Номер по Госреестру СИ: 90948-24
90948-24 Системы измерения параметров пластин
(ИУС-7Р)
Назначение средства измерений:
Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р (далее - системы ИУС-7Р) предназначены для измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Внешний вид.
Системы измерения параметров пластин
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 13.01.2024
Срок свидетельства - 11.01.2029
Номер записи - 192850
ID в реестре СИ - 1413463
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 2 года
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации, ИУС-7Р,
Производитель
Изготовитель - Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро")
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г. Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Простой и наглядный отчет, показывающий в динамике частоту добавления во ФГИС АРШИН средств измерений по конкретному производителю.
Отчет представлен в виде графика и таблицы. График имеет возможность масштабирования и выгрузку данных в Exel. Таблица поддерживает возможность поиска и сортировки по любому из полей.
В таблице выводится информация по всем типам СИ, выбранного производителя, которая включает в себя:
- рег. номер в ФГИС АРШИН
- дата публикации
- наименование СИ и обозначение
- наименование и страну изготовителя
- ссылки на описание типа и методику поверки
- межповерочный интервал в соответствии с описанием типа
Статистика
Кол-во поверок - 31
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 19
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 729 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№9 от 2024.01.11 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
Наличие аналогов СИ: Системы измерения параметров пластин (ИУС-7Р)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро")
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
73183-18 21.11.2029 |
Измерители параметров ферромагнитных сердечников тороидальной формы, Ш1-23 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
86250-22 |
Системы контроля микросхем памяти, ДЕТЕРМИНАЛ-МАТРИЦА Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
86536-22 26.08.2027 |
Комплексы мобильные переносные, МПК-24 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
88789-23 12.04.2028 |
Микроомметры, Е6-42 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
90948-24 11.01.2029 |
Системы измерения параметров пластин, ИУС-7Р Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
91347-24 20.02.2029 |
Мегаомметры, Е6-46 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
91444-24 28.02.2029 |
Системы контроля монтажа, УЛЕЙ Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
94554-25 05.02.2030 |
Пробники дифференциальные, Обозначение отсутствует Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
94569-25 07.02.2030 |
LC-метры резонансного типа, Е7-35 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
94779-25 28.02.2030 |
Измерители емкости и ESR, E7-53 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
95308-25 23.04.2030 |
Источники-измерители, Б6-8 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
|
95309-25 23.04.2030 |
Источники-измерители, Б6-9 Общество с ограниченной ответственностью "Остек-Электро" (ООО "Остек-Электро") (РОССИЯ г. Москва) |
ОТ МП |
2 года |
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет «Количество типов средств измерений в ФГИС АРШИН по группам СИ» предназначен для сравнительного анализа количества утвержденных типов средств измерений, приходящихся на различные группы СИ. Отчет состоит из двух графиков (одной круговой и одной столбчатой диаграммы) и двух интерактивных таблиц. Таблицы обладают функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Стоит отметить, что отнесение того или иного типа СИ к группе СИ осуществляется не вручную, а с использованием специального программного алгоритма по ключевым словосочетаниям. При таком подходе качество распределения СИ и покрытие реестра типов СИ АРШИНА зависит от качества, предложенных словосочетаний. По этой причине 20% типов СИ, занесённых в АРШИН автоматически распределить не удалось, что не должно существенно отразиться на процентном соотношении или пропорции между группами СИ.
На круговой диаграмме показано количественное соотношение между группами СИ по количеству утвержденных типов СИ. Ввиду того, что некоторые типы СИ могут входить в разные группы, суммарное количество типов СИ, приведенных на диаграмме будет превышать кол-во типов СИ, представленных в ФГИС АРШИН. Как и следовало ожидать, самые большие пропорции занимают однословные классические группы СИ (АИИС, преобразователи, системы, резервуары, трансформаторы … и др.)
В отличии от круговой диаграммы столбчатая демонстрирует тоже разделение типов СИ по группам СИ, но уже в динамике по годам начиная с 2016 года.
Бесплатный
Кто поверяет Системы измерения параметров пластин (ИУС-7Р)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2026 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ООО «ПРОММАШ ТЕСТ МЕТРОЛОГИЯ» (RA.RU.313740) | 9 | 9 | 0 | 0 | 9 | 9 | 0 | |||
| ООО "КР МЕТРОЛОГИЯ" (RA.RU.312824) | 22 | 2 | 22 | 0 | 0 | 18 | 18 | 0 |
Стоимость поверки Системы измерения параметров пластин (ИУС-7Р)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем ИУС-7Р приведены в таблице 1.
Уровень защиты ПО систем ИУС-7Р «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние метрологически значимой части ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Кристалл |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже КР-0823-01 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на маркировочные таблички измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42 типографским методом или в виде наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в Руководстве по эксплуатации ЛДПА.411-04.00.000РЭ, раздел 10 «Порядок работы».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений ЛДПА.411-04.00.000ТУ «Система измерения параметров пластин ИУС-7Р.
Технические условия»;
Приказ Росстандарта от 30 декабря 2019 г. № 3456 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления постоянного и переменного тока»;
Приказ Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1^10“9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
ПравообладательОбщество с ограниченной ответственностью «Остек-Электро» (ООО «Остек-Электро») ИНН 7731483966
Юридический адрес: 121467, г. Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Испытательный центр
Уральский научно-исследовательский институт метрологии - филиал Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И.Менделеева» (УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»)Адрес: 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Правообладатель
Общество с ограниченной ответственностью «Остек-Электро» (ООО «Остек-Электро») ИНН 7731483966Юридический адрес: 121467, г. Москва, ул. Молдавская, д. 5, стр. 2
Принцип действия систем ИУС-7Р основан на измерении разности потенциалов, возникающей между двумя зондами четырёхзондовой измерительной головки, установленной на поверхности образца полупроводникового (диэлектрического) материала, при пропускании электрического тока определённой величины и переменной полярности через два других точечных зонда, расположенных на той же поверхности. Для расчетов УПЭС образца используют усредненное значение сопротивления образца при прямом и обратном токе.
Конструктивно системы ИУС-7Р состоят из следующих блоков:
-
- измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К;
-
- микроомметра Е6-42 (зарегистрирован в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений под № 88789-23).
Удельное поверхностное электрическое сопротивление вычисляется автоматически с помощью программного обеспечения (далее - ПО), исходя из измеренных значений электрического сопротивления и межзондового расстояния четырехзондовой головки с учетом размеров измеряемого образца. Персональный компьютер с установленным ПО подключается к микроомметру Е6-42 USB-кабелем. ПО систем ИУС-7Р на основе измеренных параметров позволяет рассчитать также удельное электрическое сопротивление пластины и сопротивление растекания.
Четырёхзондовая измерительная головка имеет номинальные значения межзондовых расстояний 1,59 мм. В комплект поставки входят два типа четырехзондовых измерительных головок: ТС с зондами, изготовленными из карбида вольфрама с остриями конусообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин полупроводниковых материалов) и BeCu с зондами, изготовленными из бериллиевой бронзы с остриями шарообразной формы (предназначены для измерений УПЭС пластин диэлектрических материалов).
Конструкция систем ИУС-7Р обеспечивает ограничение доступа к частям, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).
Маркировочные таблички блоков системы ИУС-7Р с заводским номером, выполненным типографским методом в виде цифрового кода, наклеены на задние панели измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К и микроомметра Е6-42.
Заводской номер системы ИУС-7Р присваивается по заводскому номеру измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К. Информация о заводских номерах системы ИУС-7Р и входящих в ее состав блоков приведена в формуляре.
Пломбирование систем ИУС-7Р не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на системы ИУС-7Р не предусмотрено.
Общий вид систем ИУС-7Р представлен на рисунке 1.
Места нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид систем ИУС-7Р
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Система измерения параметров пластин ИУС-7Р в составе: |
ЛДПА.411-04.00.000 |
1 шт. |
|
Измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
ЛДПА.411-09.00.000 |
1 шт. |
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроомметр Е6-42 |
ЛДПА.411 -08.00.000 |
1 шт. |
|
Четырехзондовые измерительные головки |
ВеСи_05_07_62.5 ТС 01 10 62.5 |
2 шт. |
|
Программное обеспечение (на флеш-карте) |
Кристалл |
1 шт. |
|
Кабель |
BNC-BNC |
4 шт. |
|
Кабель |
DSUB |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации системы измерения параметров пластин ИУС-7Р |
ЛДПА.411-04.00.000РЭ |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации микроомметра Е6-42 |
ЛДПА.411-О8.00.000РЭ |
1 экз. |
|
Переходное устройство |
ЛДПА.411-09.00.999 |
1 шт. |
|
Формуляр |
ЛДПА.411-04.00.000ФО |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики систем ИУС-7Р
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) на квадрат поверхности, Ом |
от 4'10-3 до 9'108 |
|
Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС, % |
±1,0* |
|
Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,59 мм), мм:
|
±0,01 ±0,05 |
|
* - Пределы допускаемой неисключенной составляющей относительной погрешности измерений УПЭС установлены без учета влияния материала полупроводниковой (диэлектрической) пластины. Погрешность измерений УПЭС пластин конкретных полупроводниковых (диэлектрических) материалов устанавливается в методиках измерений, аттестованных в установленном порядке. | |
Таблица 3 - Технические характеристики систем ИУС-7Р
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более: - измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
285x470x230 |
|
- микроомметр Е6-42 |
134x281x320 |
|
Масса, кг, не более: - измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К |
18 |
|
- микроомметр Е6-42 |
4 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение сетевого питания, В |
230±23 |
|
- частота питающей сети, Гц |
50±О,5 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха °С |
20±5 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |