Номер по Госреестру СИ: 90948-24
90948-24 Системы измерения параметров пластин
(ИУС-7Р)
Назначение средства измерений:
Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р (далее - системы ИУС-7Р) предназначены для измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Внешний вид.
Системы измерения параметров пластин
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем ИУС-7Р приведены в таблице 1.
Уровень защиты ПО систем ИУС-7Р «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
Кристалл |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже КР-0823-01 |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на маркировочные таблички измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42 типографским методом или в виде наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в Руководстве по эксплуатации ЛДПА.411-04.00.000РЭ, раздел 10 «Порядок работы».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений ЛДПА.411-04.00.000ТУ «Система измерения параметров пластин ИУС-7Р.
Технические условия»;
Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»;
Приказ Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1^10“9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
ПравообладательОбщество с ограниченной ответственностью «Остек-Электро» (ООО «Остек-Электро») ИНН 7731483966
Юридический адрес: 121467, г. Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Испытательный центр
Уральский научно-исследовательский институт метрологии - филиал Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева» (УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»)Адрес: 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Правообладатель
Общество с ограниченной ответственностью «Остек-Электро» (ООО «Остек-Электро») ИНН 7731483966Юридический адрес: 121467, г. Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Принцип действия систем ИУС-7Р основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки, установленной на поверхности образца полупроводникового (диэлектрического) материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности. Для расчетов УПЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.
Конструктивно системы ИУС-7Р состоят из следующих блоков:
-
- измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К;
-
- микроомметра Е6-42 (зарегистрирован в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений под № 88789-23).
Удельное поверхностное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью программного обеспечения (далее - ПО), исходя из измеренных значений электрического сопротивления и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом размеров измеряемого образца. Персональный компьютер с установленным ПО подключается к микроомметру Е6-42 USB-кабелем. ПО систем ИУС-7Р на основе измеренных параметров позволяет рассчитать также удельное электрическое сопротивление пластины и сопротивление растекания.
Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,59 мм. В комплект поставки входят два типа четырехзондовых измерительных головок: ТС с зондами, изготовленными из карбида вольфрама с остриями конусообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин полупроводниковых материалов) и BeCu с зондами, изготовленными из бериллиевой бронзы с остриями шарообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин диэлектрических материалов).
Конструкция систем ИУС-7Р обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).
Маркировочные таблички блоков системы ИУС-7Р с заводским номером, выполненным типографским методом в виде цифрового кода, наклеены на задние панели измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42.
Заводской номер системы ИУС-7Р присваивается по заводскому номеру измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К. Информация о заводских номерах системы ИУС-7Р и входящих в ее состав блоков приведена в формуляре.
Пломбирование систем ИУС-7Р не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на системы ИУС-7Р не предусмотрено.
Общий вид систем ИУС-7Р представлен на рисунке 1.
Места нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид систем ИУС-7Р
Таблица 4 -
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Система измерения параметров пластин ИУС-7Р в составе: |
ЛДПА.411-04.00.000 |
1 шт. |
Измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
ЛДПА.411-09.00.000 |
1 шт. |
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Микроомметр Е6-42 |
ЛДПА.411 -08.00.000 |
1 шт. |
Четырехзондовые измерительные головки |
ВеСи_05_07_62.5 ТС 01 10 62.5 |
2 шт. |
Программное обеспечение (на флеш-карте) |
Кристалл |
1 шт. |
Кабель |
BNC-BNC |
4 шт. |
Кабель |
DSUB |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации системы измерения параметров пластин ИУС-7Р |
ЛДПА.411-04.00.000РЭ |
1 экз. |
Руководство по эксплуатации микроомметра Е6-42 |
ЛДПА.411-О8.00.000РЭ |
1 экз. |
Переходное устройство |
ЛДПА.411-09.00.999 |
1 шт. |
Формуляр |
ЛДПА.411-04.00.000ФО |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики систем ИУС-7Р
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) на квадрат поверхности, Ом |
от 4'10-3 до 9'108 |
Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС, % |
±1,0* |
Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,59 мм), мм:
|
±0,01 ±0,05 |
* - Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС установлены без учета влияния материала полупроводниковой (диэлектрической) пластины. Погрешность измерений УПЭС пластин конкретных полупроводниковых (диэлектрических) материалов устанавливается в методиках измерений, аттестованных в установленном порядке. |
Таблица 3 - Технические характеристики систем ИУС-7Р
Наименование характеристики |
Значение |
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более: - измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
285x470x230 |
- микроомметр Е6-42 |
134x281x320 |
Масса, кг, не более: - измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
18 |
- микроомметр Е6-42 |
4 |
Параметры электрического питания: - напряжение сетевого питания, В |
230±23 |
- частота питающей сети, Гц |
50±О,5 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха °С |
20±5 |
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |