Номер по Госреестру СИ: 40981-09
40981-09 Микроскопы электронные просвечивающие
(Morgagni, Tecnai G2, Titan 80-300)
Назначение средства измерений:
Микроскопы электронные просвечивающие моделей Morgagni, Tecnai G2, Titan 80-300 (далее - микроскопы) предназначены для измерения линейных размеров объектов, наблюдаемых на изображении и анализа микроструктуры объектов. Области применения: биология, физика твёрдого тела, материаловедение, геология и другие отрасли науки и техники.
Поверка
Поверка осуществляется в соответствии с документом «Микроскопы электронные просвечивающие моделей Morgagni, Tecnai G2, Titan 80-300. Методика поверки МП 2512-00092008», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ "ВНИИМ им. Д.И.Менделеева" в декабре 2008 г.
Основные средства поверки: мера штриховая МШ-0,83, ТУ У 33.2-04799336-017-2005, образец монокристаллического графита с межплоскостным расстоянием 0,34 нм (фирма-изготовитель SPI Supplies/Structure Probe, Inc., SPI#02909-AB), образец поликристаллического золота с параметрами решетки 0,204 нм и 0,144 нм (фирма-изготовитель SPI Supplies/Structure Probe, Inc., SPI#02867-AB).
Межповерочный интервал 1 год.
Изготовитель
фирма «FEI Company»,Адрес: P.O. Box 80066, 5600 КА, Buidling ААЕ-Ш-155 Achtseweg Noord 5, Eindhoven, The Netherlands Tel: +31 40 23 56110
Fax: +31 40 23 56612
Микроскопы являются автоматизированными многоцелевыми аналитическими приборами, созданными на основе многолинзовой электронно-оптической системы, которые в базовой комплектации обеспечивают:
-
- получение увеличенных изображений объектов с разрешением, близким к размерам атомов;
-
- измерение линейных размеров деталей структуры, наблюдаемых на изображениях;
-
- автоматизированное фотографирование изображений;
-
- преобразование изображений в цифровую форму с возможностью их регистрации и обработки.
Микроскоп состоит из электронно-оптической колонны, содержащей электронную пушку и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый из них составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Прецизионное перемещение последнего относительно оптической оси колонны обеспечивается посредством управляемого от рабочей станции электромеханического привода или с помощью манипуляторов вручную. Объективная линза дополнена диафрагмой, положением которой можно управлять. Блок, формирующий изображение, содержит промежуточные линзы, которые позволяют, в частности, получать картины электронной дифракции. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений.
На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку. Под экраном находится магазин для размещения фотопластинок или пленок, который оснащен устройствами для автоматизированной фотосъемки прямым электронным экспонированием.
Микроскоп может оснащаться следующими объективными линзами Twin, BiO Twin, S-Twin, X-Twin, U-Twin, C-Twin.
Управление работой микроскопов осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера, работающего с использованием программного обеспечения в операционной системе Windows.
Толщина объектов, исследуемых методами просвечивающей электронной микроскопии, составляет доли микрометра.
Принцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом, ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется конденсорными линзами и проецируется на объект. В его плоскости диаметр пучка можно варьировать от долей нанометра до десятков микрометров. При прохождении через объект параллельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в её фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определённому углу выхода электронов из образца. Одним из основных способов получения контраста на изображении является ввод апертурной диафрагмы в фокальную плоскость объективной линзы. При этом вклад в изображение дают только те электроны, которые претерпели рассеяние под углом, определённым фокусным расстоянием и размером апертурной диафрагмы. Чем больше электронов рассеялось в данной точке образца за пределы диафрагмы, тем темнее будет выглядеть эта точка на изображении. Помещая апертурную диафрагму в различные области фокальной плоскости, получают различные виды контраста. Это особенно важно в случае кристаллических образцов, для которых благодаря периодичности структуры возникают сильные неоднородности в распределении интенсивности на дифракционной картине - дифракционные максимумы. Вырезая с помощью апертурной диафрагмы тот или иной максимум, получают дополнительную информацию о структуре объекта.
Комплектность поставки приведена в таблице 3.
Таблица 3
Базовая комплектация |
|
Дополнительное оборудование |
|
Паспорт | |
Методика поверки |
- поставляется по заказу.