Номер по Госреестру СИ: 87394-22
87394-22 Микроскопы интерференционные
("НаноСкан-01")
Назначение средства измерений:
Микроскопы интерференционные «НаноСкан-01» (далее - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений параметров шероховатости Rmax, Ra по ГОСТ 25142-82 для производственного оптического контроля.
Внешний вид.
Микроскопы интерференционные
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Для управления микроскопом используется оригинальное программное обеспечение MicroScan, разработанное для операционной системы Microsoft Windows.
Программное обеспечение является защищенным: системный блок персонального компьютера оборудован закрывающейся на замок панелью, при входе в программное обеспечение необходимо ввести логин и пароль. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления программного обеспечения производятся производителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям. Программное обеспечение является открытой системой. Программное обеспечение содержит алгоритм расчета параметров шероховатости по данным, измеренным микроскопом, изменить алгоритм может только производитель. Функция ПО - восстановление формы поверхности по волновому фронту и вычисление параметров шероховатости.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
MicroScan |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v 1.0.0.1 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении микроскопа.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус микроскопов методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.Общий вид микроскопа с обозначением мест нанесения знаков поверки и
утверждения типа представлен на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов
Для управления микроскопом используется оригинальное программное обеспечение MicroScan, разработанное для операционной системы Microsoft Windows.
Программное обеспечение является защищенным: системный блок персонального компьютера оборудован закрывающейся на замок панелью, при входе в программное обеспечение необходимо ввести логин и пароль. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления программного обеспечения производятся производителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям. Программное обеспечение является открытой системой. Программное обеспечение содержит алгоритм расчета параметров шероховатости по данным, измеренным микроскопом, изменить алгоритм может только производитель. Функция ПО - восстановление формы поверхности по волновому фронту и вычисление параметров шероховатости.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
MicroScan |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v 1.0.0.1 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении микроскопа.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопа
Наименование параметра |
Значение |
Диапазон измерений параметров шероховатости Ra, мкм |
от 0,02 до 0,07 |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Ra, мкм, не более |
0,0008 |
Диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, мкм |
от 0,02 до 0,2 |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Rmax, мкм, не более |
0,003 |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопа
Наименование параметра |
Значение |
Поле зрения, мм, не более |
1x1 |
Длина волны излучения, нм |
532 |
Диапазон показаний параметров шероховатости Rmax, Rz, Ra, Rq по ГОСТ 25142-82, мкм |
от 0,0001 до 0,2 |
Диапазон показаний параметров шероховатости Sz, Sa, Sq по ГОСТ Р ИСО 25178-2-2014, мкм |
от 0,0001 до 0,2 |
Алгоритм расшифровки интерферограмм |
метод фазовых шагов |
Размерность изображения, пиксель, не менее |
1920x1200 |
Число вводимых градаций яркости, бит, не менее |
12 |
Время измерения и обработки, сек, не более |
30 |
Число шагов для реконструкции интерферограмм методом фазовых шагов, не менее |
5 |
Электропитание от сети переменного тока:
|
от 200 до 250 от 50 до 60 |
Габаритные размеры (длинахширинахглубина), мм, не более |
500x250x200 |
Масса, кг, не более |
5 |
Условия эксплуатации:
|
от +15 до + 25 от 50 до 80 |
наносится на корпус микроскопов методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в Руководстве по эксплуатации АЦБЕ180.00.000РЭ глава 2 «Использование по назначению».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийПриказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 ноября 2019 г. № 2657 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм»;
Технические условия. АЦБЕ180.00.00.000ТУ. Микроскоп интерференционный «НаноСкан-01».
ПравообладательОбщество с ограниченной ответственностью «Электростекло» (ООО «Электростекло»)
ИНН 7743073940
Адрес: 119571, г. Москва, ул. 26-ти Бакинских Комиссаров, д. 5, пом. IV, комн. 1
Телефон: +7 (495) 234-59-51, +7 (495) 234-59-52
Факс: +7 (910) 485-67-82
E-mail: zapros@elektrosteclo.ru
Web-сайт: http://www.elektrosteklo.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») ИНН 7702038456Адрес: 119361 г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: 8 (495) 437-56-33; факс 8 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Правообладатель
Общество с ограниченной ответственностью «Электростекло» (ООО «Электростекло»)ИНН 7743073940
Адрес: 119571, г. Москва, ул. 26-ти Бакинских Комиссаров, д. 5, пом. IV, комн. 1
Телефон: +7 (495) 234-59-51, +7 (495) 234-59-52
Факс: +7 (910) 485-67-82
E-mail: zapros@elektrosteclo.ru
Web-сайт: http://www.elektrosteklo.ru
Изготовители Общество с ограниченной ответственностью «Электростекло» (ООО «Электростекло»)
ИНН 7743073940
Адрес: 119571, г. Москва, ул. 26-ти Бакинских Комиссаров, д. 5, пом. IV, комн. 1
Телефон: +7 (495) 234-59-51, +7 (495) 234-59-52
Факс: +7 (910) 485-67-82
E-mail: zapros@elektrosteclo.ru
Web-сайт: http://www.elektrosteklo.ru
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых полей, отраженных от опорного зеркала и измеряемой поверхности. Микроскоп реализован по схеме академика В.П. Линника. Восстановление фазы из интерферограмм и получение информации о высоте профиля поверхности проводится методом фазового сдвига. Для этого меняется оптическая длина пути света в опорном канале при помощи сдвига управляемого от компьютера зеркала, закрепленного на пьезоэлементе. Интерферограммы при различных положениях опорного зеркала регистрируются с помощью встроенной видеокамеры и передаются в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка. Результаты измерений в виде двумерного распределения высоты и графиков сечений отображаются на экране компьютера. По полученной информации о высоте профиля поверхности прибором рассчитываются параметры шероховатости Rmax, Ra. Базовая длина для параметров Ra, Rmax определяется по ГОСТ 2789-73 (приложение 1, таблицы 5, 6). Для управления вводом изображений, сдвигом пьезоэлемента, расшифровки интерферограмм и вычисления параметров шероховатости используется специальное программное обеспечение «MicroScan», работающее в операционной среде Microsoft Windows.
Микроскоп состоит из оптической схемы интерферометра Линника, высокоразрешающей видеокамеры, светодиодного осветителя, блока управления пьезоэлементом и ноутбука. Оптическая схема микроскопа позволяет работать в квазимонохроматическом пространственно-когерентном свете.
Конструктивно микроскопы выполнены в виде интерферометра Линника, собранного на вертикальной металлической плите для уменьшения влияния вибраций, закрытого пластиковым кожухом для защиты от внешней засветки и пыли.
Заводские номера содержат цифровое обозначение, наносятся на шильдик методом цифровой лазерной печати на самоклеящуюся пластиковую пленку и наклеиваются на корпус микроскопов, что обеспечивает возможность прочтения номера в процессе эксплуатации.
Пломбирование приборов не предусмотрено. Знак утверждения типа наносится на корпус микроскопов методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Общий вид микроскопа с обозначением мест нанесения знаков поверки и
утверждения типа представлен на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов
Таблица 4 -
Наименование изделия |
Обозначение |
Количество |
Микроскоп интерференционный:
|
«НаноСкан-01» |
1 шт. |
Блок питания осветителя |
1 шт. | |
Персональный компьютер (ноутбук) |
1 шт. | |
Программное обеспечение для расшифровки интерферограмм |
MicroScan |
1 шт. |
Эталонное зеркало |
- |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
АЦБЕ180.00.00.000РЭ |
1 шт. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопа
Наименование параметра |
Значение |
Диапазон измерений параметров шероховатости Ra, мкм |
от 0,02 до 0,07 |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Ra, мкм, не более |
0,0008 |
Диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, мкм |
от 0,02 до 0,2 |
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений параметра шероховатости Rmax, мкм, не более |
0,003 |
Таблица 3 - Технические характеристики микроскопа
Наименование параметра |
Значение |
Поле зрения, мм, не более |
1x1 |
Длина волны излучения, нм |
532 |
Диапазон показаний параметров шероховатости Rmax, Rz, Ra, Rq по ГОСТ 25142-82, мкм |
от 0,0001 до 0,2 |
Диапазон показаний параметров шероховатости Sz, Sa, Sq по ГОСТ Р ИСО 25178-2-2014, мкм |
от 0,0001 до 0,2 |
Алгоритм расшифровки интерферограмм |
метод фазовых шагов |
Размерность изображения, пиксель, не менее |
1920x1200 |
Число вводимых градаций яркости, бит, не менее |
12 |
Время измерения и обработки, сек, не более |
30 |
Число шагов для реконструкции интерферограмм методом фазовых шагов, не менее |
5 |
Электропитание от сети переменного тока:
|
от 200 до 250 от 50 до 60 |
Габаритные размеры (длинахширинахглубина), мм, не более |
500x250x200 |
Масса, кг, не более |
5 |
Условия эксплуатации:
|
от +15 до + 25 от 50 до 80 |