Методика поверки «Система автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071A, 4072A,4073A» (651-18-012)

УТВЕРЖДАЮ

Первый заместитель

генерального директора-заместитель по научной работе

ИНСТРУКЦИЯ

Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072А, 4073А

МЕТОДИКА ПОВЕРКИ

651-18-012

2018 г.

1 ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Настоящая методика поверки распространяется на системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071 А, 4072А, 4073А (далее - системы), и устанавливает методы и средства их первичной и периодических поверок.

Интервал между поверками - 1 год.

2 ОПЕРАЦИИ ПОВЕРКИ

• 2.1 При поверке выполняют операции, представленные в таблице 1.

Таблица 1

Примечание - Измерительный блок системы имеет в своем составе модули:

• - модули универсального источника и измерителя напряжения и тока SMU: MPSMU (для моделей системы 4071 А, 4072А и 4073А) и HRSMU (для модели системы 4073А);

• - модуль программируемого цифрового вольтметра DVM (Agilent 3458А);

• - модуль измерителя емкости и проводимости CMU (RLC измеритель Agilent Е4980 или 4284А).

3 СРЕДСТВА ПОВЕРКИ

• 3.1 При проведении поверки используют средства измерений и вспомогательное оборудование, представленное в таблице 2.

Таблица 2

• 3.2 Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых систем с требуемой точностью.

• 3.3 Применяемые средства поверки должны быть утверждённого типа, исправны и иметь действующие свидетельства о поверке (отметки в формулярах или паспортах).

4 ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ПОВЕРИТЕЛЕЙ

• 4.1 К проведению поверки системы допускается инженерно-технический персонал со среднетехническим или высшим образованием, ознакомленный с руководством по эксплуатации (РЭ) и документацией по поверке, допущенный к работе с электроустановками и имеющий право на поверку (аттестованный в качестве поверителей).

5 ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ

• 5.1 При проведении поверки должны быть соблюдены требования безопасности, предусмотренные ГОСТ Р 12.1.019-2009, «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также изложенные в руководстве по эксплуатации системы, в технической документации на применяемые при поверке рабочие эталоны и вспомогательное оборудование.

6 УСЛОВИЯ ПОВЕРКИ

• 6.1 При проведении поверки должны соблюдаться следующие условия:

• - температура окружающей среды от 20 до 28 °C;

• - относительная влажность воздуха при температуре от 50 до 70 %,

• - атмосферное давление от 97 до 104,9 кПа (от 650 до 795 мм рт.ст.).

7 ПОДГОТОВКА К ПОВЕРКЕ

• 7.1 Перед проведением поверки необходимо выполнить следующие подготовительные работы:

• - выдержать систему в условиях, указанных в п. 6 в течение не менее 2 часов;

• - выполнить операции калибровки системы в соответствии с РЭ;

• - выполнить операции, оговоренные в технической документации на применяемые средства поверки по их подготовке к измерениям;

• - осуществить предварительный прогрев средств поверки для установления их рабочего режима.

• 8 ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ

8.1 Внешний осмотр

• 8.1.1 При внешнем осмотре проверить отсутствие внешних механических повреждений и неисправностей, влияющих на работоспособность системы.

• 8.1.2 Результаты внешнего осмотра считать положительными, если отсутствуют внешние механические повреждения и неисправности, влияющие на работоспособность системы.

8.2 Опробование

• 8.2.1 Запустить ПО системы.

• 8.2.2 Выполнить в соответствии с РЭ следующие операции тестирования системы:

• - тест “Relay test” (Relay) - выполняется только для 4071 А;

• - тест “Measurement pin location test” (Meas Pin) - проверка наличия и исправности коммутирующих плат, обеспечивающих соединение с выводами проб-карты;

• - тест “Residual resistance test” (Residl R) - проверка сопротивлений коммутаторов;

• - тест “Isolation and offset current test” (Offset I) - проверка токов утечки коммутирующих плат;

• - тест “HF matrix relay test” (HF Matrix) - тест высокочастотных реле.

• 8.2.3 Результаты опробования считать положительными, если в результате выполнения тестов не выявлены ошибки.

8.3 Идентификация ПО

• 8.3.1 Проверку соответствия заявленных идентификационных ПО системы проводить в следующей последовательности:

• - проверить идентификационное наименование ПО;

• - проверить номер версии (идентификационный номер) ПО, для чего в окне «ui_report.ORG.PROD» переместиться вверх, найти запись, отображающей версию ПО, например «Agilent 83000 SmarTestRev. 5.7.3».

• 8.3.2 Результаты поверки считать положительными, если идентификационные данные ПО соответствуют идентификационным данным, приведенным в таблице 3.

Таблица 3

• 8.4 Определение метрологических характеристик

8.4.1 Определение абсолютных погрешностей воспроизведения и измерений напряжения постоянного тока модулями SMU

Измерения по пп. 8.4.1 могут бьггь выполнены в автоматическом режиме при выполнении теста системы “SMU current force and measurement test” (SMU V). Результаты измерений при выполнении теста выводятся в файл.

• 8.4.1.1 Собрать измерительную схему в соответствии с рисунками 1 и 2.

  SMU Voltage force and measurement test

  

SMU

Hi Resolution АЦП I

Hi Speed АЦП   I

¹-----------------------------------.

Рисунок 1 - Схема соединений при определении абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока модулями SMU

Agilent 3458А DMM

Рисунок 2 - Блок-схема измерений при определении абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока модулями SMU

• 8.4.1.2 Перевести мультиметр 3458А в режим измерений напряжения постоянного тока.

• 8.4.1.3 В соответствии с РЭ системы подключить выход модуля SMU к мультиметру.

• 8.4.1.4 В соответствии с РЭ перевести SMU в режим воспроизведения напряжения постоянного тока.

• 8.4.1.5. Последовательно задавая выходное напряжение на модуле SMU в соответствии с таблицей 4, измерить выходное напряжение с помощью мультиметра 3458, а также с помощью быстродействующих и прецизионных АЦП модуля SMU. Записать в протокол измеренные значения напряжений. Результаты измерений занести в таблицы 4 и 5.

  Таблицаz	- Погрешность воспроизведения напряжения постоянного тока
  Диапазон, В	Напряжение, воспроизводимое системой, В	Значение напряжения, измеренного мультиметром 3458А, В	Погрешность воспроизведения напряжения, мВ	Допустимая погрешность модулей MPSMU, мВ	Допустимая погрешность модулей HRSMU, мВ
  1	2	3	4	5	6
  ±2	0			±1	±0,7
  	-2			±2	±1,3
  	+ 2			±2	±1,3
  ±20	0			±10	±4
  	-20			±20	±10
  	+ 20			±20	±10
  ±40	0			±20	±8
  	-40			±40	±20
  	+ 40			±40	±20
  ±100	0			±50	±20
  	- 100			±100	±70
  	+ 100			±100	±70

Таблица 5 - Погрешность измерения напряжения постоянного тока

^уст ^изм >         (1)

где Uycr- значение напряжения, установленного системой;

Uhsm - значение напряжения, измеренного мультиметром.

• 8.4.1.7 Рассчитать значения абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими АЦП по формуле (2):

^АЦП ^_ ^изм >        (²)

где идцп- значение напряжения, измеренного быстродействующим АЦП;

Ujbm - значение напряжения измеренного мультиметром.

• 8.4.1.8 Рассчитать значения абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока прецизионными АЦП по формуле (3):

Д⁼ ^АЦП ^— ^изм _s       (3)

где Uycr - значение напряжения, измеренного прецизионным АЦП;

Чизм - значение напряжения, измеренного мультиметром.

• 8.4.1.9 Результаты поверки системы считать положительными, если значения абсолютных погрешностей воспроизведения и измерений напряжения постоянного тока находятся в допускаемых пределах, приведенных: в графах 5 и 6 таблицы 4, графах 8 и 9 таблицы 5.

8.4.2 Определение абсолютных погрешностей воспроизведения и измерений силы постоянного тока модулями SMU

Измерения по пп. 8.4.2 могут быть выполнены в автоматическом режиме при выполнении теста системы “SMU current force and measurement test” (SMU I). Результаты измерений при выполнении теста выводятся в файл.

• 8.4.2.1 Собрать измерительную схему в соответствии с рисунками 3 и 4.

  

  Agilent 3458А DMM

  

  I I BNC МкЛ|пд е«р

  

  тпж**-ь-вмс Testhead left view

  

  4 1

  

  PV connection fixture

Рисунок 3 - Схема соединений при определении абсолютной погрешности воспроизведения (измерения) силы постоянного тока более 10 мкА модулями SMU

Рисунок 4 - Блок-схема измерений при определении абсолютной погрешности воспроизведения (измерения) силы постоянного тока более 10 мкА модулями SMU

• 8.4.2.2 Перевести мультиметр 3458А в режим измерений силы постоянного тока.

• 8.4.2.3 В соответствии с РЭ системы подключить выход модуля SMU к мультиметру.

• 8.4.2.4 В соответствии с РЭ перевести SMU в режим воспроизведения силы постоянного тока.

• 8.4.2.5. Последовательно задавая силу постоянного тока на модуле SMU в соответствии с таблицей 6, измерить силу тока с помощью мультиметра 3458, а также с помощью быстродействующих и прецизионных АЦП модуля SMU. Записать в протокол измеренные значения силы постоянного тока. Результаты измерений занести в таблицы 6 и 7.

Таблица 6 - Погрешность воспроизведения силы постоянного тока

• 8.4.2.6 Рассчитать значения абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока по формуле (4):

^уст ~ ^ИЗМ 9         (4)

где Iyer ^- значение силы тока, установленного системой;

1изм - значение силы тока измеренного мультиметром.

• 8.4.2.7 Рассчитать значения абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока быстродействующими АЦП по формуле (5):

А— Ццп ^— ^изм ’       (^)

где 1дцп- значение силы тока, измеренного быстродействующим АЦП;

1изм - значение силы тока измеренного мультиметром.

• 8.4.2.8 Рассчитать значения абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока прецизионными АЦП по формуле (6):

А 7дцп /_изм ,         (6)

где 1уст^— значение силы тока, измеренного прецизионным АЦП;

1изм - значение силы тока измеренного мультиметром.

8.4.2.9 Собрать измерительную схему в соответствии с рисунками 5 и 6.

Рисунок 5 - Схема соединений при определении абсолютных погрешностей воспроизведения (измерения) силы постоянного тока менее 10 мкА модулями SMU

Рисунок 6 - Блок-схема измерения при определении абсолютных погрешностей воспроизведения (измерения) силы постоянного тока менее 10 мкА модулями SMU

Подключить к системе меру сопротивления номинальным значением в соответствии с таблицей 8.

• 8.4.2.10 Перевести мультиметр 3458А в режим измерения напряжения постоянного тока. В соответствии с РЭ подключить к мультиметру выход модуля SMU.

  Диапазон	Сила тока, воспроизводимого системой	Номинальное значение меры сопротивления	Значение напряжения, измеренного мультиметром 345 8А, В	Погрешность воспроизведения силы тока	Допустимая погрешность модулей MPSMU нА	Допустимая погрешность, модулей HRSMU
  1	2	3	4	5	6	7
  10 мкА	+10 мкА	100 кОм			+27	±13 нА
  	-10 мкА				±27	±13 нА
  	+1 мкА				±16,2	±6,7 нА
  	-1 мкА				±16,2	±6,7 нА
  1 мкА	+1 мкА	1 МОм			±3,7	±1,7 нА
  	-1 мкА				±3,7	±1,7 нА
  	+0,1 мкА				±1,9	±0,62 нА
  	-0,1 мкА				±1,9	±0,62 нА
  100 нА	+100 нА	10 МОм			±0,55	±0,18 нА
  	-100 нА				±0,55	±0,18 нА
  	+10 нА				±0,37	±0,062 нА
  	-10 нА				±0,37	±0,062 нА
  10 нА	+10 нА	100 МОм			±0,134	±0,109 нА
  	-ЮнА				±0,134	±0,109 нА
  	+1 нА				±0,044	±0,019 нА
  	-1 нА				±0,044	±0,019 нА
  1 нА	+1 нА	100 МОм			±0,016	±13,9 пА
  	-1 нА				±0,016	±13,9 пА
  	+0,1 нА				±0,007	±4,9 пА
  	-0,1 нА				±0,007	±4,9 пА
  100 нА	+100 пА	1000 МОм				±21 пА
  	-100 пА					±21 пА
  	+10 пА					±3 пА
  	-10 пА					±3 пА
  10 пА	+10 пА	1000 МОм				±7 пА
  	-10 пА					±7 пА

  Диапазон	Сила тока, воспроизводимого системой	Номинальное значение меры сопротивления, Ом	Значение напряжения постоянного тока, измеренного мультиметром 3458А	Значение силы тока, измеренного быстро-действующим АЦП	Погрешность измерения быстро-дей-ствую-щим АЦП	Значение силы тока, измеренного прецизионным АЦП	Погрешность измерения прецизионным АЦП	Допустимая погрешность измерения модулей MPSMU, нА	Допустимая погрешность измерения модулей HRSMU, нА
  1	2	3	4	5	6	7	8	9	10
  10 мкА	+10мкА	ю5						±20	±11
  	-10 мкА							±20	±11
  	+1 мкА							±11	±5,6
  	-1 мкА							±11	±5,6
  1 мкА	+1 мкА	106						±3,2	±1,65
  	-1 мкА							±3,2	±1,65
  	+0,1 мкА							±1,4	±0,57
  	-0,1 мкА							±1,4	±0,57
  100 нА	+100 нА	ю7						±0,5	±0,17
  	-100 нА							±0,5	±0,17
  	+10 нА							±0,32	±0,062
  	-ЮнА							±0,32	±0,062
  10 нА	+10 нА	ю8						±0,133	±0,108
  	-ЮнА							±0,133	±0,108
  	+1 нА							±0,043	±0,018
  	-1 нА							±0,043	±0,018
  1 нА	+1 нА	ю8						±0,016	±0,0134
  	-1 нА							±0,016	±0,0134
  	+0,1 нА							±0,007	±0,0044
  	-0,1 нА							±0,007	±0,0044
  100 пА	+100пА	ю9							±21 пА
  	-100 пА								±21 пА
  	+10 пА								±3 пА
  	-ЮпА								±3 пА
  10 пА	+10 пА	ю9							±7 пА
  	-10 пА								±7 пА

• 8.4.2.11 Последовательно подключая к системе меры сопротивления номинальными значениями в соответствии с таблицей 8 и задавая силу постоянного тока на выходе модуле SMU в соответствии с таблицей 8 измерить помощью мультиметра 3458 напряжение на мере сопротивления, а также силу тока с помощью быстродействующих и прецизионных АЦП модуля SMU. Записать в протокол измеренные значения.

Результаты измерений занести в таблицы 8 и 9.

• 8.4.2.12 Рассчитать значения абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока по формуле (7):

  Д=

  

  ^изм ^меры

  (7)

где Iy_CT- значение силы тока, установленного системой;

и_и3м - значение напряжения постоянного тока, измеренного мультиметром, В. R-меры- действительное значение меры, Ом.

• 8.4.2.13 Рассчитать значения абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока быстродействующими АЦП по формуле (8):

  А— Ццп

  Цззм ^меры

  (8)

где 1дцп - значение силы тока, измеренного быстродействующим АЦП;

Иизм - значение напряжения постоянного тока, измеренного мультиметром, В. Вмерьг* действительное значение меры, Ом.

• 8.4.2.14 Рассчитать значения абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока прецизионными АЦП по формуле (9):

  Д=

  ^изм

  ^меры

  (9)

где 1ацп- значение силы тока, измеренного прецизионным АЦП; и_ИЗм - значение напряжения постоянного тока, измеренного мультиметром, В. Вмеры^- действительное значение меры, Ом.

• 8.4.2.15 Результаты поверки систем считать положительными, если значения абсолютных погрешностей воспроизведения и измерения силы постоянного тока находятся в допускаемых пределах, приведенных: в графах 5 и 6 таблицы 6, в графах 8 и 9 таблицы 7, в графах 6 и 7 таблицы 8, в графах 9 и 10 таблицы 9.

8.4.3 Определение электрического сопротивления между выходами SMU и входами проб-карты.

Измерения по пп. 8.4.3 могут быть выполнены в автоматическом режиме при выполнении теста системы “ SMU output resistance test” (SMU R). Результаты измерений при выполнении теста выводятся в файл.

• 8.4.3.1 Собрать измерительную схему в соответствии с рисунками 7 и 8.

Sense Input

Рисунок 7 - Схема соединений при определении электрического сопротивления между выходами модуля SMU и входами проб-карты

Рисунок 8 - Блок-схема измерений при определении электрического сопротивления между выходами модуля SMU и входами проб-карты

• 8.4.3.2 В соответствии с РЭ системы подключить выход модуля SMU1 к мультиметру.

• 8.4.3.3 Модуль SMU установить в режим источника тока и измерителя напряжения.

• 8.4.3.4 Мультиметр перевести в режим измерения напряжения постоянного тока.

• 8.4.3.5 Установить на выходе SMU силу постоянного тока величиной Б = 10 мА.

• 8.4.3.6 Измерить напряжение постоянного тока на выходе SMU с помощью прецизио-ного АЦП, а также с помощью мультиметра 3458. Результаты измерений занести в протокол. Результаты измерений записать в таблицу 10.

Таблица 10

• 8.4.3.7 Установить на выходе SMU силу постоянного тока величиной h= 100 мА.

• 8.4.3.8 Измерить напряжение постоянного тока на выходе SMU с помощью прецизио-ного АЦП, а также с помощью мультиметра 3458. Результаты измерений занести в протокол. Результаты измерений записать в таблицу 10.

• 8.4.3.9 Рассчитать значение электрического сопротивления между выходами SMU и входами проб-карты по формуле (10):

D     _ (^мульт1 UsMUl) (.^мулът2 USMU2)

^ksmu —               ", j

^ll~^l2

где Имульт- значение напряжения постоянного тока, измеренного мультиметром, В; Usmu - значение напряжения постоянного тока, измеренного АЦП SMU, В. Ii, h- выходные токи SMU, А.

• 8.4.3.10 В соответствии с РЭ системы подключить выход модуля SMU2 к мультимет-РУ-

• 8.4.2.11 Повторить операции пп. 8.4.3.5-8.4.3.9.

• 8.4.2.12 Результаты поверки систем считать положительными, если значения сопротивлений между выходами SMU и входами проб-карты не превышают значений, приведенных в графах 5 -7 таблице 10.

8.4.4 Определение абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока модулем DVM

Измерения по пп. 8.4.4 могут быть выполнены в автоматическом режиме при выполнении теста системы “DVM differential voltage measurement test” (DVM V). Результаты измерений при выполнении теста выводятся в файл.

• 8.4.4.1 Собрать измерительную схему в соответствии с рисунками 9 и 10.

• 8.4.4.2 В соответствии с РЭ системы подключить выход модуля SMU к мультиметру 3458.

  			—
  			PV connection fixture
  	ч       /		ч                  /			ч        /		ч
  				MU GNC новая г
  		—1 SI			оло	ва
  	Port 5                     Port в

  
  

  Рисунок 9 - Схема соединений при определении абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока модулем DVM

DVM

Рисунок 10 - Блок-схема измерений при определении абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока модулем DVM

• 8.4.4.3 Последовательно задавая выходные напряжения на выходе модуля SMU в СО' ответствии с таблицей 11, провести измерения воспроизводимых системой напряжений с по мощью модуля DVM, а также с помощью мультиметра 3458А. Записать в протокол измерен' ные значения напряжений. Результаты измерений занести в таблицу 11.

  Таблица:	1
  Диапазон, В	Номинальное напряжение, В	Напряжение, измеренное модулем DVM, В	Напряжение, измеренное мультиметром 3458А, В	Погрешность измерений, мВ	Допустимая погрешность измерения систем 4071, 4072, мВ	Допустимая погрешность измерения систем 4073, мВ
  1	2	3	4	5	6	7
  ±100	±100 В				±22	±21
  	-100 В				±22	±21
  	ов				±2	±1
  ±10	±10 в				±1,3	±1,2
  	-10 В				±1,3	±1,2
  	ов				±0,3	±0,2
  ±1	±1 в				±0,4	±0,2
  	-1 в				±0,4	±0,2
  	ов				±0,3	±0,1
  ±0,1	±0.1 в				-	±0,11
  	-0,1 в				-	±0,11
  	ов				-	±0,1

• 8.4.4.4 Рассчитать значения абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока модулем DVM по формуле (11):

A UdVM ^изм >       (И)

где Udvm- значение напряжения, измеренного модулем DVM, В;

Uизм - значение напряжения измеренного мультиметром, В.

• 8.4.4.5 Результаты испытаний считать положительными, если значения абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока находятся в пределах, приведенных в графах 6 и 7 таблицы 11.

8.4.5 Определение относительной погрешности измерений электрической емкости модулем CMU

Измерения по пп. 8.4.5 могут быть выполнены в автоматическом режиме при выполнении теста системы “CMU capacitance and conductance (C-G) test” (CMU C/G). Результаты измерений при выполнении теста выводятся в файл.

• 8.4.5.1 Собрать измерительную схему в соответствии с рисунком 11.

• 8.4.5.2 В соответствии с РЭ системы подготовить модуль CMU к работе.

• 8.4.5.3 Подсоединить меру электрической емкости к кабелю «С-STD connection» на измерительном блоке соответствии с таблицей 12.

• 8.4.5.4 Последовательно устанавливая частоту тестового сигнала модуля CMU и меры емкости в соответствии с таблицей 12, провести измерение емкости модулем CMU. Записать в протокол измеренные значения электрической емкости. Результаты измерений занести в таблицу 12.

  
  

  м

  Agilent 3458А DMM

  

  /    JO         7-\ \ ( ООО)		Triaxial-to-BNC
  J9Q      о J6		adapter
  л О     О
  1 J2O ~ О   J
  \ S' J4 /		<- rt>—--

  

  PV connection fixture

  Calibration adapter

Рисунок 11 - Схема соединений при определении абсолютной погрешности измерений электрической емкости модулем CMU

Таблица 12

• 8.4.5.5 Рассчитать значения абсолютной и относительной погрешностей измерений электрической емкости модулем CMU по формулам (12)и(13):

~ Семи ^меры 5        (12)

8с = Дс/С_меры ,            (13)

где Семи - значение емкости, измеренной модулем CMU, нФ;

Смеры - значение меры емкости, нФ.

• 8.4.5.6 Результаты испытаний считать положительными, если значения абсолютной и относительной погрешностей измерений электрической емкости находятся в пределах, приведенных в графах 5 и 6 таблицы 12.

8.4.6 Определение относительной погрешности измерений электрической проводимости модулем CMU

Измерения по пп. 8.4.6 могут быть выполнены в автоматическом режиме при выполнении теста системы “CMU capacitance and conductance (C-G) test” (CMU C/G). Результаты измерений при выполнении теста выводятся в файл.

• 8.4.6.1 Собрать измерительную схему в соответствии с рисунком 12.

  

  Sense Inpul

  И! О

  Lo О

  Guard О О

  

  со

  -

  --C0-*C[!?©- □И®-
  

  -Mt

  Tnaxial-to-BNC adapter

  PV connection fixture

  Et>

  Calibration adapter

Рисунок 12 - Схема соединений при определении абсолютной погрешности измерений электрической проводимости модулем CMU

• 8.4.6.2 В соответствии с РЭ системы подготовить модуль CMU к работе.

• 8.4.6.3 Подсоединить меру сопротивления номинальным значением 1 кОм кабелю «С-STD connection» на измерительном блоке.

• 8.4.6.4 Последовательно устанавливая частоту тестового сигнала модуля CMU в соответствии с таблицей 13, провести измерение электрической проводимости модулем CMU. Записать в протокол измеренные значения электрической проводимости. Результаты измерений занести в таблицу 13.

Таблица 13

• 8.4.6.5 Рассчитать значения абсолютной и относительной погрешностей измерений электрической проводимости модулем CMU по формулам (14) и (15):

  Ап GcMU ^меры >

  (14)
  6n= f—■ 100% ,

  Химеры/

  (15)

где Gcmu ~ значение проводимости, измеренной модулем CMU, мСм;

G_MePbi - действительное значение проводимости меры сопротивления, мСм.

• 8.4.6.6 Результаты испытаний считать положительными, если значения абсолютной и относительной погрешностей измерений электрической проводимости находятся в пределах, приведенных в графах 5 и 6 таблицы 13.

9 ОФОРМЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ПОВЕРКИ

• 9.1 При положительных результатах поверки на систему выдается свидетельство установленной формы.

• 9.2 На оборотной стороне свидетельства о поверке записываются результаты поверки.

• 9.3 В случае отрицательных результатов поверки поверяемая система к дальнейшему применению не допускается. На неё выдается извещение о её непригодности к дальнейшей эксплуатации с указанием причин забракования.

• 9.4 Знак поверки наноситься на свидетельства о поверке в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.

  

  Н.В Нечаев

Начальник лаборатории 620

ФГУП «ВНИИФТРИ»