Методика поверки «ГСИ. Генераторы газовых смесей GDC-703» (МП-242-2057-2016)
Федеральное государственное унитарное предприятие
«Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»УТВЕРЖДАЮ
V* г? с
.И.Менделеева»
.Гоголинский
оября 2016 г.
Зам.лиректора
Е П. V43 нов Доверенность №15 ОТ 11 МАЯ 2016т,
Директор
Государственная система обеспечения единства измерений
Генераторы газовых смесей GDC-703
Методика поверки
МП-242-2057-2016Руководитель научно-исследовательского отдела госэталонов в области
физико-химических измерений
. И. Менделеева”
Л.А. Конопелько
Инженер
А.А. Нечаев
Санкт-Петербург
2016 г.
Настоящая методика поверки распространяется на все генераторы газовых смесей GDC-703 (далее - генераторы) находящиеся в эксплуатации. Генераторы предназначены для приготовления бинарных газовых смесей методом динамического разбавления исходных ГС.
Допускается проведение поверки отдельных измерительных каналов расхода из состава генераторов в соответствии с заявлением владельца генераторов, с обязательным указанием в свидетельстве о поверке информации об объеме проведенной поверки.
Интервал между поверками - 1 год.
1 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ-
1.1 .При проведении поверки должны быть выполнены операции, приведенные в таблице
-
1.
Таблица 1.
Наименование операции |
Номер пункта инструкции по поверке |
Проведение операции при | |
Первичной поверке |
Периодической поверке | ||
1.Внешний осмотр |
6.1 |
Да |
Да |
2. Опробование |
6.2 |
Да |
Да |
2.1 Проверка общего функционирования |
6.2.1 |
Да |
Да |
2.2 Проверка герметичности |
6.2.2 |
Да |
Да |
3. Подтверждение соответствия программного обеспечения |
6.3 |
Да |
Да |
4 Определение метрологических характеристик: 4.1 Определение относительной погрешности задания расхода газа по каналам 4.3 Определение относительной погрешности заданного значения объемной (молярной) доли |
6.4
|
Да Да |
Да Да |
1.2.Если при проведении той или иной операции поверки получен отрицательный результат, дальнейшая поверка прекращается.
2 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ-
2.1.При проведении поверки должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 2.
Таблица 2.
Номер пункта НТДпо поверке |
Наименование основного и вспомогательного средства поверки, номер документа, требования к СИ, основные технические и (или) метрологические характеристики |
6.2,6.4 |
Трубка медицинская поливинилхлоридная (ПВХ) по ТУ6-01-2-120-73, 6x1,5 мм Азот газообразный особой чистоты сорт 1-й по ГОСТ 9293-74. Редуктор баллонный газовый одноступенчатый БКО-50-4 соответствует ГОСТ 13861. |
6.2.2 |
Манометр эталонный МО, кл. 0,4, верхний предел измерений 0,25 МПа. Тройник со штуцерами на трубки 4><1,5 и 6x1,5 мм. |
6.3 |
- |
Номер пункта НТДпо поверке |
Наименование основного и вспомогательного средства поверки, номер документа, требования к СИ, основные технические и (или) метрологические характеристики |
6.4.1 |
Государственный рабочий эталон 1 разряда единиц объема в диапазоне от 0,1 до 10000 дм3 в области измерений объемного расхода газа в диапазоне от 0,002 до 50 дм3/мин, регистрационный номер 3.1.ZZB.0143.2015. |
6.4.2 |
Эталонные комплексы аппаратуры для передачи размера единиц молярной доли и массовой концентрации компонентов в газовых средах, входящие в состав Государственного первичного эталона ГЭТ 154-2011 Газовые смеси - эталоны сравнения по ГОСТ 8.578-2014 (перечень газовых смесей представлен в приложении Б) Газовые смеси - рабочие эталоны 0,1 и 2-го разрядов, входящие в комплект |
Примечание: допускается использовать средства поверки, не приведенные в перечне, но обеспечивающие применение (контроль) метрологических характеристик генераторов с требуемой точностью.
З.ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ-
3.1. Помещение, в котором проводится поверка, должно быть оборудовано приточновытяжной вентиляцией.
-
3.2. При работе с газовыми смесями в баллонах под давлением должны соблюдаться “Правила устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением”, утвержденные Госгортехнадзором.
-
3.3. При проведении поверки должны соблюдаться требования техники безопасности, приведенные в п.п. 2.1.2 руководства по эксплуатации на генератор.
-
4.1. При проведении поверки соблюдаются следующие условия:
температура воздуха в помещении (293 ± 5) К;
атмосферное давление от 90,6 до 104,8 кПа; относительная влажность воздуха от 30 до 80 %.
5 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ-
5.1. Перед проведением поверки должны быть выполнены следующие подготовительные работы:
-
1. Генератор должен быть подготовлен к работе в соответствии с руководством по эксплуатации.
-
2. Государственный рабочий эталон 1 разряда единиц объема в диапазоне от 0,1 до 10000 дм3 в области измерений объемного расхода газа в диапазоне от 0,002 до 50 дм3/мин, регистрационный номер 3.1.ZZB.0143.2015, должен быть подготовлен к работе в соответствии с эксплуатационной документации (ЭД) на него.
-
3. Баллоны с газами должны быть выдержаны при температуре помещения, где проводится поверка, (293 ± 5) К:
-
- баллон вместимостью 40 л - 16 ч;
-
- баллон меньшей вместимости -8 ч;
-
4. Должна быть включена приточно-вытяжная вентиляция.
-
5. Газоанализаторы и генераторы, входящие в эталонные комплексы Хд 1.456.445, Хд 1.456.447, Хд 1.456.448, Хд 1.456.449, Хд 1.456.451, должны быть подготовлены к работе в соответствии с нормативной документацией на них.
-
6.1. Внешний осмотр
-
6.1.1. При внешнем осмотре должно быть установлено:
-
-
- соответствие маркировки и комплектности рабочего эталона требованиям НТД;
-
- отсутствие внешних повреждений, влияющих на работоспособность прибора;
-
- четкость всех надписей на лицевой панели прибора;
-
- исправность органов управления, настройки (кнопки, переключатели, тумблеры).
Генератор считается выдержавшим внешний осмотр удовлетворительно, если он соответствует всем перечисленным выше требованиям.
6.2. Опробование
-
6.2.1 Проверка общего функционирования
При проверке общего функционирования включить генератор. На передней панели должны гореть индикатор «PWR» и мигать индикатор «ОРЕ».
-
6.2.2 Проверка герметичности
Проверка герметичности газовой системы генератора проводится следующим образом:
-
- подсоединить редуктор к баллону с азотом (воздухом, инертным газом), а выход редуктора - к входному штуцеру «N2» генератора; через тройник подсоединить к выходу генератора образцовый манометр с пределом измерения 0,10 МПа (1,0 кгс/см2);
-
- закрыть заглушкой остальные входы генератора;
-
- установить с помощью редуктора давление в газовой системе генератора (0,10 ±0,005) МПа (1,0±0,05 кгс/см2), герметично перекрыть линию подачи газа от редуктора к рабочему эталону. Зафиксировать показания образцового манометра. Через 10 мин. повторно зафиксировать показания манометра. Спад давления не должен превышать 0,01 МПа (0,1 кгс/см2).
-
6.3 Подтверждение соответствия программного обеспечения
Программное обеспечение генераторов встроенное - «GDC-703 ». Идентификация программного обеспечения генератора проводится путем отправки в генератор команды (ASCII кода) на запрос системной информации (82) через программу HyperTerminal (или любой другой программы позволяющей эмулировать работу терминала при взаимодействии с удалёнными устройствами по последовательной шине (RS-232C)). В ответ на команду генератор должен прислать ответ в виде нормальной реакции (82ОК) и информацию о текущем состоянии генератора (режим генератора, выбранный целевой газ, заданная концентрация целевого компонента на выходе). В случае неисправности генератор выдаст команду аномальной реакции (??NG).
-
6.4 Определение метрологических характеристик
При определении метрологических характеристик генератора управление его работой выполняется согласно РЭ при помощи программы HyperTerminal, включенной в операционную систему семейства Windows (98, ME, ХР и др) или любой другой программы позволяющей эмулировать работу терминала при взаимодействии с удалёнными устройствами по последовательной шине (RS-232CJ.
6.4.1 Определение относительной погрешности заданного расхода газа по каналам
Оценивается разность показаний заданного расхода газа генератора GDC-703 и рабочего эталона по каждому из каналов.
Поверка проводится на газе азоте следующим образом:
-
1) Подсоединить редуктор к баллону с газом;
-
2) Подать питание в генератор, прогреть прибор в течение 30 мин.
-
3) Подключить выход редуктора к входу «N2» для исследования канала MFC-1, остальные входы заглушить.
Примечание: для исследования каналов MFC-2, MFC-3, MFC-4 необходимо использовать вход генератора «СОМР» («Компонент»),
-
4) К выходу генератора подключить рабочий эталон;
-
5) Редуктором установить давление на входе генератора (0,1 ± 0,005) МПа;
-
6) Установить значения расхода через исследуемые каналы согласно таблицам приложения Г. Измерения с помощью рабочего эталона проводить в соответствии с ЭД на рабочий эталон. Результаты измерений записать в таблицу 1.
Таблица 1
Канал N ; Диапазон расхода - см3/мин
Заданные значения расхода газа генератора, Qr, см3/мин |
Показания рабочего эталона, Qc , см3/мин |
Относительная погрешность Qr~Qc -100,% Qr |
Выво- ды | |||
при увеличении |
при уменьшении |
Среднее |
Полученное значение |
Допускаемое значение | ||
Результат испытания считают положительным, если максимальное значение относительной погрешности в каждом из последовательных измерений не превышает пределов допускаемых значений относительной погрешности по выбранному каналу расхода газа, приведённом в таблице 2
Таблица 2
Канал |
Диапазон задания расхода (приведенный к температуре 25 °C и давлению 101,4 кПа), см3/мин |
Пределы допускаемой относительной погрешности задания расхода, % |
MFC-1 |
от 400 до 4000 |
± 1,0 |
MFC-2 |
от 8,00 до 56,00 | |
MFC-3 |
от 55,0 до 500,0 | |
MFC-4 |
от 500 до 4000 |
-
6.4.2 Определение относительной погрешности заданного значения объемной доли в смеси на выходе генератора
Определение относительной погрешности заданного значения объемной (молярной) доли целевого компонента проводится методом компарирования ГС, полученных при помощи эталонного генератора, входящего в состав эталонных комплексов и генератора газовых смесей GDC-703. При этом расхождение концентраций в ГС не должно превышать 15 %.
Компаратором служат газоанализаторы, входящие в состав эталонных флуоресцентного, хемилюминесцентного и электрохимического комплексов аппаратуры для передачи размера единиц молярной доли и массовой концентрации компонентов в газовых средах, входящих в состав Государственного первичного эталона единиц молярной доли и массовой концентрации компонентов в газовых средах ГЭТ 154-2011. Определение относительной погрешности проводится в соответствии с методикой, приведенной в Хд 1.456.446 МИ, Хд 1.456.445 МИ.
Определение погрешности проводится для химически активных по оксиду азота (NO), так как оксид азота обладает наиболее ярко выраженными химически активными свойствами. Для химически неактивных (углеводородов и инертных) газов (СО, СОг, Ог, CFU, СзНя) определение погрешности проводится по оксиду углерода (СО).
В качестве исходных газовых смесей для генераторов газовых смесей GDC-703 генератора в зависимости от диапазонов газоанализаторов эталонных установок необходимо использовать по выбору бинарные газовые смеси - ГСО - ПГС 0-го, 1-го, 2-го разряда (по ТУ 6-16-2956-01) (перечень приведен в приложении Б) входящие в комплект генераторов.
В качестве газа-разбавителя для генераторов GDC-703 и генератора эталонных установок необходимо использовать азот высокой чистоты (особой чистоты по ГОСТ 9293-74 или ТУ 2114-004-05798345-2009, ТУ 6-21-39-96), воздух (по ТУ 6-21-5-82).
В качестве аттестованных газовых смесей для эталонного генератора в зависимости от диапазонов газоанализаторов эталонных установок необходимо использовать по выбору газовые смеси - эталоны сравнения в баллонах под давлением по ГОСТ 8.578-2014. Перечень газовых смесей - эталонов сравнения указан в приложении Б.
Последовательно задают в соответствии с руководством по эксплуатации генератора не менее 2-х ГС с объемной долей целевого компонента, соответствующей (30 - 90) % диапазона измерений газоанализаторов-компараторов, входящих в состав эталонных комплексов.
Полученную на генераторе аттестуемую газовую смесь подают на вход газоанализатора-компаратора.
Определение объемной (молярной) доли целевого компонента в газовой смеси на выходе генераторов проводят методом компарирования с использованием комплекса для измерения молярной доли и массовой концентрации NO, NO2, NH3, SO2, H2S и др. в газовых смесях на основе химически активных газов Хд 1.456.446 и комплекса для измерения молярной доли СО, СОг, СНд и др. в бинарных и многокомпонентных газовых смесях Хд. 1.456.445, входящих в состав Государственного первичного эталона единиц молярной доли и массовой концентрации компонентов в газовых средах ГЭТ 154-2011. Число измерений для каждой концентрации - в соответствии с РЭ на каждый эталонный комплекс.
В качестве компаратора применяется газоанализатор на соответствующий компонент с вариацией показаний не более 0,5До.
Проводят расчет относительной погрешности компарирования (So) в соответствии с РЭ на каждый эталонный комплекс.
Если So превышает значение, указанное в РЭ, то необходимо провести дополнительно 5 новых измерений и снова провести его расчет.
(J
Рассчитывают значение объемной (молярной) доли д , % определяемого компонента в каждой ГС на выходе эталонного комплекса в соответствии с РЭ.
Рассчитывают относительную погрешность поверяемого генератора (30, %) для каждого задаваемого значения объемной (молярной) доли целевого компонента по формуле:
£,=^^••100 (1)
с
-
3 - заданное (расчетное) значение объемной (молярной) доли компонента на выходе поверяемого генератора, %.
С
д - действительное значение объемной (молярной) доли целевого компонента в ГС на выходе испытываемого генератора, определенное при помощи установок эталонного комплекса, %.
Относительная погрешность генератора не должна превысить значений, приведенных в таблице 1 приложения В для каждого целевого компонента, используемого при компарировании.
7. ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТА ПОВЕРКИ-
7.1. При проведении поверки генератора составляется протокол, в котором указывается соответствие генератора предъявляемым к нему требованиям. Форма протокола приведена в приложении А.
-
7.2. Генератор, удовлетворяющий требованиям настоящей методики, признается годным.
-
7.3. Положительные результаты поверки оформляются свидетельством о поверке установленной формы.
-
7.4. При отрицательных результатах поверки, генератор к применению не допускается, на него выдается извещение о непригодности с указанием причины.
Приложение А
Протокол поверки
Генератора газовых смесей GDC-703
Зав. номер генератора______________________________
Дата выпуска___________________________________
Организация, представившая генератор на поверку____________________________
Условия поверки: температура окружающего воздуха______К
атмосферное давление______________________________кПа
относительная влажность____________________________%
Средства поверки________________________________________________________
Поверка произведена в соответствии с документом «Генераторы газовых смесей GDC-703. Методика поверки. МП-242-2057-2016»
Результаты поверки
-
1. Результаты внешнего осмотра____________________________________________
-
2. Результаты опробования:
Проверка общего функционирования_______________________________________
Герметичность___________________________________________________________
-
3. Результаты подтверждения соответствия программного
обеспечения_______________________________________________________________________
4. Результаты определения метрологических характеристик
4.1 Результаты определения относительной погрешности измерения расхода по каналам
Заданные значения расхода генератора, Qr, см3/мин |
Показания рабочего эталона, Qc , см3/мин |
Относительная О,-Q погрешность—2----- 100, Qc % |
Выво ды | |||
при увеличении |
при уменьшении |
Среднее |
Полученное значение |
Допускаемое значение | ||
-
4.2 Результаты определения относительной погрешности заданного значения объемной
(молярной) доли компонента в смеси на выходе генераторов GDC-703
Целевые компоненты |
Заданное значение объемной (молярной) доли компонента на выходе генератора Сз , % |
Действительное значение объемной (молярной) доли целевого компонента на выходе с генератора, д , % |
Отн. погрешность заданного значения объемной (молярной) доли компонента в смеси на выходе генератора, % |
Выводы | |
Полученное значение |
Допускаемое значение | ||||
4.Заключение_______
(соответствует или не соответствует требованиям, приведенным в данной методике)
Поверитель____________________________
(подпись)
Дата поверки “____”_______________20 г.
Приложение Б
1. Перечень газовых смесей - эталонов сравнения по ГОСТ 8.578-2014, применяемых
совместно с эталонными комплексами, при поверке генераторов газовых смесей GDC-703
№ п/п |
Тип эталона |
Определяемый и фоновый компоненты |
Молярная доля компонента, % |
Относительная расширенная неопределенность при коэффициенте охвата к=2 (%)* | |
1. |
ГСО 10774-2016 |
СО+№(воздух) |
0,1 |
1,0 |
0,25 |
2. |
ГСО 10774-2016 |
СО+Мг(воздух) |
1,0 |
10,0 |
0,2 |
3. |
ГСО 10774-2016 |
ЬЮ+№(воздух) |
0,1 |
1,0 |
0,25 |
4. |
ГСО 10774-2016 |
NO+N2(BO3ziyx) |
0,1 |
10,0 |
0,25 |
Примечание 1: Возможность использования ЭС определяется сроком годности ЭС, который указывается в паспорте на ЭС.
Примечание 2. ЭС регистрируется во ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» при его изготовлении и аттестации с помощью ГЭТ 154-2011
Примечание 3: Допускается возможность использовать другие ГС с тем же компонентным составом, но с метрологическими характеристиками не хуже указанных в перечне ГС.
2. Перечень газовых смесей в баллонах под давлением - рабочих эталонов по ТУ 6-16-2956-92, используемых в качестве исходных газовых смесей при поверке генераторов газовых смесей GDC-703
Номер ГСО |
Компонент ный состав |
Размерность |
Номинальное значение объемной (молярной) доли |
Пределы допускаемой относительной погрешности, % |
Разряд |
10545-2014 |
NO+N2 (воздух) |
% |
0,1 -1 |
0,6 |
0 |
10546-2014 |
NO+N2 (воздух) |
% |
0,1 -1 |
1,5 |
1 |
10547-2014 |
NO+N2 (воздух) |
% |
0,1 -1 |
3 |
2 |
9744-2011 |
СО+воздух |
млн'1 |
100-190 |
2 |
1 |
9745-2011 |
СО+воздух |
% |
0,100-0,190 |
2 |
1 |
10530-2014 |
СО+воздух |
% |
110'3-0,1 |
1,5 |
0 |
10530-2014 |
СО+воздух |
% |
0,1 -1 |
0,6 |
0 |
10530-2014 |
СО+воздух |
% |
1 -10 |
0,4 |
0 |
10531-2014 |
СО+воздух |
% |
110'3-0,1 |
2,5 |
1 |
10531-2014 |
СО+воздух |
% |
0,1 -1 |
1,5 |
1 |
10531-2014 |
СО+воздух |
% |
1 -10 |
1 |
1 |
10532-2014 |
СО+воздух |
% |
110'3-0,1 |
5 |
2 |
10532-2014 |
СО+воздух |
% |
0,1 -1 |
3 |
2 |
10532-2014 |
СО+воздух |
% |
1 -10 |
2,5 |
2 |
Примечание: Допускается возможность использовать другие ГС с тем же компонентным составом, но с метрологическими характеристиками не хуже указанных в перечне ГС.
ПРИЛОЖЕНИЕ В (Справочное) Компонентный состав ГС, диапазон воспроизведения объемной (молярной) доли целевых компонентов, пределы допускаемой относительной погрешности аттестации исходных ГС и пределы допускаемой относительной погрешности заданного значения объемной доли целевого компонента в смеси на выходе генераторов GDC-703 приведены в таблице 1.
Таблица 1
Компонент |
Диапазон воспроизведения объемной доли компонента в газовой смеси, % |
Пределы допускаемой относительной погрешности аттестации исходной ГС, % |
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения объемной доли компонента в газовой смеси, % | |
NO |
св. 0,005-1,0 вкл. |
менее ± 1,0 |
±2,0 | |
± (св 1,0 до 2,0 вкл) |
±3,0 | |||
± (св 2,0 до 3,0 вкл) |
±4,0 | |||
± (св 3,0 до 4,0 вкл) |
±5,0 | |||
СО |
св. 0,001-10 вкл. |
менее ± 1,0 |
+ |
2,02+(Л(^д)/> 100)2 |
± (св 1,0 до 2,0 вкл) |
+ |
2,52+(Л(^д)/> 100)2 хв | ||
± (св 2,0 до 3,0 вкл) |
+ |
3,52 + -ЮО)2 хв | ||
± (св 3,0 до 4,0 вкл) |
+ У |
4,52+(Л(^д)р -100)2 Хв | ||
Примечания: Указанные метрологические характеристики генератора нормированы при использовании:
. абСф погрешность определения содержания целевого компонента (компонента В) в газе разбавителе, %; у в - требуемое значение объемной (молярной) доли компонента (компонента В) в смеси, % |
Примечание 1:
А(Ав)/) - абс. погрешность определения содержания целевого компонента (компонента В) в газе разбавителе, %;
Хв - требуемое значение объемной (молярной) доли компонента (компонента В) в смеси, %;
Приложение Г
Значения расходов через канал MFC1, проверяемые при испытаниях указаны в таблице 1 Таблица 1
Канал |
Коэффициент разбавления (Dillution rate), %1 |
Точка разделения (Cut Point)2 |
Расход на выходе канала, см3/мин |
MFC-1 |
0 |
0 |
4000 |
MFC-1 |
10 |
50 |
3600 |
MFC-1 |
20 |
100 |
3200 |
MFC-1 |
40 |
200 |
2400 |
MFC-1 |
60 |
300 |
1600 |
MFC-1 |
80 |
400 |
800 |
MFC-1 |
90 |
450 |
400 |
Значения расходов через каналы MFC-2, MFC-3, MFC-4, проверяемые при испытаниях указаны в таблице 2
Таблица 2
Канал |
Коэффициент разбавления (Dillution rate), %1 |
Точка разделения (Cut Point)2 |
Расход на выходе канала, см3/мин |
MFC-2 |
0.2 |
1 |
8 |
MFC-2 |
0.4 |
2 |
16 |
MFC-2 |
0.6 |
3 |
24 |
MFC-2 |
0.8 |
4 |
32 |
MFC-2 |
1 |
5 |
40 |
MFC-2 |
1.4 |
7 |
56 |
MFC-3 |
1.6 |
8 |
64 |
MFC-3 |
2 |
10 |
80 |
MFC-3 |
4 |
20 |
160 |
MFC-3 |
6 |
30 |
240 |
MFC-3 |
8 |
40 |
320 |
MFC-3 |
10 |
50 |
400 |
MFC-3 |
12 |
60 |
480 |
MFC-4 |
13 |
65 |
520 |
MFC-4 |
20 |
100 |
800 |
MFC-4 |
40 |
200 |
1600 |
MFC-4 |
60 |
300 |
2400 |
MFC-4 |
80 |
400 |
3200 |
MFC-4 |
100 |
500 |
4000 |
Зримечания:
11
Коэффициент разбавления (DR) считается по формуле: DR = —fc- • 100, где QMFC - расход по Qbux
каналу исходного газа (MFC2, MFC3, MFC4), QBUX = 4000 см3/мин, общий расход на выходе генератора.
Точка разделения (Cut Point) - режим работы генератора, необходимый для получения разного коэффициента разбавления. Максимальное значение точки разделения должно быть установлено 500.