Номер по Госреестру СИ: 55118-13
55118-13 Микроскоп сканирующий электронный
(EVO MA25)
Назначение средства измерений:
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25 предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Внешний вид.
Микроскоп сканирующий электронный
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскоп сканирующий электронный
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 145251
ID в реестре СИ - 367651
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 6 месяцев
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Нет модификации, Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
Страна - СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет «Количество типов средств измерений в ФГИС АРШИН по группам СИ» предназначен для сравнительного анализа количества утвержденных типов средств измерений, приходящихся на различные группы СИ. Отчет состоит из двух графиков (одной круговой и одной столбчатой диаграммы) и двух интерактивных таблиц. Таблицы обладают функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Стоит отметить, что отнесение того или иного типа СИ к группе СИ осуществляется не вручную, а с использованием специального программного алгоритма по ключевым словосочетаниям. При таком подходе качество распределения СИ и покрытие реестра типов СИ АРШИНА зависит от качества, предложенных словосочетаний. По этой причине 20% типов СИ, занесённых в АРШИН автоматически распределить не удалось, что не должно существенно отразиться на процентном соотношении или пропорции между группами СИ.
На круговой диаграмме показано количественное соотношение между группами СИ по количеству утвержденных типов СИ. Ввиду того, что некоторые типы СИ могут входить в разные группы, суммарное количество типов СИ, приведенных на диаграмме будет превышать кол-во типов СИ, представленных в ФГИС АРШИН. Как и следовало ожидать, самые большие пропорции занимают однословные классические группы СИ (АИИС, преобразователи, системы, резервуары, трансформаторы … и др.)
В отличии от круговой диаграммы столбчатая демонстрирует тоже разделение типов СИ по группам СИ, но уже в динамике по годам начиная с 2016 года.
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 183 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1133 от 2013.10.03 Об утверждении типов средств измерений (Регистрационный номер в Гос.реестре СИ29981-13,55055-13 по 55059-13,33834-13,33319-13,5506-13 по 55073-13,55092-13 по 55095-13,55118-13)
Наличие аналогов СИ: Микроскоп сканирующий электронный (EVO MA25)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
55118-13 |
Микроскоп сканирующий электронный, EVO MA25 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
58416-14 15.09.2019 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ |
6 месяцев |
|
59636-15 23.01.2020 |
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные, SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
6 месяцев |
|
61516-15 01.09.2021 |
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные, MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67005-17 22.03.2022 |
Микроскопы сканирующие электронные, EVO 18 Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd." (СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскоп сканирующий электронный (EVO MA25)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Микроскоп сканирующий электронный (EVO MA25)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Микроскоп имеет автономное программное обеспечение, которое используется для обработки результатов измерений.
Идентификационные данные метрологически значимой части программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификацио нный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
SmartSEM |
5.06 |
7B1EE57BEE2FF061 4EF5F8822FB71632 |
MD5 |
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «С». Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Руководство по эксплуатации раздел 2.2.4.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопу сканирующему электронному EVO MA25ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от V10-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измеренийВыполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 77.Д4-13 «Микроскоп сканирующий электронный EVO MA25. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 30 августа 2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
|
Наименование метрологических характеристик |
Номинальное значение, нм |
Погрешность, нм |
|
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм. |
2001 |
±2 |
|
Значение ширины (bu) верхнего основания выступа (8 выступ) в шаговой структуре, нм. |
597 |
±2 |
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd», Великобритания.511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501
customercare.uk@zeiss.com
http://www.zeiss.co.uk
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ОПТЭК», (ООО «ОПТЭК»)Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail: office@optecgroup. com
www.optecgroup.com
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений Федерального Государственного Унитарного Предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт оптикофизических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат аккредитациигосударственного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип работы микроскопа сканирующего электронного EVO MA25 (далее по тексту - микроскоп) основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т. е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.
Микроскоп оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа сканирующего электронного EVO MA25.
Рисунок 2 - Места нанесения маркировки на микроскоп.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель |
2,65 - 19531 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм |
50 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
20 - 2-106 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм |
±(4+0,05L*) |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
5-1000000 |
|
Номинальное напряжение сети питания, В |
220 ± 5 % |
|
Масса, кг, не более |
650 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
980x774x1700 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающего воздуха, °С |
22 ± 0,2 |
|
Относительная влажность воздуха при 25°С, % |
40 ± 2 |
|
Избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па |
30 ± 0,3 |
|
* - L - длина измеряемого объекта, нм |