Методика поверки «Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные NI PXIe-6570» (NI6570МП-2018)
Закрытое Акционерное Общество «АКТИ-Мастер» АКТУАЛЬНЫЕ КОМПЬЮТЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И ИНФОРМАТИКА
127254, Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5 тел./факс (495)926-71-85 E-mail: post@actimaster.ru http://www.actimaster.ru
УТВЕРЖДАЮ
Генеральный директор ЗАО «АКТИ-Мастер»
В.В. Федуло
Государственная система обеспечения единства измерений
Генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные N1 РХ1е-6570
Методика поверки
М6570МП-2018
Д.Р. Васильев
Заместитель генерального директора по метрологии ЗАО «АКТИ-Мастер»
г. Москва
2018
Настоящая методика поверки распространяется на генераторы-анализаторы цифровых сигналов с параметрическим измерителем модульные N1 РХ1е-6570 (далее - модули), изготавливаемые компаниями “National Instruments Corporation” (США), “National Instruments Corporation” (Венгрия), “National Instruments Malaysia Sdn. Bhd.” (Малайзия), и устанавливает методы и средства их поверки.
Интервал между поверками - 1 год.
1 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ-
1.1 При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1 - Операции поверки
Наименование операции |
Номер пункта методики |
Проведение операции при поверке | |
первичной |
периодической | ||
Внешний осмотр и подготовка к поверке |
6 |
да |
да |
Опробование и функциональное тестирование |
7.2 |
да |
да |
Определение погрешности установки постоянного напряжения драйверами |
7.3 |
да |
да |
Определение погрешности порогов срабатывания компараторов |
7.4 |
да |
да |
Определение погрешности установки и измерения напряжения параметрическими измерителями в режиме источника напряжения |
7.5 |
да |
да |
Определение погрешности установки и измерения силы тока параметрическими измерителями в режиме источника тока / электронной нагрузки |
7.6 |
да |
да |
Определение погрешности измерения силы тока и погрешности установки напряжения параметрическими измерителями в режиме источника напряжения / электронной нагрузки |
7.7 |
да |
да |
-
1.2 Если у поверяемого модуля используются не все каналы и/или режимы и диапазоны, то по запросу пользователя периодическая поверка может быть проведена по указанным в таблице 1 операциям для определенных каналов, режимов и диапазонов, при этом должна быть сделана соответствующая запись в свидетельстве о поверке.
-
2.1 Рекомендуется применять средства поверки, указанные в таблице 2.
-
2.2 Средства измерений должны быть исправны, поверены и иметь документы о поверке.
-
2.3 Допускается применять другие аналогичные средства поверки, обеспечивающие определение метрологических характеристик поверяемых модулей с требуемой точностью.
-
2.4 Переходной кабель поз. 2.8 таблицы 2 должен быть сделан из отрезка изолированного медного провода диаметром (0.8 ... 1.0) mm и длиной (100 ... 150) mm. Один из концов провода нужно освободить от изоляции на длине (6 ... 10) mm и облудить, на другой конец провода припаять вилку banana(m).
-
2.5 При отсутствии модуля коммутации для присоединения каналов поверяемого модуля к мультиметру и источнику-измерителю напряжения и силы тока следует использовать соединительный кабель SHC68-68-EPM и терминальную плату CB-68LP, либо соединительный кабель 68-pin с переходом на двухполюсные вилки SHC68-H1X38.
Таблица 2 - Средства поверки
№ |
Наименование средства поверки |
Номер пункта методики |
Требуемые технические характеристики |
Рекомендуемый тип средства поверки, per. номер реестра |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
1. Средства измерений | ||||
1.1 |
Вольтметр постоянного напряжения |
7.3 |
абсолютная погрешность измерения постоянного напряжения от -2 до +6 V не более ±1 mV |
Мультиметр цифровой модульный N1PXI-4071; per. № 57582-14 |
1.2 |
Источник-измеритель напряжения и силы тока |
7.4 |
относительная погрешность измерения силы постоянного тока от 0.5 цА до 32 mA не более ± 0,2 %; установка напряжения в диапазоне от -2 до +6 V |
Источник-измеритель напряжения и силы тока модульный N1 РХ1е-4136; per. № 69739-17 |
2. Вспомогательные средства и принадлежности | ||||
2.1 |
Шасси PXI Express |
Разделы 6,7 |
не менее 8-х слотов РХ1е |
National Instruments PXIe-1075 |
2.2 |
Модуль контроллера |
Разделы 6,7 |
PXI Express HDD > 40 GB, ОЗУ > 512 MB |
National Instruments PXIe-8105 |
2.3 |
Модуль коммутации |
раздел 7 |
входной разъем 68 pin; выходы BNC(f) |
National Instruments PXI-2515 (PXIe-2515) |
2.4 |
Монитор |
Разделы 6,7 |
- |
- |
2.5 |
Клавиатура компьютерная |
Разделы 6,7 |
- |
- |
2.6 |
Манипулятор «мышь» |
Разделы 6,7 |
- |
- |
2.7 |
Кабель соединительный |
7.3-7.5 |
68-pinVHDCI - 68-pin |
National Instruments SHC68-C68-D5 |
2.8 |
Кабель переходной |
7.3-7.5 |
диаметр (0.8 ... 1.0) mm, длина (100... 150) mm; 2 шт. |
пункт 2.4 |
2.9 |
Кабель коаксиальный |
7.5 |
BNC(m-m) |
- |
2.10 |
Адаптер |
7.5 |
BNC(f)-banana, 2 шт. |
- |
3. Программное обеспечение | ||||
3.1 |
Операционная система |
Разделы 6,7 |
управление работой модуля |
Windows 7; National Instruments “LabVIEW” |
3.2 |
Драйвер |
Разделы 6,7 |
управление работой модуля N1 РХ1е-6570 |
National Instruments “NI-Digital Pattern Driver” версии 17.0 и выше |
3.3 |
Драйвер |
Разделы 6,7 |
управление работой модуля N1PXI-4071 |
National Instruments “NI-DMM” версии 3.0 и выше |
3.4 |
Драйвер |
Разделы 6,7 |
управление работой модуля N1 РХ1е-4136 |
National Instruments “NI-DCPower” версии 15.1 и выше |
3.5 |
Драйвер |
Разделы 6,7 |
управление работой модуля N1 РХ1(е)-2515 |
National Instruments “NI-SWITCH” версии 4.0 и выше |
К проведению поверки допускаются лица с высшим или среднетехническим образованием, имеющие практический опыт в области электрических измерений.
4 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ-
4.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности в соответствии с ГОСТ 12.3.019-80.
-
4.2 Во избежание несчастного случая и для предупреждения повреждения модуля необходимо обеспечить выполнение следующих требований:
-
- подсоединение шасси с модулем и средств поверки к сети должно производиться с помощью сетевых кабелей из комплекта шасси и комплектов средств поверки;
-
- заземление шасси и средств поверки должно производиться посредством заземляющих контактов сетевых кабелей;
-
- соединения модуля и средств поверки следует выполнять при отключенных входах и выходах (отсутствии напряжения на разъемах модуля и средств поверки);
-
- режим вентиляции шасси должен быть установлен в положение “HIGH”, незадействованные слоты закрыты фальш-панелями;
-
- запрещается работать с модулем при наличии в воздухе взрывоопасных веществ;
-
- запрещается работать с модулем в случае обнаружения его повреждения.
При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия окружающей среды:
-
- температура воздуха (23 ±3) °C;
-
- относительная влажность воздуха от 30 до 80 %;
-
- атмосферное давление от 84 до 106.7 kPa.
-
6 ВНЕШНИЙ ОСМОТР И ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ
-
6.1.1 При проведении внешнего осмотра проверяются:
-
- чистота и исправность разъемов модуля;
-
- отсутствие механических повреждений корпуса модуля и элементов плат;
-
- правильность маркировки и комплектность модуля.
-
6.1.2 При наличии дефектов или повреждений, препятствующих нормальной эксплуатации поверяемого модуля, его следует направить в сервисный центр для проведения ремонта.
-
6.2.1 Перед началом работы следует изучить руководство по эксплуатации модуля, а также руководства по эксплуатации применяемых средств поверки.
-
6.2.2 Выполнить установку контроллера и модуля:
-
1) установить в 3 левых слота шасси РХ1е модуль контроллера;
-
2) присоединить к контроллеру монитор, клавиатуру и мышь;
-
3) подсоединить шасси и монитор к сети 220 V/50 Hz;
-
4) установить слева направо модули N1 PXIe-6570, N1 PXI(e)-2515, N1 PXI-4170, N1 РХ1е-4136 в слоты шасси РХ1е (модуль N1PXI-4170 установить в гибридный слот шасси);
-
5) в свободные слоты шасси установить фальш-панели; выбрать на шасси режим высокой скорости вентилятора “HIGH”;
-
6) включить шасси и контроллер, дождаться загрузки Windows;
NI6570Mn-2018
Методика поверки. 23.04.2018
стр. 4 из 14
-
6.2.3 Если на контроллере не установлены драйверы “NI-Digital Pattern Driver”, “NI-DMM”, “NI-DCPower”, “NI-SWITCH”, следует инсталлировать соответствующие драйверы в соответствии с указаниями руководств по эксплуатации модулей.
-
6.2.4 Подготовить к работе средства поверки в соответствии с руководствами по эксплуатации.
-
6.2.5 Выдержать модуль и средства поверки во включенном состоянии в соответствии с указаниями руководств по эксплуатации. Минимальное время прогрева модуля 30 min.
-
6.2.6 Выполнить соединения:
-
1) Соединить кабелем SHC68-C68-D5 разъем “DIGITAL DATA AND CONTROL” модуля PXIe-6570 с разъемом “HSDIO” модуля N1 РХ1(е)-2515 (разъем на панели слева).
-
2) Используя адаптер BNC(f)-banana и кабель BNC(m-m), соединить разъем “BUS А” модуля N1 РХ1(е)-2515 с клеммами мультиметра PXI-4071 таким образом, чтобы центральный провод кабеля был соединен с клеммой “HI”, а экранный провод - с клеммой “LO” мультиметра.
-
3) Используя адаптер BNC(f)-banana и переходные кабели (п. 2.4), соединить разъем “BUS В” модуля N1 РХ1(е)-2515 с клеммами источника-измерителя РХ1е-4136 таким образом, чтобы центральный провод кабеля был соединен с клеммой “HI”, а экранный провод - с клеммой “LO” источника-измерителя.
В процессе выполнения операций результаты заносятся в протокол поверки.
Полученные результаты должны укладываться в пределы допускаемых значений, которые указаны в таблицах раздела 7. При получении отрицательных результатов необходимо повторить операцию. При повторном отрицательном результате модуль следует направить в сервисный центр для проведения регулировки или ремонта.
7.2 Опробование и функциональное тестирование-
7.2.1 Запустить программу “Measurement & Automation Explorer”, затем в меню “Devices & Interfaces” выбрать ярлык с наименованием шасси и убедиться в том, что в списке устройств отображается наименование поверяемого модуля и номер слота шасси. Кликнуть на имени модуля, при этом в окне должен отобразиться серийный номер модуля и номер слота шасси.
-
7.2.2 В меню “Software” выбрать папку “Software”, открыть вложенную папку “NI-Digital Pattern Driver”. В окне справа должен отобразиться номер версии (Version) драйвера. Номер версии должен быть не ниже 17.0.
-
7.2.3 В меню “Devices & Interfaces” кликнуть на наименовании поверяемого модуля в списке устройств, и запустить процедуру тестирования “Self-Test”. После завершения процедуры тестирования должно появиться сообщение “The self test completed successfully”.
-
7.2.4 В меню “Devices & Interfaces” запустить процедуру автоподстройки “Self-Calibrate”.
Если появится предупреждение о необходимости отсоединить кабель от разъема модуля, следует выполнить отсоединение кабеля от модуля, после чего запустить процедуру автоподстройки. После завершения процедуры автоподстройки должно появиться сообщение “The device was calibrated successfully”.
-
7.2.5 Записать результаты проверки по пунктам 7.2.1 - 7.2.4 в таблицу 7.2.
Таблица 7.2 - Опробование и с
эункциональное тестирование
Содержание проверки
Результат проверки
Критерии проверки
отображение серийного номера и номера слота шасси
правильно отображаются серийный номер модуля и номер слота шасси
идентификация ПО
“NI-Digital Pattern Driver” версии 17.0 или выше
процедура “Self-Test”
сообщение “The self-test completed successfully”
процедура “Self-Calibrate”
сообщение “The device was calibrated successfully”
-
7.3.1 Сконфигурировать мультиметр следующим образом:
Function: DC volts
Range: 10 V
Resolution: 6/2 Digits
Input Impedance: lOMOhm
Power line frequency: 50 Hz
-
7.3.2 Подключить поверяемый канал модуля N1 PXIe-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.3.3 Вызвать на канале модуля N1 PXIe-6570 установку цифрового сигнала драйвера.
-
7.3.4 Установить уровень напряжения «высокий» Ущ «все единицы» на первое значение, указанное в столбце 1 таблицы 7.3.
-
7.3.5 Выполнить отсчет напряжения на мультиметре Um и записать его в столбец 2 таблицы 7.3.
Вычислить значение абсолютной погрешности
Л = [Um - Vih], занести его в столбец 3 таблицы 7.3.
-
7.3.6 Выполнить действия по пунктам 7.3.4, 7.3.5 для остальных значений уровня «высокий», указанных в столбце 1 таблицы 7.3.
-
7.3.7 Установить уровень напряжения «низкий» Vil «все нули» на первое значение, указанное в столбце 1 таблицы 7.3.
-
7.3.8 Выполнить действия по пункту по пунктам 7.3.4, 7.3.5 для остальных значений уровня напряжения драйвера Vil.
-
7.3.9 Установить уровень напряжения «земля» на первое значение, указанное в столбце 1 таблицы 7.3.
-
7.3.10 Выполнить действия по пунктам 7.3.4, 7.3.5 для остальных значений уровня «земля», указанных в столбце 1 таблицы 7.3.
-
7.3.11 Выполнить действия по пунктам 7.3.2 - 7.3.10 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.
Таблица 7.3 - Погрешность установки постоянного напряжения драйверами
Установленное значение, V |
Измеренное значение Um, V |
Абсолютная погрешность (Um-V), V |
Пределы допуска погрешности, V |
1 |
2 |
3 |
4 |
Уш | |||
-2.000 |
±0.015 | ||
-0.857 |
±0.015 | ||
+2.571 |
±0.015 | ||
+6.000 |
±0.015 | ||
VlL | |||
-2.000 |
±0.015 | ||
-0.857 |
±0.015 | ||
+2.571 |
±0.015 | ||
+6.000 |
±0.015 | ||
Vterm | |||
-2.000 |
±0.015 | ||
-0.857 |
±0.015 | ||
+2.571 |
±0.015 | ||
+6.000 |
±0.015 |
Установки на мультиметре по предыдущей операции (пункт 7.3).
-
7.4.1 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.4.2 Установить на компараторе того же канала, что был выбран в пункте 7.4.1, значения напряжения порогов срабатывания:
-
- верхний порог V0H = 6 V
-
- нижний порог - значение, указанное в таблице 7.4 (первое значение V0L = -1.5 V).
-
7.4.3 Установить на драйвере канала напряжение VIH на 0.1 V ниже, чем установленный порог компаратора V0L (для первого значения порога VJH = -1.6 V).
-
7.4.4 Выполнить определение уровня напряжения компаратором двадцать раз.
-
a) Если компаратор ни разу не определил уровень напряжения как «высокий» (выше установленного порога), увеличить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения порога VIH = -1.4 V).
-
b) Если компаратор хотя бы один раз определил уровень напряжения как «низкий» (ниже установленного порога), уменьшить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения порога VIH = -1.8 V).
-
7.4.5 Выполнить действия по пункту 7.4.4 одиннадцать раз, каждый раз уменьшая размер шага Дн в два раза (на последней итерации шаг будет равен разрешению драйвера 122 pV).
В результате последней итерации уровень напряжения драйвера будет равен нижней границе порога срабатывания компаратора Vol(L).
-
7.4.6 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.4.7 Измерить напряжение мультиметром U(L) и записать его в столбец 2 таблицы 7.4.
-
7.4.8 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.4.9 Установить на драйвере канала напряжение VIH на 0.1 V выше, чем установленный порог компаратора V0L (для первого значения нижнего порога VIH = -1.4 V).
-
7.4.10 Выполнить определение уровня напряжения компаратором двадцать раз.
-
a) Если компаратор каждый раз определил уровень напряжения как «высокий» (выше установленного порога), уменьшить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения нижнего порога VIH = -1.6 V).
-
b) Если компаратор хотя бы один раз определил уровень напряжения как «низкий» (ниже установленного порога), увеличить уровень напряжения драйвера VIH на шаг Дн = 0.2 V (для первого значения нижнего порога VIH = -1.2 V).
-
7.4.11 Выполнить действия по пункту 7.4.10 одиннадцать раз, каждый раз уменьшая размер шага Дн в два раза (на последней итерации шаг будет равен разрешению драйвера 122 pV).
В результате последней итерации уровень напряжения драйвера будет равен верхней границе порога срабатывания компаратора V0L(H).
-
7.4.12 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.4.13 Измерить напряжение мультиметром U(H) и записать его в столбец 3 таблицы 7.4.
-
7.4.14 Вычислить значения погрешности установки порога срабатывания компаратора:
ДЬ = [U(L) - V0L]
ДН = (U(H) - V0L]
Занести наибольшее по модулю из этих двух значений в столбец 4 таблицы 7.4.
Таблица 7.4 - Погрешность установки порогов срабатывания компаратора
Установленное значение, V |
Измеренное значение, V |
Абсолютная погрешность, V |
Пределы допуска погрешности, V | |
U(L) |
U(H) | |||
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
VOI. | ||||
-1.500 |
±0.025 | |||
+0.100 |
±0.025 | |||
+3.900 |
±0.025 | |||
+5.800 |
±0.025 | |||
V0H | ||||
-1.500 |
±0.025 | |||
+0.100 |
±0.025 | |||
+3.900 |
±0.025 | |||
+5.800 |
±0.025 |
-
7.4.15 Выполнить действия по пунктам 7.4.1 - 7.4.14 для остальных значений нижнего порога срабатывания поверяемого канала, указанных в столбце 1 таблицы 7.4.
-
7.4.16 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.4.17 Установить на компараторе того же канала, что был выбран в пункте 7.4.1, значения напряжения порогов срабатывания:
-
- нижний порог V0L = -2 V
-
- верхний порог - значение, указанное в таблице 7.4 (первое значение V0H = -1.5 V).
-
7.4.18 Выполнить действия по пунктам 7.4.3 - 7.4.16 для верхнего порога срабатывания компаратора V0H (заменяя в этих пунктах V0L на V0H).
-
7.4.19 Выполнить действия по пунктам 7.4.1 - 7.4.18 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.
Установки на мультиметре по предыдущей операции (пункт 7.3).
-
7.5.1 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.5.2 Вызвать на канале модуля N1 РХ1е-6570 режим параметрического измерителя (PPMU) и сделать установки:
-
- Current Limit Range 32 mA
-
- Output Function DC Voltage
-
7.5.3 Установить на канале PPMU модуля первое значение Us, указанное в столбце 1 таблицы 7.5.
-
7.5.4 Выполнить отсчет напряжения на мультиметре Um и записать его в столбец 2 таблицы
-
7.5.
Вычислить значение абсолютной погрешности установки напряжения
As = (Um - Us), занести его в столбец 3 таблицы 7.5.
-
7.5.5 Выполнить отсчет напряжения Uppmu на канале PPMU и записать его в столбец 5 таблицы 7.5.
Вычислить значение абсолютной погрешности измерения напряжения
Ам = (Uppmu - Um), занести его в столбец 6 таблицы 7.5.
-
7.5.6 Выполнить действия по пунктам 7.5.3 - 7.5.5 для остальных значений напряжения, указанных в столбце 1 таблицы 7.5.
-
7.5.7 Отключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” мультиметра через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.5.8 Выполнить действия по пунктам 7.5.1 - 7.5.7 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.
Таблица 7.5 - Погрешность установки и измерения напряжения параметрическими измерителями PPMU в режиме источника напряжения
Установленное PPMU значение us,v |
Измеренное мультиметром значение Um,V |
Абсолютная погрешность установки (Um-Us),V |
Пределы допуска погрешности установки, V |
Измеренное PPMU значение UppMlh П1 |
Абсолютная погрешность измерения (Uppmu - Um), V |
Пределы допуска погрешности измерения, V |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
-2.000 |
±0.015 |
±0.005 | ||||
-0.857 |
±0.015 |
±0.005 | ||||
+2.571 |
±0.015 |
±0.005 | ||||
+6.000 |
±0.015 |
±0.005 |
-
7.6.1 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.6.2 Сконфигурировать источник-измеритель напряжения и силы тока (SMU) со следующими установками:
-
- Source mode: Single point
-
- Sense: Local
-
- Voltage range: 10 V
-
- Aperture time: 1 PLC
-
- Powerline Frequency: 50 Hz
-
- Current limit autorange: Off
-
7.6.3 Вызвать на канале модуля N1 PXIe-6570 режим параметрического измерителя (PPMU) и сделать установки:
-
- Current level: первое значение Is, указанное в столбце 1 таблицы 7.6 для первого значения диапазона Current range таблицы 7.6
-
- Upper voltage limit: 6 V
-
- Lower voltage limit: -2 V
-
- Current range: первое значение, указанное в таблице 7.6
-
- Aperture time: 20ms
-
7.6.4 Установить на SMU значения Current limit range и Current limit, соответствующие значению диапазона Current range, установленному на канале PPMU модуля. Например, для диапазона 32 mA следует установить на SMU Current limit range / limit равным 100 mA.
-
7.6.5 Установить на SMU первое значение напряжения Us, указанное в столбце 2 таблицы
-
7.6.
-
7.6.6 Активировать выход SMU.
-
7.6.7 Выполнить отсчет силы тока SMU, изменить знак отсчета на противоположный и записать инвертированный отсчет Ismu в столбец 3 таблицы 7.6.
-
7.6.8 Выполнить отсчет силы тока Армина канале PPMU и записать его в столбец 6 таблицы
-
7.6.
-
7.6.9 Вычислить значение абсолютной погрешности установки силы тока
As = (Ismu - Is), занести его в столбец 4 таблицы 7.6.
Вычислить значение абсолютной погрешности измерения силы тока
Дм = (1ррми- Ismu), занести его в столбец 7 таблицы 7.6.
-
7.6.10 Выполнить действия по пунктам 7.6.3 - 7.6.9 для остальных значений первого диапазона Current range канала PPMU, указанных в столбце 1 таблицы 7.6, опуская установки, которые не изменяются.
-
7.6.11 Выполнить действия по пунктам 7.6.3-7.6.10 для остальных значений всех диапазонов Current range канала PPMU, указанных в таблице 7.6, опуская установки, которые не изменяются.
-
7.6.12 Деактивировать выходы SMU и PPMU.
-
7.6.13 Отключить канал модуля N1 PXIe-6570 от гнезд “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.6.14 Подключить следующий поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.6.15 Выполнить действия по пунктам 7.6.3-7.6.13 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.
Таблица 7.6 - Погрешность установки и измерения силы тока параметрическими измерителями в режиме источника тока / электронной нагрузки
Установленное PPMU значение Is |
Установленное SMU значение U& V |
Измеренное SMU значение Ismu |
Абсолютная погрешность установки (Ismu-Is) |
Пределы допуска погрешности установки |
Измеренное PPMU значение IpPMU |
Абсолютная погрешность измерения (Ijtmu-Ismu) |
Пределы допуска погрешности измерения |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
Current range 32 mA | |||||||
-32.00 |
+5.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
+32.00 |
+5.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
-9.60 |
-1.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
-32.00 |
+1.250 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
+32.00 |
-1.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
Current range 2 mA | |||||||
-2.000 |
+5.000 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
+2.000 |
+5.000 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
-0.600 |
-1.000 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
-2.000 |
+1.250 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
+2.000 |
-1.000 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
Current range 128 pA | |||||||
-128.00 |
+5.000 |
±1.28 |
±1.28 | ||||
+128.00 |
+5.000 |
±1.28 |
±1.28 | ||||
-38.40 |
-1.000 |
±1.28 |
±1.28 | ||||
-128.00 |
+1.250 |
±1.28 |
±1.28 | ||||
+128.00 |
-1.000 |
±1.28 |
±1.28 | ||||
Current range 32 цA | |||||||
-32.00 |
+5.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
+32.00 |
+5.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
-9.60 |
-1.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
-32.00 |
+1.250 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
+32.00 |
-1.000 |
±0.32 |
±0.32 | ||||
Current range 2 цА | |||||||
-2.000 |
+5.000 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
+2.000 |
+5.000 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
-0.600 |
-1.000 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
-2.000 |
+1.250 |
±0.020 |
±0.020 | ||||
+2.000 |
-1.000 |
±0.020 |
±0.020 |
-
7.7 Определение погрешности измерения силы тока и погрешности установки напряжения параметрическими измерителями в режиме источника тока / электронной нагрузки
-
7.7.1 Подключить поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.7.2 Сконфигурировать источник-измеритель напряжения и силы тока (SMU) со следующими установками:
-
- Source mode: Single point
-
- Output function: DC Current
-
- Sense: Local
-
- Voltage limit range: 6.5 V
-
- Voltage limit: 6.5 V
-
- Aperture time: 1 PLC
-
- Power line frequency: 50Hz
-
- Current level range: первое значение, указанное в таблице 7.7
-
- Current level: первое значение -Ismu, указанное в столбце 1 таблицы 7.7 для первого значения диапазона Current range таблицы 7.7
Примечание: в столбце 1 таблицы 7.7 указаны значения силы тока -Ismu с учетом того, что отсчеты силы тока Ippmu имеют противоположный знак (например, если на SMU установлено значение +32 mA, то отсчет PPMU будет равен примерно -32 mA).
-
7.7.3 Вызвать на канале модуля N1 РХ1е-6570 режим параметрического измерителя (PPMU) и сделать установки:
-
- Aperture time: 20ms
-
- Voltage level: первое значение Us, указанное в столбце 2 таблицы 7.7 для первого значения диапазона PPMU Current range таблицы 7.7
-
- Current limit range: первое значение, указанное в таблице 7.7
-
7.7.4 Активировать выход SMU.
-
7.7.5 Выполнить отсчет силы тока PPMU и записать его в столбец 6 таблицы 7.7.
-
7.7.6 Выполнить отсчет силы тока Ippmu на канале PPMU и записать его в столбец 3 таблицы 7.7.
-
7.7.7 Выполнить отсчет напряжения Uppmu на канале PPMU и записать его в столбец 6 таблицы 7.7.
-
7.7.8 Вычислить значение абсолютной погрешности измерения силы тока
Дм = (Ippmu-Ismu), занести его в столбец 4 таблицы 7.7.
Вычислить значение абсолютной погрешности установки напряжения
As = (Uppmu - Us), занести его в столбец 7 таблицы 7.7.
ПРИМЕЧАНИЕ: в столбце 8 таблицы 7.7 значения допуска для абсолютной погрешности установки напряжения указаны с учетом допуска на погрешность измерения напряжения PPMU, равного ±5 mV.
-
7.7.9 Выполнить действия по пунктам 7.7.2 - 7.6.8 для остальных значений первого диапазона SMU Current level range / PPMU Current limit range, указанных в столбце 1 таблицы
-
7.7, опуская установки, которые не изменяются.
-
7.7.10 Выполнить действия по пунктам 7.7.2 - 7.7.9 для остальных значений всех диапазонов канала SMU Current level range / PPMU Current limit range, указанных в таблице 7.7, опуская установки, которые не изменяются.
-
7.7.11 Деактивировать выходы SMU и PPMU.
| И16570МП-2018~ Методика поверки. 23.04.2018__стр. 12 из 14
-
7.7.12 Отключить канал модуля N1 РХ1е-6570 от гнезд “HI”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.7.13 Подключить следующий поверяемый канал модуля N1 РХ1е-6570 к гнездам “Ш”, LO” источника-измерителя напряжения и силы тока через модуль коммутации N1 РХ1(е)-2515.
-
7.7.14 Выполнить действия по пунктам 7.7.2 - 7.7.12 для остальных поверяемых каналов модуля из 0 - 31.
Таблица 7.7 - Погрешность измерения силы тока и погрешность установки напряжения
параметрическими измерителями в режиме источника напряжения / электронной нагрузки
Установленное |
Установленное |
Измеренное |
Абсолютная |
Пределы |
Измеренное |
Абсолютная |
Пределы |
SMU |
PPMU |
PPMU |
погрешность |
допуска |
PPMU |
погрешность |
допуска |
значение |
значение |
значение |
измерения |
погрешности |
значение |
установки |
погрешности |
-Ismu |
Us, V |
IpPMU |
(IpPMU-IsMl.) |
измерения |
Uppmu, V |
(Ujtmu-Us), V |
установки, V |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
б |
7 |
8 |
SMU Current level range / PPMU Current limit range 32 mA | |||||||
0.00 |
-2.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
+32.00 |
+1.250 |
±0.32 |
±20 | ||||
-32.00 |
-2.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
-32.00 |
+6.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
+32.00 |
+6.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
SMU Cunent level range / PPMU Current limit range 2 mA | |||||||
0.000 |
-2.000 |
±0.030 |
±20 | ||||
+2.000 |
+1.250 |
±0.020 |
±20 | ||||
-2.000 |
-2.000 |
±0.030 |
±20 | ||||
-2.000 |
+6.000 |
±0.030 |
±20 | ||||
+2.000 |
+6.000 |
±0.030 |
±20 | ||||
SMU Current level range / PPMU Current limit range 128 цА | |||||||
0.00 |
-2.000 |
±1.92 |
±20 | ||||
+128.00 |
+1.250 |
±1.28 |
±20 | ||||
-128.00 |
-2.000 |
±1.92 |
±20 | ||||
-128.00 |
+6.000 |
±1.92 |
±20 | ||||
+128.00 |
+6.000 |
±1.92 |
±20 | ||||
SMU Current level range / PPMU Current limit range 32 цА | |||||||
0.00 |
-2.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
+32.00 |
+1.250 |
±0.32 |
±20 | ||||
-32.00 |
-2.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
-32.00 |
+6.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
+32.00 |
+6.000 |
±0.48 |
±20 | ||||
SMU Cunent level range / PPMU Cunent limit range 2 pA | |||||||
0.000 |
-2.000 |
±0.030 |
±20 | ||||
+2.000 |
+1.250 |
±0.020 |
±20 | ||||
-2.000 |
-2.000 |
±0.030 |
±20 | ||||
-2.000 |
+6.000 |
±0.030 |
±20 | ||||
+2.000 |
+6.000 |
±0.030 |
±20 |
-
8 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ
По завершении операций поверки оформляется протокол поверки в произвольной форме с указанием следующих сведений:
-
- полное наименование аккредитованной на право поверки организации;
-
- номер и дата протокола поверки
-
- наименование и обозначение поверенного средства измерения
-
- заводской (серийный) номер;
-
- обозначение документа, по которому выполнена поверка;
-
- наименования, обозначения и заводские (серийные) номера использованных при поверке средств измерений, сведения об их последней поверке;
-
- температура и влажность в помещении;
-
- фамилия лица, проводившего поверку;
-
- результаты определения метрологических характеристик по форме таблиц раздела 7 настоящего документа.
Допускается не оформлять протокол поверки отдельным документом, а результаты поверки (метрологические характеристики) указать на оборотной стороне свидетельства о поверке.
8.2 Свидетельство о поверке и знак поверкиПри положительных результатах поверки выдается свидетельство о поверке и наносится знак поверки в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.
8.3 Извещение о непригодностиПри отрицательных результатах поверки, выявленных при внешнем осмотре, опробовании или выполнении операций поверки, выдается извещение о непригодности в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.
Е.В. Маркин
Ведущий инженер по метрологии ЗАО «АКТИ-Мастер»
Ы16570МП-2018
Методика поверки. 23.04.2018
| стр. 14 из 14