Номер по Госреестру СИ: 63021-16
63021-16 Вакуумметры мембранно-емкостные
(CMR и CCR)
Назначение средства измерений:
Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 2
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 3
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 4
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 5
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 6
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 7
Внешний вид.
Вакуумметры мембранно-емкостные
Рисунок № 8
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 21.01.2026
Номер записи - 154193
ID в реестре СИ - 376593
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации, нет данных, модификация CMR 364, модификация CMR 363, CСR 363, CMR и CCR, CMR 364, CMR 363, CMR 362, CMR 361, CMR, CCR 364, 361,
Производитель
Изготовитель - Компания "Pfeiffer Vacuum GmbH"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
После предварительного распознавания графических файлов с приказами и приложениями к приказам Росстандарта, появилась возможность осуществлять полноценный поиск по их содержимому.
Для осуществления поиска необходимо ввести искомое слово или словосочетание (от 5 символов) и нажать кнопку "Поиск в БД".
Статистика
Кол-во поверок - 36
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 26
Кол-во средств измерений - 11
Кол-во владельцев - 9
Усредненный год выпуска СИ - 2018
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№27 от 2016.01.21 Об утверждении типов средств измерений
№14 от 2021.01.20 О продлении срока действия утвержденных типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Вакуумметры мембранно-емкостные (CMR и CCR)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Компания "Pfeiffer Vacuum GmbH"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
62158-15 03.11.2025 |
Вакуумметры широкодиапазонные, PKR, PBR, IMR, HPT, MPT Компания "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
63021-16 21.01.2026 |
Вакуумметры мембранно-емкостные, CMR и CCR Компания "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
63031-16 03.02.2026 |
Вакуумметры тепловые, TPR, TPG 201, PPT 200 Компания "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
63314-16 01.03.2026 |
Вакуумметры деформационные, APR и CPT 200 Компания "Pfeiffer Vacuum GmbH" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Суть отчета показать, как в динамике по годам осуществляется наполнение реестра ФГИС АРШИН типами средств измерений в разрезе типа производства (серийное или единичное) и страны изготовления. Отчет состоит из 7 графиков и одной сводной таблицы. Графики являются интерактивными, имеют функции экспорта и масштабирования. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
График "Типы СИ ФГИС АРШИН по годам (серийное vs единичное производство), шт.".
OX - год, начиная с 1991;
OY-количество типов СИ в штуках.
Синим цветом отмечены типы СИ серийного производства, красным - единичного.
График "Типы СИ ФГИС АРШИН серийного и единичного производства (импортные и отечественные), %».
Цветовым выделением по секторам показано % соотношение отечественных серийных типов СИ, отечественных единичных типов СИ, серийных импортных типов СИ и единичных импортных типов СИ.
Круговая диаграмма "Типы СИ - серийное производство". В процентных показано соотношение между иностранными и отечественными типами СИ серийного производства.
Круговая диаграмма "Типы СИ - единичное производство". В процентных показано соотношение между иностранными и отечественными типами СИ единичного производства.
Типы СИ ФГИС АРШИН серийного производства по годам (отечественные и импортные), шт.».
OX - год, начиная с 1991;
OY-количество типов СИ в штуках.
Синим цветом отмечены отечественные типы СИ серийного производства, красным - импортные типы СИ серийного производства.
Типы СИ ФГИС АРШИН серийного производства по годам (отечественные и импортные), %».
OX - год, начиная с 1991;
OY-количество типов СИ в процентах.
Синим цветом отмечены отечественные типы СИ серийного производства, красным - импортные типы СИ серийного производства.
Типы СИ ФГИС АРШИН серийного производства по годам (отечественные и импортные без резервуаров, цистерн, трансформаторов, измерительных систем), %".
Особенностью графика является игнорирование специфических типов СИ, которые по своей сути не являются классическими СИ и мешают понять истинное соотношение между отечественными и импортными СИ серийного производства.
OX - год, начиная с 1991;
OY-количество типов СИ в процентах.
Синим цветом отмечены отечественные типы СИ серийного производства, красным - импортные типы СИ серийного производства.
Кто поверяет Вакуумметры мембранно-емкостные (CMR и CCR)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА" (RA.RU.311541) | РСТ | 24 | 4 | 0 | 24 | 0 | 23 | 0 | 23 | |
| ФГБУ "ГНМЦ" МИНОБОРОНЫ РОССИИ (RA.RU.310690) | 2 | 0 | 2 | 0 | 1 | 0 | 1 | |||
| ФГУП "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева" (RA.RU.311541) | 8 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГУП "ВНИИМ ИМ. Д.И.МЕНДЕЛЕЕВА" (RA.RU.311285) | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Вакуумметры мембранно-емкостные (CMR и CCR)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|---|---|
|
ФБУ УРАЛТЕСТ Свердловская область |
6396 | 6396 |
Программное обеспечение
Входящие в состав вакуумметров контроллеры имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметров. ПО выполняет следующие функции: выбор единицы измерений давления, прием, обработка и отображение измерительной информации, формирование выходных сигналов; передача данных, включение/выключение реле блокировок для выключения прибора при превышении допустимого давления. С помощью ПО осуществляется автоматическая диагностика состояния прибора, вывод на экран контроллера сообщений об ошибках и передача данных на внешнее устройство.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
ПО TPG |
ПО PR4000B |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 010100 |
не ниже 1.01 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Информация о версии ПО доступна через меню контроллера: при включении вакуумметра номер версии отображается на дисплее контроллера.
Влияние встроенного ПО вакуумметров учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений вакуумметров с контроллерами TPG и PR4000B - средний в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится фотохимическим или другим способом на корпус датчика вакуумметра и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации вакуумметра.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе «Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к вакуумметрам мембранно-емкостным CMR и CCR
-
1 ГОСТ 27758-88 «Вакуумметры. Общие технические требования»
-
2 ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10’8-1-103 Па».
-
3 ГОСТ Р 8.840-2013 «ГСИ. Государственная поверочная схема для СИ абсолютного давления в диапазоне 1-10-1-1 • 106 Па».
-
4 Техническая документация компании Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия.
Поверка
Поверкаосуществляется по документам МИ 140-89 «Рекомендация ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки» (для диапазонов измерений до 103 Па) и МИ 1997-89 «Рекомендация ГСИ. Преобразователи давления измерительные. Методика поверки» (для диапазонов измерений свыше 103 Па).
Основные средства поверки:
-
- Государственный рабочий эталон 1-го разряда единицы абсолютного давления в диапазоне 5...1300 гПа (3.1.ZZB.0084.2015), пределы допускаемой абсолютной погрешности ±10 Па;
-
- установка эталонная вакуумметрическая редукционная ВОУ-1, диапазон измерений 10-7 - 103 Па, относительная погрешность ±(7...3) %.
Изготовитель
Компания Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия
Адрес: Berliner Strasse 43, 35614, Asslar, Germany
Tel: +49 6441 802-0, Fax: +49 6441 802-1202
Заявитель
ООО «БЛМ Синержи»
ИНН 7718609666
Юридический адрес: 107076, г. Москва, Колодезный пер., 3 стр.26, оф. 212
Фактический адрес: 107023, г. Москва, ул. Электрозаводская, 24
Тел. (495) 781-39-39 Факс (495) 781-35-91
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»
Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Тел.: (812) 323-96-31, факс: (812) 323-96-30, www.vniim.ru
Конструктивно вакуумметры состоят из измерительного мембранно-емкостного датчика, соединенного электрическим кабелем с внешним измерительным блоком.
Принцип действия датчика основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента. В качестве чувствительного элемента применяется плоская, практически газонепроницаемая мембрана из инконеля. С одной стороны мембраны находится вакуумированный объем, откачанный до остаточного давления, не превышающего 10-7 Па, которое поддерживается в течение длительного времени химическим геттером (газопоглотителем). На другую сторону мембраны подается измеряемое давление, вызывающее деформацию мембраны, которая приводит к изменению электрической емкости между мембраной и электродами, расположенными в вакуумированном объеме. Емкость включена в одно из плеч мостовой схемы, работающей в режиме с фиксированной частотой и постоянной амплитудой. Изменение емкости, вызываемое давлением, нарушает баланс мостовой схемы. При этом электрический сигнал переменного тока разбаланса моста, пропорциональный измеряемому давлению, поступает в электронный блок датчика, где преобразуется в выходной сигнал напряжения постоянного тока. Далее этот сигнал подается на внешний измерительный блок, применяемый для цифрового контроля результатов измерений.
В качестве измерительного блока в вакуумметрах CMR могут применяться контроллеры TPG 256, TPG 361, TPG 362, в вакуумметрах CCR - контроллер PR4000B. Контроллеры предназначены для обеспечения электропитания датчиков, управления работой вакуумметра и цифрового контроля результатов измерений. Допускается использование для электропитания вакуумметров независимого источника питания, при этом считывание выходного сигнала может производиться при помощи цифрового вольтметра или аналогоцифрового преобразователя, не входящих в комплект поставки вакуумметра.
Вакуумметры имеют 20 модификаций, отличающиеся моделями датчиков и контроллеров, входящих в их состав. Вакуумметры CMR 37х, CCR 37х предназначены для эксплуатации в более узком температурном диапазоне, так как датчики этих вакуумметров термостатированы: внутри рабочей камеры поддерживается постоянная температура 45 °С. Датчики вакуумметров CMR 36х, CCR 36х не термостатированы, они изготавливаются в термокомпенсированном исполнении, что позволяет применять вакуумметры CMR 36х, CCR 36х в более широком диапазоне рабочих температур .
Общий вид датчиков приведен на рисунке 1, контроллеров - на рисунках 2 и 3.
Знак поверки наносится на корпус датчика, входящего в состав вакуумметра, если это позволяют условия эксплуатации, и (или) на свидетельство о поверке.
место знака поверки
место знака поверки
Датчик CMR 37x
Датчик CMR 36x
место знака поверки
место знака поверки
Датчик CCR 37x
Датчик CCR 36x
TPG 256
Рисунок 1 - Датчики вакуумметров CMR и CCR
TPG 361
TPG 362
Рисунок 2 - Контроллеры, входящие в состав вакуумметров CMR
PR4000B
Рисунок 3 - Контроллеры, входящие в состав вакуумметров CCR
Метрологические характеристики вакуумметров приведены в таблицах 2 - 5.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | ||
|
CMR 361, CMR 371 |
CMR 362, CMR 372 |
CMR 363, CMR 373 | |
|
Диапазон показаний, Па |
от 10 до 1-105 |
от 1 до 1 -104 |
от 10-1 до 1-103 |
|
Диапазон измерений, Па |
от Ы02 до Ы05 |
от 10 до 1-104 |
от 1 до 1-103 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины
|
±(30...5) ±(5...2) | ||
|
Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа |
300 |
200 |
200 |
Таблица 3
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |
|
CMR 364, CMR 374 |
CMR 365, CMR 375 | |
|
Диапазон показаний, Па |
от 10-2 до 1-102 |
от 10-3 до 10 |
|
Диапазон измерений, Па |
от 10-1 до 1-102 |
от 10-2 до 10 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины
|
±(30.5) ±(5.2) | |
|
Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа |
200 |
130 |
Таблица 4
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | ||
|
CCR 361, CCR 371 |
CCR 362, CCR 372 |
CCR 363, CCR 373 | |
|
Диапазон показаний, Иа |
от 13,3 до 1,33-105 |
от 1,33 до 1,33И04 |
от 1,33-10-1 до 1,33И03 |
|
Диапазон измерений, Иа |
от 1,33-102 до 1,33-105 |
от 13,3 до 1,33И04 |
от 1,33- до 1,33И03 |
|
Иределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины
|
±(30...5) ±(5...2) | ||
|
Иредельное допускаемое давление (перегрузка), кПа |
300 |
200 |
200 |
Таблица 5
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |
|
CCR 364, CCR 374 |
CCR 365, CCR 375 | |
|
Диапазон показаний, Иа |
от 1,33-10’2 до 1,33-102 |
от 1,33П04 до 13,3 |
|
Диапазон измерений, Иа |
от 1,33^10-1 до 1,33-102 |
от 1,33-10’2 до 13,3 |
|
Иределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины
|
±(30.5) ±(5.2) | |
|
Иредельное допускаемое давление (перегрузка), кИа |
200 |
130 |
* НИИ - нижний предел измерений ** ВИИ - верхний предел измерений Иотребляемая мощность, В^ А, не более
-
- датчик
-
• CMR 36х, CCR 36х
-
• CMR 37х, CCR 37х
-
- контроллер
-
• TPG 256
-
• TPG 361
-
• TPG 362
-
• PR4000B
Напряжение питания контроллеров от сети переменного тока, В
Габаритные размеры, мм, не более
-
- датчик без электрического коннектора (диаметр х высота)
-
• CMR 36х, CCR 36х
-
• CMR 37х, CCR 37х
-
- контроллер (длинахширинахвысота)
-
• TPG 256
-
• TPG 361
-
• TPG 362
-
• PR4000B
1
12
60
45
65
65
220±22
55х113
82х141,8
228,5х241х88
285х70,8х128,5
285х70,8х128,5
227х241х88
Масса, кг, не более
- датчик
-
• CMR 36х, CCR 36х
-
• CMR 37х, CCR 37х
0,37
0,90
- контроллер
• TPG 256
-
• TPG 361
-
• TPG 362
-
• PR4000B
2,10
1,10
1,10
2,40
|
Присоединительные фланцы Средняя наработка до метрологического отказа, ч Средний срок службы, лет |
ISO-KF DN16; CF-R DN 16 трубка гладкая 1/2"; 8 VCR 15000 5 |
Условия эксплуатации:
-
• диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
вакуумметров CMR 36х, CCR 36х вакуумметров CMR 37х, CCR 37х
-
• относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
от 5 до 50
от 10 до 40
при температуре до 31 °С
при температуре свыше 31 °С
-
• высота над уровнем моря , м , не более
-
• атмосферное давление, кПа
80
50
2000 от 75 до 106,7