Номер по Госреестру СИ: 96386-25
96386-25 Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект)
()
Назначение средства измерений:
Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект) (далее - комплект мер толщины) предназначены для воспроизведения, хранения и передачи единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий рабочим средствам измерений: лазерным, спектральным, многоугловым эллипсометрам и спектральным рефлектометрам, а также их поверки и калибровки.
Комплекты мер толщины могут применяться в качестве рабочего эталона согласно Государственной поверочной схеме для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий, утвержденной Приказом Росстандарта от 09.09.2024 № 2154.
Внешний вид.
Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект)
Рисунок № 1
Внешний вид.
Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект)
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 12.09.2025
Срок свидетельства - 10.09.2030
Номер записи - 416990e1-ce46-67d1-e9c0-cd14ab8acaca
ID в реестре СИ - 1426791
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет позволяет оценить парк эталонов организации и частоту их использования с динамике по дням.
В случае использования одного и того же эталона несколькими организациями, выводится список таких организаций и количество поверок.
Анализируемый период: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1930 от 2025.09.10 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (14)
Наличие аналогов СИ: Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект) ()
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
95866-25 |
Поляриметр автоматический, ВГМ-25 Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) |
ОТ МП |
1 год |
|
95788-25 |
Рабочие эталоны средней мощности оптического излучения в волоконно-оптических системах передачи, РЭСМ-ВС-М Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) |
ОТ МП |
1 год |
|
96387-25 10.09.2030 |
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект), Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) |
ОТ МП |
1 год |
|
96386-25 10.09.2030 |
Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект), Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) |
ОТ МП |
1 год |
|
96472-25 19.09.2030 |
Меры относительной интенсивности флуоресценции (комплект), Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) |
ОТ МП |
1 год |
|
96470-25 19.09.2030 |
Меры оптической плотности (комплект), (МОП-К) Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) |
ОТ МП |
1 год |
Представленный отчет состоит из круговой и столбчатой диаграмм, а также сводной таблицы. Графики являются интерактивными, а таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
На круговой диаграмме показано распределение поверок СИ по разделам областей измерений. Диаграмма строится по всем поверкам, имеющимся в АРШИН. Стоит отметить, что сумма всех поверок по разделам областей измерений, существенно превышает объём поверок, загруженных в АРШИН. Это связано с тем, что многие типы СИ входят одновременно в несколько разделов.
Столбчатая диаграмма демонстрирует то же распределение поверок по разделам областей измерений, что и круговая, но в динамике по годам. Причем, для удобства читаемости графика есть возможность посредством фильтра выбрать только нужные года.
В завершении отчета приведена сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации.
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.).
При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Кто поверяет Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект) ()
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2026 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект) ()
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации и на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины, типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в главе 2 «Использование изделия по назначению» документа КВФШ.401249.003 РЭ «Руководство по эксплуатации. Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект)».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измерений
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий»;
КВФШ.401249.003 ТУ. Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект). Технические условия.
Правообладатель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ») Юридический адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014
Изготовитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Правообладатель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ») Юридический адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014
Конструктивно комплект мер толщины представляет собой набор из восьми мер диаметром 200 мм из кристаллического кремния Si (вафер). На шести мерах термическим способом выращены покрытия из двуокиси кремния SiO2 разной толщины, а на двух мерах выращены покрытия из нитрида кремния Si3N4 разной толщины. Каждая мера упакована в индивидуальный герметичный пластиковый контейнер, который предохраняет меру от резких ударов и повреждений. На крышке контейнера находится этикетка с маркировкой. Маркировка включает в себя: наименование средства измерений, заводской номер меры, товарный знак изготовителя, исполнение.
Меры из комплекта мер толщины выпускаются в следующих исполнениях: SiO2, Si3N4.
Комплект мер толщины помещен в тару в виде герметичного ударопрочного кейса для хранения и перевозки комплекта мер толщины. В кейс помещается также набор пинцетов.
Заводской номер комплекта мер толщины, идентифицирующий каждый экземпляр средства измерений, состоит из арабских цифр и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины.
Заводской номер мер из комплекта мер толщины, включает в себя: арабские цифры и буквы, нижнее подчеркивание, и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на крышку контейнера с мерой из комплекта мер толщины.
Пломбирование комплекта мер толщины не предусмотрено. Нанесение знака поверки на комплект мер толщины не предусмотрено.
Общий вид мер из комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера мер представлен на рисунке 1. Общий вид кейса для хранения и перевозки комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера комплекта мер толщины и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 2.
М"
I*,»”"**
1о «<о> <*’1 -► м»-
Место нанесения заводского номера меры
Рисунок 1 - Общий вид индивидуального герметичного пластикового контейнера с мерой толщины однослойных оптических покрытий
Место нанесения знака утверждения чина
Место нанесения заводского номера комплекта мер толщины
Рисунок 2 - Общий вид кейса для хранения и перевозки мер толщины однослойных оптических покрытий (комплект)
Таблица 3 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество, шт./экз. |
|
Меры толщины однослойных оптических покрытий |
SiO2; |
6 |
|
(комплект) |
Si3N4 |
2 |
|
Индивидуальный герметичный пластиковый контейнер с этикеткой |
- |
8 |
|
Герметичный ударопрочный кейс |
Корсар |
1 |
|
Комплект пинцетов |
- |
1 |
|
Паспорт |
КВФШ.401249.003 ПС |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
КВФШ.401249.003 РЭ |
1 |
Таблица 1- Метрологические характеристики комплекта мер толщины
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон допускаемых (номинальных) значений толщины оптического покрытия из двуокиси кремния SiO2, нм* |
от 9 до 11 от 37 до 43 от 105 до 115 от 220 до 240 от 475 до 525 от 950 до 1050 |
|
Диапазон допускаемых (номинальных) значений толщины оптического покрытия из нитрида кремния Si3N4, нм* |
от 13 до 17 от 85 до 95 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщин оптического покрытия, нм |
±0,5 |
|
* Действительные значения допускаемых (номинальных) толщин оптического покрытия мер определяются при их первичной поверке | |
|
Таблица 2 - Основные технические характеристики комплекта мер толщины | |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диаметр мер толщины, мм, не более |
200 |
|
Габаритные размеры индивидуального контейнера (длинахширинахвысота), мм, не более |
220x240x25 |
|
Габаритные размеры ударопрочного кейса (длинахширинахвысота), мм, не более |
412x328x248 |
|
Масса комплекта мер толщины в кейсе, кг, не более |
6 |
|
Условия эксплуатации:
|
от +19,5 до + 20,5 от 45 до 70 от 96 до 104 |