Номер по Госреестру СИ: 60143-15
60143-15 Приборы для измерений параметров шероховатости и контура поверхности
(Nanoscan 755, Nanoscan 855)
Назначение средства измерений:
Приборы для измерений параметров шероховатости и контура поверхности Nanoscan 755, Nanoscan 855, предназначены для измерений геометрических параметров шероховатости и контура поверхности исследуемых изделий, таких как: цилиндрические поверхности, отверстия, плоские поверхности, глубокие отверстия малого диаметра, различные виды резьб, а также изделия с асферической геометрией.
Внешний вид.
Приборы для измерений параметров шероховатости и контура поверхности
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Приборы для измерений параметров шероховатости и контура Nanoscan 755, Nanoscan 855 оснащены программным обеспечением TURBOWAVE и EVOVIS. Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяет удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты. Идентификационные данные программного обеспечения приведены в Таблице 1.
Таблица 1
Наименование программного обеспечения |
Идентификацион ное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
EVOVIS |
EVOVIS |
1.34 |
USB-ключ HASP |
Бинарный |
TURBOWAVE |
TWW |
7.55 |
USB-ключ HASP |
Бинарный |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения приборов соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на панель блока прибора методом наклейки.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к приборам для измерений параметров шероховатости и контура поверхности Nanoscan 755, Nanoscan 855
ГОСТ 8.296-78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025... 1600 мкм».
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1-10-9 .. .50 м и длин волн в диапазоне 0,2 ... 50 мкм».
Техническая документация фирмы - изготовителя.
Изготовитель
Hommel-Etamic GmbH, ГерманияAddress: Alte Tuttlinger StraBe 20,
78056 VS-Schwenningen, Phone +49 7720 602-0 Fax: +49 7720 602-123
E-mail: info.de@hommel-etamic.com
Заявитель
ЗАО «Мастер-ФИТ»
192171, г. Санкт-Петербург, ул. Седова, 65А
Тел. (812) 336-40-50, факс (812) 560-00-22
Адрес эл. почты: meritel@metrologi.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: (495) 437 55-77, факс: (495) 437-56-66,
E-mail: office@vniims.ru
Приборы для измерений параметров шероховатости и контура поверхности Nanoscan 755, Nanoscan 855 (далее - приборы) состоят из следующих элементов.
Гранитной плиты, установленной на элементах воздушного демпфирования с 3 пневмоподушками. Система воздушного демпфирования с функцией регулирования удерживает гранитную плиту на постоянном уровне, независимо от нагрузки, и в то же время, служит для подавления вибраций. Необходимое давление воздуха регулируется с помощью модуля пневмоподготовки.
На гранитной плите расположены трехосевой измерительный столик для установки и позиционирования на нем исследуемых объектов, а также моторизованная вертикальная колонна. На вертикальной колонне закреплен привод горизонтального перемещения waveline 200 nanoscan, на который устанавливается щуповая консоль для проведения измерений геометрических параметров шероховатости и контура поверхности.
Действие прибора основано на принципе ощупывания неровностей исследуемой поверхности наконечником измерительного щупа и преобразования, возникающих при этом механических колебаний щупа в импульсы напряжения, пропорциональные этим колебаниям, которые усиливаются и преобразуются электронным блоком.
При проведении высокоточных измерений используются щуповые консоли стандартной длины (измерительный диапазон 24 мм/разрешение 0,6 нм) и двойной длины (измерительный диапазон 48 мм/разрешение 1,2 нм). Перемещение щуповой консоли отслеживается с помощью прецизионной оптико-механической системы, в которой оптический датчик отслеживает латеральное перемещение щуповой консоли по исследуемому образцу.
Узел крепления щуповых консолей снабжен магнитными держателями и выполняет дополнительную функцию защиты от перегрузок. Приборы комплектуются щуповыми консолями различной геометрии для разных применений, например, для измерений параметров шероховатости и контура поверхности, характеризующихся разными углами наклона, горизонтальных, выпуклых и вогнутых поверхностей, для измерений в отверстиях и т.д. Щуповая консоль оборудована RFID-чипом, что позволяет сохранять калибровочные данные щупа и избавляет от необходимости калибровки прибора при каждой смене щуповой консоли. Щуповые консоли распознаются автоматически и данные считываются с помощью программного обеспечения. Автоматически задается значение измерительного усилия в зависимости от радиуса используемого наконечника щуповой консоли. Однако при необходимости значение измерительного усилия можно настроить вручную под условия конкретного измерения.
Блок ручного наклона привода waveline 200 nanoscan позволяет провести выравнивание плоскости сканирования (по оси Х) к поверхности образца. Угол позиционирования возможен в диапазоне ± 20° и позволяет выполнять удобное грубое выравнивание.
Результаты измерения выводятся на монитор компьютера и могут быть использованы для дальнейших расчетов.
Прибор для измерений параметров шероховатости и контура поверхности Nanoscan 755 также предназначен для измерения геометрических параметров асферических линз, вследствие чего комплектуется дополнительной щуповой консолью (щуповая консоль с измерительным диапазоном 48 мм и разрешением 1,2 нм) и ПО TURBOWAVE со специальной опцией, способной задавать форму геометрии контролируемой асферической линзы.
Рисунок 1 - Внешний вид прибора для измерений параметров шероховатости и контура поверхности Nanoscan 755, Nanoscan 855
Приборы для измерений параметров шероховатости и контура Nanoscan 755, Nanoscan
855 поставляются в комплекте:
Таблица 3
Модель прибора |
Nanoscan 755 |
Nanoscan 855 |
Моторизованная колонна |
+ |
+ |
Привод waveline 200 nanoscan |
+ |
+ |
Опора с поворотным устройством |
+ |
+ |
Г ранитная плита |
+ |
+ |
Пульт управления wavecontrol |
+ |
+ |
Измерительный стол MT1 XY0 |
+ |
+ |
Щуповые консоли: | ||
Щуповая консоль с диапазоном измерения 24 мм, щуп 2 мкм/60° |
- |
+ |
Щуповая консоль с диапазоном измерения 48 мм и рубиновым наконечником диаметром 1 мм |
+ |
- |
Щуповая консоль с диапазоном измерения 24 мм и рубиновым наконечником диаметром 1 мм |
- |
+ |
Стол для оператора с тумбой для ПК |
+ |
+ |
ПК с ОС Windows 7 |
+ |
+ |
Руководство по эксплуатации |
+ |
+ |
Методика поверки |
+ |
+ |
Таблица 2
Модель |
Nanosean 755 |
Nanosean 855 |
Измеряемые параметры шероховатости: |
Ra, Rz, Rmax, Rt, Rq, Rsk, Imo, Io, Rdq, da, | |
ln, La, Lq, Rz-ISO, R3z, |
Rpm, Rp3z, R3zm, | |
Rp, D, Rpe, RSm, Rpm/R3z, lr, Rku, tpif, Rde, tpia, tpip, tpie, Rt/Ra, Rz1, Rz2, Rz3, Rz4, Rz5, Rmr, Rmr%, Api, Rpk | ||
Измеряемые параметры профиля: |
Pt, Pp, Pz, Pa, Pq, Psk, PSm, Pdq, lp, Pku, tpaf, tpaa, tpab, tpae, Pmr0, APa, APa%, | |
Pmr, Pmr%, Pde | ||
Типы фильтров |
RC, аналоговый фильтр, цифровой Гауссов фильтр (М1), двойной Гауссов фильтр (М2), грубый Гауссов фильтр | |
Отсечка шага Хе, мм |
0,025, 0,08, 0,25, 0,8, 2,5, 8 | |
Соотношение Xe/Xs |
30, 100, 300 | |
Предел допускаемой основной относительной погрешности прибора по параметру Ra, % |
3 | |
Пределы допускаемой погрешности при измерении длины по |
± (1 +0,015 •Х), где Х -измеряемая длина в | |
оси X, мкм* |
мм | |
Пределы допускаемой погрешности при измерении длины по |
± 2-(0,25 +0,04-Z), где Z -измеряемая | |
оси Z, мкм* |
высота в мм | |
Пределы допускаемой погрешности при измерении углов....' |
±0,5 | |
Программное обеспечение |
TURBOWAVE |
EVOVIS |
Щуповые консоли Диапазон измерений параметров шероховатости по оси Z, мм |
от 0 до 24/ от 0 до 48 |
от 0 до 24 |
Разрешение, нм |
0,6/1,2 |
0,6 |
Измерительное усилие, мН (регулируемое) |
от 1 до 50 |
от 1 до 50 |
Наконечник щуповой консоли |
Алмаз 5 мкм/90°, |
Алмаз 5 мкм/90°, |
2 мкм/60°, рубиновый |
2 мкм/60°, | |
наконечник 0 1 мм, |
рубиновый | |
твердосплавный |
наконечник 0 1 мм, | |
наконечник 0 20 мкм |
твердосплавный наконечник 0 20 | |
мкм | ||
Горизонтальный привод (ось Х) | ||
Диапазон измерений, мм |
от 0 до 200 | |
Скорость при измерении, мм/с |
0,1-3 | |
Максимальная скорость позиционирования, мм/с |
9 мм/с | |
Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения |
<0,4 | |
по оси Х, мкм/200 мм | ||
Вертикальная колонна (ось Z) | ||
Диапазон перемещений, мм |
от 0 до 550 | |
Скорость позиционирования, мм/с |
0,1-50 | |
Повторяемость позиционирования щупа по оси Z, мкм |
<10 | |
Измерительный стол: | ||
Диапазон перемещений, мм |
±12,5 мм | |
Диапазон вращения относительно вертикальной оси,. ° Габариты измерительного стола, мм, не более |
±5 | |
Длина |
160 | |
Ширина |
160 | |
Высота |
96 | |
Масса измеряемой детали, кг, не более |
30 | |
Электропитание: | ||
Напряжение |
115/230 В | |
Допускаемое колебание напряжения |
-5 % - 10 % |
Частота |
50-60 Гц |
Мощность |
370/350 ВА |
Сжатый воздух: Давление, бар |
5 - 6 |
Расход, л/ч |
1 |
Условия эксплуатации: Диапазон рабочих температур, °С |
от 18 до 25 |
Температурный градиент, °С/ч |
± 1 |
Относительная влажность воздуха, % |
от 40 до 85 |
Размеры стола для Nanoscan, мм Длина |
1190 |
Ширина |
800 |
Высота |
780 |
Размеры гранитной плиты, мм Длина |
850 |
Ширина |
600 |
Высота |
140 |
* - с щуповой консолью длиной 90 мм и сферическим наконечником.