Методика поверки «ГСИ. Микроскопы видеоизмерительные серий BM и MBZ » (МП 92-233-2018)

Методика поверки

Тип документа

ГСИ. Микроскопы видеоизмерительные серий BM и MBZ

Наименование

МП 92-233-2018

Обозначение документа

УНИИМ

Разработчик

904 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ «УРАЛЬСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ» (ФГУП «УНИИМ»)

Государственная система обеспечения единства измерений

Микроскопы видеоизмерительные серий МВ и MBZ

Методика поверки

МП 92-233-2018

Екатеринбург 2019

Разработана:

ФГУП «УНИИМ»

Исполнители:

Шимолин Ю.Р. (ФГУП «УНИИМ»)

Сафина Т.Н.    (ФГУП «УНИИМ»)

Утверждена

ФГУП «УНИИМ» «и»              201 Jr.

Введена впервые

II

Содержание

Приложение А Метрологические характеристики микроскопов видеоизмерительных

серий МВ и MBZ

III

Государственная система обеспечения единства измерений

Микроскопы видеоизмерительные серий МВ и MBZ

Методика поверки

Введена с «____»____________201 _ г.

1 ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
  • 1.1  Настоящая методика распространяется на Микроскопы видеоизмерительные серий МВ и MBZ (далее - микроскопы), предназначенные для бесконтактных и контактных измерений линейных и угловых размеров, а также взаимного расположения элементов различных деталей в прямоугольных и полярных координатах, и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

  • 1.2  Интервал между поверками - 12 месяцев.

2 НОРМАТИВНЫЕ ССЫЛКИ

2.1 В настоящей методике использованы ссылки на следующие документы:

Приказ Минпромторга России от 02.07.2015 г. № 1815

«Об утверждении Порядка проведения поверки средств измерений, требования к знаку поверки и содержанию свидетельства о поверке» (Зарегистрировано в Минюсте России 04.09.2015 № 38822)

Приказ Госстандарта от 19.01.2016 г. №22

ГОСТ 12.2.007.0-75

«Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений плоского утла»

Система стандартов безопасности труда. Изделия электротехнические. Общие требования безопасности

ГОСТ 12.3.019-80

Система стандартов безопасности труда. Испытания и измерения электрические. Общие требования безопасности

ГОСТ Р 8.763-2011

ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1 • 10"9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм

Правила по охране труда при

Приложение к приказу Министерства труда и социальной

эксплуатации электроустановок зашиты Российской Федерации № 328н от 24 июля 2013 г. с изменениями согласно приказу от 19.02.2016 г. №74н

Примечание - При использовании настоящей методики целесообразно проверить действие ссылочных документов на 1 января текущего года. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящей методикой следует руководствоваться замененным (измененным) документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то раздел, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ
  • 3.1  Первичную поверку микроскопов выполняют до ввода в эксплуатацию, а также после их ремонта.

  • 3.2  Периодическую поверку выполняют в процессе эксплуатации микроскопов по истечении интервала между поверками.

  • 3.3  При проведении первичной и периодической поверок микроскопов должны быть выполнены операции, указанные в таблице 3.1.

Таблица 3.1 - Операции поверки

Наименование операции

Пункт методики

Внешний осмотр

9.1

Опробование и проверка идентификационных данных ПО

9.2

Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений

9.3

Проверка независимости показаний от места расположения детали на предметном столе

9.3.1

Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений длины в направлении одной оси (X; Y), в плоскости двух осей (X, Y)

9.3.2

Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений длины в направлении оси Z

9.3.3

Определение абсолютной погрешности при измерении плоского угла и диапазона измерений плоского угла

9.3.4

4 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

  • 4.1 При проведении поверки должны быть использованы средства поверки, указанные в таблице 4.1.

Таблица 4.1- Средства поверки

Номер пункта методики

Наименование и тип основных и вспомогательных средств поверки, обозначение нормативного документа, регламентирующего технические требования и метрологические и основные технические характеристики средства поверки

9.2, 9.3

Термогигрометр, диапазон измерений температуры от 0 до 50 °C, Д=±0,5 °C; диапазон измерений влажности от 15 до 85 %, Д=±2,5 %

9.2, 9.3.1

Эталон единицы длины 3-го разряда по ГОСТ Р 8.763 - мера длины штриховая

9.3.2,

9.3.3

Эталон единицы длины 3-го разряда по ГОСТ Р 8.763 - мера длины штриховая

Эталон единицы длины 4-го разряда по ГОСТ Р 8.763 - меры длины концевые плоскопараллельные

9.3.4

Эталон единицы плоского угла 4-го разряда по Государственной поверочной схеме для средств измерений плоского угла, утвержденной приказом Госстандарта № 22 от 19.01.2016 г.- меры плоского угла призматические

  • 4.2  Применяемые эталоны должны быть аттестованы и должны иметь действующие свидетельства об аттестации, средства измерений должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке.

  • 4.3  Для проведения поверки допускается применение других средств поверки, не приведенных в таблице 4.1, при условии обеспечения ими необходимой точности измерений.

5 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ
  • 5.1  К проведению поверки допускаются лица, имеющие образование не ниже среднего технического, ознакомившиеся с эксплуатационной документацией на микроскопы, работающие в метрологической службе предприятия, аккредитованной на право поверки средств измерений.

6 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 6.1  При проведении поверки должны выполняться требования безопасности, указанные в эксплуатационной документации на применяемые средства поверки и поверяемое СИ, а также общие требования безопасности по ГОСТ 12.2.007.0, ГОСТ 12.3.019, правил по охране труда при эксплуатации электроустановок.

7 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ
  • 7.1  При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

  • - температура окружающего воздуха, °C                                  20±5;

  • - относительная влажность воздуха, %                               от 20 до 80;

  • - вибрация и тряска должны отсутствовать.

8 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ
  • 8.1  Перед поверкой средства поверки и поверяемый микроскоп должны бьггь выдержаны в условиях поверки не менее 2-х часов.

  • 8.2  Средства поверки и поверяемый микроскоп должны быть подготовлены к работе в соответствии с эксплуатационной документацией на них.

  • 9 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

9.1  Внешний осмотр
  • 9.1.1 При внешнем осмотре устанавливают соответствие микроскопа следующим требованиям:

  • - правильность подключения питающих и соединительных кабелей систем и персонального компьютера;

  • - отсутствие видимых внешних повреждений корпуса и рабочей поверхности подвижного предметного стола микроскопа;

  • - отсутствие загрязнений на объективе оптоэлектронного измерительного блока;

  • - наличие всех надписей маркировки.

9.2 Опробование и проверка идентификационных данных ПО
  • 9.2.1 Руководствуясь указаниями эксплуатационной документации микроскоп подготавливают к работе.

  • 9.2.2 Включают микроскоп и персональный компьютер, запускают программное обеспечение. При запуске микроскопа проверяют версию ПО и идентификационные данные ПО ProfVision, отображаемые на мониторе персонального компьютера микроскопа.

  • 9.2.3 Идентификационные данные ПО должны соответствовать данным, приведенным в

таблице 9.1.

Таблица 9.1 - Идентификационные данные ПО

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

ProfVision

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже 5.3.1.2

Цифровой идентификатор ПО

отсутствует

  • 9.2.4 Для микроскопа серии МВ проверяют вращение винтов микроподачи по осям X, Y. Проверяют плавность перемещения предметного стола микроскопа по осям X, ¥ во всем рабочем диапазоне.

  • 9.2.5 Для микроскопа серии MBZ проверяют работоспособность пульта управления микроскопом и перемещения предметного стола по осям X, Y и объектива по вертикальной оси Z во всем рабочем диапазоне.

  • 9.2.6 Проверяют работу ламп подсветки предметного стола микроскопа.

  • 9.2.7 Устанавливают на предметный стол микроскопа меру длины штриховую, проверяют фокусировку изображения измеряемой детали.

9.3 Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений
  • 9.3.1 Проверка независимости показаний от места расположения детали на предметном столе

    • 9.3.1.1 Независимость показаний микроскопа от места расположения детали на предметном столе проверяют с помощью меры длины штриховой в следующей последовательности:

а) меру длины штриховую располагают в направлении оси X на предметном столе микроскопа поочерёдно на участках 1-5 согласно рисунку 1;

Хо                  Хо/2                  Хтах

Рисунок 1 - Установка меры длины штриховой на предметном столе

б) совмещают начало отсчета с нулевым штрихом меры;

в) в каждом положении проводят измерения длин отрезков: (0-1) мм; (0-30) мм; (0-70) мм; (0-100) мм при прямом или обратном направлении движения предметного стола микроскопа;

г) находят абсолютную погрешность измерений z-x отрезков длины при разных положениях меры в направлении оси X по формуле

&xij= ^ij ~ ^Ч,                                            (1)

где Lt - действительное значение длины измеряемого /-того отрезка, мкм;

xLl - измеренное значение длины z-того отрезка в/-ом положении, мкм;

Дху - абсолютная погрешность измерения длины /-того отрезка в направлении оси X в j-ом положении, мкм;

д) аналогичные измерения и расчеты значений абсолютной погрешности измерений производят, устанавливая меру длины штриховую на участках 1-5 предметного стола, соответствующих рисунку 1, располагая ее в направлении оси Y и в плоскости двух осей (X, Y).

  • 9.3.1.2 Рассчитанные значения абсолютной погрешности измерений длины в направлении одной оси (X; Y) и в плоскости двух осей (X, Y) должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности измерений согласно таблицам A.l, А.2.

  • 9.3.2 Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений длины в направлении одной оси (X; Y), в плоскости двух осей (X, Y)

    • 9.3.2.1 Абсолютную погрешность измерений длины во всем диапазоне в направлении одной оси (X; Y), в плоскости двух осей (X, Y) определяют с помощью мер длины концевых или меры длины штриховой в следующей последовательности:

а) подготавливают пять мер длины концевых с номинальными значениями от 10 мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X до 200 мм) и от 50 мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X от 250 мм) или измеряют пять отрезков от (0-10) мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X до 200 мм) и от (0-50) мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X от 250 мм) до значения, соответствующего верхней границе диапазона измерений микроскопов по оси X;

б) устанавливают в центр предметного стола меру длины концевую или меру длины штриховую, располагая ее в направлении оси X. Измеряют значение длины меры длины концевой микроскопом при прямом и обратном направлении движения предметного стола. При использовании меры длины штриховой измеряют значение длины отрезка при прямом или обратном движении предметного стола;

в) аналогичные измерения длины проводят для остальных мер (или отрезков);

г) для каждого измеренного значения рассчитывают абсолютную погрешность измерений длины в направлении оси X:

  • - при использовании меры длины штриховой по формуле (1);

  • - при использовании мер длины концевых по формуле (2)

ДХу= Xj - I,                                               (2)

где I - действительное значение длины меры, мкм;

Xj - измеренное значение длины меры в /-ом положении, мкм;

- абсолютная погрешность измерения длины меры по оси X в /-ом положении, мкм;

д) аналогичные измерения и расчеты значений абсолютной погрешности измерений с применением мер длины концевых производят в направлении оси Y и в плоскости двух осей (X, Y).

  • 9.3.2.2 Рассчитанные значения абсолютной погрешности измерений длины в направлении одной оси (X; Y) и в плоскости двух осей (X, Y) должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности измерений согласно таблицам А. 1, А.2.

  • 9.3.3 Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений длины в направлении оси Z.

  • 9.3.3.2 Диапазон и абсолютную погрешность измерений длины в направлении оси Z определяют с помощью мер длины концевых в следующей последовательности:

а) подготавливают комплект из пяти мер длины концевых (наборов концевых мер) с номинальными значениями от 10 мм до значения, соответствующего верхней границе диапазона измерений микроскопов по оси Z;

б) в центре предметного стола устанавливают меру длины концевую с номинальным значением 10 мм, с помощью контактного датчика отмечают нулевую координату на предметном столе в направлении оси Z рядом с мерой. Затем контактным датчиком отмечают координату на середине измерительной поверхности меры длины концевой, производят измерение (снимают отсчет показаний по оси Z);

в) аналогичные измерения длины проводят для остальных мер;

г) для каждого измеренного значения рассчитывают абсолютную погрешность измерений длины в направлении оси Z по формуле

(3)

где Ц - действительное значение длины z-той меры, мкм;

Zi • измеренное значение длины z-той меры, мкм;

Д7[- абсолютная погрешность измерения длины z-той меры, мкм.

  • 9.3.3.3 Рассчитанные значения погрешностей измерений длины в направлении оси Z должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности измерений согласно таблице А.2.

  • 9.3.4 Определение абсолютной погрешности при измерении плоского угла и диапазона измерений плоского угла

    • 9.3.4.1 Диапазон и абсолютную погрешность при измерении плоского угла определяют с помощью мер плоского угла призматических в следующей последовательности:

а) подготавливают комплект мер плоского угла призматических с в диапазоне от 10° до 90°.

б) используя угловые призматические меры, производят измерения углов в диапазоне от 10° до 90° и смежных с ними углов в диапазоне от 90° до 170°. Измерения проводят не менее чем для 4 значений углов, равномерно распределенных по всему диапазону измерений. Значения абсолютных погрешностей измерений для каждого значения угла рассчитывают по формулам:

A<ri=                                                   (4)

Д(180-я0= (а180 “ aMi) ~ асмЬ                         (5)

где ам, - действительное значение z'-ro угла, воспроизводимого мерами,

а, - измеренное значение z-ro угла,

- абсолютная погрешность измерения z-го угла,

ffieo - развернутый угол (180°),

(«180 “ aMi) ■ действительное значение z-ro смежного угла,

aCMi - измеренное значение z-ro смежного угла,

Д(1во-а0 ’ абсолютная погрешность измерения z-ro смежного угла, ".

  • 9 3.4.2 Значения абсолютной погрешности при измерении плоского угла должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности согласно таблицам А. 1, А.2.

10 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
  • 10.1 Результаты поверки оформляют протоколом произвольной формы.

  • 10.2 Положительные результаты первичной и периодической поверки оформляют свидетельством о поверке в соответствии с Приказом Минпромторга России от 02.07.2015 № 1815. Знак поверки в виде оттиска поверительного клейма наносят на свидетельство о поверке.

  • 10.3 В случае отрицательных результатов поверки микроскоп признают непригодным к применению, выдают извещение о непригодности в соответствии с Приказом Минпромторга России от 02.07.2015 № 1815 с указанием причин.

    Ю.Р. Шимолин

    Т.Н. Сафина

Заведующий лабораторией 233

Ведущий инженер лаборатории 233

Приложение А

(обязательное)

Метрологические характеристики микроскопов видсоизмерительных серий МВ и MBZ

Таблица А.1 - Метрологические характеристики микроскопов видеоизмерительных серии МВ

Наименование характеристики

Значение для модифика1(ий

МВ-150

МВ-250

МВ-250 ЧПУ

МВ-300

МВ-300 ЧПУ

МВ-400

МВ-400 ЧПУ

МВ-500

МВ-500 ЧПУ

Диапазон измерении длины, мм

  • - по оси X

  • - по оси Y

от Одо 150

от Одо 100

от 0 до 250 от 0 до 150

от 0 до 300

от 0 до 200

от 0 до 400 от 0 до 300

от 0 до 500 от 0 до 400

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений длины, мкм

  • - в направлении одной оси (X; Y)

  • - в плоскости двух осей (X, Y)

±(3+17200)

±(4,5+17200)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений длины для микроскопов исполнения «Т», мкм

  • - в направлении одной оси (X, Y)

  • - в плоскости двух осей (X, Y)

±(2+17200)

±(2,9+17200)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений длины для микроскопов исполнения «ТТ», мкм

  • - в направлении одной оси (X; Y)

  • - в плоскости двух осей (X, Y)

±(1,5+17100)

±(2,5+17100)

Цена единицы наименьшего разряда при измерении длины, мм, не более

0,0001

Диапазон измерений плоского угла, °

от 0 до 360

Цена единицы наименьшего разряда при измерении плоского угла,"

1

Пределы допускаемой абсолютной погрешности при измерении плоского угла, "

±20

где L - измеряемая длина, мм

Таблица Л.2 - Метрологические характеристики микроскопов видеоизмерительных серии MBZ

Наименование характеристики

Значение для модификаций

MBZ-150

MBZ-250

MBZ-250 ЧПУ

MBZ-300

MBZ-300 ЧПУ

MBZ-400

MBZ-400 ЧПУ

MBZ-500

MBZ-500 ЧПУ

Диапазон измерений длины, мм

  • - по оси X

  • - по оси Y

  • - по оси Z

от 0 до 150 от Одо 100 от 0 до 100

от 0 до 250 от 0 до 150 от 0 до 200

от 0 до 300 от 0 до 200 от 0 до 200

от 0 до 400

от 0 до 300

от 0 до 200

от 0 до 500 от 0 до 400 от 0 до 200

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений длины, мкм

  • - в направлении одной оси (X; Y)

  • - в плоскости двух осей (X, Y)

  • - в направлении оси Z

±(3+17200) ±(4,5+17200)

±(3+17100)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений длины для микроскопов исполнения «Т», мкм

  • - в направлении одной оси (X, Y)

  • - в плоскости двух осей (X, Y)

  • - в направлении оси Z

±(2+17200) ±(2,9+17200)

±(2+17100)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений длины для микроскопов исполнения «ТТ», мкм

  • - в направлении одной оси (X; Y)

  • - в плоскости двух осей (X, Y)

  • - в направлении оси Z

±(1,5+17100) ±(2,5+17100) ±(2+17100)

Цена единицы наименьшего разряда при измерении длины, мм, не более

0,0001

Диапазон измерений плоского угла, °

от 0 до 360

Цена единицы наименьшего разряда при измерении плоского угла, "

1

Пределы допускаемой абсолютной погрешности при измерении плоского угла,"

±20

где L - измеряемая длина, мм

8

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель