Номер по Госреестру СИ: 67838-17
67838-17 Микроскоп атомно-силовой
(Keysight 5600LS)
Назначение средства измерений:
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Внешний вид.
Микроскоп атомно-силовой
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 159417
ID в реестре СИ - 381817
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации, Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Keysight Technologies Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1335 от 2017.06.19 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскоп атомно-силовой (Keysight 5600LS)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Keysight Technologies Inc."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
41609-09 13.08.2024 |
Источники питания постоянного тока, N8700 Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
53567-13 11.04.2023 |
Наборы мер коэффициентов передачи и отражения, 85054D, 85032F, 85054B, 85052D, 85033E, 85052B, 85956D, 85956A, 85058E. 85058B, 85055A, 85053B, 85057B, 85058V Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
67838-17 |
Микроскоп атомно-силовой, Keysight 5600LS Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскоп атомно-силовой (Keysight 5600LS)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 2 | 0 | 2 | 0 | 2 | 0 | 2 | ||
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Микроскоп атомно-силовой (Keysight 5600LS)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспечения PicoView (далее по тексту - ПО). В ПО интегрированы окна для управления цифровыми камерами и отображения результата изображений видео или стоп-кадров.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
PicoView |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.18.2 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания этикетки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу атомно-силовому Keysight 5600LS
Техническая документация «Keysight Technologies Inc.», США
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 002.М44-17 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 23.01.2017 г.
Основные средства поверки:
-
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 41678-09).
Номинальное значение высоты выступов в шаговых структурах: 20; 110 нм.
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2; ±10 нм.
Номинальное значение шага периодической структуры мер: 3 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры: ±0,01 мкм.
-
2 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 33598-06).
Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм.
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: ±0,05 мкм. Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах: от 100 до 1400 нм.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2 нм.
-
3 Объект-микрометр ОМО (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 590-63).
Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между серединами десяти делений 0,10 мм.
Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных значений: - между серединами соседних делений: 0,001 мм;
- между серединами десяти делений: 0,002 мм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на переднюю панель корпуса микроскопа.
Изготовитель
«Keysight Technologies Inc.», США
Адрес: 4330 W Chandler Blvd, Chandler AZ 85226, United States
Телефон: + 1 800 829-4444
Факс:+ 1 800 829-4433
Web-сайт: http://www.keysight.com
E-mail: usa_orders@keysight.com
Заявитель
Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»)
ИНН: 7729571904
Адрес: 119330, Россия, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10Б
Телефон: +7(495) 739-50-05, факс: +7(495) 234-00-36
Web-сайт: http://www.scanru.ru
E-mail: office@scanru.com
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений»Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46
Телефон: +7(495) 437-56-33; факс: +7(495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия микроскопа в контактном режиме основан на взаимодействии кантилевера с исследуемой поверхностью. Острие кантилевера находится в непосредственном соприкосновении с поверхностью, при этом силы притяжения и отталкивания, действующие со стороны образца, уравновешиваются силой упругости консоли кантилевера. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между кантилевером и поверхностью образца, регистрируют положение острия кантилевера. Над остриём кантилевера расположена зеркальная площадка, на которую падает и от которой отражается луч лазера. Когда кантилевер опускается и поднимается на неровностях сканируемой поверхности, отраженный луч отклоняется, и это отклонение регистрируется фотодетектором. Далее, путем оцифровки оптического отраженного излучения, происходит определение геометрических параметров поверхности исследуемого объекта.
В режиме прерывистого контакта кантилевер совершает колебательные движения по синусоидальному закону. Когда кантилевер и образец находятся близко друг к другу во время каждого колебательного цикла, остриё проходит через потенциал взаимодействия, в который входят компоненты дальнодействующего притяжения и краткосрочного отталкивания. Силы, возникающие между острием и образцом, вызывают изменения в амплитуде и фазе колеблющегося кантилевера, что позволяет исследовать мелкие морфологические особенности.
Микроскоп состоит из координатного столика, сканера, детектора, гранитного моста основы микроскопа, компьютера, головного электронного блока, бокса управления столиком XY, контроллера, виброизоляционной камеры.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.
Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS
знака поверки
ЮО/ЦОЧАС
1ЗД/М) 1-л:'
Место нанесения л 1
Место размещения маркировки
Рисунок 2 - Место размещения маркировки, нанесения знака поверки микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS, зав .№ US11440201 в составе: -Координатный столик, зав. № 3913001 |
1 шт . | |
|
-Сканер, зав. № us08380210 |
1 шт . | |
|
-Детектор |
1 шт . | |
|
-Гранитный мост основы микроскопа |
1 шт . | |
|
-Компьютер, зав. № us13070194 |
1 шт . | |
|
-Монитор, зав. № cn-0ygp39-72872-44f-al4l, |
- |
2 шт . |
|
зав. № cn-0ygp39-72872-44s-dcul -Головной электронный блок, зав. № us11440201 |
1 шт . | |
|
-Бокс управления столиком XY |
1 шт . | |
|
-Контроллер, зав. № us09490261 |
1 шт . | |
|
-Виброизоляционная камера, зав. № 130062 |
1 шт. | |
|
CD-диск с программным обеспечением |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 002.М44-17 |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, нм |
от 2000 до 10000 |
|
Диапазон показаний линейных размеров в плоскости XY, нм |
от 0,5 до 90000,0 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по вертикали (ось Z), нм |
от 20 до 600 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали (ось Z), нм |
от 0,05 до 1000,00 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в плоскости XY |
±15 |
|
- по вертикали (ось Z) |
±10 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В |
от 100 до 240 |
|
- частота переменного тока, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
1,6 |
|
Габаритные размеры, мм, не более - высота |
815 |
|
- ширина |
880 |
|
- длина |
1410 |
|
Масса, кг, не более |
250 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +18 до +23 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 96 до 104 |