Номер по Госреестру СИ: 47061-11
47061-11 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый
(IMS-4f)
Назначение средства измерений:
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.
Внешний вид.
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 135845
ID в реестре СИ - 358245
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - Фирма "Cameca"
Страна - ФРАНЦИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет Дерево связей позволяет получить информацию об организациях, оказывающих услуги поверки выбранному владельцу средств измерений.
Отчет выполнен в виде графа. Красной парной связью показаны связи между владельцем СИ и поверителями, серой парной связью показаны прочие клиенты поверителя.
В целях обеспечения актуальности информации и читаемости графа максимальное количество связей ограничено 50 (для владельца СИ и каждого из поверителей). Кроме того, связь отображается только в том случае, если количество поверок между владельцем и поверителем превышает 50 шт. за последние 6 месяцев.
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№135 от 2017.01.26 О переоформлении свидетельства об утверждении типа средства измерений № 47061 "Весы электронные LP, CL, AP, PR" и внесении изменений в описание типа
№989 от 2017.05.15 О внесении изменений в описание типа и продлении свидетельства об утверждении типа средства измерений № 47061/1 "Весы электронные LP, CL, AP, PR"
Наличие аналогов СИ: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-4f)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Cameca"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
23478-02 |
Анализатор рентгеновский микрозондовый, Camebax Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
1 год | |
|
44975-10 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-7f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
47061-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48387-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
В разработке
Кто поверяет Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-4f)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-4f)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
лист № 2
Всего листов 3 Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных измене-
ний соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
SIMS_32_v.1.0 |
1.0 |
3BF3EC2220A0AEF2 CAFD0C23F71A9399 E69F3ED5D972DA69 8203A4F8BD23B77C |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийТехническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)», раздел 6.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-спектрометру вторично-ионному микрозондовому IMS-4fТехническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)».
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f фирмы «CAMECA», Франция. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2010 г.
Средства поверки:
-
- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;
-
- часть пластины монокристаллического германия марки ГЭ-0,1а3 по ГОСТ 16153-80.
Изготовитель
Фирма «CAMECA», Франция.103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France.
Телефон: (33-1) 43 34 62 00. Факс: (33-1) 43 34 63 50. E-mail: sales@cameca.fr
Заявитель
Учреждение Российской академии наукНаучно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН (НТЦ микроэлектроники РАН)
Адрес: 194021, г. Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 26,
Телефон: (812) 297-40-59. Факс: (812) 297-86-40. E-mail: guseva@mail.ioffe.ru
Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяются в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой и детектируются системой регистрации.
Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления, рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Рисунок 1 - Общий вид масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-4f
приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце минус 4,5 кВ, а.е.м., не менее |
300 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном40’3) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном40’3) |
|
Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее |
10000 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов цезия Cs+, кВ |
от 7,5 до 10 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов кислорода О2+, кВ |
от 7,5 до 15 |
|
Максимальный ток ионов Cs при напряжении на источнике 10 кВ, мкА, не менее |
0,3 |
|
Максимальный ток ионов О2 при напряжении на источнике 15 кВ, мкА, не менее |
3 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
9,9 |
|
Масса, кг, не более |
1430 |
|
Условия эксплуатации: о
а) амплитуда смещения в диапазоне частот от 1 до 2,5 Гц, мкм б) виброускорение в диапазоне частот от 2,5 до 200 Гц, м^с'2
|
20 ± 1 101 ± 1,4 70 ± 5 230 ± 10 50 ± 1 15 2,540’3 5407 |