Номер по Госреестру СИ: 67731-17
67731-17 Микроскоп электронный сканирующий
(Inspect S50)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный сканирующий Inspect S50, (далее - микроскоп Inspect S50) предназначен для измерений линейных размеров, формы, ориентации и других параметров наноструктур и микрорельефа поверхностей различных объектов.
Для решения прикладных задач микроскоп Inspect S50 возможно совместить с рентгеновским микроанализатором.
Внешний вид.
Микроскоп электронный сканирующий
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения микроскопа Inspect S50 приведены в таблице 1.
Уровень защиты программного обеспечения (ПО) микроскопа Inspect S50 «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроскопа Inspect S50.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
xTm |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
4.1.13.2167 |
Цифровой идентификатор ПО |
e3766bf9f9c518030476c1d502d904cd |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
MD5 |
Первичный файл серверной части основного модуля интерфейса ПО |
fei systemcontrol. exe |
Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО |
xT Microscope Server |
Идентификационное наименование модуля пользовательского интерфейса ПО |
xT Microscope Control (xTUl) |
Идентификационные наименования элементов (модулей) интерфейса ПО |
xT Microscope Server / xT Microscope Control / FEI User Management |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» в виде наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному сканирующему Inspect S50
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
Техническая документация изготовителя «FEI Company», Czech Rebublic
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 78-223-2015 «ГСИ. Микроскоп электронный сканирующий Inspect S50. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 22.03.2017 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины 4-го разряда по ГОСТ Р 8.763-2011, диапазон от 1 до 2403 нм, ПГ ±(2-3) нм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение поверяемого средства измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Изготовитель
«FEI Company», Чешская Республика
Адрес: IC 46971629 Vlastilina Pecha 1282/12 62700, Czech Rebublic
Юридический адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon 97124 USA
Телефон: +1 (503) 726-75-00, факс: +1 (503) 726-25-98
Заявитель
АО «ТЕХНОФИНАНСТРЕЙД»
Адрес: 123610, г. Москва, ЦМТ, Краснопресненская набережная, д.12, 6 подъезд, офис 712
ИНН 7730682743
Телефоны: +7 (499) 346-06-96, +7 (499) 270-66-26, +7 (499) 243-66-26
E-mail: info@tft.aero
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Уральский научноисследовательский институт метрологии» (ФГУП «УНИИМ»)Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4
Тел. (343) 350-26-18, факс (343) 350-20-39
Е-mail: uniim@uniim.ru
Принцип работы микроскопа Inspect S50 основан на физических эффектах взаимодействия сфокусированного пучка электронов с поверхностью объекта (образца). Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько сигналов и формируется конкретное изображение в зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен.
Микроскоп Inspect S50 измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп Inspect S50 представляет собой лабораторный прибор, состоящий из основной консоли, включающей электроно-оптическую колонну; камеру образцов; вакуумной системы; блока электроники, включающего модули сканирования и обнаружения, и управляющего (серверного) компьютера типа IBM PC с программным обеспечением.
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка микроскопа Inspect S50 с термо-эмиссионным вольфрамовым катодом.
Микроскоп Inspect S50 работает в двух операционных вакуумных режимах: высокого вакуума (HiVac) и низкого вакуума (LoVac). Ваккуумная система микроскопа Inspect S50 полностью автоматизирована.
Микроскоп Inspect S50 укомплектован следующими детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (EDT) и детектор вторичных электронов в режиме низкого вакуума (LFD), которые позволяют получать изображения с топографическим контрастом, и 4-х сегментный твердотельный детектор обратно-рассеяных электронов (BSED), предназначенный для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру.
Предметный столик камеры образцов моторизирован по 4 осям (X, Y, Z и вращение) с углом наклона от минус 15° до 75°. Все движения предметного столика задаются и контролируются программным обеспечением микроскопа Inspect S50. Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей: держателя для одного образца, который крепится непосредственно к предметному столику, и держателя для нескольких образцов.
Управление микроскопом Inspect S50, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью мышки и клавиатуры серверного компьютера со специализированным программным обеспечением Inspect S, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроскопа Inspect S50 соответствующей команды.
Общий вид микроскопа Inspect S50 представлен на рисунке 1.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа представлена на рисунке 2.
Inspect S50
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного сканирующего Inspect S50
Места для пломбирования
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
от 300 до 2403 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±3 |
Разрешение, нм |
3,0 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон регулирования увеличения, крат |
от 13 до 1000000 |
Давление в камере, Па, не более |
1И0-2 |
Параметры электрического питания: - питающее напряжение, В |
220±10% |
- частота, Гц |
50 |
Габаритные размеры, мм, не более: - длина |
2170 |
- ширина |
1215 |
- высота |
1570 |
Масса, кг, не более |
841 |
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C |
от +15 до +25 |
- относительная влажность воздуха, %, не более, без конденсата |
80 |
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |