Номер по Госреестру СИ: 66974-17
66974-17 Профилометр стилусный контактный
(AlphaStep D-120)
Назначение средства измерений:
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120 (далее по тексту - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров, шероховатости и волнистости поверхности, а также неразрушающих исследований топографии поверхности с высоким разрешением.
Внешний вид.
Профилометр стилусный контактный
Рисунок № 1
Внешний вид.
Профилометр стилусный контактный
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 158480
ID в реестре СИ - 380880
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120,
Производитель
Изготовитель - Фирма "KLA-TENCOR"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 365 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№588 от 2017.03.21 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Профилометр стилусный контактный (AlphaStep D-120)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "KLA-TENCOR"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
66974-17 |
Профилометр стилусный контактный, AlphaStep D-120 Фирма "KLA-TENCOR" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
87711-22 |
Установка для измерения размеров частиц на поверхности пластин, Surfscan SP1TBI Фирма "KLA-TENCOR" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Очень удобный отчет для отслеживания динамики наполнения ФГИС АРШИН данными о поверках. В основу отчёта положена система из двух графиков (столбчатых диаграмм) распределения поверок, поступающих в ФГИС аршин по дням. По оси абсцисс «Ox» - дата, по оси ординат «Oy» - количество поверок в штуках. Первый график используется для задания масштабируемого участка, а второй для воспроизведения выбранного участка диаграммы в увеличенном масштабе.
В завершении отчета приводится сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
Кто поверяет Профилометр стилусный контактный (AlphaStep D-120)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 2 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Профилометр стилусный контактный (AlphaStep D-120)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Профилометр поставляется с установленным управляющим программным обеспечением (ПО), прошедшим полный цикл испытаний вместе с прибором. В комплект поставки профилометра входит резервная копия комплекта ПО на компакт - диске.
Профилометр имеет автономное программное обеспечение (ПО), которое используется для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО средства измерений и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
AlphaStep Development Series |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
2.1.0.4 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель корпуса профилометра методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометру стилусному контактному AlphaStep D-120Техническая документация KLA-TENCOR, США
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 038.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений. Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 05.10.2016 г.
Основные средства поверки:
-
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2.
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур: 20; 110 нм.
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур: ±2; ±10 нм.
-
2 Меры шероховатости ПРО - 10.
Параметры шероховатости Ra: 0,005; 0,008; 0,063 мкм. Пределы допускаемого среднего квадратического отклонения: ±3 %.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на заднюю панель прибора.
Изготовитель
KLA- TENCOR, США
Адрес: One Technology Drive, Milpitas, California, 95035, U.S.A.
Телефон: +1-408-875-3000; Факс: +1-408-875-4144
E-mail: Customer.Parts@kla-tencor.com
Web-сайт: http://www.kla-tencor.com/
Заявитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» (Национальный исследовательский университет «МИЭТ», НИУ МИЭТ)
Адрес: 124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, д. 1
Телефон: +7 (499) 731 44 41; Факс: +7 (499) 71022 33
E-mail: netadm@miet.ru, http://miet.ru/
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений»
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: +7 (495) 437-56-33; Факс: +7 (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия профилометра основан на измерении профиля поверхности контактно-механическим способом. Основным чувствительным элементом профилометра является игла с наконечником конической формы. Измеряемая поверхность располагается горизонтально. На неё под некоторым давлением опускается игла вплоть до механического соприкосновения. Процесс измерения состоит в перемещении иглы в горизонтальном направлении. При этом игла, постоянно находясь в контакте с измеряемой поверхностью и следуя за её рельефом, перемещается и в вертикальном направлении. Это перемещение фиксируется с помощью высокочувствительного датчика и записывается в память компьютера.
Профилометр состоит из компьютера, сервопривода, стилуса, поворотной головки, системы визуализации, вакуумного держателя образца.
Профилометр осуществляет трехмерный анализ поверхностей с последующей визуализацией объекта.
В конструкции профилометра отсутствует пломбировка от несанкционированного доступа.
Общий вид профилометра представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид профилометра
Model: D-120 Stylus profilometer
Made in the USA by:
KUfiencor
1 Technology Drive
Milpitas, CA 95035
Serial# Build Year
100-120VAC
200-240VAC 5fl-WHZ 60W MAX
V У
Replace with ЗА, 250V Fuse only
Рисунок 2 - Место нанесения знака поверки
Таблица 4 -
|
Наименование и обозначение |
Количество |
|
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120, зав. № 7321064 |
1 шт. |
|
Компьютер Intel core i3-2120, Win 7 Pro SP1 |
1 шт. |
|
Монитор Dell P170S, зав. № CN-059DJP-74445-189-AU9L |
1 шт. |
|
Виброизоляционный стол TMC vibration control |
1 шт. |
|
Г азовый шкаф с баллоном с газом |
1 шт. |
|
Калибровочный стандарт высоты ступенек (1 мкм) |
1 шт. |
|
Калибровочный стандарт высоты ступенек (50 мкм) |
1 шт. |
|
Вакуумная помпа KNF Lab laboport |
1 шт. |
|
Программное обеспечение AlphaStep D-120 stylus profiler v2.1.0.4 |
1 диск |
|
Методика поверки МП 038.М44-16 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), нм |
от 21,4 до 1 800,0 |
|
Диапазон показаний линейных размеров (ось Z), нм |
от 1 до 500 000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z), % |
±15 |
|
Диапазон измерений шероховатости (параметр Ra), мкм |
от 0,005 до 0,063 |
|
Диапазон показаний шероховатости (параметр Ra), мкм |
от 0,005 до 1,800 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости (параметр Ra), % |
±10 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Вертикальное разрешение для диапазона 2,5 мкм, м, не более |
Ю10 |
|
Вертикальное разрешение для диапазона 1,2 мм, м |
10-7 |
|
Максимальное количество точек данных на один профиль |
120000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика, мм |
150х178 |
|
Скорость сканирования, мм/с |
от 0,01 до 0,40 |
|
Точность позиционирования поверхности образца по осям X-Y, мкм, не более |
0,5 |
|
Максимальный диаметр образцов, мм |
200 |
|
Максимальная высота образцов, мм |
30 |
|
Максимальная длина сканирования, мм |
55 |
|
Габаритные размеры, мм - высота |
330 |
|
- ширина |
381 |
|
- длина |
610 |
|
Масса прибора, кг, не более |
25 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В |
220±22 |
|
- частота переменного тока, Гц |
50,0±0,5 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
0,5 |
|
Рабочая температура, °С |
от +16 до +26 |
|
Температура хранения, °С |
от -18 до +45 |