Методика поверки «Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные NI PXIe-6570» (NI6570МП-2018)

Методика поверки

Тип документа

Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные NI PXIe-6570

Наименование

NI6570МП-2018

Обозначение документа

ЗАО "АКТИ-Мастер"

Разработчик

916 Кб
1 файл

ЗАГРУЗИТЬ ДОКУМЕНТ

  

Закрытое Акционерное Общество «АКТИ-Мастер» АКТУАЛЬНЫЕ КОМПЬЮТЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И ИНФОРМАТИКА

127254, Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5 тел./факс (495)926-71-85 E-mail: post@actimaster.ru http://www.actimaster.ru

УТВЕРЖДАЮ

Генеральный директор ЗАО «АКТИ-Мастер»

В.В. Федуло

Государственная система обеспечения единства измерений

Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные N1 РХ1е-6570

Методика поверки

М6570МП-2018

Д.Р. Васильев

Заместитель генерального директора по метрологии ЗАО «АКТИ-Мастер»

г. Москва

2018

Настоящая методика поверки распространяется на генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные N1 РХ1е-6570 (далее - модули), изготавливаемые компаниями “National Instruments Corporation” (США), “National Instruments Corporation” (Венгрия), “National Instruments Malaysia Sdn. Bhd.” (Малайзия), и устанавливает методы и средства их поверки.

Интервал между поверками - 1 год.

1 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ
  • 1.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции поверки

Наименование операции

Номер пункта методики

Проведение операции при поверке

первичной

периодической

Внешний осмотр и подготовка к поверке

6

да

да

Опробование и функциональное тестирование

7.2

да

да

Определение погрешности установки постоянного напряжения драйверами

7.3

да

да

Определение погрешности порогов срабатывания компараторов

7.4

да

да

Определение погрешности установки и измерения напряжения параметрическими измерителями в режиме источника напряжения

7.5

да

да

Определение погрешности установки и измерения силы тока параметрическими измерителями в режиме источника тока / электронной нагрузки

7.6

да

да

Определение погрешности измерения силы тока и погрешности установки напряжения параметрическими измерителями в режиме источника напряжения / электронной нагрузки

7.7

да

да

  • 1.2 Если у поверяемого модуля используются не все каналы и/или режимы и диапазоны, то по запросу пользователя периодическая поверка может быть проведена по указанным в таблице 1 операциям для определенных каналов, режимов и диапазонов, при этом должна быть сделана соответствующая запись в свидетельстве о поверке.

2 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
  • 2.1 Рекомендуется применять средства поверки, указанные в таблице 2.

  • 2.2 Средства измерений должны быть исправны, поверены и иметь документы о поверке.

  • 2.3 Допускается применять другие аналогичные средства поверки, обеспечивающие определение метрологических характеристик поверяемых модулей с требуемой точностью.

  • 2.4 Переходной кабель поз. 2.8 таблицы 2 должен быть сделан из отрезка изолированного медного провода диаметром (0.8 ... 1.0) mm и длиной (100 ... 150) mm. Один из концов провода нужно освободить от изоляции на длине (6 ... 10) mm и облудить, на другой конец провода припаять вилку banana(m).

  • 2.5 При отсутствии модуля коммутации для присоединения каналов поверяемого модуля к мультиметру и источнику-измерителю напряжения и силы тока следует использовать соединительный кабель SHC68-68-EPM и терминальную плату CB-68LP, либо соединительный кабель 68-pin с переходом на двухполюсные вилки SHC68-H1X38.

Таблица 2 - Средства поверки

Наименование средства поверки

Номер пункта методики

Требуемые технические характеристики

Рекомендуемый тип средства поверки, per. номер реестра

1

2

3

4

5

1. Средства измерений

1.1

Вольтметр постоянного напряжения

7.3

абсолютная погрешность измерения постоянного напряжения от -2 до +6 V не более ±1 mV

Мультиметр цифровой модульный N1PXI-4071; per. № 57582-14

1.2

Источник-измеритель напряжения и силы тока

7.4

относительная погрешность измерения силы постоянного тока от 0.5 цА до 32 mA не более ± 0,2 %;

установка напряжения в диапазоне от -2 до +6 V

Источник-измеритель напряжения и силы тока модульный N1 РХ1е-4136; per. № 69739-17

2. Вспомогательные средства и принадлежности

2.1

Шасси

PXI Express

Разделы

6,7

не менее 8-х слотов РХ1е

National Instruments PXIe-1075

2.2

Модуль контроллера

Разделы

6,7

PXI Express

HDD > 40 GB, ОЗУ > 512 MB

National Instruments PXIe-8105

2.3

Модуль коммутации

раздел 7

входной разъем 68 pin; выходы BNC(f)

National Instruments

PXI-2515 (PXIe-2515)

2.4

Монитор

Разделы

6,7

-

-

2.5

Клавиатура компьютерная

Разделы

6,7

-

-

2.6

Манипулятор

«мышь»

Разделы

6,7

-

-

2.7

Кабель соединительный

7.3-7.5

68-pinVHDCI - 68-pin

National Instruments SHC68-C68-D5

2.8

Кабель переходной

7.3-7.5

диаметр (0.8 ... 1.0) mm, длина (100... 150) mm; 2 шт.

пункт 2.4

2.9

Кабель коаксиальный

7.5

BNC(m-m)

-

2.10

Адаптер

7.5

BNC(f)-banana, 2 шт.

-

3. Программное обеспечение

3.1

Операционная система

Разделы

6,7

управление работой модуля

Windows 7;

National Instruments “LabVIEW”

3.2

Драйвер

Разделы

6,7

управление работой модуля

N1 РХ1е-6570

National Instruments “NI-Digital Pattern Driver” версии 17.0 и выше

3.3

Драйвер

Разделы

6,7

управление работой модуля

N1PXI-4071

National Instruments “NI-DMM” версии 3.0 и выше

3.4

Драйвер

Разделы

6,7

управление работой модуля

N1 РХ1е-4136

National Instruments “NI-DCPower” версии 15.1 и выше

3.5

Драйвер

Разделы

6,7

управление работой модуля

N1 РХ1(е)-2515

National Instruments “NI-SWITCH” версии 4.0 и выше

3 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ

К проведению поверки допускаются лица с высшим или среднетехническим образованием, имеющие практический опыт в области электрических измерений.

4 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
  • 4.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности в соответствии с ГОСТ 12.3.019-80.

  • 4.2 Во избежание несчастного случая и для предупреждения повреждения модуля необходимо обеспечить выполнение следующих требований:

  • - подсоединение шасси с модулем и средств поверки к сети должно производиться с помощью сетевых кабелей из комплекта шасси и комплектов средств поверки;

  • - заземление шасси и средств поверки должно производиться посредством заземляющих контактов сетевых кабелей;

  • - соединения модуля и средств поверки следует выполнять при отключенных входах и выходах (отсутствии напряжения на разъемах модуля и средств поверки);

  • - режим вентиляции шасси должен быть установлен в положение “HIGH”, незадействованные слоты закрыты фальш-панелями;

  • - запрещается работать с модулем при наличии в воздухе взрывоопасных веществ;

  • - запрещается работать с модулем в случае обнаружения его повреждения.

5 УСЛОВИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ ПРИ ПОВЕРКЕ

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия окружающей среды:

  • - температура воздуха (23 ±3) °C;

  • - относительная влажность воздуха от 30 до 80 %;

  • - атмосферное давление от 84 до 106.7 kPa.

  • 6 ВНЕШНИЙ ОСМОТР И ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

6.1 Внешний осмотр
  • 6.1.1 При проведении внешнего осмотра проверяются:

  • - чистота и исправность разъемов модуля;

  • - отсутствие механических повреждений корпуса модуля и элементов плат;

  • - правильность маркировки и комплектность модуля.

  • 6.1.2 При наличии дефектов или повреждений, препятствующих нормальной эксплуатации поверяемого модуля, его следует направить в сервисный центр для проведения ремонта.

6.2 Подготовка к поверке
  • 6.2.1 Перед началом работы следует изучить руководство по эксплуатации модуля, а также руководства по эксплуатации применяемых средств поверки.

  • 6.2.2 Выполнить установку контроллера и модуля:

  • 1) установить в 3 левых слота шасси РХ1е модуль контроллера;

  • 2) присоединить к контроллеру монитор, клавиатуру и мышь;

  • 3) подсоединить шасси и монитор к сети 220 V/50 Hz;

  • 4) установить слева направо модули N1 PXIe-6570, N1 PXI(e)-2515, N1 PXI-4170, N1 РХ1е-4136 в слоты шасси РХ1е (модуль N1PXI-4170 установить в гибридный слот шасси);

  • 5) в свободные слоты шасси установить фальш-панели; выбрать на шасси режим высокой скорости вентилятора “HIGH”;

  • 6) включить шасси и контроллер, дождаться загрузки Windows;

    NI6570Mn-2018

    Методика поверки. 23.04.2018

    стр. 4 из 14

  • 6.2.3 Если на контроллере не установлены драйверы “NI-Digital Pattern Driver”, “NI-DMM”, “NI-DCPower”, “NI-SWITCH”, следует инсталлировать соответствующие драйверы в соответствии с указаниями руководств по эксплуатации модулей.

  • 6.2.4 Подготовить к работе средства поверки в соответствии с руководствами по эксплуатации.

  • 6.2.5 Выдержать модуль и средства поверки во включенном состоянии в соответствии с указаниями руководств по эксплуатации. Минимальное время прогрева модуля 30 min.

  • 6.2.6 Выполнить соединения:

  • 1) Соединить кабелем SHC68-C68-D5 разъем “DIGITAL DATA AND CONTROL” модуля PXIe-6570 с разъемом “HSDIO” модуля N1 РХ1(е)-2515 (разъем на панели слева).

  • 2) Используя адаптер BNC(f)-banana и кабель BNC(m-m), соединить разъем “BUS А” модуля N1 РХ1(е)-2515 с клеммами мультиметра PXI-4071 таким образом, чтобы центральный провод кабеля был соединен с клеммой “HI”, а экранный провод - с клеммой “LO” мультиметра.

  • 3) Используя адаптер BNC(f)-banana и переходные кабели (п. 2.4), соединить разъем “BUS В” модуля N1 РХ1(е)-2515 с клеммами источника-измерителя РХ1е-4136 таким образом, чтобы центральный провод кабеля был соединен с клеммой “HI”, а экранный провод - с клеммой “LO” источника-измерителя.

7 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ 7.1 Общие указания по проведению поверки

В процессе выполнения операций результаты заносятся в протокол поверки.

Полученные результаты должны укладываться в пределы допускаемых значений, которые указаны в таблицах раздела 7. При получении отрицательных результатов необходимо повторить операцию. При повторном отрицательном результате модуль следует направить в сервисный центр для проведения регулировки или ремонта.

7.2 Опробование и функциональное тестирование
  • 7.2.1 Запустить программу “Measurement & Automation Explorer”, затем в меню “Devices & Interfaces” выбрать ярлык с наименованием шасси и убедиться в том, что в списке устройств отображается наименование поверяемого модуля и номер слота шасси. Кликнуть на имени модуля, при этом в окне должен отобразиться серийный номер модуля и номер слота шасси.

  • 7.2.2 В меню “Software” выбрать папку “Software”, открыть вложенную папку “NI-Digital Pattern Driver”. В окне справа должен отобразиться номер версии (Version) драйвера. Номер версии должен быть не ниже 17.0.

  • 7.2.3 В меню “Devices & Interfaces” кликнуть на наименовании поверяемого модуля в списке устройств, и запустить процедуру тестирования “Self-Test”. После завершения процедуры тестирования должно появиться сообщение “The self test completed successfully”.

  • 7.2.4 В меню “Devices & Interfaces” запустить процедуру автоподстройки “Self-Calibrate”.

Если появится предупреждение о необходимости отсоединить кабель от разъема модуля, следует выполнить отсоединение кабеля от модуля, после чего запустить процедуру автоподстройки. После завершения процедуры автоподстройки должно появиться сообщение “The device was calibrated successfully”.

  • 7.2.5 Записать результаты проверки по пунктам 7.2.1 - 7.2.4 в таблицу 7.2.

    Таблица 7.2 - Опробование и с

    эункциональное тестирование

    Содержание проверки

    Результат проверки

    Критерии проверки

    отображение серийного номера и номера слота шасси

    правильно отображаются серийный номер модуля и номер слота шасси

    идентификация ПО

    “NI-Digital Pattern Driver” версии 17.0 или выше

    процедура “Self-Test”

    сообщение “The self-test completed successfully”

    процедура “Self-Calibrate”

    сообщение “The device was calibrated successfully”

7.3 Определение погрешности установки постоянного напряжения драйверами
  • 7.3.1 Сконфигурировать мультиметр следующим образом:

Function: DC volts

Range: 10 V

Resolution: 6/2 Digits

Input Impedance: lOMOhm

Power line frequency: 50 Hz

  • 7.3.2 Подключить поверяемый канал модуля N1 PXIe-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.3.3 Вызвать на канале модуля N1 PXIe-6570 установку цифрового сигнала драйвера.

  • 7.3.4 Установить уровень напряжения «высокий» Ущ «все единицы» на первое значение, указанное в столбце 1 таблицы 7.3.

  • 7.3.5 Выполнить отсчет напряжения на мультиметре Um и записать его в столбец 2 таблицы 7.3.

Вычислить значение абсолютной погрешности

Л = [Um - Vih], занести его в столбец 3 таблицы 7.3.

  • 7.3.6 Выполнить действия по пунктам 7.3.4, 7.3.5 для остальных значений уровня «высокий», указанных в столбце 1 таблицы 7.3.

  • 7.3.7 Установить уровень напряжения «низкий» Vil «все нули» на первое значение, указанное в столбце 1 таблицы 7.3.

  • 7.3.8 Выполнить действия по пункту по пунктам 7.3.4, 7.3.5 для остальных значений уровня напряжения драйвера Vil.

  • 7.3.9 Установить уровень напряжения «земля» на первое значение, указанное в столбце 1 таблицы 7.3.

  • 7.3.10 Выполнить действия по пунктам 7.3.4, 7.3.5 для остальных значений уровня «земля», указанных в столбце 1 таблицы 7.3.

  • 7.3.11 Выполнить действия по пунктам 7.3.2 - 7.3.10 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.

Таблица 7.3 - Погрешность установки постоянного напряжения драйверами

Установленное значение, V

Измеренное значение Um, V

Абсолютная погрешность (Um-V), V

Пределы допуска погрешности, V

1

2

3

4

Уш

-2.000

±0.015

-0.857

±0.015

+2.571

±0.015

+6.000

±0.015

VlL

-2.000

±0.015

-0.857

±0.015

+2.571

±0.015

+6.000

±0.015

Vterm

-2.000

±0.015

-0.857

±0.015

+2.571

±0.015

+6.000

±0.015

7.4 Определение погрешности порогов срабатывания компараторов

Установки на мультиметре по предыдущей операции (пункт 7.3).

  • 7.4.1 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.4.2 Установить на компараторе того же канала, что был выбран в пункте 7.4.1, значения напряжения порогов срабатывания:

  • - верхний порог V0H = 6 V

  • - нижний порог - значение, указанное в таблице 7.4 (первое значение V0L = -1.5 V).

  • 7.4.3 Установить на драйвере канала напряжение VIH на 0.1 V ниже, чем установленный порог компаратора V0L (для первого значения порога VJH = -1.6 V).

  • 7.4.4 Выполнить определение уровня напряжения компаратором двадцать раз.

  • a) Если компаратор ни разу не определил уровень напряжения как «высокий» (выше установленного порога), увеличить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения порога VIH = -1.4 V).

  • b) Если компаратор хотя бы один раз определил уровень напряжения как «низкий» (ниже установленного порога), уменьшить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения порога VIH = -1.8 V).

  • 7.4.5 Выполнить действия по пункту 7.4.4 одиннадцать раз, каждый раз уменьшая размер шага Дн в два раза (на последней итерации шаг будет равен разрешению драйвера 122 pV).

В результате последней итерации уровень напряжения драйвера будет равен нижней границе порога срабатывания компаратора Vol(L).

  • 7.4.6 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.4.7 Измерить напряжение мультиметром U(L) и записать его в столбец 2 таблицы 7.4.

  • 7.4.8 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.4.9 Установить на драйвере канала напряжение VIH на 0.1 V выше, чем установленный порог компаратора V0L (для первого значения нижнего порога VIH = -1.4 V).

  • 7.4.10 Выполнить определение уровня напряжения компаратором двадцать раз.

  • a) Если компаратор каждый раз определил уровень напряжения как «высокий» (выше установленного порога), уменьшить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения нижнего порога VIH = -1.6 V).

  • b) Если компаратор хотя бы один раз определил уровень напряжения как «низкий» (ниже установленного порога), увеличить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения нижнего порога VIH = -1.2 V).

  • 7.4.11 Выполнить действия по пункту 7.4.10 одиннадцать раз, каждый раз уменьшая размер шага Дн в два раза (на последней итерации шаг будет равен разрешению драйвера 122 pV).

В результате последней итерации уровень напряжения драйвера будет равен верхней границе порога срабатывания компаратора V0L(H).

  • 7.4.12 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.4.13 Измерить напряжение мультиметром U(H) и записать его в столбец 3 таблицы 7.4.

  • 7.4.14 Вычислить значения погрешности установки порога срабатывания компаратора:

ДЬ = [U(L) - V0L]

ДН = (U(H) - V0L]

Занести наибольшее по модулю из этих двух значений в столбец 4 таблицы 7.4.

Таблица 7.4 - Погрешность установки порогов срабатывания компаратора

Установленное значение, V

Измеренное значение, V

Абсолютная погрешность, V

Пределы допуска погрешности, V

U(L)

U(H)

1

2

3

4

5

VOI.

-1.500

±0.025

+0.100

±0.025

+3.900

±0.025

+5.800

±0.025

V0H

-1.500

±0.025

+0.100

±0.025

+3.900

±0.025

+5.800

±0.025

  • 7.4.15 Выполнить действия по пунктам 7.4.1 - 7.4.14 для остальных значений нижнего порога срабатывания поверяемого канала, указанных в столбце 1 таблицы 7.4.

  • 7.4.16 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.4.17 Установить на компараторе того же канала, что был выбран в пункте 7.4.1, значения напряжения порогов срабатывания:

  • - нижний порог V0L = -2 V

  • - верхний порог - значение, указанное в таблице 7.4 (первое значение V0H = -1.5 V).

  • 7.4.18 Выполнить действия по пунктам 7.4.3 - 7.4.16 для верхнего порога срабатывания компаратора V0H (заменяя в этих пунктах V0L на V0H).

  • 7.4.19 Выполнить действия по пунктам 7.4.1 - 7.4.18 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.

7.5 Определение погрешности установки и измерения напряжения параметрическими измерителями в режиме источника напряжения

Установки на мультиметре по предыдущей операции (пункт 7.3).

  • 7.5.1 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.5.2 Вызвать на канале модуля N1 РХ1е-6570 режим параметрического измерителя (PPMU) и сделать установки:

  • - Current Limit Range 32 mA

  • - Output Function DC Voltage

  • 7.5.3 Установить на канале PPMU модуля первое значение Us, указанное в столбце 1 таблицы 7.5.

  • 7.5.4 Выполнить отсчет напряжения на мультиметре Um и записать его в столбец 2 таблицы

  • 7.5.

Вычислить значение абсолютной погрешности установки напряжения

As = (Um - Us), занести его в столбец 3 таблицы 7.5.

  • 7.5.5 Выполнить отсчет напряжения Uppmu на канале PPMU и записать его в столбец 5 таблицы 7.5.

Вычислить значение абсолютной погрешности измерения напряжения

Ам = (Uppmu - Um), занести его в столбец 6 таблицы 7.5.

  • 7.5.6 Выполнить действия по пунктам 7.5.3 - 7.5.5 для остальных значений напряжения, указанных в столбце 1 таблицы 7.5.

  • 7.5.7 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.5.8 Выполнить действия по пунктам 7.5.1 - 7.5.7 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.

Таблица 7.5 - Погрешность установки и измерения напряжения параметрическими измерителями PPMU в режиме источника напряжения

Установленное PPMU значение us,v

Измеренное мультиметром значение Um,V

Абсолютная погрешность установки (Um-Us),V

Пределы допуска погрешности установки, V

Измеренное PPMU значение UppMlh П1

Абсолютная погрешность измерения (Uppmu - Um), V

Пределы допуска погрешности измерения, V

1

2

3

4

5

6

7

-2.000

±0.015

±0.005

-0.857

±0.015

±0.005

+2.571

±0.015

±0.005

+6.000

±0.015

±0.005

7.6 Определение погрешности установки и измерения силы тока параметрическими измерителями в режиме источника тока / электронной нагрузки
  • 7.6.1 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.6.2 Сконфигурировать источник-измеритель напряжения и силы тока (SMU) со следующими установками:

  • - Source mode: Single point

  • - Sense: Local

  • - Voltage range: 10 V

  • - Aperture time: 1 PLC

  • - Powerline Frequency: 50 Hz

  • - Current limit autorange: Off

  • 7.6.3 Вызвать на канале модуля N1 PXIe-6570 режим параметрического измерителя (PPMU) и сделать установки:

  • - Current level: первое значение Is, указанное в столбце 1 таблицы 7.6 для первого значения диапазона Current range таблицы 7.6

  • - Upper voltage limit: 6 V

  • - Lower voltage limit: -2 V

  • - Current range: первое значение, указанное в таблице 7.6

  • - Aperture time: 20ms

  • 7.6.4 Установить на SMU значения Current limit range и Current limit, соответствующие значению диапазона Current range, установленному на канале PPMU модуля. Например, для диапазона 32 mA следует установить на SMU Current limit range / limit равным 100 mA.

  • 7.6.5 Установить на SMU первое значение напряжения Us, указанное в столбце 2 таблицы

  • 7.6.

  • 7.6.6 Активировать выход SMU.

  • 7.6.7 Выполнить отсчет силы тока SMU, изменить знак отсчета на противоположный и записать инвертированный отсчет Ismu в столбец 3 таблицы 7.6.

  • 7.6.8 Выполнить отсчет силы тока Армина канале PPMU и записать его в столбец 6 таблицы

  • 7.6.

  • 7.6.9 Вычислить значение абсолютной погрешности установки силы тока

As = (Ismu - Is), занести его в столбец 4 таблицы 7.6.

Вычислить значение абсолютной погрешности измерения силы тока

Дм = (1ррми- Ismu), занести его в столбец 7 таблицы 7.6.

  • 7.6.10 Выполнить действия по пунктам 7.6.3 - 7.6.9 для остальных значений первого диапазона Current range канала PPMU, указанных в столбце 1 таблицы 7.6, опуская установки, которые не изменяются.

  • 7.6.11 Выполнить действия по пунктам 7.6.3-7.6.10 для остальных значений всех диапазонов Current range канала PPMU, указанных в таблице 7.6, опуская установки, которые не изменяются.

  • 7.6.12 Деактивировать выходы SMU и PPMU.

  • 7.6.13 Отключить канал модуля N1 PXIe-6570 от гнезд “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.6.14 Подключить следующий поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.6.15 Выполнить действия по пунктам 7.6.3-7.6.13 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.

Таблица 7.6 - Погрешность установки и измерения силы тока параметрическими измерителями в режиме источника тока / электронной нагрузки

Установленное PPMU значение

Is

Установленное SMU значение U& V

Измеренное SMU значение

Ismu

Абсолютная погрешность установки (Ismu-Is)

Пределы допуска погрешности установки

Измеренное PPMU значение IpPMU

Абсолютная погрешность измерения (Ijtmu-Ismu)

Пределы допуска погрешности измерения

1

2

3

4

5

6

7

8

Current range 32 mA

-32.00

+5.000

±0.32

±0.32

+32.00

+5.000

±0.32

±0.32

-9.60

-1.000

±0.32

±0.32

-32.00

+1.250

±0.32

±0.32

+32.00

-1.000

±0.32

±0.32

Current range 2 mA

-2.000

+5.000

±0.020

±0.020

+2.000

+5.000

±0.020

±0.020

-0.600

-1.000

±0.020

±0.020

-2.000

+1.250

±0.020

±0.020

+2.000

-1.000

±0.020

±0.020

Current range 128 pA

-128.00

+5.000

±1.28

±1.28

+128.00

+5.000

±1.28

±1.28

-38.40

-1.000

±1.28

±1.28

-128.00

+1.250

±1.28

±1.28

+128.00

-1.000

±1.28

±1.28

Current range 32 цA

-32.00

+5.000

±0.32

±0.32

+32.00

+5.000

±0.32

±0.32

-9.60

-1.000

±0.32

±0.32

-32.00

+1.250

±0.32

±0.32

+32.00

-1.000

±0.32

±0.32

Current range 2 цА

-2.000

+5.000

±0.020

±0.020

+2.000

+5.000

±0.020

±0.020

-0.600

-1.000

±0.020

±0.020

-2.000

+1.250

±0.020

±0.020

+2.000

-1.000

±0.020

±0.020

  • 7.7 Определение погрешности измерения силы тока и погрешности установки напряжения параметрическими измерителями в режиме источника тока / электронной нагрузки

  • 7.7.1 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.7.2 Сконфигурировать источник-измеритель напряжения и силы тока (SMU) со следующими установками:

  • - Source mode: Single point

  • - Output function: DC Current

  • - Sense: Local

  • - Voltage limit range: 6.5 V

  • - Voltage limit: 6.5 V

  • - Aperture time: 1 PLC

  • - Power line frequency: 50Hz

  • - Current level range: первое значение, указанное в таблице 7.7

  • - Current level: первое значение -Ismu, указанное в столбце 1 таблицы 7.7 для первого значения диапазона Current range таблицы 7.7

Примечание: в столбце 1 таблицы 7.7 указаны значения силы тока -Ismu с учетом того, что отсчеты силы тока Ippmu имеют противоположный знак (например, если на SMU установлено значение +32 mA, то отсчет PPMU будет равен примерно -32 mA).

  • 7.7.3 Вызвать на канале модуля N1 РХ1е-6570 режим параметрического измерителя (PPMU) и сделать установки:

  • - Aperture time: 20ms

  • - Voltage level: первое значение Us, указанное в столбце 2 таблицы 7.7 для первого значения диапазона PPMU Current range таблицы 7.7

  • - Current limit range: первое значение, указанное в таблице 7.7

  • 7.7.4 Активировать выход SMU.

  • 7.7.5 Выполнить отсчет силы тока PPMU и записать его в столбец 6 таблицы 7.7.

  • 7.7.6 Выполнить отсчет силы тока Ippmu на канале PPMU и записать его в столбец 3 таблицы 7.7.

  • 7.7.7 Выполнить отсчет напряжения Uppmu на канале PPMU и записать его в столбец 6 таблицы 7.7.

  • 7.7.8 Вычислить значение абсолютной погрешности измерения силы тока

Дм = (Ippmu-Ismu), занести его в столбец 4 таблицы 7.7.

Вычислить значение абсолютной погрешности установки напряжения

As = (Uppmu - Us), занести его в столбец 7 таблицы 7.7.

ПРИМЕЧАНИЕ: в столбце 8 таблицы 7.7 значения допуска для абсолютной погрешности установки напряжения указаны с учетом допуска на погрешность измерения напряжения PPMU, равного ±5 mV.

  • 7.7.9 Выполнить действия по пунктам 7.7.2 - 7.6.8 для остальных значений первого диапазона SMU Current level range / PPMU Current limit range, указанных в столбце 1 таблицы

  • 7.7, опуская установки, которые не изменяются.

  • 7.7.10 Выполнить действия по пунктам 7.7.2 - 7.7.9 для остальных значений всех диапазонов канала SMU Current level range / PPMU Current limit range, указанных в таблице 7.7, опуская установки, которые не изменяются.

  • 7.7.11 Деактивировать выходы SMU и PPMU.

| И16570МП-2018~ Методика поверки. 23.04.2018__стр. 12 из 14

  • 7.7.12 Отключить канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.7.13 Подключить следующий поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “Ш”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.

  • 7.7.14 Выполнить действия по пунктам 7.7.2 - 7.7.12 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.

Таблица 7.7 - Погрешность измерения силы тока и погрешность установки напряжения

параметрическими измерителями в режиме источника напряжения / электронной нагрузки

Установленное

Установленное

Измеренное

Абсолютная

Пределы

Измеренное

Абсолютная

Пределы

SMU

PPMU

PPMU

погрешность

допуска

PPMU

погрешность

допуска

значение

значение

значение

измерения

погрешности

значение

установки

погрешности

-Ismu

Us, V

IpPMU

(IpPMU-IsMl.)

измерения

Uppmu, V

(Ujtmu-Us), V

установки, V

1

2

3

4

5

б

7

8

SMU Current level range / PPMU Current limit range 32 mA

0.00

-2.000

±0.48

±20

+32.00

+1.250

±0.32

±20

-32.00

-2.000

±0.48

±20

-32.00

+6.000

±0.48

±20

+32.00

+6.000

±0.48

±20

SMU Cunent level range / PPMU Current limit range 2 mA

0.000

-2.000

±0.030

±20

+2.000

+1.250

±0.020

±20

-2.000

-2.000

±0.030

±20

-2.000

+6.000

±0.030

±20

+2.000

+6.000

±0.030

±20

SMU Current level range / PPMU Current limit range 128 цА

0.00

-2.000

±1.92

±20

+128.00

+1.250

±1.28

±20

-128.00

-2.000

±1.92

±20

-128.00

+6.000

±1.92

±20

+128.00

+6.000

±1.92

±20

SMU Current level range / PPMU Current limit range 32 цА

0.00

-2.000

±0.48

±20

+32.00

+1.250

±0.32

±20

-32.00

-2.000

±0.48

±20

-32.00

+6.000

±0.48

±20

+32.00

+6.000

±0.48

±20

SMU Cunent level range / PPMU Cunent limit range 2 pA

0.000

-2.000

±0.030

±20

+2.000

+1.250

±0.020

±20

-2.000

-2.000

±0.030

±20

-2.000

+6.000

±0.030

±20

+2.000

+6.000

±0.030

±20

  • 8 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

8.1 Протокол поверки

По завершении операций поверки оформляется протокол поверки в произвольной форме с указанием следующих сведений:

  • - полное наименование аккредитованной на право поверки организации;

  • - номер и дата протокола поверки

  • - наименование и обозначение поверенного средства измерения

  • - заводской (серийный) номер;

  • - обозначение документа, по которому выполнена поверка;

  • - наименования, обозначения и заводские (серийные) номера использованных при поверке средств измерений, сведения об их последней поверке;

  • - температура и влажность в помещении;

  • - фамилия лица, проводившего поверку;

  • - результаты определения метрологических характеристик по форме таблиц раздела 7 настоящего документа.

Допускается не оформлять протокол поверки отдельным документом, а результаты поверки (метрологические характеристики) указать на оборотной стороне свидетельства о поверке.

8.2 Свидетельство о поверке и знак поверки

При положительных результатах поверки выдается свидетельство о поверке и наносится знак поверки в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.

8.3 Извещение о непригодности

При отрицательных результатах поверки, выявленных при внешнем осмотре, опробовании или выполнении операций поверки, выдается извещение о непригодности в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.

Е.В. Маркин

Ведущий инженер по метрологии ЗАО «АКТИ-Мастер»

Ы16570МП-2018

Методика поверки. 23.04.2018

| стр. 14 из 14

Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель