Методика поверки «ГСИ. МЕРЫ ДЛИНЫ КОНЦЕВЫЕ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ ОБРАЗЦОВЫЕ 3 и 4-ГО РАЗРЯДОВ И РАБОЧИЕ КЛАССОВ ТОЧНОСТИ X - 5 ДЛИНОЙ СВЫШЕ 100 ДО 1000 мм. МЕТОДИКА ПОВЕРКИ» (МИ 2186-92)
ГОССТАНДАРТ РОССИИ
РЕКОМЕНДАЦИЯ
"ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА. ИЗМЕ
РЕНИЙ. НЕРИ ДЛИНЫ КОНЦЕВЫЕ ПЛОСКОПАРАЛЛЕПЬНИЕ ОБРАЗЦОВЫЕ 3 и 4-ГО РАЗРЯДОВ И РАБОЧИЕ КЛАССОВ ТОЧНОС-
НОСТИ 1-5 даой СЕЙЛЕ 100 ДО 1000 мм. МЕТОДИКА
ПОВёЭТ
УИ 2186-92
1992 г.
РЕКОМЕНДАЦИЯ
"ГСИ. Меры длины концевые плоскопараллельные образцовые 3 и 4-го разрядов и рабочие классов точности 1-5 длиной свыше 100 до 1000 мм.
Методика поверки."
Дата введения 0I.0l-.92 Настоящая рекомендация распространяется на плоскопараллельные концевые меры длины (далее - концевые меры) свыше 100 до 1000 мм (включительно) образцовые 3 и 4-го разрядов в соответствии с МИ 1604 87 и рабочие классов точности I - 5 по ГОСТ 9038-90 и устанавливает методику первичной поверки рабочих концевых мер и периодических поверок рабочих и образцовых концевых мер.
следует про водить спределе-ыер при их метрологическо
Ио методика настоящей рекомендации ние метрологических характеристик концевых аттестации в качестве образцовых средств измерений. Порядок проведения метрологической аттестации по ГОСТ 8.326-89.
Рекомендация соответствует МР МОЭМ >30.
-
I. ОПЕРАЦИИ И СРЕДСТВА ПОВЕРКИ
-
I.I. При проведении поверки должны выполняться операции и применяться средства поверки «указанные в табл.1.
-
Таблица I
■ lll.~.'_LiH ......I " ■ ■ ИМ I<tl111111Г I II ■ ^|'НТ|'||Г ■ I ■ I
Наименование Номер Средства поверки и их
операций пункта метрологические и ос-
рекомен- новные технические дации характеры стики
illl ■ ■■
-
1. Внешний осмотр 3,1 Да
-
2. Проверка при- 3.2 Нижние плоские стеклян- Да
тираемоети к ные пластины типа ПИ 60,
---------- ~ — • ■ — ■-■.......■ _ —-
выпуске выпуске периоди из проиэ из ре- ческой водетва мента поверке
Да
••••••'II —
Да
Да
2
Продолжение табяД | |
Наименование Номер операций пункта |
Средства поверки и их Проведение операций метрологические и ос- при |
рекомен- новные технические
дации |
характеристики выпуске выпуске периоди- из произ из ре- ческой водства монта поверке |
О...... - . ■ j м I M-H_-rtiiihiiii I- I----■- . |М~' ~ . ^^"illll.frt..—и^м HHMRL _ц 111. i~i 1111Г
вспомогательной пластине 3. Определение 3.3 отклонения длины от но- |
класса точности 2. по ГОСТ 2923-%; Образцовые концевые Да Да Да меры длины 2-го разряда в соответствии с |
минальной и отклонения от плосиоиарал- |
МИ 1604-87; Интерферометр типа ИКПГ с ценой деления 0,05 |
дельности образцовых концевых мер 3-го |
и ОД мим; оптик о-механическая машина типа ИЗИ с циф- |
разряда, рабочих класса точности I |
ровым прибором с индуктивными преобразователями класса точности I, мед.76503-01 по ТУ2-034-210-89 или мод.76504 по ТУ 034-0221197-004-89 с шагом дискретности 0t01 нкм; измерительные наконечники типа НГС14 и НГС20 класса точности I по ГОСТ 11007-66. # + |
4. Определение 3.3 срединной длины образцовых ксНЦб” |
То же Да Да Да |
вых мер 3-го
разряда
.....■lull
Операция - определение срединной длины при выпуске из производства и ремонта-мроизводится в случае выпуска образцовых концевых, мер.
Продолжение табл.I
Наименование операций
Нойер пункта рекомен
Средства поверки и их метрологические и основные технические характеристики
Проведение операций
ПЮИ выпуске выпуске периода-из произ из ре- ческой водства монта поверке
ы+н+н
дации
III ид
+Н+
jihiifr
L|-| I - 'll""
........ Ч
5 • Определение 3,3 |
Образцовые концевые |
Да. |
Да |
Да |
отклонения |
меры 3-го разряда в | |||
длины от но- |
соответствии с | |||
минальной и |
Ш 1604-87; | |||
отклонения от |
оптик о-мвханичеекая | |||
плоек опирал- |
машина типа ИЗМ или | |||
дельности об- |
оптико-механическая | |||
резцовых мер |
машина типа МЗМ с ци- | |||
4-го разряда |
фровьа? прибором с ин- | |||
и классов точ- |
дуктивными преобразо- | |||
мости 2ИЗ |
ригелями класса точности I мод .76503-01 по ТУ2-034-210-89 или мод .76504 по ТУ 034-0221197-004-89 с шагом дискретности 0,01 мкм; измерительные наконечники типа НГС14 и НГС20 класса точности 1 по ГОСТ 1X007-66. | |||
6» Определение 3.3 |
То же |
Да |
Да |
Да |
срединной длины образцовых | ||||
концевых мер 4-го разряда | ||||
7-, Определение 3.3 |
Образцовые концевые |
Нет |
Да |
Да |
отклонения |
меры 4-го разряда в | |||
ДЛИНЫ от но- |
соответствии с | |||
минальной и |
ifli 1604-87; | |||
отклонения от |
оп тико-механичоская | |||
плоекопарал- |
машина типа ИЗМ или | |||
дельности кон- |
ол тико-меж аниче ск ая | |||
цевык мер клас- |
машина топа ИЗМ с ци- |
Продолжение табл.I
Наименование операций
Номер Средства поверки и их пункта метрологические и ос-рекомен- новные технические дации характеристики
Проведение операций _________при ______ выпуске выпуске периода-из произ из ре- ческой водства монта поверке
индуктивными преобразователями класса точности I мод.76503-01 по ТУ2 —034—210—89 ил и мод .76504 по ТУ 034-0221197-004-89 с
шагом дискретности 0,1 мкм;
измерительные наконечники типа пГС14 или
НГС20 класса точности I
по ГОСТ 11007-66.
ность измерений.
Вели при поверке концевых мер применяются ИЗИ с индуктивными нреобра-Эодателями мод .76503-01 иди мод,76504 с тагом дискретности 0,01 мкм, изменение температура не должно превышать 0,2 °С/ч,при работе с .шагом дискретности 0,1 мкм - 0,6 °С/ч,
-
2.3. Для определения температуры в рабочем пространстве применяют термометр! с ценой деления ОД °C. Намерение температуры производится при поверке иьвдой концевой меры в начале и конце измерения.
-
2.4. Перед проведением поверки концевых мер должны быть выполни: и следующие подготовительные работы.
-
2.4.1. Концевые меры в упаковке необходимо выдержать в помещении не менее 6 ч.если при транспортировании температура отличалась от нормальной более чем на 10 °C.
-
2.4.2. После распаковывания концевые меры должны быть промыты ра-.. Бор.--ите.тэм по ГОСТ 443-^ или авиационным бензином по ГОСТ ЮХ2-92 и протерта чистой сухой салфеткой на хлопчатобумажной ткани по ГОСТ П6Э0-76 или ГОСТ-7259-7?.
Плоские стеклянные пластины должны быть промыты этиловым ректификованным спиртом по ГОСТ 1S30Q-S? и протерта салфеткой из хлопчатобумажной ткани по ГОСТ 11690 ~7Ь.
Подготовительные работа недо проводить в псмедегши с витяжной вентиляцией или с вытяжным шкафом.
-
2.4.3. После промывки перед проведением операции - проверка при-тираемости - концевые меры и пластины необходимо выдержать на рабочем месте не менее 30 мин.
-
2.4.4. После проверки нритираемости длительность задержки концевых мер (образцовой я поверяемой) вблизи прибора должна быть не менее 2 ц для концевых мер до 300 ж и 3 ч - для концевых мер от £Ю0 до 1000 мм
и соответственно 0,6 ч и I ч-на столе прибора*
-
2.4.5. Цифровые приборы с индуктивными преобразователям» мод.76503 01 и мод.?ЬЬО4 долхны быть подключены для прогрева в сеть за 30 мин
до начала работы.
Произвести регулировку коэффициента преобразования и все операции по настройке цифрового прибора я полном соответствии с требованиями мз лоханными в паспорте .прилагаемом к прибору.
-
2.4.6. На интерферометре типа ИКПГ необходимо установить цену деления 0,05 и ОД мкы. Правильность установки цены деления необходимо контролировать ежедневно перед началом работы.
+■
-
2.4.7. Произвести регулировку соосности измерительных наконечников горизонтальных контактных приборов»
З.Х. Внешний осмотр
При проведения внешнего осмотра должно быть установлено соответ-
т
ствие поверяемых концевых мер следующим требованиям.
3.1.1» Упаковка,комплектность и маркировка должны соответствовать требованиям ГОСТ 9036-90.
-
3.1.2. На измерительных и нерабочих поверхностях концевых мер,находящихся в эксплуатации или выпускаемых из ремонта .допускается наличие незначительных дефектов (царапин,забоин и т.п.).расположенных не
в зоне измеряемых точек и не влияющих на притираемость и .эксплуатационные свойства.
-
3.2. Проверка притираемости
-
3.2.1. Стеклянную пластину накладывают последовательно на одну» а затем на другую измерительную поверхность концевой меры. Наблюдая поверхность концевой меры через пластину,слегка прижимают пластину к концевой мере до появления инте^ерешрювдых полос .увеличивая нажим и осторожно перемещая пластину в поперечном направлении в одну или другую сторонудобиваются постепенного их исчезновения. При этом
поверхности ковцезой меры и стеклянной пластины должны прочно сцепиться
мееду собой, Если не происходит прочного «цеп лени я поверхностей, необходимо повторить более чяцательно промывку поверхностей концевой меры и стеклянной пластины,убедиться в отсутствии дефектов и затем пов-торить операцию проверка притираемости.
-
3.2.2. При проведении операции,во избежаний прогрева,концевую меру и стеклянную пластину следует поддерживать салфеткой из хлопча-тобумажной ткани и пользоваться поочередно несколькими стеклянными пластинами.
-
3.2.3. Качество притираемости измерительных поверхностей концевых мер оценивается по наличию интерференционных оттенков в белом свете
и должно соответствовать требованиям ГОСТ 9038-90 и мИ 1804-87.
-
3.2.4. Концевые меры,у которых притираемость одной из измерительных поверхностей не удовлетворяет требованиям,указанным в п.3.2.3., бракуются и дальнейшей поверке не подлежат.
3,3. Определение срединной длины, отклонения длины от номинальном и отклонения от плоскопараллельности образцовых концевых мер 3 и 4-го разрядов и рабочих классов точности 1-5.
-
3.3.1. При измерении концевых мер на интерферометре типа Ж1Г или сптико-механи’чеекой машине типа ИЖ допускается применять цифровые приборы с индуктивными преобразователями мод.76503-01 или мод.76504 взамен трубки интерферомтра или трубки оптиметра.
-
3.3.2. Поверка концевых мер производится методом сравнения с об-разцоьнми концевыми мерами той же номинальной длины высшего разряда.
Поверяемую и образцовую концевые меры устанавливают и закрепляют на узкие нерабочие поверхности в точках Эри на люнеты с цилиндрическим опорными поверхностями. Меры до 250 мм допускаете» устанавливать на предметный стол без опор. Перед установкой концевых мер на люнзты или на стол измерительная и пинольная бобки доякни бь’ть раздвинута настоль чтобы была исключена возможность лоьоеэденпл измерительных поверхносте концевых мер и измерительно наконечникез.
После соответствующей задержки концевых мер (указанной в Я.2ЛЛ.),
перемещая стол прибора,устанавли
ают образцовую концевую м«ру средия-
ними точками измерительных поверхностей против измерительных наконечников > Вабиу пиноли перемещают до соприкосновения с измерительной поверхностью образцовой концевой меры и закрепляют стопорным винтом пиноли.
ОТОМ
Плавающая площадка стола
должна быть
нем положении* Освобождают стопорный Винт измерительной бабки и осто-
(интерференционнйй трубки ЖИГ,трубки оптиметра 1ЯЫ~шил иццуктивного
преобразователя) с другой измерительной поверхностью образцовой кин-
цеьей меры. Цомент контакта фиксируется началом движения шкалы интерференционной трубки,трубки оптиметра или табло цифрового прибора. Стопорный винт измерительной бабки закрепляют.
Для устранения перекопа концевой меры относительно оси измерения добиваются иикие.альнйрс показания прибора поворотом стола вокруг вер
тикальной и горизонтальной осей, микрометрическим винтом пиноли или
измерительной бабки устанавливают показания прибора вблизи цуля.
отводят
показания прибора изменяются в пределах не более 0,1 деления шкалы при цене деления I мкм; 0;,Й деления шкалы при цене деления (0,05-0 ,2 )ыкм
и 0,04 мкм при шаге дискретности 0,01 мкм и 0,2 мкм при шаге дискрет •
нести 0,1 мкм (в случае применения цифровых приборов с ицпуктивными
преобразователями),снимают первый отсчет (нуль начальный). В протоколе фиксируется наиболее часто повторяющееся показание прибора Сили сред
нее из показаний).
Затем,не меняя установку измерительной и пинольной бабок,отводят
арретиром измерительный наконечник я перемещением стола s поперечном
и производят отсчеты в пяти точках в соответствии с указаниями п.3,3.3. ^Положение концевой меры на приборе между чувствительными элементами: измерительными наконечниками или преобпазоватшгя:.и11 в «отоаом производится измерение.
При этом перед кьедым отсчетом следует поворотом и наклоном стола добиваться минимального показания прибора.
Затем возвращают на измерительную позицию образцовую концевую меру и производят повторный отсчет (нуль конечный) аналогичным образом.
-
3.3.3. Для определения срединной длины и отклонений от номинальной длины и от плоскопараллельное™ при измерениях методом сравнения длины поверяемых концевых мер с образцовыми при помощи контактных средст: поверки проводят отсчеты в следующей последовательности:
на образцовой концевой мере в срединной точке - отсчет 0„ (нуль начальный);
на поверяемой концевой мере в срединной точке - отсчет Cj и в четырех угловых точках измерительных поверхностей на расстоянии 1-2 мм от прилегающих нерабочих поверхностей - отсчеты Q "t о’а} £ и снова в срединной точке - отсчет Сг>;
на образцовой концевой мере в срединной точке - повторный отсчет 0„ (нуль конечный).
Расхождения ме:вду отсчетами 0 и 0 ,Сг и Со при позерке образцовых концевых мер 3-го разряда и рабочих класса точности 1 длиной свыше 100 до 300 мм не должны превышать 0,1 мкм; длиной от 400 до 1000 мм - 0,2 мкм. При поверке образцовых концевых мер 4-го разряда и рабочих класса точности 2 и 3 длиной свыше 100 до 300 мм расховде-ния не должны превышать 0,2 мкм; длиной от 400 до 1000 мм - 0,4 мкм; при поверке рабочих концевых мер класса точности 4 и 5-0,6 мкм»
Если расхождения превышают указанные значения,измерения следует повторить.
Все полученные отсчеты заносят в протокол поверки.форма которого
приведена в приложении.
IQ
-
4, ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ
-
4.1. По полученным отсчетам вычисляют отклонения от плоскопарал-лельности,от номинальной длины,от срединной длины и срединную длину концевой меры.
-
4.1.1. Из отсчетов ^н’^к и ^1*^2 вычисляют средние значения
-
-
°ср и Сср* у
Для определения отклонения от плоскопараллельности Л- ' вычисляют разность мевду наибольшими и наименьшими из пяти отсчетов: С^;
а ; Z ; d ; & . Максимальная по абсолютному значению разность принимается за отклонение от плоскопараллельности вещевой меры.
Дня определения отклонения от номинальной длины Л вычисляют Д максимальную разность между едним из отсчетов: ССр;
О ; Ь ; </ ; € и отсчетом 0^ и алгебраически суммируют c/Z0^„ Z^ew = 4 Z Л £\/ахсг
где л “^обр ~ отклонение срединной длины от номинальной образцовой концевой меры.мкм,
Ддя определения отклонения срединной длины от номинального значения Л Z пов и срединной длины Z дов поверяемой концевой меры вычисляют разность срединных длин поверяемой и образцовой концевых мер Д £;
4 Ze - ССр - 0Ср.
Если 0Ср равен нулю, то / Z. = ^Ср
нов = -A Z 0(jp + -4 Срединную длину поверяемой концевой меры
Z пов вычисляют по форлуяе
ИОВ
Z, -l-Л Z ном пов
где Z a L
концевой меры,мы
ном " номинальная длина поверяемой
пов ~ отклонение срединной длины от номинальной поверяемой меры.
В случае превышения отклонения температуры от 20 °C при измерении образцовых концевых мер 3-го разряда Нй^0>3 °C и образцовых концевых мер 4-го разряда но- I °C (установленного ilH I6O4J37)iсрединная длина
Z. лов а ^обр + ^С.+ ^0 -^л) - (20 & )? ^-дам >
гдеД но - номинальная длина концевой меры,мм;
/ обр ~ срединная длина образцовой концевой меры»мм;
Л - разность срединных длин поверяемой и образцовой концевых мер I мм;
oZ <г </л “ температурный коэффициент линейного расширения (ТКДР)
-6 т
поверяемой и образцовой концевых мер» 10 К ; температура поверяемой и образцовой концевых мер* °C.
-
4.1.2. Значения результатов измерений следует округлять согласно указаниям МИ 1604-8? для образцовых концевых мер 3-го разрвда и рабочих класса точности I номинальной длиной свыше 100 до 250 мм - до 0,01 мкм; для концевых мер номинальной длиной свыше 250 до 1000 мм - 3 и 4-го разряда и классов точности 2,3,4 и 5 номинальной длиной свыше 100 до IOOO мм - до 0,1 мкм.
-
4.1.3. Отклонения от плосколараллельности < & ) и отклонения длины концевых мер от номинальной (Лг-)10ы) не должны превышать значений,установленных ГОСТ 9038-90 или МИ 1604-87.
6.1. На наборы концевых мер длины (или отдельше концевые меры)
по результатам поверки офорлляйтся
документы в соответствии С указани
ями <ffl 1604-87.
-
5.2. Результаты метрологической аттестации офшллатся в соответствии с ГОСТ 8.326-Ю.
Х2
5.3* В случае отрицательных результатов поверки концевые меры ж выпуску в обращение и к применению не допускаются и на них ведают извещение о непригодности с указанием причин.
13
ПРИЛОЖЕНИЕ
ПРОТОКОЛ »
Поверни набора плоскопараллельных концевых мер длины * разряда (класса точности)
,наготовленного
принадлежащего
цовом средстве измерения
.поверенного по образцовому набору .разряда ......... ...при температуре ..... °C, на образ
№..........
мкм
'- I II—■ ........ I ■ "Т"Г~ , , и,-,- - , и , и I JiIIIIii _ 1_-,- 1—_ _■ ..... I III ...........г—
. t fy ч л пл х г & ± Класс Данные
idfy Сг <? / У е >£ б/ точности ««“"й®1*0
йГр —— ” и /Wzc осмотра
мм Г Оф c<f> N
•"'I'll ~ ■ .......... ■ hiiijj............. . I ■ 1|111Ц^-|И II и Hi WWW ■ ■ ■^■.jIII.IIi i ih Millllll' " ■'hi ............
Поверку проводил оператор
19 г