Методика поверки «ГСИ. Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750x-HD» (J750МП-2017)

Закрытое Акционерное Общество «АКТИ-Мастер»

127254, Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5 тел./факс (495)926-71-85 E-mail: post@actimaster.ru http://www.actimaster.ru

УТВЕРЖДАЮ

Генеральный директор

ЗАО «АКТИ-Мастер»

В. В. Федулов

Государственная система обеспечения единства измерений

Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD

Методика поверки

Л750МП-2017

Д.Р. Васильев

. Николаев

Заместитель генерального директора по метрологии ЗАО «АКТИ-Мастер»

И.о. главного метролога ООО «Совтест АТЕ»

г. Москва

2017

Настоящая методика поверки распространяется на стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD (далее - стенды), изготавливаемые фирмой «Teradyne Inc.», США, и устанавливает методы и средства их поверки.

Интервал между поверками - 1 год.

При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1 - Операции поверки

• 2.1 Для проведении поверки рекомендуется применять следующие средства поверки:

- частотомер электронно-счетный Agilent 53181A, регистрационный номер 26211-03;

- мультиметр Agilent 3458A, регистрационный номер 25900-03.

Допускается применять другие аналогичные средства поверки, обеспечивающие определение метрологических характеристик стендов с требуемой точностью.

Для выполнения операций поверки требуется интерфейсная плата CAL-DIB с присоединительным кабелем.

• 2.2 Применяемые средства поверки должны быть исправны, средства измерений поверены и иметь документы о поверке.

К проведению поверки допускаются лица с высшим или среднетехническим образованием, имеющие практический опыт в области электрических измерений.

При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности в соответствии с ГОСТ 12.3.019-80, «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».

При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия окружающей среды:

• - температура воздуха (23 ±3) °C;

• - относительная влажность воздуха от 30 до 70 %;

• - атмосферное давление от 84 до 106.7 кПа.

• 6 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

• 6.1.1 При проведении внешнего осмотра проверяются:

• - комплектность стенда;

• - отсутствие механических повреждений;

• - четкость фиксации органов управления и коммутации;

• - чистота гнезд, разъемов и клемм блока измерений;

• - исправность состояния соединительных проводов и кабелей;

• - однозначность и четкость маркировки.

• 6.1.2 При наличии дефектов или повреждений, препятствующих нормальной эксплуатации поверяемого прибора, его направляют в ремонт.

• 6.2 Опробование и идентификация

• 6.2.1.1 Установить основной выключатель «CB1» силового шкафа в положение «ON».

• 6.2.1.2 Нажать зеленую кнопку «включение питания» на лицевой стороне силового шкафа для подачи питания на измерительный головной блок и компоненты системы.

Включить прерыватели схем питания системы «CB5», «CB3», «CB4», «CB6» на тыльной стороне шкафа.

Нажать и удерживать в течение 3-5 секунд зеленую кнопку «Power ON» на лицевой стороне измерительного головного блока.

• 6.2.1.3 Включить управляющий компьютер.

Запустить на компьютере программу IG-XL, J750Maint.

Результаты проверки функционирования измерительного головного блока считать положительными, если после запуска программного обеспечения отсутствуют сообщения об ошибках.

• 6.2.2.1 Войти в главное окно программы IG-XL.

Проверить индицируемый номер версии программы.

• 6.2.2.2 Войти в главное окно программы J750Maint.

Проверить индицируемый номер версии программы.

Результаты проверки идентификационных данных считать положительными, если номер версии IG-XL не ниже v. 3.50.50, номер версии J750Maint не ниже v. 7.60.50.

• 6.2.3 Проверка исправности вакуумного прижима

ВНИМАНИЕ! Действия с платой «CAL-DIB» проводить с использованием антистатического браслета.

• 6.2.3.1 Установить на прижимное устройство интерфейсную плату «CAL-DIB».

• 6.2.3.2 Включить вакуумный насос тумблером в верхней части тестовой головки;

• 6.2.3.3 Прижать плату «CAL-DIB», убедиться в том, что она сидит плотно, при этом необходимо надавливать на плату «CAL-DIB» на участке непосредственно над блоками контактов.

Результаты проверки исправности вакуумного прижима считать положительными, если показания индикаторного манометра, расположенного на задней стороне измерительного головного блока, находятся в «зелёной зоне» шкалы.

• 6.3 Подготовка управляющего модуля «CAL-CUB»

• 6.3.1.1 Подключить при помощи кабеля GPIB, из комплекта поставки системы, мультиметр 3458A к управляющему компьютеру как показано на рисунке 1.

  ^GPIB

  Мультиметр 3458A

GPIB

Управляющий компьютер J750Ex-HD

Рисунок 1 - Схема подключения кабеля GPIB для калибровки модуля «CAL-CUB»

• 6.3.1.2 Установить GPIB адрес мультиметра 3458A равным 22. Выполнить автокалибровку мультиметра нажатием «AutoCal», затем «Enter» на лицевой панели мультиметра.

• 6.3.1.3 Запустить на управляющем ПК системы специализированное ПО «J750Maint».

• 6.3.1.4 В диалоговом окне (рисунок 2) программы «J750Maint» перейти на вкладку «External Cal».

  

  Рисунок 2 - Диалоговое окно программы «J750Maint»

• 6.3.1.5 Отменить выбор всех плат системы, нажав на знак «-» в поле «ALL».

• 6.3.1.6 Выбрать в диалоговом окне модуль «CAL-CUB» щелчком по изображению ярлыка, который соответствует SLOT 18.

• 6.3.1.7 Нажать кнопку «Start».

• 6.3.1.8 Подключить щупы мультиметра к интерфейсной плате «CAL-DIB» по схеме, показанной в открывшемся диалоговом окне программы (рисунок 3).

  

Рисунок 3 - Схема подключения щупов мультиметра к интерфейсной плате

• 6.3.1.9 При успешном прохождении процедуры «ExternalCal» появится окно «CALCUBCAL» с результатами калибровки, как показано на рисунке 4, в противном случае появится код ошибки.

• 6.3.1.10 Стенд считается прошедшим калибровку (подстройку) модуля «CAL-CUB», если процедура «ExternalCal» прошла успешно.

  Запрограммированное

  Измеренное значение внешним СИ

  воспроизведенное модулем

  значение напряжения,

  

  Измеренное значение модулем CAL-CUB

  Ю CALD^DCAL Natepad	1	/          HEEJ|
  Eic [diWlcal i ЫЫр               iL

  2.060367146

  5.003134004

  7.G03286304

  10.03614234

  24.00638155

  ►  -1.999081944

  I -4.999929354

  1.96970986328435 1

  4.90239225050748

  6.97852212216455

  9.95081274665545

  23.919845042268 1

  1.99963Э7090625 I

  4.99839782714044

  6.99757385253906

  9.99460994140625

  23.9868621826172

  -1.99913024902344

  -4.99789428710938

  -6.9970703125

  -9.99542236320125  -9.999712755

  -22.909654541 0156  -23.99976558

  9999  0   3.0051711026272Е-ОЗ 0

  0.772144659997920  9.2  0.106200147584861 0

  9999  0  -3.0М2 0806032919Е-04 0

  2.27248В0В5872  0.82  1.970779543Э5В54Е-02 0

  9999  0  -2.96944716221765Е-05 0

  3-09537644931008  0.002  1_96622a26B83104E-03 0

  9999  0  -3.01302156240864Е-06 0

  3-05664926128384  0.0002  1.9652

  9909  0  -3.04438858620543Е-07 0

  3.95294110068421  0.00002  1.96496922424849Е-05 0

  9909  0  -3.0737319251327Е-08 О

  3.95129312631937  0.009002  1.96467407051190Е-06 О

  9909  0  -З.О8И2146676О305Е-О9 О

  3.94346531629847  0.0000092  1 .96447416909618Е~07 0

  2.09922180175781  3.000293289  2.08722800378429 1

  -0.999130249023438 0.99674987792969  ■

  9909  0.0003166606986

  -8.99624633789063

  9909

  9999

  9909

  9999

  -2.08105694181646 -4.99469621684926

  -6.999608226  -6.90964111136561 1

  -10-0003337961974

  -23.9677829447309

  
  

  0.6096092

  3.003293209

  -0.9996389451  -1.00301504064345 1

  9.609213644  8.97377450647419 1

  -2.4147770622882ОЕ-02 1

  9841482   8.98559574037904 1

  

  Рисунок 4 - Результаты процедуры калибровки «External Cal»

  9909	9999	9999
  9999	9999	9999
  9909	9999	9999
  9999	9999	9999

  Напряжение не

  "1"- Значения напряжений
  "0" сил	- Значения ы тока

  воспроизводилось

  

Схема соединений - по пункту 6.3.1.

• 6.3.2.1 В диалоговом окне программы «J750Maint» перейти на вкладку «External PV».

• 6.3.2.2 Отменить выбор всех плат системы, нажав на знак «-» в поле «ALL».

• 6.3.2.3 Выбрать в диалоговом окне модуль «CAL-CUB» щелчком по изображению ярлыка, который соответствует SLOT 18.

• 6.3.2.4 Нажать кнопку «Start».

• 6.3.2.5 По завершении процесса измерений результаты измерения «External PV» выводятся на экран, как показано на рисунке 6.

  

Рисунок 6 - Результаты измерений «External PV»

Модуль считается прошедшим проверку успешно, если во всех результатах измерений будет отображено сообщение «PASS».

6.4 Определение метрологических характеристик

• 6.4.1.1 Подсоединить наконечник кабеля, входящего в комплект интерфейсной платы CAL-DIB, к тестовой точке CLK_N на плате CAL-DIB. Расположение разъема CLK_N показано на рисунке 7.

Присоединить выходной разъем кабеля к входу частотомера.

Рисунок 7 - Расположение разъема CLK_N на плате CAL-DIB

• 6.4.1.2 Выполнить измерение частоты.

Результат измерения считать положительным, если измеренное значение частоты находится в пределах (100 ±0,001) МГц.

Измерения характеристик производятся в автоматическом режиме.

Для формирования протоколов с результатами измерений необходимо выполнить следующие действия.

• 1) В диалоговом окне программы «J750Maint» перейти на вкладку «Performance», как показано на рисунке 8.

• 2) Отметить выбор всех плат (каналов) стенда, нажав на знак «+» в поле «ALL».

• 3) Выбрать в поле «Verbosity» значение «All test».

• 4) Нажать кнопку «Start».

• 5) Программа выполнит измерение параметров стенда в автоматическом режиме, после чего результаты измерений «Performance» отобразятся в окне, показанном на рисунке 9.

• 6) Открыть файл «Формирование протокола» в Microsoft Excel, как показано на рисунке 10.

• 7) Выполнить следующие действия.

7.1) Выбрать необходимый состав стенда J750Ex-HD, исходя из его комплектации.

Рисунок 8 - В диалоговое окно программы «J750Mamt» в режиме «Performance»

Рисунок 9 - Результаты измерений «Performance»

Рисунок 10 - Вид файла «Формирование протокола»

Рисунок 11 - вид окна «Характеристики»

• 7.3) Выбрать соответствующие характеристики из перечня, отображаемого в этом окне, нажать кнопку <ОК>.

• 7.4) Выбрать файл «Performance» из директории, в которой сохранен файл, нажать <OK>.

• 7.5) Программа сформирует файл в виде таблицы, в правом столбце которой отражаются результаты (Годен / Брак).

• 7.6) Приобщить сформированную таблицу к протоколу поверки.

• 6.4.2.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон низкого логического уровня тестовых векторов (VIL)», «Диапазон высокого логического уровня тестовых векторов (VIH)», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.2.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.2.1.

Таблица 6.4.2.1 - Диапазоны и пределы допускаемой погрешности воспроизведения

постоянного напряжения драйверами

• 6.4.2.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.2.2.

Таблица 6.4.2.2 - Фрагменты файла протокола

Канал 0: Диапазон низкого логического уровня тестовых векторов (VIL)

Задано [В] Измерено [В] Разность [В] Допуск [В]Результат

Слот 0

Канал 0: Диапазон высокого логического уровня тестовых векторов (VIH)

Задано [В] Измерено [В] Разность [В] Допуск [В]Результат

Слот 0

• 6.4.3.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон воспроизведения напряжения устройством PPMU», «Диапазон измерения напряжения устройством PPMU», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.3.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.3.1.

Таблица 6.4.3.1 - Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и

измерения постоянного напряжения источником-измерителем PPMU

6.4.3.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.3.2.

Таблица 6.4.3.2 - Фрагменты файла протокола

• 6.4.4.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон воспроизведения тока устройством PPMU», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.4.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.4.1.

Таблица 6.4.4.1 - Диапазоны D_I / разрешение R_I и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI воспроизведения и измерения силы постоянного тока P PMU

6.4.4.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.4.2.

Таблица 6.4.4.2 - Фрагменты файла протокола

• 6.4.5.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон измерения тока устройством PPMU», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.5.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.4.1.

Таблица 6.4.5.1 - Диапазоны D_I / разрешение R_I и пределы допускаемой абсолютной

погрешности AI измерения силы постоянного тока PPMU

6.4.5.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.4.2.

Таблица 6.4.5.2 - Фрагменты файла протокола

• 6.4.6.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон воспроизведения напряжения устройством BPMU», «Диапазон измерения напряжения устройством BPMU», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.6.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.6.1.

Таблица 6.4.6.1 - Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источником-измерителем BPMU____

• 6.4.6.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.6.2.

Таблица 6.4.6.2 - Фрагменты файла протокола

• 6.4.7.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон воспроизведения тока устройством BPMU», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.7.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.7.1.

Таблица 6.4.7.1 - Диапазоны D_I / разрешение R_I и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI воспроизведения и измерения силы постоянного тока B PMU

6.4.7.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.7.2.

Таблица 6.4.7.2 - Фрагменты файла протокола

• 6.4.8.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон измерения тока устройством BPMU», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.8.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.7.1.

Таблица 6.4.8.1 - Диапазоны D_I / разрешение R_I и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока BPMU

• 6.4.8.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.8.2.

Таблица 6.4.8.2 - Фрагменты файла протокола

Канал 0: Диапазон измерения тока устройством BPMU

• 6.4.9.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон низкого логического уровня компаратора VOL», «Диапазон высокого логического уровня компаратора VOH», нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.9.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблице 6.4.9.1.

Таблица 6.4.9.1 - Диапазон и пределы допускаемой погрешности измерения постоянного напряжения компараторами

6.4.9.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.9.2.

Таблица 6.4.9.2 - Фрагменты файла протокола

• 6.4.10.1 В окне «Характеристики» (рисунок 11) выбрать «Диапазон воспроизведения напряжения источником питания (DPS, HDDPS, HDVIS)» в зависимости от того, какая номенклатура источников установлена, нажать кнопку <ОК>.

• 6.4.10.2 Результаты (Годен / Брак) рассчитываются исходя из пределов допускаемой погрешности, указанных в таблицах 6.4.10.1.

Таблица 6.4.10.1a - Характеристики источников DPS

Таблица 6.4.10.1c - Характеристики источников HDVIS

• 6.4.10.3 Пример фрагмента протокола представлен в таблице 6.4.10.2.

Таблица 6.4.10.2 - Фрагменты файла протокола

Канал 0: Диапазон воспроизведения напряжения источником питания HDVIS

• 7 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

По завершении операций поверки оформляется протокол поверки в произвольной форме с указанием следующих сведений:

- полное наименование аккредитованной на право поверки организации;

- номер и дата протокола поверки

- наименование и обозначение поверенного средства измерения

- заводской (серийный) номер;

- обозначение документа, по которому выполнена поверка;

- наименования, обозначения и заводские (серийные) номера использованных при поверке средств измерений, сведения об их последней поверке;

- температура и влажность в помещении;

- фамилия лица, проводившего поверку;

- результаты определения метрологических характеристик по форме таблиц раздела 7 настоящего документа.

Допускается не оформлять протокол поверки отдельным документом, а результаты поверки (метрологические характеристики) указать на оборотной стороне свидетельства о поверке в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.

При положительных результатах поверки выдается свидетельство о поверке и наносится знак поверки в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.

При отрицательных результатах поверки, выявленных при внешнем осмотре, опробовании или выполнении операций поверки, выдается извещение о непригодности в соответствии с Приказом Минпромторга России № 1815 от 02.07.2015 г.

J750Mn-2017

J750Ex-HD. Методика поверки. 30.05.2017

стр. 21 из 21