Номер по Госреестру СИ: 69048-17
69048-17 Микроскоп электронно-ионный растровый
(Helios NanoLab 650)
Назначение средства измерений:
Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа поверхности твердотельных материалов и структур и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов сфокусированным ионным пучком.
Внешний вид.
Микроскоп электронно-ионный растровый
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 160761
ID в реестре СИ - 383161
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650,
Производитель
Изготовитель - Фирма "FEI Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет "Государственные первичные эталоны" построен по данным Реестра "ГОСУДАРСТВЕННЫЕ ПЕРВИЧНЫЕ ЭТАЛОНЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ" ФГИС АРШИН. Отчет содержит 4 интерактивных графика и таблицу. Графики имею возможность масштабирования и экспорта данных.
Первый график визуализирует информацию о количестве ГПЭ и их разделении на первичные и специальные первичные эталоны.
График "У какого института сколько первичных эталонов" имеет 2 уровня вложенности и демонстрирует распределение эталонов по государственным метрологическим институтам и видам измерений.
"Использование ГПЭ институтов в качестве средства поверки" дает количественную оценку частоты использования эталонов метрологических институтов в качестве средств поверки.
График "Востребованность ГПЭ в разрезе видов измерений" демонстрирует востребованность ГПЭ по видам измерений. График имеет 2 уровня вложенности. На первом уровне приведена частота использования ГПЭ по видам измерений, а на втором - доля эталонов каждого из метрологических институтов по этому виду измерений.
В конце отчета приводится сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. В таблице имеются следующие поля:
- Наименование организации-держателя эталона
- Количество эталонов
- Количество видов измерений
- Количество ГПЭ
- Кол-во ГПСЭ
- Востребованность первичных эталонов организации-держателя эталона выраженная в штуках, процентах (по сравнению с другими метрологическими институтами) и средняя востребованность одного эталона организации
- Перечень видов измерений эталонов, принадлежащих метрологическому институту
Бесплатный
Статистика
Кол-во поверок - 5
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2256 от 2017.10.25 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "FEI Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48831-12 |
Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
|
69048-17 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Helios NanoLab 650 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
|
69049-17 |
Микроскоп электронный просвечивающий, TITAN 80-300 Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
78941-20 |
Микроскоп электронно-ионный растровый, Scios Фирма "FEI Ltd." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 5 | 0 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскоп электронно-ионный растровый (Helios NanoLab 650)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом, получение, обработку и запоминание изображений осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «FEI system control».
ПО «FEI system control» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Конструкция микроскопа исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений-«высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
FEI system control |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
5.4.2.3177 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
326b507c2af2a063091b5060bf18fa f27a08664d289a1b240f9d3bf1е25c 612c |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель видеоконтрольного блока в виде наклейки и на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронно-ионному растровому Helios NanoLab 650
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
Поверкаосуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Основные средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. № 33598-06).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма «FEI Ltd.», США
Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124, USA
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» (НИЦ «Курчатовский институт»)
Адрес: 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, д.1
Тел./факс: (499) 196-95-39
E-mail: microscop@microscop.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления, осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового Helios NanoLab 650
Пломбирование микроскопа электронно-ионного растрового Helios NanoLab 650 не предусмотрено.
Основные метрологические и технические характеристики микроскопа приведены в таблице 2.
Таблица 2 -
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм |
от 0,002 до 1000 |
|
Диапазон показаний линейных размеров, мкм |
от 0,001 до 2000 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров элементов топологии:
(где L - линейный размер, нм) |
±(1+0,04L) ±5 |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
От 100 до 4 000 000 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более |
10 |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм, не более |
0,8 |
|
Разрешение при ускоряющем напряжении 0,2 кВ, нм, не более |
1,5 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
3 |
|
Масса, кг, не более |
950 |
|
Габаритные размеры (длинахширинахвысота) основных составных частей, мм, не более:
|
1250x1160x2000 1700x900x1300 800x600x2000 |
Продолжение таблицы 2
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Условия эксплуатации:
|
от +18 до +22 от 84 до 104 80 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 200 до 240 |