Методика поверки «ГСОЕИ. Дифрактометры рентгеновские ДРОН-7М» (МП-242-0313-2019)
Федеральное государственное унитарное предприятие
«Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
УТВЕРЖДАЮИ.о. директора
Занесшей ийда»’ ,--sМ В.Окр?'лйл&в .. /< ДоверениЛеЛж,*— от 03 октявм||&12й
\И Э- м.п. 2019 г.I «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» /7 //
Q '■Ъ //
А.Н. Пронин
Государственная система обеспечения единства измерений
Дифрактометры рентгеновские ДРОН-7М МЕТОДИКА ПОВЕРКИ МП-242-0313-2019Заместитель руководителя отдела Государственных эталонов в области физико-химических измерений
ФГУП «ВНИИМ им. Х.И. Менделеева»"
________________А.В. Колобова
Ведущий инженер ФГУП «ВНИИМ им. Д.И J |
»Денделеева» |
Т.М. Эннанова |
Санкт-Петербург 2019 г.
Дифрактометры рентгеновские ДРОН-7М
Настоящая методика распространяется на дифрактометры рентгеновские ДРОН-7М (далее - дифрактометры), изготавливаемые АО «ИЦ «Буревестник», Россия. Дифрактометры подлежат первичной поверке до ввода в эксплуатацию и после ремонта и периодической поверке в процессе эксплуатации. Интервал между поверками - 2 года.
2. ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ-
2.1. При проведении поверки должны быть выполнены операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1- Операции поверки
Наименование операций |
Номер пункта настоящей методики |
Проведение операции при | |
первичной поверке |
периодической поверке | ||
Внешний осмотр |
7.1 |
да |
да |
Опробование |
7.2 |
да |
да |
Подтверждение соответствия ПО |
7.3 |
да |
да |
Определение метрологических характеристик |
7.4 |
да |
да |
Проверка диапазона измерений углов дифракции 23 |
7.4.1 |
да |
да |
Определение абсолютной погрешности измерения угловых положений дифракционных максимумов |
7.4.2 |
да |
да |
Определение основной относительной погрешности скорости счета импульсов рентгеновского излучения |
7.4.3 |
да |
да |
-
2.2. Если при проведении той или иной операции поверки получен отрицательный результат, дальнейшая поверка прекращается.
-
3.1. При проведении поверки должны быть применены средства, указанные в таблице 2.
Таблица 2 - Средства поверки
№ п/п |
Наименование и тип средства поверки |
Основные технические и (или) метрологические характеристики или номер |
1 |
ГСО 10475-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976b) |
Параметры кристаллической решетки: а=0,4759137 нм, расширенная неопределенность при Р=0,95 (к=2) 0,0000080 нм; с=1,299337 нм, расширенная неопределенность при Р=0,95 (к=2) 0,000015 нм. Относительная интенсивность дифракционных максимумов от 8,17 до 87,79 %; расширенная неопределенность при Р=0,95 (к=2) от 0,07 до 0,63 % |
ГСО 10440-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976Ь) |
Параметры кристаллической решетки: а=0,4759137 нм, расширенная неопределенность при Р=0,95 (к=2) 0,0000080 нм; с=1,299337 нм, расширенная неопределенность при Р=0,95 (к=2) 0,000015 нм. Относительная интенсивность дифракционных максимумов от 8,17 до 87,79 %; расширенная неопределенность при Р=0,95 (к=2) от 0,07 до 0,63 % |
Термогигрометр электронный CENTER, № в Федеральном информационном фонде 22129-09
Диапазон измерений отн. влажности от 10 до 100 %; пределы допускаемой основной абсолютной погрешности ±3 %. Диапазон измерений температуры от -20 до +60 °C; пределы допускаемой основ-ной абсолютной погрешности ±0,8 °C.
-
3.2 Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик дифрактометра с требуемой точностью.
-
3.3. Все средства поверки должны иметь действующие свидетельства о поверке, а стандартные образцы действующие паспорта.
-
4.1. Требования безопасности должны соответствовать рекомендациям, изложенным в руководстве по эксплуатации дифрактометров рентгеновских ДРОН-7М.
-
4.2. К проведению поверки допускаются лица, изучившие руководство по эксплуатации дифрактометров рентгеновских ДРОН-7М, методику поверки МП-242-0313-2019, допущенные к выполнению поверки по данному виду измерений и прошедшие инструктаж по технике безопасности в установленном порядке.
-
4.3. Для получения данных, необходимых для поверки, допускается участие в поверке оператора, обслуживающего дифрактометр, или сервис-инженера (под контролем поверителя).
-
5.1. При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
-
- температура окружающей среды, °C от +15 до +25;
(при допускаемом колебании температуры за время поверки не более, чем на ±2°С)
-
- относительная влажность при температуре +25 °C, % не более 80
-
6.1. Подготовку дифрактометра рентгеновского ДРОН-7М к поверке, включение соединительных устройств, выполнение операций при проведении контрольных измерений осуществляют в соответствии с правилами эксплуатации, изложенными в руководстве по эксплуатации и Руководстве оператора программного комплекса Data Collection дифрактометров рентгеновских ДРОН-7М.
-
6.2. Если дифрактометр и средства поверки до начала измерений находились в климатических условиях, отличающихся от указанных в п. 5, то их следует выдержать при этих условиях не менее часа или времени, указанного в эксплуатационной документации на поверяемый дифрактометр и средства поверки.
-
7. ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ
-
7.1.1. При проведении внешнего осмотра должно быть установлено:
-
- наличие маркировки, подтверждающей тип и идентифицирующей дифрактометр;
-
- отсутствие на наружных поверхностях дифрактометра повреждений и дефектов, влияющих на его работоспособность;
-
- отсутствие ослаблений элементов конструкции, чистоту разъемов;
-
- надежность крепления соединительных элементов, кабелей.
-
7.1.2. Дифрактометр рентгеновский ДРОН-7М считается прошедшим поверку по п. 7.1, если корпус, внешние элементы, органы управления не повреждены, отсутствуют механические повреждения и ослабления элементов конструкции.
Опробование дифрактометра заключается в его включении в соответствии с руководством по эксплуатации (РЭ) и руководством оператора ПО Data Collection, выполнении процедуры «Инициализация» в соответствии с РЭ.
Результаты опробования считаются удовлетворительными, если на мониторе ПК после загрузки ПО Data Collection не появляется сообщений об ошибках и выполнение процедуры «Инициализация» прошло с положительным результатом.
7.3 Подтверждение соответствия ПО-
7.3.1. Определение идентификационных данных ПО Difract.
В главном меню окна ПО Data Collection открыть меню «Справка», в раскрывающемся списке выбрать подменю «О программе». В открывшемся окне приведено наименование ПО Data Collection. Пример окна идентификации наименования ПО приведен на рисунке 1.
Рисунок 1. Окно с идентификационным наименованием ПО Data Collection
В главном меню окна ПО Data Collection открыть меню «Справка», в раскрывающемся списке выбрать подменю «Идентификационные данные». В открывшемся окне приведены номера версий ПО Data Collection и цифровые идентификаторы исполняемого файла DataCol.exe. Пример окна идентификации номеров версий и цифровых идентификаторов программы верхнего уровня Сбор данных - DataCol и программы нижнего уровня ДРОН-7М ПО Data Collection приведен на рисунке 2.
Рисунок 2. Окно с номерами версий и с цифровыми идентификаторами ПО Data Collection.
-
7.3.2. Дифрактометр рентгеновский ДРОН-7М считается выдержавшим поверку по п. 7.3, если версия программы верхнего уровня Сбор данных - DataCol ПО Data Collection не ниже 7.00.00, версия программы нижнего уровня ДРОН-7М ПО Data Collection не ниже 0.2.3, а полные версии и цифровые идентификаторы ПО Data Collection совпадают с указанными в паспорте на поверяемый прибор.
-
7.4.1. Проверка диапазона измерений углов дифракции 23
-
7.4.1.1. Для проведения измерений по пункту 7.4.1 применяют ГСО 10475-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976Ь), либо ГСО 10440-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976Ь).
-
7.4.1.2. Установить в прибор образец дифракционных свойств кристаллической решетки, указанный в п. 7.4.1.1. Проверку проводить в соответствии с таблицей 3 настоящей МП для кронштейна блока детектирования (угол 23) - в автоматическом режиме прохождением угловых диапазонов. Измерения выполняются в соответствии с пунктом руководства по эксплуатации дифрактометров рентгеновских ДРОН-7М «Проверка диапазона поворота кронштейна блока детектирования» и руководством оператора «Программный комплекс управления и сбора данных дифрактометров общего назначения - Data Collection».
Таблица 3 - Диапазон измерения углов дифракции 23
Диапазон измерения углов дифракции 23, градусы | ||
Начальный угол 23н |
Конечный угол 23к |
Шаг сканирования Л(23) |
минус 100 |
0,00 |
20,00 |
0,00 |
100,00 |
10,00 |
100,00 |
150,00 |
5,00 |
150,00 |
164,00 |
1,00 |
164,00 |
164,96 |
0,02 |
164,96 |
165,00 |
0,001 |
Дифрактометры рентгеновские ДР0Н-7М МП-242-0313-2019 6
-
7.4.1.3. Дифрактометр рентгеновский ДРОН-7М считается выдержавшим поверку по п. 7.4.1, если диапазон измерений углов дифракции 23 соответствует интервалу от -100 0 до +165 °.
7.4.2. Определение абсолютной погрешности измерения угловых положений дифракционных максимумов
-
7.4.2.1. Для проведения измерений по пункту 7.4.2 применяют ГСО 10475-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976Ь), либо ГСО 10440-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976Ь).
-
7.4.2.2. Измерения по п. 4.2 проводят путем измерения в соответствии с руководством по эксплуатации дифрактометров рентгеновских ДРОН-7М и руководством оператора «Программный комплекс управления и сбора данных дифрактометров общего назначения - Data Collection» углов дифракционных максимумов дифракционных линий 104, 116, 1.0.10+119, 2.1.10 и 146 при следующих условиях:
-рентгеновская трубка
-
- ток анода рентгеновской трубки, мА
-
- напряжение анода рентгеновской трубки, кВ
-
- размеры щелей на первичном пучке:
вертикальная щель, мм горизонтальная щель, мм
вертикальная щель, мм
-
- размеры щелей на дифрагированном пучке:
вертикальная (антирассеивающая) щель, мм вертикальная щель, мм горизонтальная щель (регулируемая), мм
-
- щели Соллера на первичном и дифрагированном пучке
расходимостью, градус
-
- интервалы сканирования по углам 23, градус:
дифракционная линия 104 дифракционная линия 116 дифракционные линии (1.0.10+119) дифракционная линия 2.1.10 дифракционная линия 146
-
- шаг сканирования, градус:
дифракционные линии 104, 116 и (1.0.10+119) дифракционные линии 2.1.10 и 146
-
- экспозиция в точке, с:
дифракционные линии 104, 116 и (1.0.10+119) дифракционные линии 2.1.10 и 146
-
- селективно-поглощающий фильтр (р-фильтр)
-
- число сканов
вращение образца
БСВ с медным анодом;
40;
30;
2,0;
8,0;
3,0;
3,0;
0,1 (номер 2); 12,0;
1,5;
34,9- 35,5;
57,2 - 58,0;
76,5 - 77,7
100,7-101,7;
135,5- 137,3;
0,01;
0,02;
5;
Ю;
Ni;
1;
обязательно
Абсолютная погрешность измерения углов дифракционных максимумов определяется как разность между значениями 23ка1 зарегистрированных рефлексов и соответствующими значениями для применяемого СО 23ка1ГСО, приведенными в таблице 4. Угловые положения максимумов определяются в их верхней трети по средней линии между правым и левым «крылом».
Таблица 4
№ п/п |
Отражающая атомная плоскость (индекс Миллера, hkl) |
Угловые положения максимумов 20ха1ГСО, градусы |
1 |
104 |
35,15 |
2 |
116 |
57,50 |
3 |
1.0.10 |
76,87 |
4 |
119 |
77,23 |
5 |
2.1.10 |
101,06 |
6 |
146 |
136,09 |
-
7.4.2.3. Дифрактометр считается выдержавшим поверку по п. 7.4.2, если измеренные значения 2$ксп отличаются от значений дифракционных максимумов, приведенных в таблице 4, не более чем на ±0,02 °.
-
7.4.3. Определение основной относительной погрешности скорости счета импульсов рентгеновского излучения
-
7.4.3.1. Для проведения измерений по пункту 7.4.3 применяют ГСО 10475-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976Ь), либо ГСО 10440-2014, стандартный образец дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) (SRM 1976Ь).
-
7.4.3.2. Измерения выполнять в соответствии с руководством по эксплуатации дифрактометров рентгеновских ДРОН-7М (пункт «Определение основной аппаратурной погрешности») и руководством оператора «Программный комплекс управления и сбора данных дифрактометров общего назначения - Data Collection» измерением счета импульсов рентгеновского излучения в максимуме отражения от отражающей атомной плоскости с индексом Миллера 104 стандартного образца дифракционных свойств кристаллической решетки (оксид алюминия) либо аналогичной для применяемого средства измерений.
-
7.4.3.3. Начинать измерения следует после прогрева дифрактометра в течение не менее 1 часа. Экспозиция 100 с. Провести три серии по 11 измерений. Длительность каждой серии составляет не менее 1 ч.
Измерения проводят, используя опцию «Относительная погрешность» в программе Data Collection. В процессе измерения образец не должен вращаться. Расчет результатов проводится программой автоматически.
-
7.4.3.4. Для каждой серии измерений рассчитывают стандартное отклонение S2 по формуле:
(1)
где Nik - набор импульсов i-ro измерения в k-ой серии;
к - номер серии (1,2 или 3);
п - число измерений в серии (n=l 1);
Nk- среднее арифметическое значение набора импульсов в серии.
Измеренный массив данных проверяют на однородность. Отношение модуля разности максимального и минимального значений Nk в пределах каждой серии к среднему значению N по всем трем сериям измерений, взятое в процентах, т.е.
N^ax-N^in
* 100 %
(2)
должно быть не более 0,5 %. В противном случае, после выяснения и устранения причин неоднородности массива, измерения повторить.
Дифрактометры рентгеновские ДР0Н-7М МП-242-0313-2019 8
Основная относительная погрешность для трех серий измерений определяется по формуле: y/S2-N
Ао = —=—* 100 % (3)
где N = |Й=1Яи52
В случае если подкоренное выражение меньше нуля, значение Ао приравнивается нулю, что соответствует нормативу.
По окончании трех серий измерений на экран монитора компьютера выводится результат.
-
7.4.3.3. Дифрактометр считают выдержавшим поверку по п. 7.4.3, если полученное значение основной относительной погрешности скорости счета импульсов рентгеновского излучения Ао не превышает 0,20 % при неоднородности массива данных не более 0,5 %.
-
8.1. Данные, полученные при поверке, оформляются в форме протокола в соответствии с требованиями, установленными в организации, проводящей поверку.
-
8.2. Дифрактометр рентгеновский ДРОН-7М, удовлетворяющий требованиям настоящей методики поверки, признается годными, и на него оформляется свидетельство о поверке по установленной форме.
-
8.3. Дифрактометр н рентгеновский ДРОН-7М, не удовлетворяющий требованиям настоящей методики, к дальнейшей эксплуатации не допускается и на него выдается извещение о непригодности.
-
8.4. Знак поверки наносится на переднюю панель дифрактометра и (или) на свидетельство о поверке.