Номер по Госреестру СИ: 78538-20
78538-20 Микроскопы измерительные оптические
(STM7)
Назначение средства измерений:
Микроскопы измерительные оптические STM7 предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z поверхности твердотельных объектов.
Внешний вид.
Микроскопы измерительные оптические
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы измерительные оптические
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы измерительные оптические
Рисунок № 3
Внешний вид.
Микроскопы измерительные оптические
Рисунок № 4
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «STM7-BSW». ПО «STM7-BSW» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z. ПО «STM7-BSW» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационное наименование ПО |
STM7-BSW |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.3.2 или выше |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель рамы микроскопа в виде наклейки, и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационной документации.Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам измерительным оптическим STM7Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 78538-20 «Микроскопы измерительные оптические STM7. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 08 июня 2019 г.
Основные средства поверки:
-
- меры длины концевые плоскопараллельные 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 №2840), набор №1 (рег. №35954-07);
-
- мера длины штриховая типа 11Б по ГОСТ 12069-90 (диапазон измерений 0-200 мм, класс точности 1 по ГОСТ 12069-90);
-мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. №33598-06).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунках 1 и 2 и на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма OLYMPUS Corporation, ЯпонияАдрес: Shinjuku Monolith, 2-3-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-0914, Japan Тел./факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795
E-mail: info@olympus-global.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Мелитэк» (ООО «Мелитэк»)Адрес: 117342, г. Москва, ул. Обручева, д. 34/63, строение 2
Тел./факс: (495) 781-07-85
E-mail: info@melytec.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Микроскопы измерительные оптические STM7 (далее - микроскопы) выпускаются в модификациях STM7-SF, STM7-SFA, STM7-MF, STM7-MFA, STM7-LF, STM7-LFA. Принцип действия микроскопов основан на измерении перемещения предметного столика по осям Х и Y и блока фокусировки по оси Z (для линейных размеров в плоскости XY и по оси Z соответственно) измерительной системой микроскопа. При этом контроль перемещения по осям X, Y осуществляется визирным методом по изображению, полученному от исследуемого объекта. Перемещение по оси Z контролируется с помощью системы фокусировки, основанной на конфокальном методе.
Перемещения предметного столика и блока фокусировки осуществляется либо в ручном режиме (модификации STM7-SF, STM7-MF, STM7-LF), либо с помощью моторизованного привода (модификации STM7-SFA, STM7-MFA, STM7-LFA).
Микроскоп оснащен измерительными и металлографическими объективами и может работать в следующих режимах:
-
- в отраженном свете в режиме светлого поля;
-
- в отраженном свете в режиме темного поля;
-
- в отраженном свете в режиме дифференциально-интерференционного контраста (ДИК);
-
- в отраженном поляризованном свете.
Для работы в режиме отраженного света используется светодиод белого свечения, а в режиме проходящего света - светодиод зеленого свечения с длиной волны от 520 до 550 нм. В зависимости от решаемых задач, микроскоп может комплектоваться объективами с кратностью увеличения от 1х до 100х.
Микроскоп выполнен в настольном варианте и включает основной блок, состоящий из рамы, на которой расположены предметный столик, револьверная головка с моторизованным приводом с объективами, осветитель отраженного света, блок навигации системы фокусировки (либо блок автоматической фокусировки), окулярный тубус с окуляром, блок цифрового индикатора, цифровая камера. Отдельно расположенными являются блок питания, блок управления рамой, контроллер блока автоматической фокусировки, персональный компьютер с управляющей программой, которые соединены между собой и с основным блоком электрическими кабелями.
В зависимости от диапазона перемещения предметного столика, микроскопы поставляются в модификациях STM7-SF, STM7-SFA (рама малого размера), STM7-MF, STM7-MFA (рама среднего размера), STM7-LF, STM7-LFA (рама большого размера).
Модификации микроскопа с моторизованным приводом (имеющие букву «А» в обозначении) оснащены блоком автоматической фокусировки и контроллером блока автоматической фокусировки вместо блока навигации системы фокусировки и панели управления механизмом рамы с ручным приводом для модификаций STM7-SF, STM7-MF, STM7-LF.
Общий вид микроскопов модификаций STM7-SF (STM7-MF, STM7-LF) и модификаций STM7-SFA (STM7-MFA, STM7-LFA) представлен на рисунках 1 и 2 соответственно.
Пломбирование микроскопов не предусмотрено.
Место нанесения знака поверки >
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа измерительного оптического STM7-SF (STM7-MF, STM7-LF)
Рисунок 2 - Общий вид микроскопа измерительного оптического STM7-SFA
(STM7-MFA, STM7-LFA)
Таблица 4 -
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Микроскоп измерительный оптический* |
Модификация STM7-SF, STM7-SFA, STM7-MF, STM7-MFA, STM7-LF или STM7-LFA |
1 шт. |
Объективы |
Измерительные ММ6-0В, металлографические MPLFLN, MPLFLN-BD, LMPLFLN или LMPLFLN-BD серии |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Методика поверки |
- |
1 экз. |
- конфигурация по согласованию с заказчиком.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
STM7-SF, STM7- SFA, |
STM7-MF, STM7-MFA |
STM7-LF, STM7-LFA | |
Диапазон измерений линейных размеров, мм ось Х, Y ось Z:
тив |
от 0,0005 до 50 (предметный столик STM7-CS50) от 0,0005 до 100 (предметный столик STM7-CS100) от 0,0005 до 120 от 0,0005 до 175 |
от 0,0005 до 200 от 0,0005 до 120 от 0,0005 до 175 |
от 0,0005 до 250 от 0,0005 до 90 от 0,0005 до 145 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров, мкм (L - измеряемая длина, мм) ось X, Y ось Z |
±(1,5+L/50) ±(3+L/10) |
±(1,5+L/50) ±(3+L/10) |
±(1,5+L/50) ±(3+L/10) |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
STM7-SF, STM7-SFA, |
STM7-MF, STM7-MFA |
STM7-LF, STM7-LFA | |
Дискретность отсчета, мкм |
0,1 |
0,1 |
0,1 |
Допустимая масса образца, кг, не более |
5 |
10 |
15 |
Габаритные размеры основного блока (ДхШхВ), мм, не более |
466х583х811 |
606х762х811 |
804х1024х844 |
Масса, кг, не более |
92 |
159 |
284 |
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
220-240 | ||
Потребляемая мощность, Вт, не более |
80 | ||
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, % |
от +18 до +22 от 55 до 75 |