Номер по Госреестру СИ: 96387-25
96387-25 Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
()
Назначение средства измерений:
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) (далее - комплект мер толщины) предназначены для воспроизведения, хранения и передачи единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий рабочим средствам измерений: лазерным, спектральным, многоугловым эллипсометрам и спектральным рефлектометрам, а также их поверки и калибровки.
Комплекты мер толщины могут применяться в качестве рабочего эталона согласно Государственной поверочной схеме для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий, утвержденной Приказом Росстандарта от 09.09.2024 № 2154.

Внешний вид.
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
Рисунок № 1

Внешний вид.
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
Рисунок № 2
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации и на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины, типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в главе 2 «Использование изделия по назначению» документа КВФШ. 401259.003РЭ «Руководство по эксплуатации. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измеренийПриказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерения комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий»;
КВФШ.401259.003ТУ. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект). Технические условия.
Правообладатель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ») Юридический адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014
Изготовитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Правообладатель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ») Юридический адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014
Конструктивно комплект мер толщины представляет собой набор из шести мер диаметром 200 мм из кристаллического кремния Si (вафер), на которых выращены двухслойные покрытия из следующих веществ:
-
- силицид титана TiSh/двуокись кремния SiO2;
-
- нитрид титана TiN/двуокись кремния SiO2;
-
- алюминий Al/двуокись кремния SiO2;
-
- двуокись кремния SiO2/аморфный кремний A-Si;
-
- двуокись кремния SiO2/нитрид кремния Si3N4 (2 меры разной толщины покрытий).
Каждая мера упакована в индивидуальный герметичный пластиковый контейнер, который предохраняет меру от резких ударов и повреждений. На крышке контейнера находится этикетка с маркировкой. Маркировка включает в себя: наименование средства измерений, заводской номер, товарный знак изготовителя, исполнение.
Меры из комплекта мер толщины выпускаются в следующих исполнениях: TiSi2/SiO2, TiN/SiO2, А!/8Ю2, SiO2/A-Si, SiOz/SisN^
Комплект мер толщины помещен в тару в виде герметичного ударопрочного кейса для хранения и перевозки. В кейс помещается также набор пинцетов.
Заводской номер комплекта мер толщины, идентифицирующий каждый экземпляр средства измерений, состоит из арабских цифр и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины.
Заводской номер мер из комплекта мер толщины, включает в себя: арабские цифры и буквы, нижнее подчеркивание, и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на крышку контейнера с мерой из комплекта мер толщины.
Пломбирование комплекта мер толщины не предусмотрено. Нанесение знака поверки на комплект мер толщины не предусмотрено.
Общий вид мер из комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера мер представлен на рисунке 1. Общий вид кейса для хранения и перевозки комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера комплекта мер толщины и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 2.
Место нанесения заводского номера меры
Рисунок 1 - Общий вид индивидуального герметичного пластикового контейнера с мерой толщины двухслойных оптических покрытий
Место нанесения знака утверждения типа
Место нанесения заводского номера комплекта мер толщины
Рисунок 2 - Общий вид кейса для хранения и перевозки мер толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
Таблица 3 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество, шт./экз. |
|
Меры толщины двухслойных оптических покрытий |
TiSi2/SiO2 |
1 |
|
(комплект) |
TiN/SiO2 |
1 |
|
Al/SiO2 |
1 | |
|
SiO2/A-Si |
1 | |
|
SiO2/Si3N4 |
2 | |
|
Индивидуальный герметичный пластиковый контейнер |
- |
6 |
|
Герметичный ударопрочный кейс |
Корсар |
1 |
|
Комплект пинцетов |
- |
1 |
|
Паспорт |
КВФШ.401259.003ПС |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
КВФШ.401259.003РЭ |
1 |
аблица 1 - Метрологические характеристики комплекта мер толщины
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон допускаемых (номинальных) значений толщин оптического покрытия, нм*
|
от 46 до 54/от 950 до 1050 от 60 до 80/ от 950 до 1050 от 75 до 85/ от 950 до 1050 от 5 до 8/от 114 до 126 от 12 до 18/ от 76 до 84 от 45 до 55/ от 950 до 1050 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщин оптического покрытия, нм |
±0,5 |
|
* Действительные значения допускаемых (номинальных) толщин оптического покрытия мер определяются при их первичной поверке | |
аблица 2 - Основные технические характеристики комплекта мер толщины
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диаметр мер толщины, мм, не более |
200 |
|
Габаритные размеры индивидуального контейнера (длинахширинахвысота), мм, не более |
220x240x25 |
|
Габаритные размеры ударопрочного кейса (длинахширинахвысота), мм, не более |
412x328x248 |
|
Масса комплекта мер толщины в кейсе, кг, не более |
6 |
|
Условия эксплуатации:
|
от +19,5 до +20,5 от 45 до 70 от 96 до 104 |

