Номер по Госреестру СИ: 52087-12
52087-12 Профилометр оптический
(TMS-100)
Назначение средства измерений:
Профилометр оптический TMS-100 (далее - профилометр) предназначен для бесконтактных измерений высоты профиля поверхности плоских шероховатых и/или отражающих объектов, а также для измерения расстояния между двумя или более плоскими поверхностями, разнесенными по высоте до 70 мм.
Внешний вид.
Профилометр оптический
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 141821
ID в реестре СИ - 364221
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - Фирма "Polytec GmbH"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2393 от 2020.12.31 О внесении изменений в описание типа на систему измерений количества нефтепродукта (СИКНП-5) для отгрузки на ОАО "Хабаровсккрайгаз"
№1694 от 2022.07.11 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Природный и сжиженные газы" (ТК 052)
№2591 от 2022.10.17 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (17)
№1060 от 2023.05.22 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
№1747 от 2023.08.28 ПРИКАЗ О внесении изменений в сведения об утвержденных типах СИ (7)
№2179 от 2023.10.16 ПРИКАЗ О внесении изменений в сведения об утвержденных типах СИ (12)
№140 от 2024.01.19 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
Наличие аналогов СИ: Профилометр оптический (TMS-100)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|---|
|
52087-12 Профилометр оптический (TMS-100) Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
87394-22 Микроскопы интерференционные ("НаноСкан-01") Общество с ограниченной ответственностью "Электростекло" (ООО "Электростекло") (РОССИЯ г. Москва) |
Все средства измерений Общество с ограниченной ответственностью "Электростекло" (ООО "Электростекло")
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
40108-08 23.11.2023 |
Виброметры цифровые портативные, PDV-100 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
2 года | |
|
45464-10 01.08.2015 |
Виброметры лазерные, HSV 2000 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
2 года |
|
52087-12 |
Профилометр оптический, TMS-100 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
59637-15 |
Анализатор, MSA-500 TD Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
61873-15 02.10.2026 |
Виброметры сканирующие, PSV-500 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
61874-15 02.10.2026 |
Виброметры лазерные, RSV-150 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67893-17 19.06.2022 |
Виброметры, HSV-100 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
2 года |
|
69449-17 23.11.2022 |
Виброметры, OFV-5000-S Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
2 года |
|
73006-18 |
Виброметр, OFV-5000 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
2 года |
|
83930-21 07.12.2026 |
Виброметры лазерные универсальные, VibroFlex Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
2 года |
|
85532-22 11.05.2027 |
Виброметры лазерные портативные, VibroGo VGO-200 Фирма "Polytec GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
2 года |
Отчет "Анализ рынка поверки организаций Воронежской области" предоставляет исчерпывающую информацию об организациях, оказывающих услуги поверки с местом осуществления деятельности Воронеж и Воронежская область.
Параметры исследований:
- фильтр по работающим в регионе организациям-поверителям по данным ФСА и ФГИС АРШИН
- объемы первичных и периодических поверок за период 2017г. по н.в.
- фильтр по местам осуществления деятельности
- предоставление информации в графическом и табличном видах
- детальное рассмотрение деятельности каждой из организаций региона по годам
- анализ в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений
- количество поверок по типам СИ в динамике по годам
- перечень эталонов организаций с отображением нагрузки на эталон в динамике по дням
- индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей
- анализ цен на поверку СИ по региону
Кто поверяет Микроскопы интерференционные ("НаноСкан-01")
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Микроскопы интерференционные ("НаноСкан-01")
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Для управления профилометром используется оригинальное программное обеспечение TMS, разработанное для операционной системы Microsoft Windows XP (Vista).
Программное обеспечение является защищенным: системный блок персонального компьютера оборудован закрывающейся на замок панелью, при входе в программное обеспечение необходимо ввести логин и пароль. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления программного обеспечения производятся производителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям. Программное обеспечение является открытой системой. Программное обеспечение соответствует EN ISO 13485 и FDA QSR и содержит алгоритм расчета профиля поверхности по данным, измеренным профилометром, изменить алгоритм может только производитель.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1:
Таблица 1
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификацио нное наименование Программного обеспечения |
Номер версии (идентификаци онный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
|
Topography Measurement System |
TMS Software |
2.1 |
0x03b43cae |
CRC-32 |
Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений«Профилометр оптический TMS-100. Руководство по эксплуатации» глава 4 «Выполнение измерений» и «Система измерения топографии (TMS) Версия 2.1. Руководство по программному обеспечению» глава 4 «Выполнение измерений».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометрам оптическим TMS-100Техническая документация фирмы “Polytec GmbH”, Германия
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «Профилометры оптические TMS-100. Методика поверки МП 42.Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 24 февраля 2012 г.
Основные средства поверки:
1 Меры длины штриховые, класс точности 5 по ГОСТ 12069-90.
- Метрологические характеристики :
- Номинальная длина 60мм
- Допускаемое отклонение от номинального значения меры 22,0 мкм
2 Меры длины концевые плоскопараллельные, класс точности 1 по ГОСТ 9038-90
|
Номинальные значения длины концевых мер, мм |
Допускаемые отклонения длины от номинального значения, мкм |
|
Св. 0,9 до 10 |
± 0,20 |
|
Св. 10 до 25 |
± 0,30 |
|
Св. 25 до 50 |
± 0,40 |
3 Вторичный эталон ВЭТ 113-2-09 (Рабочий эталон в области измерения параметров шероховатости поверхности в составе трех мер высоты неровности и меры периода и глубины профиля поверхности).
Метрологические характеристики:
-
- Номинальное значение высоты ступеньки 1,781 мкм
-
- Расширенная неопределенность аттестованного значения высоты ступеньки 0,011 мкм
Изготовитель
Фирма “Polytec GmbH”, ГерманияPolytec Platz 1-7,
76337 Waldbronn, Germany
Тел.: +49 (0) 7243 604-0 Факс: +49 (0) 7243 69944
info@polytec.de
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Новатест» (ООО «Новатест»)Адрес: 141401, Московская область, г. Химки, Ленинский проспект, д. 1, корп. 2
Тел./Факс: +7 (495) 788-55-23, (495) 788-55-24
e-mail: info@novatest.ru
http://novatest.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат аккредитации государственного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия профилометра основан на интерференции белого света, отраженного от объекта и опорного зеркала. Профилометр является вертикально сканирующим интерферометром белого света. Оптическая часть профилометра выполнена по схеме интерферометра Майкельсона с использованием широкого параллельного пучка света и телецентрической оптической системы для построения изображения объекта. В предметное плечо интерферометра устанавливается исследуемый объект. Только для тех точек объекта, для которых оптическая длина пути излучения совпадает с оптической длиной пути в опорном плече интерферометра, создается контрастная интерференционная картина. Для остальных точек объекта контраст полос резко падает, т.к. используется источник света с малой длиной когерентности (источник белого света). Далее вся оптическая система профилометра перемещается в вертикальном направлении z, перпендикулярном плоскости (x, y) расположения образца, и последовательно плоскость за плоскостью сканирует объект по высоте. Так как в профилометре используются параллельные пучки света и телецентрическая оптическая система с малой числовой апертурой, то он может измерять объекты только с небольшими градиентами профиля поверхности. Однако за счет прецизионной системы перемещения интерферометра по вертикали профилометр позволяет измерять высоту объектов типа «ступеньки» с высокой точностью и в большом динамическом диапазоне.
Информация, зарегистрированная видеокамерой, в оцифрованном виде поступает в персональный компьютер (ПЭВМ), где с помощью программы TMS производится ее автоматическая обработка. Результаты измерений в виде двумерных (или трехмерных) профилей исследуемых объектов, псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на мониторе компьютера.
Видеоизображение объекта отображается на экране жидкокристаллического монитора в режиме реального времени, что позволяет настроить область измерения непосредственно на данном видеоизображении. Все настройки выполняются в программе TMS, установленной на персональном компьютере.
Конструктивно профилометр выполнен из трех элементов: интерферометра (оптическая система профилометра), персонального или промышленного компьютера (в зависимости от комплекта поставки) и жидкокристаллического монитора. Основным элементом профилометра является интерферометр, выполненный в виде стационарного настольного прибора, подключаемого к персональному компьютеру. В зависимости от предметного столика, которым комплектуется интерферометр возможны две конфигурации прибора: стандартная (предметный столик не имеет подвижек и занимает всю область наблюдения) и конфигурация с системой ХУ-позиционирования (применяется двухкоординатный предметный столик, с направляющими вдоль осей х и у), что позволяет выполнять измерения более крупных объектов с последующей программной склейкой полученных результатов измерений. Управление прибором осуществляется с помощью программного обеспечения, установленного в персональный компьютер.
Рисунок 1 - Внешний вид профилометра оптического TMS-100
/гС'А'СГС /
®- / / г--. ■ Ё'1’
QlihltE^.i IJ=L
-L4"' 7—- "*£>"
/
Место нанесения маркировки : -■ ■
Место пломбирования
1 - Предупреждающая метка прибора; 2 - Сетевые тумблеры; 3 - Сетевой разъем (розетка для стандартного шнура питания со встроенными предохранителями ); 4 - Идентификационная метка (На идентификационной метке кроме прочей информации находится серийный номер прибора); 5 - Интерфейс USB (Universal Serial Bus, type B); 6 - Интерфейс IEEE-1394 CAMERA (подключение FireWire).
Рисунок 2 - Профилометр вид сзади
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Интерферометр TMS-100 |
1 |
|
Компьютер (настольный или промышленный) |
1 |
|
Устройства управления и ввода информации (манипулятор мышь, клавиатура) |
1 |
|
ЖК монитор |
1 |
|
сетевой кабель для подключения монитора |
1 |
|
сетевой кабель |
2 |
|
Программное обеспечениеTMS |
1 |
|
Электронный ключ (Dongle) |
1 |
|
Кабель USB |
1 |
|
Кабель IEEE-1394 FireWire |
1 |
|
Планка M4 |
4 |
|
Испытательный объект Polytec |
1 |
|
Торцевой ключ (размер 2 мм) |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
профилометров приведены в таблице 2. Таблица 2
|
Наименование характеристики прибора |
Значение |
|
Диапазон измерения линейных размеров по высоте вдоль оси Z, мм |
0 - 70 |
|
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по высоте вдоль оси Z, мкм: (Н0.005 мм; |
0.5 |
|
0.005^0.05 мм; |
4.0 |
|
0.05^70 мм |
7.5 |
|
Диапазоны измерения линейных размеров в поперечном сечении XY. мм - изображение регистрируется камерой scA 640 |
38 х 28 |
|
- изображение регистрируется камерой scA 1000 |
37 х 28 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров в поперечном сечении XY. мкм - изображение регистрируется камерой scA 640 |
± 58 |
|
- изображение регистрируется камерой scA 1000 |
± 36 |
|
Рабочая длина волны. нм |
525 |
|
Габаритные размеры интерферометра. мм. не более |
580 х 340 х 372 |
|
Масса интерферометра. кг. не более |
30 |
|
Потребляемая мощность. Вт. не более |
40 |
|
Напряжение питания. В |
(100 - 240) ± 10 % |
|
при частоте. Гц |
50/60 |
|
Условия эксплуатации: - диапазон температур окружающей среды. °С |
5 - 35 |
|
- диапазон относительной влажности воздуха. % |
35 - 85 |
|
- диапазон атмосферного давления. кПа |
75 - 106 |
Лист № 4 Всего листов 5