Номер по Госреестру СИ: 69049-17
69049-17 Микроскоп электронный просвечивающий
(TITAN 80-300)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, а также суспензий микро- и наночастиц, нанесенных на полимерную или углеродную пленку-подложку.
Внешний вид.
Микроскоп электронный просвечивающий
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 160762
ID в реестре СИ - 383162
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300, Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300,
Производитель
Изготовитель - Фирма "FEI Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет формирует список типов СИ, сроки действия сертификатов на которые истекает в ближайшие 2 года.
При формировании списка есть возможность применить фильтр по видам измерений или искать по всем типам Си реестра ФГИС АРШИН.
Красным цветом выделяются типы СИ по которым возможность продления уже невозможна (менее 40 дней до окончания срока).
По каждому типу СИ (если есть возможность) дополнительно из описаний типа выводятся контактные данные изготовителя, испытательного центра и заявителя испытаний.
Статистика
Кол-во поверок - 6
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 4
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 3
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2256 от 2017.10.25 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронный просвечивающий (TITAN 80-300)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "FEI Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48831-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
|
69048-17 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Helios NanoLab 650 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
|
69049-17 |
Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
78941-20 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Scios Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскоп электронный просвечивающий (TITAN 80-300)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 6 | 0 | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронный просвечивающий (TITAN 80-300)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «Titan» является специализированным ПО микроскопа и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Titan» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Titan |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.6.4 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
c7477b08еa314е3d2b2c65е435 890d2е3213dc52d306644bbad1 3f8625a994a8 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному просвечивающему TITAN 80-300
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 69049-17 «Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 07.08.2017 г.
Основные средства поверки:
- Государственный стандартный образец параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030-2011.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма «FEI Ltd.», США
Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124, USA
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» (НИЦ «Курчатовский институт»)
Адрес: 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, д.1
Тел./факс: (499) 196-95-39
E-mail: microscop@microscop.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа основан на прохождении параллельного пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.
Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.
Пломбирование микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300 не предусмотрено.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300
Основные метрологические и технические характеристики микроскопа приведены в таблице 2.
Таблица 2 -
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,0003 до 10 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 300кВ - в диапазоне от 0,0003 мкм до 0,05 включ. мкм, нм |
±(0,4+0,06L) |
|
- в диапазоне от св. 0,05 мкм до 1 мкм включ., % |
±6 |
|
- в диапазоне от св. 1 мкм до 10 мкм, % (где L - линейный размер, нм) |
±4 |
|
Диапазон регулировки увеличений, крат |
от 45 до 1550000 |
|
Значения ускоряющего напряжения, кВ |
200, 300 |
|
Напряжение питания от трехфазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 340 до 400 |
|
Максимальная потребляемая мощность, кВ-А |
10 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) основных блоков, мм, не более: | |
|
- консоль микроскопа с колонной |
1430 х 2140 х 235 |
|
- стойка TEM/Acc |
700x800x1800 |
|
- стойка питания микроскопа |
1200х600х1300 |
|
- генератор высокого напряжения |
880х760х1990 |
|
- система охлаждения |
680х660х860 |
|
Условия эксплуатации: о -температура окружающего воздуха, С |
от +19 до +21 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |