Номер по Госреестру СИ: 51313-12
51313-12 Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные с модулем оже-спектроскопии
(AXIS ULTRA DLD)
Назначение средства измерений:
Спектрометр рентгеновские фотоэлектронные AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии (далее - приборы) предназначены для измерений зависимостей тока фото- и оже-электронов от энергии связи или кинетической энергии данных электронов, а также получения увеличенных изображений исследуемого объекта в режиме сканирующего электронного микроскопа.
Рис. 1. Общий вид спектрометров рентгеновских фотоэлектронных AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии.
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 140907
ID в реестре СИ - 363307
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
PR-30B, PR-06B,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Kratos Analytical Limited"
Страна - СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
В зависимости от выбранного года в отчете выводится информация по наименованиям и межповерочным интервалам (МПИ) типов СИ, поверяемых в указанный период, а также, кол-ву выполненных по ним поверок. На круговые диаграммы не выводятся данные по МПИ с количеством поверок менее 100 и количеством типов СИ менее 10 (с целью сохранения читаемости диаграмм).
Отчет содержит 2 интерактивных графика (круговую диаграммы) и таблицу. Графики имеют возможность масштабирования и экспорта данных в Exel. Таблица обладает функцией фильтра данных и сортировки по любой из колонок, информация приведена в целых числах и процентах.
Внимание! Отчет строится не быстро.
Статистика
Кол-во поверок - 10
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1362 от 2021.07.19 О внесении изменений в сведения об утвержденном типе средств измерений
№2524 от 2023.11.28 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (10)
№3141 от 2022.12.12 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (17)
№2715 от 2023.12.15 ПРИКАЗ О внесении изменений в сведения об утвержденных типах СИ (9)
№2222 от 2023.10.19 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
№811 от 2024.03.26 ПРИКАЗ О внесении изменений в сведения об утвержденных типах СИ (8)
№1167 от 2016.08.22 О внесении изменений в описание типа на систему автоматизированную информационно-измерительную коммерческого учета электроэнергии (АИИС КУЭ) ОАО "Ижсталь"
№775 от 2012.09.20 Об утверждении типов средств измерений (Регистрационный номер в Гос.реестре СИ 51239-12,51240-12,32209-12,51241-12 по 51265-12,51294-12 по 51334-12)
№2429 от 2020.12.31 О внесении изменений в описание типа на комплекты газоаналитические с устройством отбора газовой пробы "КГЭСП-УОГПЭС"
№292 от 2024.02.02 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (16)
Наличие аналогов СИ: Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные с модулем оже-спектроскопии (AXIS ULTRA DLD)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Схема прослеживаемости средства измерений отображает поверяемое СИ, его средства поверки и их связи с первичными эталонами.
В качестве средств поверки могут выступать СИ, стандартные образцы, эталоны, государственные первичные эталоны и СИ, импользуемые в качестве эталонов. Кроме того, на диаграмме могут присутствовать реагенты и аттестованные методики измерений.
Кто поверяет Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные с модулем оже-спектроскопии (AXIS ULTRA DLD)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ООО "ЕВРОТЕСТ" (РОСС RU.0001.310290) | 8 | 5 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| ООО "СОЛО-КЛАССИКА" (RA.RU.311426) | 2 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные с модулем оже-спектроскопии (AXIS ULTRA DLD)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия |
Vision 2.2.8 for Windows XP |
CDR6000 AG Rev 0 |
2744248671643852C B699B98F33C35C64 A696582BE72D49D7 B0B91BF61313501 |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится в виде наклейки на прибор и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийРуководство оператора «KRATOS AXIS ULTRA DLD», раздел 3.
Лист № 4 всего листов 4
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к спектрометрам рентгеновским фотоэлектронным AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии
Техническое описание «Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии фирмы Kratos Analytical Limited, Великобритания».
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 51313-12 «Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии фирмы «Kratos Analytical Limited» (Великобритания). Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в июне 2012 г.
Средства поверки: серебро марки Ср 99,2 по ГОСТ 6836-2002, медь марок М0к, М1к или М2к по ГОСТ 859-2001, полиэтилентерефталат ориентированный толщиной 50 мкм марки ES301250 фирмы «Goodfellow Cambridge Ltd.», Великобритания, сетка для электронной микроскопии золотая специальной формы NHF15A фирмы «PLANO GmbH», Германия.
Изготовитель
Фирма Kratos Analytical Limited, Великобритания, Trafford Wharf Road, Wharfside,Manchester, M17, 1GP, United Kingdom.Телефон: 44 (0) 161 888 4412. Факс: 44 (0) 161 888 4402. E-mail: adam.roberts@kratos.co.uk
Заявитель
Фирма Technoinfo Ltd, Великобритания Адрес представительства в России: 121248, г. Москва,Кутузовский проспект, д. 9, корп. 2а, офис 77
Тел./Факс: (499) 243-66-26. Эл. почта: sales@technoinfo.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10. Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел. (495) 935-97-77, 935-97-66. Тел./Факс: 935-96-90. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Принцип действия приборов основан на явлениях испускания электронов характеристических энергий твердым объектом под воздействием электромагнитного излучения ультрафиолетового и рентгеновского диапазона (фото- и рентгенофотоэлектронная эмиссия) и электронного облучения электронами с энергией от 3 до 10 кэВ (оже-электронная эмиссия).
В режиме рентгенофотоэлектронной спектрометрии исследуемый объект, помещенный в сверхвысоковакуумную камеру облучают электромагнитным излучением ультрафиолетового или рентгеновского диапазона (характеристическое излучение Al или Mg ). Электроны, выходящие из поверхностного слоя исследуемого объекта, поступают в электронный спектрометр, который позволяет регистрировать зависимость тока фотоэлектронов от их кинетической энергии (или от энергии связи электронов в твердом теле). В режиме оже-электронной спектрометрии информативный сигнал возбуждают пучком электронов с энергией в несколько килоэлектронвольт. При этом в спектрометр поступают возникающие в этом случае вторичные электроны, в том числе оже-электроны, имеющие характеристические энергии.
Приборы состоят из сверхвысоковакуумной камеры, электронного и рентгеновских источников возбуждения, ионных пушек для очистки поверхности образца, электронного спектрометра, стойки управления, ПЭВМ и интерфейса, связывающего ПЭВМ и стойку управления спектрометром.
В комплект прибора входят: спектрометр рентгеновский фотоэлектронный AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон регистрируемых энергий электронов, эВ, не менее |
3000 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений энергии фото- и оже-электронов при стабилизированной температуре окружающей среды (22 ± 0,5) оС, мэВ |
± 5 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений энергии фото- и оже-электронов при температуре окружающей среды (22 ± 5) оС, мэВ |
± 20 |
|
Энергетическое разрешение на линии серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 10 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), эВ, не более |
0,48 |
|
Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 10 эВ, энергетическое разрешение 0,48 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), имп/с, не менее |
75000 |
|
Энергетическое разрешение на линии серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), эВ, не более |
0,60 |
|
Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, энергетическое разрешение 0,6 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), имп/с, не менее |
250000 |
|
Энергетическое разрешение на линии серебра Ag3d5/2 для Mg - анода полихроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 30 мА, энергия пропускания 20 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), эВ, не более |
0,80 |
|
Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 для Mg - анода полихроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, энергетическое разрешение 0,80 эВ, размер анализируемой области110 мкм), имп/с, не менее |
1200000 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Энергетическое разрешение на линии (O-C=O) в полиэтилентерефталате для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, размер анализируемой области 700x300 мкм), эВ, не более |
0,68 |
|
Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) на линии (С-С, C-H) в полиэти-лентерефталате для Al - анода монохроматического источника (напряжения на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, энергетическое разрешение 0,68 эВ, размер анализируемой области 700x300 мкм), эВ, не более |
16000 |
|
Отношение сигнал/шум при регистрации оже-электронов (энергия пуска первичных электронов 10 кэВ, ток 5 нА) на линии меди Cu LMM, не менее |
500 |
|
Пространственное разрешение (ширина кривой набегания от уровня 20% до уровня 80% от максимального значения в режиме регистрации вторичных электронов при ускоряющем напряжении 10 кВ и токе пучка электронов 5 нА), нм, не более |
100 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более |
950x3000x2090 |
|
Масса, кг, не более |
1200 |
|
Условия эксплуатации: о
|
22 ± 5 1 101,0 ± 1,4 65 220 ± 10 12,5 240-6 0,1 |