Методика поверки «ГСИ. Микроскопы видеоизмерительные серий BM и MBZ » (МП 92-233-2018)

Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ «УРАЛЬСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИИ» (ФГУП «УНИИМ»)

Государственная система обеспечения единства измерений

Микроскопы видеоизмерительные серий МВ и MBZ

Методика поверки

МП 92-233-2018

Екатеринбург 2019

Введена впервые

• 1 ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

• 2 НОРМАТИВНЫЕ ССЫЛКИ

• 3 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

• 4 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

• 5 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ

• 6 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ

• 7 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ

• 8 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

• 9 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 10 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

Приложение А Метрологические характеристики микроскопов видеоизмерительных

серий МВ и MBZ

III

Государственная система обеспечения единства измерений

Микроскопы видеоизмерительные серий МВ и MBZ

Методика поверки

Введена с «____»____________201 _ г.

• 1.1  Настоящая методика распространяется на Микроскопы видеоизмерительные серий МВ и MBZ (далее - микроскопы), предназначенные для бесконтактных и контактных измерений линейных и угловых размеров, а также взаимного расположения элементов различных деталей в прямоугольных и полярных координатах, и устанавливает методы и средства первичной и периодической поверок.

• 1.2  Интервал между поверками - 12 месяцев.

2.1 В настоящей методике использованы ссылки на следующие документы:

эксплуатации электроустановок зашиты Российской Федерации № 328н от 24 июля 2013 г. с изменениями согласно приказу от 19.02.2016 г. №74н

Примечание - При использовании настоящей методики целесообразно проверить действие ссылочных документов на 1 января текущего года. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящей методикой следует руководствоваться замененным (измененным) документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то раздел, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

• 3.1  Первичную поверку микроскопов выполняют до ввода в эксплуатацию, а также после их ремонта.

• 3.2  Периодическую поверку выполняют в процессе эксплуатации микроскопов по истечении интервала между поверками.

• 3.3  При проведении первичной и периодической поверок микроскопов должны быть выполнены операции, указанные в таблице 3.1.

Таблица 3.1 - Операции поверки

4 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

• 4.1 При проведении поверки должны быть использованы средства поверки, указанные в таблице 4.1.

Таблица 4.1- Средства поверки

• 4.2  Применяемые эталоны должны быть аттестованы и должны иметь действующие свидетельства об аттестации, средства измерений должны быть поверены и иметь действующие свидетельства о поверке.

• 4.3  Для проведения поверки допускается применение других средств поверки, не приведенных в таблице 4.1, при условии обеспечения ими необходимой точности измерений.

• 5.1  К проведению поверки допускаются лица, имеющие образование не ниже среднего технического, ознакомившиеся с эксплуатационной документацией на микроскопы, работающие в метрологической службе предприятия, аккредитованной на право поверки средств измерений.

• 6.1  При проведении поверки должны выполняться требования безопасности, указанные в эксплуатационной документации на применяемые средства поверки и поверяемое СИ, а также общие требования безопасности по ГОСТ 12.2.007.0, ГОСТ 12.3.019, правил по охране труда при эксплуатации электроустановок.

• 7.1  При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

• - температура окружающего воздуха, °C                                  20±5;

• - относительная влажность воздуха, %                               от 20 до 80;

• - вибрация и тряска должны отсутствовать.

• 8.1  Перед поверкой средства поверки и поверяемый микроскоп должны бьггь выдержаны в условиях поверки не менее 2-х часов.

• 8.2  Средства поверки и поверяемый микроскоп должны быть подготовлены к работе в соответствии с эксплуатационной документацией на них.

• 9 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 9.1.1 При внешнем осмотре устанавливают соответствие микроскопа следующим требованиям:

• - правильность подключения питающих и соединительных кабелей систем и персонального компьютера;

• - отсутствие видимых внешних повреждений корпуса и рабочей поверхности подвижного предметного стола микроскопа;

• - отсутствие загрязнений на объективе оптоэлектронного измерительного блока;

• - наличие всех надписей маркировки.

• 9.2.1 Руководствуясь указаниями эксплуатационной документации микроскоп подготавливают к работе.

• 9.2.2 Включают микроскоп и персональный компьютер, запускают программное обеспечение. При запуске микроскопа проверяют версию ПО и идентификационные данные ПО ProfVision, отображаемые на мониторе персонального компьютера микроскопа.

• 9.2.3 Идентификационные данные ПО должны соответствовать данным, приведенным в

таблице 9.1.

Таблица 9.1 - Идентификационные данные ПО

• 9.2.4 Для микроскопа серии МВ проверяют вращение винтов микроподачи по осям X, Y. Проверяют плавность перемещения предметного стола микроскопа по осям X, ¥ во всем рабочем диапазоне.

• 9.2.5 Для микроскопа серии MBZ проверяют работоспособность пульта управления микроскопом и перемещения предметного стола по осям X, Y и объектива по вертикальной оси Z во всем рабочем диапазоне.

• 9.2.6 Проверяют работу ламп подсветки предметного стола микроскопа.

• 9.2.7 Устанавливают на предметный стол микроскопа меру длины штриховую, проверяют фокусировку изображения измеряемой детали.

• 9.3.1 Проверка независимости показаний от места расположения детали на предметном столе

  • 9.3.1.1 Независимость показаний микроскопа от места расположения детали на предметном столе проверяют с помощью меры длины штриховой в следующей последовательности:

а) меру длины штриховую располагают в направлении оси X на предметном столе микроскопа поочерёдно на участках 1-5 согласно рисунку 1;

Хо                  Хо/2                  Хтах

Рисунок 1 - Установка меры длины штриховой на предметном столе

б) совмещают начало отсчета с нулевым штрихом меры;

в) в каждом положении проводят измерения длин отрезков: (0-1) мм; (0-30) мм; (0-70) мм; (0-100) мм при прямом или обратном направлении движения предметного стола микроскопа;

г) находят абсолютную погрешность измерений z-x отрезков длины при разных положениях меры в направлении оси X по формуле

&xij⁼ ^ij ~ ^Ч,                                            (1)

где Lt - действительное значение длины измеряемого /-того отрезка, мкм;

x_Ll - измеренное значение длины z-того отрезка в/-ом положении, мкм;

Дху - абсолютная погрешность измерения длины /-того отрезка в направлении оси X в j-ом положении, мкм;

д) аналогичные измерения и расчеты значений абсолютной погрешности измерений производят, устанавливая меру длины штриховую на участках 1-5 предметного стола, соответствующих рисунку 1, располагая ее в направлении оси Y и в плоскости двух осей (X, Y).

• 9.3.1.2 Рассчитанные значения абсолютной погрешности измерений длины в направлении одной оси (X; Y) и в плоскости двух осей (X, Y) должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности измерений согласно таблицам A.l, А.2.

• 9.3.2 Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений длины в направлении одной оси (X; Y), в плоскости двух осей (X, Y)

  • 9.3.2.1 Абсолютную погрешность измерений длины во всем диапазоне в направлении одной оси (X; Y), в плоскости двух осей (X, Y) определяют с помощью мер длины концевых или меры длины штриховой в следующей последовательности:

а) подготавливают пять мер длины концевых с номинальными значениями от 10 мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X до 200 мм) и от 50 мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X от 250 мм) или измеряют пять отрезков от (0-10) мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X до 200 мм) и от (0-50) мм (для микроскопов с верхней границей диапазона измерений в направлении оси X от 250 мм) до значения, соответствующего верхней границе диапазона измерений микроскопов по оси X;

б) устанавливают в центр предметного стола меру длины концевую или меру длины штриховую, располагая ее в направлении оси X. Измеряют значение длины меры длины концевой микроскопом при прямом и обратном направлении движения предметного стола. При использовании меры длины штриховой измеряют значение длины отрезка при прямом или обратном движении предметного стола;

в) аналогичные измерения длины проводят для остальных мер (или отрезков);

г) для каждого измеренного значения рассчитывают абсолютную погрешность измерений длины в направлении оси X:

• - при использовании меры длины штриховой по формуле (1);

• - при использовании мер длины концевых по формуле (2)

Д_Ху= Xj - I,                                               (2)

где I - действительное значение длины меры, мкм;

Xj - измеренное значение длины меры в /-ом положении, мкм;

- абсолютная погрешность измерения длины меры по оси X в /-ом положении, мкм;

д) аналогичные измерения и расчеты значений абсолютной погрешности измерений с применением мер длины концевых производят в направлении оси Y и в плоскости двух осей (X, Y).

• 9.3.2.2 Рассчитанные значения абсолютной погрешности измерений длины в направлении одной оси (X; Y) и в плоскости двух осей (X, Y) должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности измерений согласно таблицам А. 1, А.2.

• 9.3.3 Определение абсолютной погрешности и диапазона измерений длины в направлении оси Z.

• 9.3.3.2 Диапазон и абсолютную погрешность измерений длины в направлении оси Z определяют с помощью мер длины концевых в следующей последовательности:

а) подготавливают комплект из пяти мер длины концевых (наборов концевых мер) с номинальными значениями от 10 мм до значения, соответствующего верхней границе диапазона измерений микроскопов по оси Z;

б) в центре предметного стола устанавливают меру длины концевую с номинальным значением 10 мм, с помощью контактного датчика отмечают нулевую координату на предметном столе в направлении оси Z рядом с мерой. Затем контактным датчиком отмечают координату на середине измерительной поверхности меры длины концевой, производят измерение (снимают отсчет показаний по оси Z);

в) аналогичные измерения длины проводят для остальных мер;

г) для каждого измеренного значения рассчитывают абсолютную погрешность измерений длины в направлении оси Z по формуле

(3)

где Ц - действительное значение длины z-той меры, мкм;

Zi • измеренное значение длины z-той меры, мкм;

Д_7[- абсолютная погрешность измерения длины z-той меры, мкм.

• 9.3.3.3 Рассчитанные значения погрешностей измерений длины в направлении оси Z должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности измерений согласно таблице А.2.

• 9.3.4 Определение абсолютной погрешности при измерении плоского угла и диапазона измерений плоского угла

  • 9.3.4.1 Диапазон и абсолютную погрешность при измерении плоского угла определяют с помощью мер плоского угла призматических в следующей последовательности:

а) подготавливают комплект мер плоского угла призматических с в диапазоне от 10° до 90°.

б) используя угловые призматические меры, производят измерения углов в диапазоне от 10° до 90° и смежных с ними углов в диапазоне от 90° до 170°. Измерения проводят не менее чем для 4 значений углов, равномерно распределенных по всему диапазону измерений. Значения абсолютных погрешностей измерений для каждого значения угла рассчитывают по формулам:

A<ri⁼                                                   (4)

Д(180-я0= (^а180 “ ^aMi) ~ ^асмЬ                         (5)

где а_м, - действительное значение z'-ro угла, воспроизводимого мерами,

а, - измеренное значение z-ro угла,

- абсолютная погрешность измерения z-го угла,

ffieo - развернутый угол (180°),

(«180 “ ^aMi) ■ действительное значение z-ro смежного угла,

a_CMi - измеренное значение z-ro смежного угла,

Д(1во-а0 ’ абсолютная погрешность измерения z-ro смежного угла, ".

• 9 3.4.2 Значения абсолютной погрешности при измерении плоского угла должны находиться в пределах допускаемой абсолютной погрешности согласно таблицам А. 1, А.2.

• 10.1 Результаты поверки оформляют протоколом произвольной формы.

• 10.2 Положительные результаты первичной и периодической поверки оформляют свидетельством о поверке в соответствии с Приказом Минпромторга России от 02.07.2015 № 1815. Знак поверки в виде оттиска поверительного клейма наносят на свидетельство о поверке.

• 10.3 В случае отрицательных результатов поверки микроскоп признают непригодным к применению, выдают извещение о непригодности в соответствии с Приказом Минпромторга России от 02.07.2015 № 1815 с указанием причин.

  

  Ю.Р. Шимолин

  Т.Н. Сафина

Заведующий лабораторией 233

Ведущий инженер лаборатории 233

(обязательное)

Метрологические характеристики микроскопов видсоизмерительных серий МВ и MBZ

Таблица А.1 - Метрологические характеристики микроскопов видеоизмерительных серии МВ

Таблица Л.2 - Метрологические характеристики микроскопов видеоизмерительных серии MBZ

8