Сведения о средстве измерений: 58416-14 Микроскопы сканирующие электронные

Номер по Госреестру СИ: 58416-14
58416-14 Микроскопы сканирующие электронные
(EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)

Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 1
Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные, http://oei-analitika.ru рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 2

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 15.09.2019
Номер записи - 149045
ID в реестре СИ - 371445
Тип производства - серийное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 6 месяцев
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

нет, Микроскоп сканирующий электронный EVO MA10 Zeiss, Микроскоп сканирующий электронный EVO MA10, EVO MA25, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15,

Производитель

Изготовитель - Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Новосибирск - третий по численности населения город в Российской Федерации, имеет статус городского округа. Торговый, деловой, культурный, промышленный, транспортный и научный центр федерального значения. Основан в 1893 году, статус города получил в 1903 году. Новосибирск выполняет функции административного центра Сибирского федерального округа, Новосибирской области и входящей в его состав Новосибирской области.

Население Новосибирска в 2012 году превысило 1 500 000 человек. Территория города занимает площадь 502,1 км² (50 210 га).

Новосибирск расположен в юго-восточной части Западно-Сибирской равнины на Обском плато, примыкающем к долине реки Обь, рядом с водохранилищем, образованным плотиной Новосибирской ГЭС, на пересечении лесной и лесостепной природных зон. Левобережная часть города имеет равнинный рельеф, правобережная характеризуется большим количеством балок, гребней и оврагов, так как здесь начинается переход к горному рельефу Салаирского кряжа. К городу примыкают Заельцовский и Кудряшовский сосновые боры, Новосибирское водохранилище.

Отчет "Анализ рынка поверки в Новосибирске" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Новосибирске.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 3 000 руб.

Статистика

Кол-во поверок - 11
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 6
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 3
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 286 дн.

Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
55118-13

Микроскоп сканирующий электронный, EVO MA25
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО )
ОТ
6 месяцев
58416-14
15.09.2019
Микроскопы сканирующие электронные, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО )
ОТ
6 месяцев
59636-15
23.01.2020
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные, SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО )
ОТ
МП
6 месяцев
61516-15
01.09.2021
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные, MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО )
ОТ
МП
1 год
67005-17
22.03.2022
Микроскопы сканирующие электронные, EVO 18
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО )
ОТ
МП
1 год

Отчет формирует список типов СИ, сроки действия сертификатов на которые истекает в ближайшие 2 года.
При формировании списка есть возможность применить фильтр по видам измерений или искать по всем типам Си реестра ФГИС АРШИН.
Красным цветом выделяются типы СИ по которым возможность продления уже невозможна (менее 40 дней до окончания срока).

По каждому типу СИ (если есть возможность) дополнительно из описаний типа выводятся контактные данные изготовителя, испытательного центра и заявителя испытаний.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
АО "НИЦПВ"
(RA.RU.311409)
  • Микроскоп сканирующий электронный EVO MA10 Zeiss
  • Микроскоп сканирующий электронный EVO MA10
  • 5 0 4 0 0 0 0
    ФГУП «УНИИМ»
    (01.00258-2011)
    РСТ
  • EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS
  • 1 0 0 0 0 0 0
    УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ
    (RA.RU.311473)
    РСТ
  • EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15
  • нет
  • 2 0 1 0 1 0 1
    АО "НИЦПВ"
    (RA.RU.311409)
  • Микроскоп сканирующий электронный EVO MA10 Zeiss
  • 1 0 0 0 0 0 0
    ОАО "НИЦПВ".
    (01.00317-2011)
  • EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS
  • 1 0 0 0 0 0 0
    ФГБУ "ВНИИОФИ"
    (RA.RU.311485)
  • EVO MA25
  • 1 0 1 0 1 0 1

    Стоимость поверки Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.

    Таблица 1

    Идентификационное наименование ПО

    Номер версии (идентификацио нный номер)

    ПО

    Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

    Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

    SmartSEM

    5.06

    7B1EE57BEE2FF061

    4EF5F8822FB71632

    MD5

    Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «С».


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    «Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS . Руководство по эксплуатации» разделы 2.2.3 и 2.2.4.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим электронным EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS

    ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»

    Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений

    Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по документу МП 125.Д4-13 «Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS .Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 23 декабря 2013 г.

    Основные средства поверки:

    Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.

    Основные метрологические характеристики:

    Наименование метрологических характеристик

    Номинальное значение, нм

    Погрешность,

    нм

    Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм

    2001

    ±2

    Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм

    597

    ±2


    Изготовитель

    «Carl Zeiss Microscopy Ltd», Великобритания.
    511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
    Телефон +44 (0)1223 401 450
    Факс +44 (0)1223 401 501 customercare.uk@zeiss.com http://www.zeiss.co.uk

    Заявитель

    ООО «ОПТЭК»
    Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
    Тел.: +7(495) 933-51-51
    Факс: +7(495) 933-51-55
    E-mail: offi ce@optecgroup. com
    www.optecgroup.com

    Испытательный центр

    Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»).
    Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
    Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
    E-mail: vniiofi@vniiofi.ru

    Принцип работы микроскопов сканирующих электронных EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS (далее по тексту - микроскопы) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.

    Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

    Микроскопы укомплектованы тремя детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.

    Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.

    В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:

    • - МА - микроскопы позволяют изменять давление до 400 Па;

    • - LS - микроскопы позволяют изменять давление до 3000 Па;

    • - 10, 15 и 25 - размеры рабочей камеры и столика, приведены в таблице 3;

    • - HD - микроскопы с более высокой разрешающей способностью, приведенной в таблице 4.

    Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 1 - Общий вид микроскопов сканирующих электронных EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS .

    Внешний вид. Микроскопы сканирующие электронные (EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS), http://oei-analitika.ru

    Carl fnl-л M.ihjvdqv nd c.tmbrir.qi: ГЫ JjS Unite J Kingdom

    4*~

    Место нанесения маркировки

    I

    Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.


    Таблица 5

    Наименование

    Количество, шт

    Микроскопы электронные сканирующие EVO MA10, MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS *

    EVO

    EVO

    1

    Компьютер с сетевым источником питания

    1

    Дисплей

    1

    Клавиатура

    1

    Манипулятор «мышь»

    1

    Руководство по эксплуатации

    1

    Методика поверки МП 125.Д4-13

    1

    * - модификация по требованию заказчика


    Таблица 2

    Наименование характеристики

    Значение

    характеристики

    Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель

    2,65 - 19531

    Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм

    150

    Диапазон измерений линейных размеров, нм

    20 - 2406

    Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных

    ±(4+0,05L*)

    размеров, нм

    Диапазон регулирования увеличения, крат

    5-1000000

    Номинальное напряжение сети питания, В

    220 ± 5 %

    Масса, кг, не более

    650

    Габаритные размеры, мм, не более

    980x774x1700

    Условия эксплуатации:

    Температура окружающего воздуха, °С

    22 ± 0,2

    Относительная влажность воздуха при 25°С, %

    40 ± 2

    Избыточное давление воздуха в помещении относительно

    атмосферного давления, Па

    30 ± 0,3

    * - L - длина измеряемого объекта, нм

    Таблица 3

    Модификация микроскопа

    Размер рабочей камеры, мм

    Размер столика, мм

    EVO MA 10

    EVO LS 10

    Диаметр 310

    Высота 220

    X = 80

    Y = 100

    Z = 35

    EVO MA 15

    EVO HD 15 MA

    EVO LS 15

    EVO HD 15 LS

    Диаметр 365

    Высота 275

    X = 125

    Y = 125

    Z = 50

    EVO MA 25

    EVO HD 25 MA

    EVO LS 25

    EVO HD 25 LS

    Диаметр 420

    Высота 330

    X = 130

    Y = 130

    Z = 50

    Таблица 4

    Модификация микроскопа

    Разрешающая способность

    EVO MA, LS

    3 нм (2 нм) при 30 кВ

    4.5 нм при 30 кВ (VP режим)

    15 нм при 30 кВ

    20 нм (15 нм) при 1 кВ

    10 нм при 3 кВ

    EVO HD

    1.9 нм при 30 кВ

    3 нм при 30 кВ (VP режим) 10 нм при 30 кВ

    5 нм при 3 кВ

    8 нм при 1 кВ


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель