Номер по Госреестру СИ: 44975-10
44975-10 Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый
(IMS-7f)
Назначение средства измерений:
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый JMS-7f (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.
Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-п переходов, разработки технологических процессов, послойного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии.
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 133502
ID в реестре СИ - 355902
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Cameca"
Страна - ФРАНЦИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-7f)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Cameca"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
23478-02 |
Анализатор рентгеновский микрозондовый, Camebax Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
1 год | |
|
44975-10 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-7f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
47061-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
48387-11 |
Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса, IMS-4f Фирма "Cameca" (ФРАНЦИЯ ) |
ОТ |
1 год |
Справочник является модернизированной копией реестра "Утверждённые типы средств измерений" (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/4) и содержит сведения о типах СИ, применяемых в сфере обеспечения единства измерений.
В отличии от официального Реестра справочник имеет систему предварительных фильтров:
- по типу производства (серийное или единичное);
- по группам стран (отечественные, импортные или все типы СИ);
- по наличию поверок в ФГИС АРШИН;
- по областям измерений.
Данные выводятся одной таблицей без необходимости "проваливаться" в каждую из записей для уточнения сведений. При наличии ОТ и МП приводится ссылка на ФГИС АРШИН. В таблице реализована система поиска и сортировки по любому из полей.
Справочник содержит более 100 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Кто поверяет Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-7f)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый (IMS-7f)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
• Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на ионно-оптическую колону прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия.
ГОСТ 10297-94. Индий. Технические условия.
Поверка
Поверка масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-7f проводится в соответствии с документом «Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f фирмы «САМЕСА», Франция. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в августе 2010 г.
Средства поверки:
- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81; -индий марки ИН 0000 по ГОСТ 10297-94.
Межповерочный интервал - 1 год.
Изготовитель
Фирма «САМЕСА», Франция103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France. Телефон: (33-1) 43 34 62 00.
Факс: (33-1) 43 34 63 50.
E-mail: sales@cameca.fr
Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяют в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой и детектируют системой регистрации.
Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления; рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения.
Основные технические характеристики приведены в Таблице.
Таблица.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 5 кВ, не менее, а.е.м. |
460 |
|
Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце 10 кВ, не менее, а.е.м. |
230 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Миом - номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном-10'3) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Миом - номинальное значение массы соответствующего отрицательного вторичного иона, а.е.м.) |
±(0,1+Мном-Ю'3) |
|
Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее |
25000 |
|
Ускоряющее напряжение первичных ионов цезия Cs+, кВ |
От 1 до 10 |
|
Ускоряющее напряжение первичных ионов кислорода Ог+, кВ |
От 1,1 до 15 |
|
Максимальный ток ионов Cs+ при напряжении на источнике 10 кВ, не менее, мкА |
1 |
|
Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 15 кВ, не менее, мкА |
7 |
|
Максимальный ток ионов Ог+ при напряжении на источнике 1,1 кВ, не менее, нА |
100 |
|
Геометрические размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), не более, мм |
24x3 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
9,9 |
|
Масса, кг |
1430 |
|
Габаритные размеры, мм:
|
2240x2080x1550 600x900x1950 |
|
Рабочие условия эксплуатации:
-вибрации: а) амплитуда смещения в диапазоне частот вибрации от 0,4 до 2,5 Гц не более, мкм б) виброускорение в диапазоне частот вибрации от 2,5 до 200 Гц, не более, м сек'2 -внешние магнитные поля, не более, Тл |
20± 1 101 ±1,4 70±5 230 ± 10 50 ± 1 5 1-Ю'3 3-10'7 |