Номер по Госреестру СИ: 47061-11
47061-11 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый
(IMS-4f)
Назначение средства измерений:
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.
Внешний вид.
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 135845
ID в реестре СИ - 358245
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - Фирма "Cameca"
Страна - ФРАНЦИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет "Количество типов средств измерений в ФГИС АРШИН по областям измерений" предназначен для сравнительного анализа количества утвержденных типов средств измерений, приходящихся на различные области измерений. Отчет состоит из четырех графиков (одной круговой и трех столбчатых диаграмм) и двух интерактивных таблиц. Таблицы обладают функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Стоит отметить, что отнесение того или иного типа СИ к области измерений осуществляется не вручную, а с использованием специального программного алгоритма по ключевым словосочетаниям. При таком подходе качество распределения СИ и покрытие реестра типов СИ АРШИНА зависит от качества, предложенных словосочетаний. По этой причине 20% типов СИ, занесённых в АРШИН автоматически распределить не удалось, что не должно существенно отразиться на процентном соотношении или пропорции между областями измерений.
На круговой диаграмме показано количественное соотношение между областями измерений по количеству утвержденных типов СИ. Ввиду того, что некоторые типы СИ могут входить в разные области измерений, суммарное количество типов СИ, приведенных на диаграмме будет превышать кол-во типов СИ, представленных в ФГИС АРШИН. Как и следовало ожидать, самые большие пропорции занимают классические области измерений (ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИХ И МАГНИТНЫХ ВЕЛИЧИН, ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИКОХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА И СВОЙСТВ ВЕЩЕСТВ и т.д.) в отличии от узкоспециализированных (СЧЕТЧИКИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ, СИ БИОАНАЛИЗА и др.)
В отличии от круговой диаграммы столбчатая демонстрирует тоже разделение типов СИ по областям измерений, но уже в динамике по годам начиная с 2000 года. Дополнительно, в отдельные графики вынесены такие специализированные и социально важные области измерений как СЧЕТЧИКИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ и БЫТОВЫЕ СЧЕТЧИКИ ВОДЫ.
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№135 от 2017.01.26 О переоформлении свидетельства об утверждении типа средства измерений № 47061 "Весы электронные LP, CL, AP, PR" и внесении изменений в описание типа
№989 от 2017.05.15 О внесении изменений в описание типа и продлении свидетельства об утверждении типа средства измерений № 47061/1 "Весы электронные LP, CL, AP, PR"
Наличие аналогов СИ: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-4f)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Cameca"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
23478-02 |
Анализатор рентгеновский микрозондовый, Camebax Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
1 год | |
|
44975-10 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-7f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
47061-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48387-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
Кто поверяет Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-4f)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-4f)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
лист № 2
Всего листов 3 Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных измене-
ний соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
SIMS_32_v.1.0 |
1.0 |
3BF3EC2220A0AEF2 CAFD0C23F71A9399 E69F3ED5D972DA69 8203A4F8BD23B77C |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийТехническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)», раздел 6.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-спектрометру вторично-ионному микрозондовому IMS-4fТехническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)».
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f фирмы «CAMECA», Франция. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2010 г.
Средства поверки:
-
- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;
-
- часть пластины монокристаллического германия марки ГЭ-0,1а3 по ГОСТ 16153-80.
Изготовитель
Фирма «CAMECA», Франция.103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France.
Телефон: (33-1) 43 34 62 00. Факс: (33-1) 43 34 63 50. E-mail: sales@cameca.fr
Заявитель
Учреждение Российской академии наукНаучно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН (НТЦ микроэлектроники РАН)
Адрес: 194021, г. Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 26,
Телефон: (812) 297-40-59. Факс: (812) 297-86-40. E-mail: guseva@mail.ioffe.ru
Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяются в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой и детектируются системой регистрации.
Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления, рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Рисунок 1 - Общий вид масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-4f
приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце минус 4,5 кВ, а.е.м., не менее |
300 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном40’3) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном40’3) |
|
Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее |
10000 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов цезия Cs+, кВ |
от 7,5 до 10 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов кислорода О2+, кВ |
от 7,5 до 15 |
|
Максимальный ток ионов Cs при напряжении на источнике 10 кВ, мкА, не менее |
0,3 |
|
Максимальный ток ионов О2 при напряжении на источнике 15 кВ, мкА, не менее |
3 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
9,9 |
|
Масса, кг, не более |
1430 |
|
Условия эксплуатации: о
а) амплитуда смещения в диапазоне частот от 1 до 2,5 Гц, мкм б) виброускорение в диапазоне частот от 2,5 до 200 Гц, м^с'2
|
20 ± 1 101 ± 1,4 70 ± 5 230 ± 10 50 ± 1 15 2,540’3 5407 |