Номер по Госреестру СИ: 48387-11
48387-11 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса
(IMS-4f)
Назначение средства измерений:
Масс-спектрометр вторично-ионный IMS-4f с системой динамического переноса (далее по тексту - прибор) предназначен для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.
Внешний вид.
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 137463
ID в реестре СИ - 359863
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - Фирма "Cameca"
Страна - ФРАНЦИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет позволяет оценить какими эталонами поверяется конкретный тип СИ в различных организациях.
Выводится список эталонов и организаций, а также, количество поверок, выполненных эталоном, выбранного типа СИ
Анализируемый период: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1738 от 2017.08.17 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
Наличие аналогов СИ: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса (IMS-4f)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Cameca"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
23478-02 |
Анализатор рентгеновский микрозондовый, Camebax Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
1 год | |
|
44975-10 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-7f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
47061-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48387-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
Кто поверяет Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса (IMS-4f)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса (IMS-4f)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1. Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
SIMS_v_5.6 |
5.6 |
Е42AB8650Е133D5A 5Е6В66В733АС58АВ 2FADBF2A9Е403DD1 608CCDBB9236AA94 |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Лист № 3 всего листов 3
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)», раздел 6.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-спектрометру вторично-ионному микрозондовому IMS-4f
Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)».
Поверка
Поверка осуществляется по документу МП 48387-11 «Масс-спектрометр вторично-ионный микро-зондовый IMS-4f с системой динамического переноса фирмы «CAMECA», Франция. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011 г.Средства поверки:
-
- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;
-
- образец сплава МЛ-19 на основе магния-неодима-иттрия по ГОСТ 2856-79;
-
- секундомер «Интеграл С-01».
Изготовитель
Фирма «CAMECA», Франция.103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France.
Телефон: (33-1) 43 34 62 00. Факс: (33-1) 43 34 63 50. E-mail: sales@cameca.fr
Заявитель
Федеральное государственное предприятие «Научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф.В.Лукина»Адрес: 124460, Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д. 6
Телефон: (499) 731-13-06. Факс: (499) 731-55-92. E-mail: admin@niifp.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяются в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой, детектирующая система регистрирует ток вторичных ионов в зависимости от их отношения массы к заряду.
Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления, рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Рисунок 1. Общий вид масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-4f с системой динамического переноса
В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f с системой динамического переноса, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2. Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце минус 4,5 кВ, а.е.м., не менее |
266 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+ МномА0-3) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+ МномА0-3) |
|
Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее |
16000 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов цезия Cs+, кВ |
от 7,5 до 10 |
|
Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов кислорода О2 , кВ |
от 5 до 17,5 |
|
Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, мкА, не менее |
0,3 |
|
Максимальный ток ионов O2+ при напряжении на источнике 15 кВ, мкА, не менее |
3 |
|
Относительное изменение тока вторичных ионов при среднем значении тока не менее 1А0'8 имп./с, не более, % |
6 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений времени травления, % |
1 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
10,0 |
|
Масса, кг, не более |
1430 |
|
Условия эксплуатации: о
|
от 20 до 25 1 75 220 ± 10 50 ± 1 9,8А0-3 3А0-7 |