Методика поверки «ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки» ( МИ 140-89)

Утверждаю Зам. генерального директора НПО «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

В.А. Щеглов 19.12.1988 г.

РЕКОМЕНДАЦИЯ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

ВАКУУММЕТРЫ

Методика поверки

МИ 140-89

Дата введения 01.07.89 г.

• 1. РАЗРАБОТАНА И ВНЕСЕНА Государственным комитетом СССР по стандартам ИСПОЛНИТЕЛИ С.М. Бородицкая (руководитель темы), В.В. Кузьмин, к.т.н.

• 2. УТВЕРЖДЕНА НПО «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»

• 3. ЗАРЕГИСТРИРОВАНА ВНИИМС

• 4. ВЗАМЕН МИ 140-77

Настоящая рекомендация распространяется на вакуумметры по ГОСТ 27758, а также на вакуумметрические преобразователи давления (далее - преобразователи) и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

Поверку вакуумметров проводят комплектно и, в обоснованных случаях, поэлементно. Индивидуальная градуировка вакуумметров должна производиться комплектно.

• 1.1. При проведении поверки должны быть выполнены следующие операции: внешний осмотр (п. 6.1.);

опробование (п. 6.2.);

проверка технических параметров (п. 6.3.); определение метрологических характеристик (п. 6.5.).

• 2.1. При проведении поверки должны быть применены средства, указанные в табл. 1.

Таблица 1

• 2.2. Образцовая вакуумметрическая установка должна удовлетворять требованиям, указанным в приложении 1.

• 3.1. К проведению измерений при поверке и обработке их результатов допускают лиц, получивших квалификацию поверителя в ВИСМ и (или) прошедших необходимое обучение в головной или базовой организации Госстандарта СССР или в ведомственной метрологической службе (по разрешению Госстандарта СССР).

• 4.1. При проведении поверки должны соблюдаться требования безопасности, содержащиеся в ТД на поверочную аппаратуру и поверяемые вакуумметры (преобразователи).

• 5.1. При проведении поверки должны быть соблюдены условия, соответствующие требованиям ГОСТ 8.395.

• 5.2. Перед проведением поверки должны быть выполнены подготовительные работы в соответствии с ТД на поверяемый вакуумметр (преобразователь).

• 5.3. Проверить состояние и комплектность эксплуатационных документов к поверяемому вакуумметру (преобразователю).

• 5.4. Проверить выполнение предложений и замечаний по заключению предыдущей поверки (по свидетельству).

• 6. Проведение поверки

При внешнем осмотре должно быть установлено соответствие поверяемого средства измерений следующим требованиям.

• 6.1.1. Отсутствие механических повреждений и дефектов, влияющих на работу вакуумметра (преобразователя).

• 6.1.2. Комплектность вакуумметра (преобразователя) в соответствии с эксплуатационной документацией.

• 6.1.3. Соответствие маркировки вакуумметра (преобразователя) требованиям ТД.

• 6.1.4. Правильность обозначений на шкалах и органах управления вакуумметра в соответствии с его ТД .

• 6.1.5. При несоответствии требованиям пп. 6.1.1.-6.1.4. вакуумметр (преобразователь) к дальнейшей проверке не допускается.

При опробовании должна быть проверена возможность выполнения следующих действий, соответствующих его эксплуатационной документации.

• 6.2.1. Работоспособность средства измерений при подаче электропитания для всех рабочих режимов.

• 6.2.2. Работоспособность органов управления и регулирования режимов, а также прочность их крепления, фиксация и коммутация их положений.

• 6.2.3. Работоспособность и правильность защитной и аварийной сигнализации.

• 6.2.4. При несоответствии требованиям пп. 6.2.1.-6.2.3. вакуумметр (преобразователь) к дальнейшей проверке не допускается.

• 6.3.1. При проверке технических параметров поверяемого средства измерений должно быть установлено соответствие параметров режимов измерений (электрических напряжений, токов, сопротивлений, магнитных индукций, напряженностей полей и т.д.) и параметров блокировочных, защитных, сигнализирующих и др. устройств требованиям, задаваемым к вакуумметру (преобразователю). Содержание и последовательность операций поверки, необходимые СИ, вспомогательные средства измерений и схемы их соединений определяются в ТД к вакуумметру (преобразователю). При неудовлетворительных результатах проверки вакуумметр (преобразователь) к дальнейшему проведению проверки не допускается.

• 6.4. Подготовить к работе поверяемый и образцовый вакуумметры в соответствии с их эксплуатационной документацией, включая необходимую настройку (калибровку) приборов.

• 6.5. Определение метрологических характеристик - диапазона измерения (преобразования) давлений и основной относительной погрешности измерения (преобразования). При определении метрологических характеристик поверяемого средства измерений должны быть выполнены следующие операции.

  • 6.5.1. Присоединить поверяемый преобразователь к образцовой вакуумметрической установке, обеспечивающей получение остаточного давления в соответствии с п. 6.5.5. и регулирование давлений в пределах диапазона измерений поверяемого вакуумметра. Закрытый преобразователь следует присоединить к камере возможно более короткой трубкой с поперечным сечением не менее, чем у штенгеля преобразователя, и проводимостью не менее 3^10^-3 м³/с. Ориентация преобразователя в пространстве должна учитывать указания, имеющиеся в соответствующей ТД. Проверить герметичность присоединения.

  • 6.5.2. Преобразователи образцового и поверяемого вакуумметров должны быть расположены на камере симметрично относительно ее откачивающего отверстия.

Примечание. В технически обоснованных случаях допускается иное взаимное расположение образцовых и рабочих вакуумметров (преобразователей), обеспечивающее необходимую точность поверки.

• 6.5.3. Установленные на камере преобразователи должны быть отдалены друг от друга настолько, чтобы создаваемые в них электрические, магнитные и другие поля не воздействовали заметно друг на друга: при отключении каждого из преобразователей от измерительного блока сигналы любых других средств измерений не изменяются.

• 6.5.4. Общее число одновременно поверяемых вакуумметров не ограничено, если соблюдаются требования п. 3 приложения 1 и пп. 6.5.2, 6.5.3.

• 6.5.5. Откачать измерительную камеру образцовой вакуумметрической установки до предельного остаточного давления Р_о, связанного с нижним пределом P_min диапазона измерения (преобразования) поверяемого (градуируемого) вакуумметра (преобразователя) соотношением

Ро = а Pmin,

где а - коэффициент, значение которого выбирается по таблице 2.

Таблица 2

В необходимых случаях измерительную камеру и преобразователь следует прогревать. Способы и режимы прогрева должны быть указаны в ТД установки и вакуумметра (преобразователя).

• 6.5.6. С помощью натекателя осуществить регулируемую подачу газа в измерительную камеру. В диапазоне давлений Pmin - Pmax (Pmax - верхний предел диапазона измерений (или преобразования) поверяемого (градуируемого) вакуумметра (преобразователя) дискретно устанавливать поверочные (градуировочные) точки, располагая их в порядке возрастания давления с интенсивностью не менее трех точек - при поверке и пяти точек - при индивидуальной градуировке в пределах каждой декады давлений диапазона измерения (преобразования). Поверку (градуировку) вакуумметров (преобразователей) производить во всем диапазоне измерений.

• 6.5.7. Поверку вакуумметров, не воздействующих на давление и состав остаточного газа (например, тепловых и деформационных вакуумметров) при давлениях выше 1^10^-2 Па допускается производить в статическом режиме, т.е. без откачки камеры в момент установления измеряемого давления. В остальных случаях поверку следует выполнять в динамическом режиме, т. е. при непрерывной откачке камеры.

• 6.5.8. После установления в каждой поверочной (градуировочной) точке постоянства давления, фиксируемого по неизменности (в пределах, не превышающих 0,3 относительной погрешности) показаний образцового вакуумметра в течение 30 с - при поверке и 1 мин - при индивидуальной градуировке, зарегистрировать одновременно показания обоих приборов. Измерения производить в соответствии с указаниями, содержащимися в ТД к ним. При поверке многоканального вакуумметра отсчитывать показания по всем каналам последовательно. При поверке вакуумметра, метрологические характеристики которого нормированы по аналоговому выходу, показания отсчитывать по соответствующему внешнему прибору, подключенному к данному выходу.

• 6.5.9. При индивидуальной градуировке вакуумметров, воздействующих на состав и давление остаточного газа (например, ионизационных и магниторазрядных вакуумметров), в комплекте с закрытыми преобразователями перед измерением следует контролировать газодинамический баланс в объеме преобразователя. Для определения быстроты S газовыделения или газопоглощения следует между преобразователем и камерой поместить «сухой» вакуумный кран, работающий без смазки, например, магнитный затвор (рекомендуемая конструкция приведена в приложении 2) и после закрытия его регистрировать изменение давления ДР (по изменению сигнала преобразователя) за измеряемый промежуток времени Дt в секундах. Быстроту 5 следует вычислять по формуле где 5 - быстрота газовыделения или газопоглощения, м³/с, V- объем преобразователя до крана, м³, Р0- начальное давление в объеме V, Па. При 5 < 10^-6 м³/с выполнять измерения по п. 6.5.8.

При 5 > 10^-6 м³/с следует выполнять необходимые технологические операции (прогрев, кратковременные импульсы повышения давления и т.д.) и вновь определить значение 5.

• 7.1. При поверке преобразователя или вакуумметра без непосредственного отсчета давлений перевести его показания, полученные по п. 6.5.8, в значения давления Р_{пов i} в соответствии с указаниями, содержащимися в их ТД.

• 7.2. Перевести показания образцового вакуумметра или образцовой вакуумметрической установки, полученные по п. 6.5.8., в значения давления Робр i в соответствии с указаниями, содержащимися в их свидетельствах об аттестации (поверке) и в их ТД.

Основная относительная погрешность S;- в процентах вычисляется по формуле

Основная относительная погрешность не должна превышать предела допускаемой основной относительной погрешности S, приведенной в ТД на поверяемое средство измерений (в специально оговариваемых в ТД на средства поверки случаях - для определенного процента градуировочных точек).

• 8.1. При |6г| £ S вакуумметр (преобразователь) признают годным к применению: результаты государственной первичной поверки оформляют отметкой в паспорте, удостоверенной подписью поверителя; результаты периодической поверки оформляют выдачей свидетельства установленной формы и (или) нанесением оттиска поверительного клейма (если прибор клеймят, указать место клеймения). В обоих случаях указывают срок следующей поверки.

• 8.2. При |6г| > S свидетельство о поверке аннулируют, клеймо гасят и выдают извещение о непригодности с указанием причин.

• 8.3. При индивидуальной градуировке вакуумметра (преобразователя) зависимость между его показаниями или значениями Рпов и давлениями Робр следует выразить в табличной, графической или аналитической форме. Для линейного вида указанной зависимости допускается вычислять соответствующие частные значения чувствительности (приведенной чувствительности) или постоянной средства измерений и среднее арифметическое этих значений. При сопоставлении его с номинальным (паспортным) значением чувствительности или постоянной относительное отклонение между ними не должно превышать заданного в ТД предела допускаемых относительных отклонений этих величин.

• 8.4. В свидетельстве о поверке, выдаваемом на индивидуально градуированный вакуумметр, помимо результатов градуировки по п. 8.3. должны быть указаны условия градуировки.

ПРИЛОЖЕНИЕ 1

Справочное

1. Состав и взаимное расположение основных элементов установки должны соответствовать приведенным на схеме.

• 2. Измерительная камера установки должна иметь форму сферы или цилиндра с диаметром не менее 0,1 м и отношением длины к диаметру 0,7-1,5.

Примечание. В технически обоснованных случаях допускается использовать камеры с иными формами и геометрическими соотношениями.

• 3. Объем измерительной камеры должен быть не менее, чем в 10 раз больше суммарного объема всех присоединенных к ней преобразователей (для закрытых преобразователей - вместе с присоединительными трубками), но не менее 2^ 10^-3 м³.

• 4. Откачными средствами образцовой вакуумметрической установки должны служить любые вакуумные насосы и агрегаты, обеспечивающие как требуемые предельные давления (см. п. 6.5.5.), так и стабильные равновесные давления в пределах диапазона измерений поверяемого вакуумметра (см. п. 6.5.6.). Должны быть приняты меры по предотвращению проникновения паров и частиц рабочих веществ насосов в измерительную камеру.

• 5. Быстрота откачки камеры должна быть не менее 0,5•IO^-2 м³/с - для давлений выше 1 • 10^-2-1 • 10^-1 Па и не менее 1 • 10^-2 м³/с - для давлений ниже 1 • 10^-2-1 • 10^-1 Па.

• 6. Подача газа (сухого воздуха, азота) из натекателя в камеру должна производиться через рассеивающее устройство, форма и расположение которого показаны на схеме.

Схема образцовой вакуумметрической установки

1 - вакуумный насос, 2 - клапан, 3 - образцовый вакуумметр, 4 - измерительная камера, 5 -натекатель, 6 - резервуар с газом, 7 - рассеивающее устройство, 8 - поверяемый вакуумметр

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Рекомендуемое

Магнитный затвор

1 - колба, 2 - подвеска, 3 - крючок, 4 - стержень, 5 - держатель, 6 - магнит

Оглавление пустое, т.к. стили абзацев, выбранных в Инспекторе документов, не использованы в документе.

6