Основным узлом датчика является элемент чувствительный (ЧЭ), который состоит из кристалла, соединенного электростатическим способом со стеклянной шайбой в вакууме. Внутри ЧЭ между кристаллом и стеклянной шайбой находится вакуумированная полость, обеспечивающая измерение абсолютных давлений. ЧЭ с помощью эпоксидного клея ВК-9 жестко крепится на колодке контактной.

Кристалл выполнен в виде квадрата, с центральной тонкой частью, обеспечивающей измерение давлений, и представляет собой монокристалл кремния. На рабочей части кристалла методом диффузии сформированы тензорезисторы, объединенные в мостовую цепь. На периферийной части кристалла методом ионной имплантации сформирован терморезистор.

Металлическая мембрана приварена к корпусу аргонодуговой сваркой и обеспечивает герметичность датчика со стороны измеряемой среды и работоспособность в агрессивных средах. Соединение контактных площадок тензомоста кристалла осуществляется золотыми проводниками, которые развариваются на площадки кристалла и на выводы колодки контактной. Выводы колодки контактной гальванически изолированы от корпуса. В колодку контактную впаяна трубка, через которую осуществляется заполнение внутренней полости датчика жидкостью, осуществляющей передачу давления от металлической мембраны к кристаллу. После заполнения жидкостью трубка обжимается и заваривается. На выводы колодки контактной установлена плата с резисторами для балансировки и термокомпенсации, которая изолирована от окружающей среды с помощью кожуха и клея. Датчик оканчивается гибкими выводами из проводов, которые распаяны на плату.

Датчик крепится к изделию сваркой. Материалы датчика, контактирующие с измеряемой средой, устойчивы к агрессивным средам.

Датчик неремонтируемый, в процессе эксплуатации не обслуживается.

Внешний вид датчика приведен на рисунке 1.

Схема пломбирования приведена на рисунке 2.

Рисунок 1 - Внешний вид датчика ДАЭ 107

Индекс и порядковый номер исполнения датчиков с диапазоном измерения представлены в таблице

В комплект поставки входят: датчик давления ДАЭ 107, формуляр СДАИ.406239.151 ФО, руководство по эксплуатации СДАИ.406239.151 РЭ, инструкция по входному контролю СДАИ.406239.151 И11.

Диапазоны измерений, МПа (кгс/см²)............................................................... 0 - 0,049 (0 - 0,5)

0 - 0,588 (0 - 6) 0 - 0,98 (0 - 10)

0 - 24,5 (0 - 250) Основная приведенная погрешность датчика в НКУ при доверительной веро-

ятности 0,8, %, не более .................................................................................. 1,5

Напряжение питания, В.................................................................. 5,0±0,1

Электрическое сопротивление диагоналей мостовой схемы, Ом, не более

• - между выводами 1 и 3 ....................................................................................... от 400 до 2000

• - между выводами 2 и 4 ....................................................................................... от 400 до 1500

Значение выходного сигнала в НКУ при номинальном значении измеряемого

давления, мВ.................................................................................................. 100±10

Значение выходного сигнала в НКУ при номинальном значении измеряемого

давления для диапазона от 0 до 0,049 МПа, мВ................................. от 30 до 50 мВ

Значение начального выходного сигнала при нулевом значении измеряемого

давления при воздействии на датчик температуры от минус 50 до +50°С, мВ, не более

Коэффициент изменения чувствительности при воздействии на датчик темпе-

ратуры от минус 50 до +50°С, %/°С, не более

Электрическое сопротивление изоляции цепей, МОм, не менее

• - при температуре (25±10)°С и относительной влажности до 80%

• - при температуре 50°С и относительной влажности до 80%

Масса датчика, г, не более

Габаритные размеры, (максимальный диаметр х максимальная длина без кабеля), мм                                                                        19.1х55

Рабочие условия, °С...................................................... от минус 50 до +50

Примечание - НКУ - нормальные климатические условия, характеризующиеся по ГОСТ 15150-69 температурой воздуха от 15°С до 35°С, относительной влажностью воздуха от 45% до 80%, атмосферным давлением от 86 до 106 кПа (от 645 до 795 мм рт.ст.), при этом при температуре воздуха выше 30⁰С относительная влажность не должна превышать 70%.