Номер по Госреестру СИ: 59636-15
59636-15 Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные
(SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP)
Назначение средства измерений:
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Внешний вид.
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 23.01.2020
Номер записи - 150426
ID в реестре СИ - 372826
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 6 месяцев
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
нет, SIGMA VP, -,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Справочник является модернизированной копией реестра "Утверждённые типы средств измерений" (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/4) и содержит сведения о типах СИ, применяемых в сфере обеспечения единства измерений.
В отличии от официального Реестра справочник имеет систему предварительных фильтров:
- по типу производства (серийное или единичное);
- по группам стран (отечественные, импортные или все типы СИ);
- по наличию поверок в ФГИС АРШИН;
- по областям измерений.
Данные выводятся одной таблицей без необходимости "проваливаться" в каждую из записей для уточнения сведений. При наличии ОТ и МП приводится ссылка на ФГИС АРШИН. В таблице реализована система поиска и сортировки по любому из полей.
Справочник содержит более 100 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.
Статистика
Кол-во поверок - 9
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 6
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 4
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 182 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№69 от 2015.01.23 Об утверждении типов средств измерений (ГР 59636-15 - 59727-15)
№147 от 2023.01.26 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Пожарная безопасность" (ТК 274)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные (SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
55118-13 |
Микроскоп сканирующий электронный, EVO MA25 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
58416-14 15.09.2019 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
59636-15 23.01.2020 |
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные, SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
6 месяцев |
|
61516-15 01.09.2021 |
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные, MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67005-17 22.03.2022 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO 18 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет представляет собой интерактивную карту России с нанесенными на нее маркерами и цифрами, обозначающими города и количество организаций аккредитованных на поверку и осуществляющих деятельность в указанном городе.
По каждой из организаций дополнительно на карте приводится информация: наименование организации, номер в РАЛ ФСА, адрес места осуществления деятельности, телефон и электронная почта при наличии.
Дополнительно, отчет сопровождается справочной таблицей, содержащей информацию о количестве поверок, месте регистрации (город, регион, округ), ИНН организации, номер в РАЛ ФСА, полное и сокращенное наименования организации.
В отчете имеется возможность загрузить сырые данные для их самостоятельной обработки.
Кто поверяет Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные (SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 1 | 0 | 0 | ||
| УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ (RA.RU.311473) | РСТ | 7 | 0 | 6 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГУП "УНИИМ" (RA.RU.311285) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные (SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение (ПО), которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
SmartSEM |
|
Номер версии (идентификационный номер )ПО |
5.06 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
7B1EE57BEE2FF0614EF5F8822FB71632 |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
MD5 |
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует среднему уровню в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP. Руководство по эксплуатации», раздел «Эксплуатация».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам полевым эмиссионным растровым электронным SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VPГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140"9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измеренийВыполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 127.Д4-13 «Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP. Методика поверки», утвержденному 23.12.2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
|
Наименование метрологических характеристик |
Номинальное значение, нм |
Погрешность, нм |
|
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм |
2001 |
±2 |
|
Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм |
597 |
±2 |
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd», Великобритания511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501
customercare.uk@zeiss.com
http://www.zeiss.co.uk
Заявитель
ООО «ОПТЭК»Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail: office@optecgroup.com
Web: www.optecgroup.com
Испытательный центр
Федеральное Государственное Унитарное Предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP (далее по тексту - микроскопы) измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Принцип работы микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком электронов поверхности образца для создания изображения.
Для функционирования микроскопов необходимо поддерживать вакуум в вершине пушки, колонне и камере для образцов. Вакуум также необходим для того, чтобы электроны не смешивались с газом. Измерение вакуума в камере для образцов осуществляется с помощью измерителя Пеннинга. Максимальный уровень вакуума поддерживается в верхней части пушки с помощью одного или двух геттеро-ионных наносов.
Образец располагается в специальной герметичной камере. Стандартный столик для образцов представляет собой столик в возможностью перемещения по 5 осям координат. Управление столиком осуществляется с помощью панели управления со сдвоенными джойстиками или программного джойстика в пользовательском интерфейсе.
Колонна представляет собой зону, где происходит эмиссия, ускорение, создание пучка, фокусировка и смещение электронов. Основными компонентами оптики являются ускоритель пучков электронов и линза объектива, которая состоит из электростатической и электромагнитной линз.
В стандартную комплектацию входит ПЗС-камера с инфракрасной подсветкой.
В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:
-
- VP - микроскопы с режимом разного уровня вакуума;
-
- HD - микроскопы с более высокой разрешающей способностью, размерами рабочей камеры и столика, приведенными в таблицах 3 и 4.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов полевых эмиссионных растровых электронных
SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP
Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм |
150 |
|
Диапазон показаний линейных размеров, нм |
от 1 до 2А0Ь |
|
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
от 500 до 2А0Ь |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм |
±(4+0,05L*) |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
10 - 500000 *** 10 - 1000000 |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5 % |
|
Масса, кг, не более |
636 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
822x980x1757 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающего воздуха, оС Относительная влажность воздуха при 25оС, не более, % Избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па |
23 ± 1 65 30 ± 0,3 |
|
- L - длина измеряемого объекта, нм **- для микроскопа автоэмиссионного электронного сканирующего SIGMA/SIGMA VP ***- для микроскопа автоэмиссионного электронного сканирующего SIGMA HD/SIGMA HD VP | |
Таблица 3
|
Модификация микроскопа |
Размер рабочей камеры, мм |
Размер столика, мм |
|
SIGMA SIGMA VP |
Диаметр 330 Высота 270 |
X = 125 Y = 125 Z = 50 |
|
SIGMA HD SIGMA HD VP |
Диаметр 358 Высота 270,5 |
X = 130 Y = 130 Z = 50 |
Таблица 4
|
Модификация микроскопа |
Разрешающая способность |
|
SIGMA |
1,5 нм при 15 кВ |
|
SIGMA VP |
2,8 нм при 1 кВ |
|
SIGMA HD |
1 нм при 15 кВ |
|
SIGMA HD VP |
1,9 нм при 1 кВ |