующее:

  • -     комплектность систем соответствует руководству по пользователя;

  • -    отсутствуют механических повреждения, влияющие на правильность функционирования и метрологические характеристики;

  • -     маркировка соответствует руководству пользователя.

4.2. Опробование

При опробовании проверяют функционирование системы в соответствии с требованиями, изложенными в руководстве пользователя.

Для этого подготавливают систему к работе, устанавливают излучатель напротив приемника, подключают ноутбук с программным обеспечением и блок измерений параметров окружающей среды. Включают питание и проверяют наличие лазерного излучения. Включают компьютер, запускают программное обеспечение Renishaw CARTO. Проводят юстировку в соответствии с руководством пользователя, а затем в рабочем окне программы запускают процесс измерений. Плавно перемещая приемник вдоль оси измерения, проверяют, что в рабочем окне программы изменяется значение измеряемого перемещения.

4.3. Подтверящение соответствия программного обеспечения

Для идентификации программного обеспечения (далее ПО) систему включают в соответствии с руководством по эксплуатации. Идентификацию ПО проводят по номеру версии в окне «О программе».

Идентификационные данные ПО должны соответствовать приведенным в таблице 3.

Таблица 3

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Renishaw CARTO

Номер версии (идентификационный номер) ПО*

4.1 SP1

* Номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице.

4.4. Определение длины волны лазерного излучения
  • 4.4.1. Длину волны в вакууме лазерного излучения He-Ne лазера определяют с помощью He-Ne/h лазера, стабилизированного по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127, и установки для измерения разности частот источников лазерного излучения из состава Государственного первичного эталона единицы длины — метра ТЭТ 2 (далее ТЭТ 2).

Для этого излучатель устанавливают на оптический стол, включают оборудование в соответствии с эксплуатационной документацией и проводят юстировку согласно схеме системы гетеродинирования, приведенной на рисунке 1.

1 - He-Ne/h лазера, стабилизированного по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде 127; 2 - излучатель поверяемой системы; 3 - полупрозрачное зеркало; 4 — зеркало; 5 - фотоприемное устройство; 6 - частотомер; 7 — анализатор спектра

Рисунок 1 - Схема системы гетеродинирования

После включения и юстировки необходимо выдержать оборудование во включенном состоянии в течение времени, указанного в эксплуатационной документации, но не менее 30 минут.

После прогрева источников лазерного излучения в режиме стабилизации частоты добиться при помощи юстировки положения зеркал наибольшего значения амплитуды сигнала разностной частоты на экране анализатора спектра. Провести измерения разностной частоты А/, снимая показания с частотомера.

Значение частоты лазерного излучения системы определяют по формуле

(3)

где f,m значение частоты источника лазерного излучения из состава.

Длину волны в вакууме лазерного излучения системы Ллов вычисляют по формуле

Л,,.—,               (4)

J пов

где £=299792458 м/с - скорость света в вакууме.

  • 4.4.2. Длину волны светодиода определяют с помощью ГЭТ 2 по п. 4.4.1.

4.5. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных перемещений

Диапазон и абсолютную погрешность измерений линейных перемещений определяют с помощью компаратора лазерного интерференционного тридцатиметрового из состава Государственного первичного эталона единицы длины -метра ГЭТ 2-2010. Для этого необходимо выполнить следующие операции.

  • 4.5.1. Излучатель установить на неподвижном основании компаратора лазерного интерференционного тридцатиметрового, входящего в состав Государственного первичного эталона единицы длины - метра ГЭТ 2-2010 (далее компаратора), таким образом, чтобы излучение проходило вдоль оси компаратора.

  • 4.5.2. Приемник системы закрепить на каретке компаратора.

  • 4.5.3. В соответствии с руководством пользователя подготовить систему для выполнения измерений линейных перемещений.

  • 4.5.4. Провести одновременно, при помощи компаратора и системы, измерения перемещений в следующих точках диапазона или близким к ним: 0,1; 0,5; 1; 2; 3; 4.

  • 4.5.5. Определить абсолютную погрешность измерений линейных перемещений Ду для каждого из значений, указанных в п. 4.5.4, по формуле

(1)

где Хизм - значение линейного перемещения, измеренное системой;

Хэт значение линейного перемещения, измеренное компаратором.

Диапазон измерений линейных перемещений должен составлять от 0 до 4 м. Абсолютная погрешность измерений линейных перемещений не должна превышать значений, указанных в таблице 4.

Таблица 4

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных перемещений (с компенсацией изменения параметров окружающей среды), мкм

  • - в диапазоне от 0 до 0,04 м

  • - в диапазоне от 0,04 до 4 м

±0,02

±0,5 L

(L - измеренное перемещение в

метрах)

4.6. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений угловых перемещений (тангаж, рысканье)

Диапазон и абсолютную погрешность измерений угловых перемещений определяют с помощью стола поворотного из состава Государственного первичного эталона единицы плоского угла ГЭТ 22 (далее стола поворотного). Для этого необходимо выполнить следующие операции.

  • 4.6.1. Закрепить приемник системы с отражателями на столе поворотном таким образом, чтобы измерение угловых перемещений осуществлялось относительно поперечной оси (тангаж).

  • 4.6.2.  Излучатель установить на неподвижном основании на расстоянии (1±0,1) м от оси стола поворотного.

  • 4.6.3. В соответствии с руководством пользователя подготовить систему для выполнения угловых измерений.

  • 4.6.4. Провести одновременно, при помощи стола поворотного и системы, измерение угловых перемещений в следующих точках диапазона измерений или близким к ним: ±1”, ±5", ±10”, ±20", ±30", ±40", ±50", ±60", ±70", ±80", ±90", ±100".

  • 4.6.5. Определить абсолютную погрешность измерений угловых перемещений (тангаж) Ад для каждого из значений, указанных в п. 4.6.4, по формуле

(2)

где аизл1- значение углового перемещения (тангаж), измеренное системой;

осэт- значение углового перемещения, измеренное с помощью стола поворотного.

  • 4.6.6. Закрепить приемник системы с отражателями на столе поворотном таким образом, чтобы измерение угловых перемещений осуществлялось относительно вертикальной оси (рысканье).

  • 4.6.7.  Излучатель установить на неподвижном основании на расстоянии (1±0,1) м от оси стола поворотного.

  • 4.6.8. В соответствии с руководством пользователя подготовить систему для выполнения угловых измерений.

  • 4.6.9. Провести одновременно, при помощи стола поворотного и системы, измерение угловых перемещений в следующих точках диапазона измерений или близким к ним: ±1", ±5", ±10", ±20", ±30", ±40", ±50", ±60", ±70", ±80", ±90", ±100".

  • 4.6.10. Определить абсолютную погрешность измерений угловых перемещений (рысканье) Ад для каждого из значений, указанных в п. 4.6.9, по формуле, приведенной в п. 4.6.5.

Диапазон измерений угловых перемещений (тангаж, рысканье) должен составлять ± 100".

Абсолютная погрешность измерений угловых перемещений (тангаж, рысканье) не должна превышать значений, указанных в таблице 5.

Таблица 5

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений угловых перемещений (тангаж, рысканье), угловые секунды

±(0,006 А±0,1±0,02М)

(М - расстояние от излучателя до приемника в метрах,

А - угловое перемещение в угловых секундах)

4.7. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений смещений относительно продольной оси (угла поворота)

Диапазон и абсолютную погрешность измерений угловых смещений относительно продольной оси (угла поворота) определяют с помощью автоколлиматора из состава Государственного первичного эталона единицы плоского угла ТЭТ 22 (далее стола поворотного). Для этого необходимо выполнить следующие операции.

  • 4.7.1. На приемнике системы закрепить плоское зеркало.

  • 4.7.2. Излучатель установить на неподвижном основании.

  • 4.7.3. В соответствии с руководством пользователя подготовить систему для выполнения угловых измерений.

  • 4.7.4. Задавая угловые смещения относительно продольной оси в следующих точках диапазона измерений или близким к ним: ±1", ±5", ±10", ±20", ±30", ±40", ±50", ±60", ±70", ±80", ±90", ±100", провести одновременные измерения угловых смещений при помощи автоколлиматора и системы.

  • 4.7.5. Определить абсолютную погрешность измерений угловых смещений относительно продольной оси (угла поворота) Аа для каждого из значений, указанных в п. 4.7.4, по формуле

А -а — а .                (3)

где аизЛ1- значение углового перемещения, измеренное системой;

аэт- значение углового перемещения, измеренное с помощью автоколлиматора.

Диапазон измерений угловых смещений относительно продольной оси (угла поворота) должен составлять ± 100".

Абсолютная погрешность измерений угловых смещений относительно продольной оси (угла поворота) не должна превышать значений, указанных в таблице 6.

Таблица 6

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений смещений относительно продольной оси (угла поворота), угловые секунды

±(0,01 А± 1,82)

(А - угловое смещение в угловых секундах)

5. Оформление результатов поверки

Результаты поверки системы оформляются протоколом установленной формы (приложение А). В случае положительных результатов выдается свидетельство о поверке. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

В случае отрицательных результатов по любому из вышеперечисленных пунктов система признается непригодной к применению. На нее выдается извещение о непригодности с указанием причин.

Приложение А Форма протокола поверки (рекомендуемая)

Протокол №__________

Система лазерная измерительная__________, зав. №______________________

Дата поверки_____________________________________________________________

Методика поверки_____________________________________________________

Средства поверки Наименование средств поверки, заводские номера____________________________

Условия проведения поверки

Температура окружающего воздуха________________________________________

Относительная влажность воздуха__________________________________________

Атмосферное давление_________________________________________________

Результаты поверки

  • 1.    Внешний осмотр___________________________________

  • 2.    Опробование___________________________________________________

  • 3.    Результаты идентификации ПО

Номер версии ПО___________________________________

  • 4.    Длина волны в вакууме лазерного излучения He-Ne лазера___________

Длина волны лазерного излучения светодиода__________________

  • 5.  Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений линейных перемещений

Таблица 1. Результаты поверки__________________________________________________

Поверяемая точка диапазона, м

Абсолютная погрешность измерений линейных перемещений, мкм

6. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений угловых перемещений (тангаж, рысканье)

Таблица 2. Результаты поверки__________________________________________________

Поверяемая точка диапазона, градусы

Абсолютная погрешность измерений угловых перемещений, угловые секунды

7. Определение диапазона и абсолютной погрешности измерений смещений относительно продольной оси (угла поворота)

Таблица 3. Результаты поверки__________________________________________________

Поверяемая точка диапазона, градусы

Абсолютная погрешность измерений угловых перемещений, угловые секунды

Система лазерная измерительная________, зав.______________________

(годен, не годен, указать причины)

Поверитель__________________________________ _______________

(фамилия, имя, отчество)                                 (подпись)

8

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель