Mega Analytics v3.3 · random resource promos · report blocks UX · scroll fix
Номер по Госреестру СИ: 67838-17
67838-17 Микроскоп атомно-силовой
(Keysight 5600LS)
Назначение средства измерений:
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Публичные реестры средств измерений, результатов поверки, эталонов, стандартных образцов, методик и документов по обеспечению единства измерений.
Keysight 5600LS
Формирование DCC, проверка XML, хранение в реестре, визуализация сертификатов, публичные ссылки и QR-коды.
Сертификация программного обеспечения, проверка ПО испытательного оборудования, утверждение типа СИ и аттестация методик измерений.
| Владелец | Категория | Количество СИ | Количество поверок | Поверок на одно СИ |
|---|---|---|---|---|
| юридическое лицо | Юридические лица | 1 | 6 | 6,00 |
| UUID | Номер типа | Начало версии | Окончание версии | Состояние |
|---|---|---|---|---|
| 81b861ee-d47b-5a61-129a-f57cdd89e386 | 67838-17 | 2020-05-07 | — | актуальная |
Цифровые продукты для производителей, поверителей и владельцев СИ: автоматизация бизнес-процессов, обмен и визуализация данных.
Специализированный ресурс Ростеста, посвящённый программному обеспечению и цифровым сервисам.
Дата публикации - 07.05.2020
Срок свидетельства -
Номер записи - 159417
ID в реестре СИ - 381817
Тип производства - единичное
Описание типа
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS, Нет модификации
Изготовитель - Фирма "Keysight Technologies Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Назначение. Этот отчет — сводная аналитика по публикациям приказов Росстандарта. Он помогает быстро оценить общий объем и ритм выпусков, увидеть актуальность данных и ключевые показатели за текущий год, не погружаясь в первичную таблицу.
KPI и динамика. В верхних карточках показаны базовые метрики: первая и последняя даты публикаций, общее число приказов, количество уникальных типов и YTD. Блок графиков раскрывает ежедневную динамику (столбцы) с 7-дневной скользящей средней (линия) и кумулятивный итог, что позволяет отследить всплески и общий тренд.
Сезонность и структура. Теплокарта «год × месяц» подсвечивает сезонные пики, а распределение по дням недели показывает рабочие паттерны публикаций. Сравнение YTD vs LYTD по ISO-неделям помогает сопоставить темп с прошлым годом, а диаграммы по типам приказов и тематикам (по ключевым словам заголовков) дают представление о содержательной структуре потока.
Контроль качества и списки. Таблицы выделяют «пиковые дни», возможные дубликаты номеров в пределах года, самые длинные разрывы между публикациями и последние 50 записей; это упрощает проверку качества и оперативный мониторинг. Для заголовков оценивается их заполненность и длина, а все таблицы интерактивны: доступны поиск, сортировка и пагинация.
Бесплатный
Кол-во поверок - 7
Выдано извещений - 1
Кол-во периодических поверок - 6
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
№1335 от 2017.06.19 Об утверждении типов средств измерений
№1492 от 2024.06.24 ПРИКАЗ О внесении изменений в сведения об утвержденных типах СИ (12)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
41609-09 13.08.2024 |
Источники питания постоянного тока, N8700 Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
53567-13 11.04.2024 |
Наборы мер коэффициентов передачи и отражения, 85054D, 85032F, 85054B, 85052D, 85033E, 85052B, 85956D, 85956A, 85058E. 85058B, 85055A, 85053B, 85057B, 85058V Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67838-17 |
Микроскоп атомно-силовой, Keysight 5600LS Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Схема прослеживаемости средства измерений отображает поверяемое СИ, его средства поверки и их связи с первичными эталонами.
В качестве средств поверки могут выступать СИ, стандартные образцы, эталоны, государственные первичные эталоны и СИ, импользуемые в качестве эталонов. Кроме того, на диаграмме могут присутствовать реагенты и аттестованные методики измерений.
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2026 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 2 | 0 | 2 | 0 | 2 | 0 | 2 | ||
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 4 | 0 | 4 | 1 | 4 | 0 | 4 |
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Управление микроскопом осуществляется с помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспечения PicoView (далее по тексту - ПО). В ПО интегрированы окна для управления цифровыми камерами и отображения результата изображений видео или стоп-кадров.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
PicoView |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.18.2 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
SOFT.Rostest — программные и цифровые решения — Специализированный ресурс Ростеста, посвящённый программному обеспечению и цифровым сервисам.
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания этикетки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу атомно-силовому Keysight 5600LS
Техническая документация «Keysight Technologies Inc.», США
осуществляется по документу МП 002.М44-17 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 23.01.2017 г.
Основные средства поверки:
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 41678-09).
Номинальное значение высоты выступов в шаговых структурах: 20; 110 нм.
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2; ±10 нм.
Номинальное значение шага периодической структуры мер: 3 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры: ±0,01 мкм.
2 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 33598-06).
Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: ±0,05 мкм. Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах: от 100 до 1400 нм.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2 нм.
3 Объект-микрометр ОМО (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 590-63).
Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между серединами десяти делений 0,10 мм.
Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных значений: - между серединами соседних делений: 0,001 мм;
- между серединами десяти делений: 0,002 мм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на переднюю панель корпуса микроскопа.
Принцип действия микроскопа в контактном режиме основан на взаимодействии кантилевера с исследуемой поверхностью. Острие кантилевера находится в непосредственном соприкосновении с поверхностью, при этом силы притяжения и отталкивания, действующие со стороны образца, уравновешиваются силой упругости консоли кантилевера. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между кантилевером и поверхностью образца, регистрируют положение острия кантилевера. Над остриём кантилевера расположена зеркальная площадка, на которую падает и от которой отражается луч лазера. Когда кантилевер опускается и поднимается на неровностях сканируемой поверхности, отраженный луч отклоняется, и это отклонение регистрируется фотодетектором. Далее, путем оцифровки оптического отраженного излучения, происходит определение геометрических параметров поверхности исследуемого объекта.
В режиме прерывистого контакта кантилевер совершает колебательные движения по синусоидальному закону. Когда кантилевер и образец находятся близко друг к другу во время каждого колебательного цикла, остриё проходит через потенциал взаимодействия, в который входят компоненты дальнодействующего притяжения и краткосрочного отталкивания. Силы, возникающие между острием и образцом, вызывают изменения в амплитуде и фазе колеблющегося кантилевера, что позволяет исследовать мелкие морфологические особенности.
Микроскоп состоит из координатного столика, сканера, детектора, гранитного моста основы микроскопа, компьютера, головного электронного блока, бокса управления столиком XY, контроллера, виброизоляционной камеры.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.
Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS
знака поверки
ЮО/ЦОЧАС
1ЗД/М) 1-л:'
Место нанесения л 1
Место размещения маркировки
Рисунок 2 - Место размещения маркировки, нанесения знака поверки микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS, зав .№ US11440201 в составе: -Координатный столик, зав. № 3913001 |
1 шт . | |
|
-Сканер, зав. № us08380210 |
1 шт . | |
|
-Детектор |
1 шт . | |
|
-Гранитный мост основы микроскопа |
1 шт . | |
|
-Компьютер, зав. № us13070194 |
1 шт . | |
|
-Монитор, зав. № cn-0ygp39-72872-44f-al4l, |
- |
2 шт . |
|
зав. № cn-0ygp39-72872-44s-dcul -Головной электронный блок, зав. № us11440201 |
1 шт . | |
|
-Бокс управления столиком XY |
1 шт . | |
|
-Контроллер, зав. № us09490261 |
1 шт . | |
|
-Виброизоляционная камера, зав. № 130062 |
1 шт. | |
|
CD-диск с программным обеспечением |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 002.М44-17 |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, нм |
от 2000 до 10000 |
|
Диапазон показаний линейных размеров в плоскости XY, нм |
от 0,5 до 90000,0 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по вертикали (ось Z), нм |
от 20 до 600 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали (ось Z), нм |
от 0,05 до 1000,00 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в плоскости XY |
±15 |
|
- по вертикали (ось Z) |
±10 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В |
от 100 до 240 |
|
- частота переменного тока, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
1,6 |
|
Габаритные размеры, мм, не более - высота |
815 |
|
- ширина |
880 |
|
- длина |
1410 |
|
Масса, кг, не более |
250 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +18 до +23 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 96 до 104 |
