Сведения о средстве измерений: 48387-11 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса

Номер по Госреестру СИ: 48387-11
48387-11 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса
(IMS-4f)

Назначение средства измерений:
Масс-спектрометр вторично-ионный IMS-4f с системой динамического переноса (далее по тексту - прибор) предназначен для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 137463
ID в реестре СИ - 359863
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

Производитель

Изготовитель - Фирма "Cameca"
Страна - ФРАНЦИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Волгоград (ранее Царицын, Сталинград) - крупный промышленный центр Волгоградской области. Современный город с населением чуть более миллиона человек. Население многонационально.

Основная часть трудоспособного населения занята в промышленном секторе экономики (около 40% занятых). Промышленность Волгограда имеет большое значение в развитии города, области и юга России в целом. Наибольшую долю в ней занимают предприятия тяжелой промышленности (46%).

В городе хорошо развита химическая промышленность, топливная, деревообрабатывающая. Завод "Каустик" является крупнейшим в стране производителем каустической соды и хлора. ОАО "Пласткард" - единственный в России производитель сертифицированного ПВХ для пищевой промышленности.

Город имеет развитую инфраструктуру и развитую транспортную сеть. Подземный трамвай (аналог метро) - единственное сооружение такого типа в России.

Отчет "Анализ рынка поверки в Волгограде" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Волгоград.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 3 000 руб.

Статистика

Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Наличие аналогов СИ: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса (IMS-4f)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "Cameca"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
23478-02

Анализатор рентгеновский микрозондовый, Camebax
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
1 год
44975-10

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-7f
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
ОТ
1 год
47061-11

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-4f
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
ОТ
1 год
48387-11

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса, IMS-4f
Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ )
ОТ
1 год

Отчет позволяет по выбранным из списка номерам типов СИ получить перечень протоколов поверки, загруженных в АРШИН.
В итоговой таблице отображаются: организация поверитель, номер поверки с ссылкой на АРШИН, наименование и номер типа СИ с ссылкой на АРШИН, год поверки и ссылка на протокол поверки.
Внимание! В АРШИН в обязательном порядке публикуются не все протоколы. Как правило присутствуют протоколы на эталоны и протоколы на СИ, поверенные не во всем диапазоне. Учет протоколов в ОЕИ Аналитика стартовал с декабря 2023 года.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса (IMS-4f)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические

Стоимость поверки Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса (IMS-4f)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Программное обеспечение

Управление прибором осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии

ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

SIMS_v_5.6

5.6

Е42AB8650Е133D5A

5Е6В66В733АС58АВ 2FADBF2A9Е403DD1 608CCDBB9236AA94

ГОСТ Р 34.11-94


Знак утверждения типа

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Лист № 3 всего листов 3 

Сведения о методиках измерений

Сведения о методиках (методах) измерений

Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)», раздел 6.


Нормативные и технические документы

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-спектрометру вторично-ионному микрозондовому IMS-4f

Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)».

Поверка

Поверка осуществляется по документу МП 48387-11 «Масс-спектрометр вторично-ионный микро-зондовый IMS-4f с системой динамического переноса фирмы «CAMECA», Франция. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011 г.

Средства поверки:

  • - часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;

  • - образец сплава МЛ-19 на основе магния-неодима-иттрия по ГОСТ 2856-79;

  • - секундомер «Интеграл С-01».


Изготовитель

Фирма «CAMECA», Франция.
103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France.
Телефон: (33-1) 43 34 62 00. Факс: (33-1) 43 34 63 50. E-mail: sales@cameca.fr

Заявитель

Федеральное государственное предприятие «Научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф.В.Лукина»
Адрес: 124460, Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д. 6
Телефон: (499) 731-13-06. Факс: (499) 731-55-92. E-mail: admin@niifp.ru

Испытательный центр


ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru

Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяются в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой, детектирующая система регистрирует ток вторичных ионов в зависимости от их отношения массы к заряду.

Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления, рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.

Внешний вид. Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса (IMS-4f), http://oei-analitika.ru

Рисунок 1. Общий вид масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-4f с системой динамического переноса


В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f с системой динамического переноса, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.


приведены в Таблице 2. Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце минус

4,5 кВ, а.е.м., не менее

266

Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+

МномА0-3)

Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+

МномА0-3)

Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее

16000

Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов цезия Cs+, кВ

от 7,5 до 10

Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов кислорода О2 , кВ

от 5 до 17,5

Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, мкА, не менее

0,3

Максимальный ток ионов O2+ при напряжении на источнике 15 кВ, мкА, не менее

3

Относительное изменение тока вторичных ионов при среднем значении тока не менее 1А0'8 имп./с, не более, %

6

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений времени травления, %

1

Потребляемая мощность, кВт, не более

10,0

Масса, кг, не более

1430

Условия эксплуатации:

о

  • - диапазон температуры окружающего воздуха, С

  • - скорость изменения температуры окружающего воздуха, не более, оС/час

  • - относительная влажность воздуха, не более, %

  • - напряжение питания сети, В

  • - частота питающей сети, Гц

  • - виброускорение в диапазоне частот от 0,8 до 100 Гц, м^с'2

  • - внешние магнитные поля, Тл, не более

от 20 до 25

1

75

220 ± 10

50 ± 1

9,8А0-3 3А0-7


Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель