Методика поверки «Профилометры оптические Contour GT-K» (МП 043.М1-15)

УТВЕРЖДАЮ

Заместитель директора

ФГУП «ВНИИОФИ»

Методика поверки

МП043.М1-15

• 4 fi.&'dQGO-lS Главный метро ФГУП «

  

  С.Н. Негода

  »

«Ж»            2015 г.

Москва 2015 г.

Настоящая методика поверки распространяется на профилометры оптические ContourGT-K (далее по тексту - профилометры), предназначенные для измерений линейных размеров и проведения бесконтактного неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов, и устанавливает операции при проведении их первичной и периодической поверок.

Интервал между поверками - 1 год.

• 2.1 При проведении первичной и периодической поверок выполняются операции,

  2.3 Поверку средств измерений осуществляют аккредитованные в установленном порядке в области обеспечения единства измерений юридические лица и индивидуальные предприниматели.

указанные в таблице 1. Таблица 1

2.2 При получении отрицательных результатов при проведении хотя бы одной операции поверка прекращается.

• 3.1 При проведении первичной и периодической поверок применяются средства

поверки, указанные в таблице 2. Таблица 2

• 3.2 Средства поверки, указанные в таблице 2, должны быть поверены и аттестованы в установленном порядке. Допускается также применение других средств, не приведенных в таблице 2, но обеспечивающих определение (контроль) метрологических характеристик поверяемых приборов с требуемой точностью.

• 4.1  К работе с профилометрами допускаются лица, изучившие настоящую методику поверки и Руководство по эксплуатации профилометров и средств поверки, имеющие квалификационную группу не ниже III в соответствии с правилами по охране труда и эксплуатации электроустановок, указанных в приложении к приказу Министерства труда и социальной защиты РФ от 24.07.13 № 328Н.

• 5.1  Профилометры должны устанавливаться в закрытых взрыво- и пожаробезопасных лабораторных помещениях, оборудованных вытяжной вентиляцией и удовлетворяющих требованиям санитарных норм и правил. При проведении поверки следует соблюдать требования, установленные ГОСТ Р 12.1.031-2010, ГОСТ 12.1.040-83, правилами по охране труда и эксплуатации электроустановок, указанных в приложении к приказу Министерства труда и социальной защиты РФ от 24.07.13 № 328Н. Оборудование, применяемое при испытаниях, должно соответствовать требованиям ГОСТ 12.2.003-91. Воздух рабочей зоны должен соответствовать ГОСТ 12.1.005-88 при температуре помещения, соответствующей условиям испытаний для легких физических работ.

• 5.2 Система электрического питания профилометров должна быть защищена от колебаний и пиков сетевого напряжения, искровые генераторы не должны устанавливаться вблизи приборов. Чтобы избежать физических повреждений и/или ущерба имуществу, шнуры питания профилометров оборудованы плавким предохранителем. Подключайте штепсель этого шнура только к заземленной электророзетке.

• 5.3 При проведении поверки должны соблюдаться требования, указанные в «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», утвержденных Госэнергонадзором, а также требования руководства по эксплуатации профилометров.

• 5.4 Помещение, в котором проводится поверка, должно соответствовать требованиям пожарной безопасности по ГОСТ 12.1.004-91 и иметь средства пожаротушения по ГОСТ 12.4.009-83.

• 6.1 При проведении поверки влияющие факторы окружающей среды должны быть в следующих пределах:

• - температура окружающего воздуха                       20 ± 3 °C;

• - относительная влажность, не более                        80 %;

• - атмосферное давление                                  100 ±4 кПа;

• - напряжение питающей сети                              220В;

• - частота питающей сети                                   60 Гц.

• 6.2 Профилометры не должны подвергаться прямому воздействию солнечных лучей. Не ставьте их около окна.

• 6.3 В помещении не допускаются посторонние источники излучения, мощные переменные электрические и магнитные поля.

• 6.4 Рядом с профилометрами не должно быть источников тепла, таких как газовая горелка, электронагреватель, печь и т.п. Допускаемый перепад температуры в течение суток - не более 2 °C.

• 7.1 Перед началом работы с профилометрами внимательно изучите руководство по эксплуатации профилометров, а также ознакомьтесь с правилами подключения прибора см. рисунок 1.

• 7.2 Все меры, используемые при испытаниях, выдерживают в условиях, согласно п.6.1, не менее 2 ч. Извлечь поочередно все меры из футляров и осмотреть их для выявления внешних повреждений (царапин, сколов и других дефектов) и загрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от частиц пыли струей очищенного и осушенного воздуха.

• 7.3 Подключить профилометры к персональному компьютеру согласно схеме, указанной на рисунке 1.

  

Рисунок 1 - Схема подключения профилометра к персональному компьютеру: 1 -профилометр оптический; 2 - интерфейсный блок; 3 - системный блок; 4 - монитор

• 7.4 Снять с профилометров защитную пленку.

• 7.5 Включите профилометры в сеть.

• 7.6 Подождите примерно 10 секунд, затем включите компьютер и запустите Windows.

• 7.7 Щелкните мышью на иконке Vision64 на рабочем столе. Запуск программы может занять несколько минут (см. рисунок 2).

Рисунок 2 - Заставка программы Vision64

• 8 Проведение поверки

• 8.1.1 При проведении внешнего осмотра должно быть установлено:

• - соответствие комплекта поставки профилометров данным, приведенным в описании типа;

• - отсутствие механических повреждений всех составных частей профилометров;

• - отсутствие механических повреждений соединительных кабелей и сетевых разъемов;

• - наличие маркировки на корпусе прибора.

• 8.1.2 Профилометры считается прошедшими операцию поверки, если корпус, внешние элементы, органы управления не повреждены, отсутствуют механические повреждения и ослабления элементов конструкции, маркировка и комплектность соответствуют требованиям НТД.

• 8.2.1 В соответствии с требованиями руководства по эксплуатации профилометров привести профилометры в рабочее состояние, а именно: снять защитный кожух с устройства, включить питание и запустить персональный компьютер При наличии неисправности хотя бы в одном из компонентов системы, модуль запуска программного обеспечения выдаст ошибку.

• 8.2.2 При опробовании проверяется фактическая работа следующих систем профилометров (проверка осуществляется с помощью ПО профилометров), запустив программу Vision64:

• - инициализация системы получения изображения;

• - инициализация системы пиломной камеры;

• - инициализация системы привода сканера;

• - инициализация системы позиционирования предметного столика;

• - инициализация системы Smart Motor MoutionControl;

-для систем с автоматизированным столиком предусмотрено подтверждение инициализации (см. рисунок 3): «Сканер будет опущен на 3,5 мм от текущего положения вниз, убедитесь в наличии достаточного количества пространства между объективом и образцом во избежание повреждения, что там ничего нет». Так же перед началом передвижения предметного стола необходимо дать подтверждение: «Система горизонтального позиционирования готова к инициализации, нажать ОК для подтверждения инициализации, для отмены «Cancel» (см. рисунок 4);

-инициализация системы "MotionSystems "; -инициализация системы оптических инструментов;

Рисунок 3- Сообщение о необходимости поднятия столика

Operator Prompt

Information

The XY Stage is about to initialize

Piess OK to continue and initialize.

Press Cancel to skip initialization.

Рисунок 4- Сообщение о начале калибровки столика

-проверить появление интерференционных полос совместно с попаданием в фокус образца, это осуществляется в настройках Advanced Setap, вкладка Enable Parcentricity Enable Parocality (см. рисунок 5).

XI ■ ■ N » 41 *< 5SE ^43  . - Q

Ma Autofocus Auto AutoT^Hft Percentndty Cattmte Advanced Pattern Windows Reset Copy To ^: t Help •lysis • intensity Adjust* Setup System Setup Finding •       ’ Cliptoard*           *

Рисунок 5 - Калибровка положения объектива при его смене

• 8.2.3 Установить меру объект-микрометр ОМО/ОМП на стол профилометров.

• 8.2.4 Измерить шкалу меры, используя режим измерения интенсивности измерительного сигнала.

• 8.2.5 Внимательно подвести сканирующую головку по оси Z так, чтобы нижний край объектива был на несколько миллиметров выше поверхности ступеньки, но не более фокусного расстояния объектива.

• 8.2.6 Выбрать режим измерения VSI в рабочем поле программы (см. рисунок 6).

  Measurement		M
  •	taeraity    ’
  tr	Rim
  X	PSI
  	PSS
  	Simulated	A
  	VSI/VX1
  	a: fzou мт

Y: 1710.9 pm     М

Lateral Sampling М 3.564 мт     М

Рисунок 6 - Панель выбора режимов измерения

• 8.2.7 Опускайтесь по оси Z до тех пор, пока измеряемая часть меры не будет сфокусирована.

• 8.2.8 Переместите образец по горизонтали, управляя X-Y-столиком так, чтобы в поле зрения попала шкала объект-микрометра ОМО/ОМП (см. рисунок 7).

• 8.2.9 Отрегулируйте наклон столика до получения 3-5 интерференционных полос.

• 8.2.10 Нажмите кнопку Measure (Измерение).

• 8.2.11 Профилометры считаются прошедшими операцию поверки, если все этапы настройки пройдены без сообщений об ошибках.

8.3.1Проверяют соответствие идентификационных данных программного обеспечения сведениям, приведенным в описании типа на профилометры.

• 8.3.2 Для просмотра идентификационных данных программного обеспечения профилометров необходимо в ПО Vision64 открыть раскрывающееся меню Help --> about Vision.

• 8.3.3 Профилометры признаются прошедшим операцию поверки, если идентификационные данные программного обеспечения соответствуют значениям, приведенным в таблице 3.

Таблица 3

• 8.4 Определение метрологических характеристик

• 8.4.1.1 Провести измерения согласно пп. 8.2.3 - 8.2.10 5 раз. Каждый раз при смене объективов внимательно следить за количеством интерференционных полос, общее количество объективов определяется перемножением количества линз на объективы исходя из комплекта поставки, а также избегать перенасыщения датчика интенсивности видеокамеры, т.к. это приведет к искажению измерений. После каждой смены объектива проверять соответствие выбранного объектива/линзы в программе Vision и объектива/линзы в турели.

• 8.4.1.2 На полученном 2D снимке девять раз измерить расстояние между соседними штрихами в пикселях и записать в таблицу 3.

  

Рисунок 7 - Изображение объект-микрометр ОМО/ОМП

• 8.4.1.3 Во вкладке анализа данных Data Analisis щелкнуть на Data (см. рисунок 8).

• 8.4.1.4 В окне Analysis toolbox выбрать 3D filter нажав левой кнопкой мыши на Data modify

  ОМвАм^мг                 <Х

  Тз $ О О Default Analyzer

  

  л V$111:2925 AM

  a Surface Height -> вой

  *’^r Data Restore

  * ** Statistic Filter

  a "* Terms Removal (F-Operator) Ц S Parameters - Height Data Modification

a Grayscale Data

■ Image

Рисунок 8 - Поле Data Analisis

• 8.4.1.5 Перейти в панель Data Analysis, нажать правой кнопкой мыши на значок Data Modification. В появившемся диалоговом окне выбрать Edit Settings левой кнопкой мыши, после чего откроется окно Data Modification Settings (см. рисунок 9)

  

  Рисунок 9 - Поле Data Modification Settings

  • 8.4.1.6 Кликнуть левой клавишей на начало измеряемой величины узнаем ее координаты в пикселях, кликнуть левой клавишей на конец измеряемой величины получаем ее координату в пикселях. Вычитаем по модулю значения координат по осям X и Y по формулам 1 и 2 и записываем результат в таблицу 4.

  Х=Х1-Х₂

  где, X]- первоначальная точка отсчета;

  Х₂- конечная точка отсчета.

(1)

Y=Y_rY₂

где, Y]- первоначальная точка отсчета;

Y₂- конечная точка отсчета.

• 8.4.1.7 Рассчитать поле зрения L, мкм по формуле (3). Все поле зрение, согласно информации, указанной в паспорте на профилометры, принимаем за 640x480 pixel по оси ХУ.

  (3)

к

где, Т- измеряемое количество периодов меры, мкм

Р - все поле зрения, pixel

К - количество пикселей в определяемой величине, шт.

• 8.4.1.8 Рассчитать среднее квадратическое отклонение (S) значений координат по оси X по формуле 4.

<⁴>

• 8.4.1.9 Рассчитать относительное среднее квадратическое отклонение (S%) по формуле (5) и записать результат в таблицу 4.

S% =^- * 100%            (5)

Хср

Х_ср-среднее значение о пяти измеренным значениям

• 8.4.1.10 Рассчитать среднее квадратическое отклонение (S) значений координат по оси Y по формуле (6).

^S=<°'n-'₁"^{Y)i                         (6)}

• 4.9.11 Рассчитать относительное среднее квадратическое отклонение (S%) по формуле (7) и записать результат в таблицу 4.

S% =^- * 100%            (7)

Х_ср-среднее значение о пяти измеренным значениям

Таблица 4

8.4.1.10 Поворачиваем объекта микрометра ОМП/ОМО на 90° градусов, после чего повторяем пункты 8.4.1.1 - 8.4.19.

• 8.4.2 Определение диапазона измерения и пределов допускаемой относительной погрешности измерения линейных размеров по горизонтали (оси X, Y)

  • 8.4.2.1 Измерения осуществляют по двум осям X и Y для каждого объектива. Для простоты работы, измерения необходимо начинать с объективов с наименьшими увеличением.

  • 8.4.2.2 Положить меру на объект-микрометр ОМО/ОМП произвести измерения для объективов с увеличениями 2,5х, 5х, 10х, Их, 20х, после чего заменить ее на меру периода линейная TGZ3 стол профилометра, ориентировать по предполагаемому направлению сканирования.

  • 8.4.2.3 Для объектива 2,5х необходимо выбрать в выпадающей вкладке метод вертикальной сканирующей интерферометрии (VXI) выставить настройки (см. рисунок 10). Для всех остальных объективов используется режим (VSI), в котором необходимо выставить соответствующие настройки (см. рисунок 11).

    Мемшелмп!	Ыеавм1Мн1Вамта1ак	...... ..................	. - . - ж
    • | VS/VM    -1	Scan Options
    VI    5Х     .|	Speed      IX	□ Home Scanner After Measurement
    X    35 X    •	Bacfcscan       10	Based On      50     % of Pixels pm
    k ......................-I			•ГОГ" Тор
    	Length        10	pm	From Bottom
    MfiiTuramcnt ftrai
    	Threshold      4	%
    X: 2285.fi pm
    ¥: 17144 pm
    	Illumination
    Lateral Sam рй ng 3.572 pm	Q Use Default		U Subtract
    	| Green	’1
    Settings
    	Averaging
    	О Average    2	Measurements
    	Autoscan
    . ■ .S i .1 ■          !•     . V. .	3 Enabled
    ’ ' l ' '■ "' Г<л	End scan      10	pm after	50      % of data collected
    	Processing Method
    More Settings	Type[ wa     -	Resolution	j Standard * |                                   [
    | mhm—< _ ~1		SNR Threshold         0
    	Advanced Options		▼
    	Stitching

Рисунок 10 - Настройки для измерения латерального разрешения объективом 2,5х

Scan Options

Speed I ЗХ * | D home Sanner After Measurement

AcuitvXR             SNR Threshold

Рисунок 11 - Настройки для измерения латерального разрешения

• 8.4.2.4 Опускайтесь по оси Z до тех пор, пока измеряемая часть меры не будет сфокусирована.

• 8.4.2.5 Переместите меру периода линейную TGZ3 по горизонтали, управляя X-Y-столиком так, чтобы в поле зрения попала шкала измеряемого объекта.

• 8.4.2.6 Отрегулируйте наклон столика до получения 3-5 интерференционных полос (см. рисунок 12).

  

Рисунок 12 - Изображение интерференционных полос

• 8.4.2.7 Нажмите кнопку Measure (Измерение).

• 8.4.2.8 Для усреднения полученных значений в поле «3D Filter» выбираем «Statistic Filter» производя по вкладке клик правой кнопкой мыши (см. рисунок 13)

~Т Data FIN

Data Flattening

Data Modification

**■ Data Restore

T Fourier Filter

*T Gaussian Regression Fitter

Mask Data

Microform

Remove Modal Tilt

T Statistic Filter

~r Threshold ~T Trim Pixels

Рисунок 13 - Изображение поля «3D Filter»

• 8.4.2.9 После этого вкладка «Statistic Filter» появиться в графе «Data Analyzer». Нажать правой кнопкой мыши по вкладке «Data Analyzer». Далее правой кнопкой мыши, в выпадающем окне нажать «Edit Settings» (см. рисунок 14).

wwwtxukir.com

a Surface Height

■ Data

a Intensity Image a ■intensity

Delete Branch

Insert Tool            ►

Edit Settings

Рисунок 14 - Изображение поля «Data Analyzer»

• 8.4.2.10 В появившемся окне «Statistic Filter Settings» во вкладке «Filter Туре», кликнуть левой кнопкой мыши по выпадающей вкладке и выбрать «Median» (см. рисунок 15).

  

  Рисунок 15 - Изображение поля «Statistic Filter Settings»

• 8.4.2.11 Произвести аппроксимацию результатов измерений на профиле. Выбрать выпадающую вкладку «Plot Mode», далее щелкнуть левой клавишей мыши на «Polyline Profile» (см. рисунок 16).

  

Рисунок 16 - Настройки для аппроксимации профиля меры

• 8.4.2.12 На полученном 2D снимке строят 5 профилей поверхности. Используя мышь, произвести щелчок левой клавишей на месте начала построения профиля, а также клик на месте окончания построения профиля.

• 8.4.2.13 Далее произвести еще два снимка со сдвигом 5 микрон по измеряемой оси (см. рисунок 17).

  

О 10    20    30    40    50    60

pm

Рисунок 17 - Изображение ориентации меры TGZ

• 8.4.2.14 Измерить значение периодов меры периода линейной TGZ3 осуществляется в трех точках: 3 мкм, 30 мкм, третья точка для каждого объектива определяется индивидуально см. таблица 5.

Измерить значение периодов меры объект-микрометр 0М0/0МП осуществляется в трех точках: 100 мкм, 200 мкм, третья точка для каждого объектива определяется индивидуально см. таблица 5.

Таблица 5

• 8.4.2.15 Рассчитать случайную составляющую погрешности S(X), по формуле 8:

  S(X) =

  (8)

(« - 1) '

где X_t - измеренное значение величины;

X - среднее арифметическое из ряда наблюдений; п - число измерений.

• 8.4.2.16 Рассчитать неисключенную систематическую составляющую погрешности по формуле 9:

’        ,                                                                    (9)

где 0ц - доверительная граница неисключенной систематической погрешности определяется, как разность действительного и среднего значения меры;

012 ^_ границы Гой систематической составляющей меры, находится в паспорте на меру;

К - коэффициент, к= 1,1 при доверительной вероятности Р=0,95.

• 8.4.2.17 Рассчитать доверительные границы случайной составляющей погрешности оценки измеряемой величины, по формуле 10:

S = tS{X),                             (10)

t - квантиль нормального распределения Стьюдента , для (п-1)=14, где п =15. t=2,145 по ГОСТ 8.736-2011.

• 8.4.2.18 рассчитать суммарное СКО по формуле 11:

9

• 8.4.2.19 Рассчитать коэффициент К, по формуле 12:

к =        ^{£ + в}_г

9

• 8.4.2.20 Рассчитать пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по горизонтали, по формуле 13:

Az=^_z,                                       (13)

• 8.4.2.21 Рассчитать суммарный предел допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров для диапазона измерения, по формуле 14:

N

д = ^—, N

где N - количество точек в диапазоне измерений, (N=3);

А - среднее значение длинны меры;

А. - значение i-oro предела допускаемой абсолютной погрешности.

• 8.4.2.22 Относительную погрешность измерения линейных размеров по горизонтали рассчитать по формуле 15:

А %=т-т------------- * 100%

Действительное значение

• 8.4.2.23 Профилометры признаются прошедшими операцию поверки, если диапазон измерения линейных размеров по горизонтали соответствует указанному в таблице 6, а значение относительной погрешности измерения линейных размеров по горизонтали не превышает значений, указанных в таблице 6.

Таблица 6

• 8.4.3.1  Для определения диапазона измерений и предела допускаемой относительной погрешности измерения линейных размеров по вертикали используется комплект из трех мер SHS - 180 QC, SHS -1800 QC, SHS 1,8 QC (далее по тексту - мера). Меры используются для всех объективов. Для объективов 27,5; 40; 50; 100 крат базовая длина составляет 1 мкм, а для всех остальных объективов 10 мкм. Измерения следует производить на расстоянии не меньше 1 мкм от края ступеньки.

• 8.4.3.2 Положить меру SHS - 180 QC на стол профилометров.

• 8.4.3.3 Выставить настройки согласно рисунку 18.

  .. . - .	n            .         .
  •|И
  Scan Options
  Speed       IX	□ Home Scanner After Measurement
  Backscan      20	Based On     50     Hof Pixels pm
  Length       40	From Top H"1         From Bottom
  Threshold      4	%
  nomination	Reference
  □ Use Default	□ Subtract
  	’1 ■
  Averaging
  □ Average    2	Measurements
  Autoscan
  End scan      10	pm after      50      % of data collected
  Processing Method
  Typ.|    VX1	* | Resolution      | Standard v)

□ AcuftyXR           SNR Threshold        2

Рисунок 18 - Настройки для измерения высоты

• 8.4.3.4 Внимательно подвести сканирующую головку по оси Z так, чтобы нижний край объектива был на несколько миллиметров выше поверхности ступеньки, но не более фокусного расстояния объектива.

• 8.4.3.5 Переместите образец по горизонтали, управляя X-Y-столиком так, чтобы в поле зрения попал измеряемый объект.

• 8.4.3.6 Отрегулируйте наклон столика до получения 3-5 интерференционных полос.

• 8.4.3.7 Поставить определение интенсивности на «Auto».

• 8.4.3.8 Нажмите кнопку Measure (Измерение).

• 8.4.3.9  Вычитают наклон горизонтального участка следующим образом: используя мышь, произвести щелчок правой клавишей мыши на профиле. В выпадающем окне выбирать пункт «data leveling» на открывшееся после поле поставить галочку «Two point linear fit», затем кликнуть левой клавишей по кнопке «Calculate» и затем кликнуть «Close» (см. рисунок 19).

  

  200            300            400            500       572

  50       100      150      200      250

  И"

  Рисунок 19 - Настройки для измерения латерального разрешения

• 8.4.3.10 Произвести аппроксимацию результатов измерений. Выбрать выпадающую вкладку «Plote Mode», далее щелкнуть левой клавишей мыши на «Polyline Profile» (см. рисунок 20).

  

Рисунок 20 - Графическое изображение измеряемого объекта

• 8.4.3.11 Кликнуть на профиле правой кнопкой, затем кликнуть показать «Show Cursor Status» (см. рисунок 21).

• 8.4.3.12 Если размер измеряемой области справа и слева меньше базовой длины, необходимо передвинуть исследуемый объект относительно экрана на три базовые длины относительно горизонта.

  pm

  

  Рисунок 21 - Выбор базовой длины

• 8.4.3.13 На полученном 2D снимке строят 5 профилей поверхности. Используя мышь произвести щелчок левой клавишей на месте начала построения профиля, а также клик на месте окончания построения профиля.

• 8.4.3.14 Далее оператор производит еще два снимка со сдвигом равным полю зрения используемого объектива, для объективов с увеличением до И крат сдвиг не производится.

• 8.4.3.15 Осуществляют обработку результатов измерений аналогично п. 8.4.2.15 -8.4.2.22.

• 8.4.3.16 Заменить меру SHS - 180 QC на SHS - 1800 QC.

• 8.4.3.17 Повторить процедуры п. 8.4.3.2 - 8.4.3.15

• 4.11.18 Заменить меру SHS - 1,800 QC на SHS - 1,8 QC.

• 4.11.19 Повторить процедуры п. 8.4.3.2 - 8.4.3.15

• 4.11.20  Профилометры признаются прошедшими операцию поверки, если диапазон измерения линейных размеров по вертикали соответствует указанному в таблице 7, а значение относительной погрешности измерений линейных размеров по

вертикали не превышает значений, указанных в таблице 7.

Таблица 7

• 8.4.4.1 Установить меру профильную ПРО-10 на стол профилометра.

• 8.4.4.2 Необходимо начинать с объектива с максимальным увеличением, исходя из комплекта поставки профилометров, и постепенно переходить к объективам с меньшим увеличением.

• 8.4.4.3 Выполнить пункты 8.2.4 - 8.2.11.

• 8.4.4.4 Задать базовую длину 0,08 мм кликнув по значку с двумя шестеренками, выбрать значение Ra и Rz (см. рисунок 22).

• 8.4.4.5 После измерения параметров сканирования для получения корректных результатов параметров шероховатости Ra, Rz необходимо отключить и включить инструмент измерения параметров шероховатости, см. рисунок 22. Кликнуть правой кнопкой мыши по пиктограмме с двумя шестерёнками, далее поставить галочку «Apply Filter» и кликнуть левой кнопкой мыши «ОК».

• 8.4.4.6 Абсолютная погрешность измерения шероховатости ARa и ARz для профиля, близкого к трапецеидальному, с шагом, не превышающим Хв (отсечка шага), при измерении параметров шероховатости поверхности RaB.n. (верхний предел поддиапазона,) определяют по формулам 16 и 17:

ARa=0,02* ARaB.n. + 0,04xRa             (16)

ARz=0,02* ARaB.n. + 0,04*Rz             (17)

где RaB.n. - верхний предел шероховатости поддиапазона, равен паспортному значению меры на заданной длине;

Ra - измеренное значение шероховатости;

Rz - измеренное значение шероховатости.

Number Sampling Lengths 5 PSm, RSm, and WSm Settings Height Discrimination ю Spacing Discrimination 1

^7! Auto Select

% Rz

% Sampling length

Mat

I

Рисунок 22 - Выбор параметров шероховатости

• 8.4.4.7 Профилометры признаются прошедшими операцию поверки, если диапазон измерения шероховатости (высотных параметров Ra, Rz) составляет 0,014-0,18 мкм, а значение абсолютной погрешности измерений шероховатости (высотных параметров Ra, Rz) не превышает ± (0,004 - 0,0011) мкм

9 Оформление результатов поверки

• 9.1 Профилометры, прошедшие поверку с положительным результатом, признаются годными и допускаются к применению. На них выдаётся свидетельство о поверке установленной формы с указанием полученных по п.п. 8.4.1 - 8.4.4 фактических значений метрологических характеристик профилометров и наносят знак поверки (место нанесения указано в описании типа) согласно Приказу Министерства промышленности и торговли Российской Федерации №1815 от 02.07.2015г. «Об утверждении Порядка проведения поверки средств измерений, требования к знаку поверки и содержанию свидетельства о поверке», и профилометры допускают к эксплуатации.

• 9.2 Профилометры, прошедшие поверку с отрицательным результатом, признаются непригодными, не допускаются к применению и на них выдается извещение о непригодности с указанием причин. Свидетельство о предыдущей поверке и знак поверки аннулируют и выписывают «Извещение о непригодности» с указанием причин в соответствии с требованиями Приказа Министерства промышленности и торговли Российской Федерации №1815 от 02.07.2015г.

И. О. Начазьник лаборатории М-1

ФГУП «ВНИИОФИ» м.н.с. лаборатории М-1

ФГУП «ВНИИОФИ»

К.Н. Миньков

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 к Методике поверки МП 043.М1-15 «Профилометры оптические ContourGT-K»

ПРОТОКОЛ

первичной / периодической поверки от «_______»_____________201__года

Средство измерений: Профилометры оптические ContourGT-K_______________

(Наименование СИ, тип (если в состав СИ входит несколько автономных блоков

то приводят их перечень (наименования) и типы с разделением знаком «косая дробь» /)

Зав. №__________№/№_________________________________________

Заводские номера блоков

Принадлежащее______________________________ ______________________

Наименование юридического лица, ИНН

Поверено в соответствии с методикой поверки «ГСП. Профилометры оптические

ContourGT-K. Методика поверки МП 043.М1-15 », утвержденной ФГУП «ВНИИОФИ» 01.08.2015г.______________________{_}'

“                          Наименование документа на поверку, кем утвержден (согласован), дата

С применением эталонов ____________________________________ _______

(наименование, заводской номер, разряд, класс точности или погрешность)

При следующих значениях влияющих факторов:

(приводят перечень и значения влияющих факторов, нормированных в методике поверки)

• - температура окружающего воздуха                            (20 ± 3) °C;

• - относительная влажность                                     не более 80 %;

• - атмосферное давление                                         (100 ± 4) кПа;

Получены результаты поверки метрологических характеристик:

Рекомендации__________________________________________________________

Средство измерений признать пригодным (или непригодным) для применения

Исполнители:______________________________________________________________

_________________________________________подписи, ФИО, должность

20